JP3568816B2 - 表示装置の欠陥修正装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示装置、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示装置、プラズマ表示装置等の表示装置の欠陥修正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
表示装置としての例えば液晶表示装置については、市場への不良品の流出を防止するために、通常、パネル形態およびモジュール形態のそれぞれにおいて、点灯検査が実施される。この点灯検査では、液晶表示装置の点灯状態が規定の基準を満たしているか否かが判定される。この検査の結果、規定の基準を満たしていないものは不合格となり、不合格品は、それ以後の工程に送られず、すなわち市場に出荷されることなく、不良品として廃棄される。
【０００３】
しかしながら、不良品と判定された液晶表示装置であっても、不良の発生具合によっては、不良な配線個所を修正することにより上記基準を満たすことができる場合がある。上記修正は、例えば、公開特許公報「特開平３−２０９４２２号公報（公開日：平成３年（１９９１）９月１２日）」、あるいは公開特許公報「特開平６−８２８０１号公報（公開日：平成６年（１９９４）３月２５日）」に開示されたものをはじめとする欠陥修正装置によって行われ、欠陥修正によって救済された液晶表示装置は、市場に出荷されることになる。
【０００４】
以下に、従来の欠陥修正装置、およびこの欠陥修正装置を用いて液晶表示装置に存在する欠陥を修正する方法について説明する。
【０００５】
ここで、図２（ａ）（ｂ）に示すように、欠陥修正される表示装置として例示する液晶表示装置１は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）側基板２と、対向側電極やカラーフィルタを形成する対向側基板３とが、液晶層（図示せず）を介して張り合わされた構造を有するものである。
【０００６】
また、上記液晶表示装置（表示装置）１において、特に、透過型のものは透過型液晶表示装置（表示装置）１ｂ、反射型のものは反射型液晶表示装置（表示装置）１ｃ、透過型と反射型の両機能を併せ持つものは透過・反射型液晶表示装置（表示装置）１ａとしてそれぞれ示す。
【０００７】
なお、透過型液晶表示装置１ｂとは、ＴＦＴ側基板２側に配された光源からの光を対向側基板３を透過させることにより、対向側基板３側にて表示を行うものである。すなわち、この透過型液晶表示装置１ｂは、対向側基板３側に光源が配された場合、表示状態とならない。したがって、対向側基板３側が暗くなる室内等での使用に適しており、対向側基板３側が明るくなる屋外等では、表示が見づらくなる。
【０００８】
また、反射型液晶表示装置１ｃとは、対向側基板３側に配された光源からの光をＴＦＴ側基板２上で対向側基板３側に反射させることにより、対向側基板３側にて表示を行うものである。すなわち、この反射型液晶表示装置１ｃは、ＴＦＴ側基板２側に光源が配された場合、表示状態とならない。したがって、対向側基板３側が明るくなる屋外等での使用に適しており、対向側基板３側が暗くなる室内等では、表示が見づらくなる。
【０００９】
また、透過型と反射型の両機能を併せ持つ透過・反射型液晶表示装置１ａとは、ＴＦＴ側基板２側に配された光源からの光を対向側基板３を透過させて表示を行い、対向側基板３側に配された光源からの光をＴＦＴ側基板２上で対向側基板３側に反射させて表示を行うものである。すなわち、この透過・反射型液晶表示装置１ａは、対向側基板３側が明るい屋外等である場合と、対向側基板３側が暗い室内等ある場合との何れの場合にも鮮明な表示を行うことができる。
【００１０】
また、液晶表示装置１には、前記の点灯検査において欠陥箇所が検出された場合、対向側基板３上の前記欠陥箇所におおよそ相当する位置に、検査作業者によって欠陥位置マーク４１が記されるものとする。
【００１１】
なお、液晶表示装置１は、対向側基板３側に、通常、絵素点灯部以外を遮光する遮光マスク（ブラックマスク）が存在すること、およびＴＦＴ構造を考慮して、ＴＦＴ側基板２方向からのみの光ビーム照射による上記欠陥箇所の修正が可能なように設計されている。したがって、上記の各液晶表示装置１ａ〜１ｃの欠陥修正を行う場合、全てＴＦＴ側基板２側に光ビーム照射装置が存在することになる。
【００１２】
従来の表示装置の欠陥修正装置は、透過型液晶表示装置１ｂの欠陥修正を行うものとなっており、例えば図１３に示す構成を有している。この欠陥修正装置１０１は、点灯プローブ１０３と移動装置１０２とを備えている。点灯プローブ１０３は、透過型液晶表示装置１ｂにこれを点灯駆動する表示信号を供給するためのものである。移動装置１０２は、透過型液晶表示装置１ｂを点灯状態で移動させることができる移動ステージ１０２ａと、この移動ステージ１０２ａを支持する支持架台１０２ｂとを備えている。
【００１３】
欠陥修正装置１０１は、また、光ビーム照射装置１０４、第１ハーフミラー１０５と第２ハーフミラー１０６、レンズ切換装置１０７、落射照明装置１０８、カメラ１０９、モニタ１１０および透過照明装置１１１を備えている。
【００１４】
光ビーム照射装置１０４は、透過型液晶表示装置１ｂの欠陥部を修正するためのものであり、カメラ１０９は、光ビーム照射装置１０４による光ビーム照射箇所を確認し、透過型液晶表示装置１ｂの絵素の点灯状態を観察するためのものである。落射照明装置１０８は、カメラ１０９の撮像用の照明であり、第１ハーフミラー１０５および第２ハーフミラー１０６は、カメラ１０９と落射照明装置１０８に対する光路を導くものである。レンズ切換装置１０７は、光ビーム照射装置１０４から透過型液晶表示装置１ｂに光ビームを照射するため、および透過型液晶表示装置１ｂの表示状態を観察するために必要な数種類の倍率レンズを選択できるものであり、透過照明装置１１１は、光を照射し、これが透過型液晶表示装置１ｂを透過することにより、作業者４０やカメラ１０９に表示状態を示すためのものである。
【００１５】
つづいて、上記欠陥修正装置１０１による透過型液晶表示装置１ｂの欠陥修正方法について説明する。なお、この欠陥修正に先立ち、透過型液晶表示装置１ｂに対しては点灯検査が行われ、その欠陥箇所（欠陥絵素４３を含む箇所）に欠陥位置マーク４１が作業者４０によって記される。
【００１６】
まず、作業者４０は、透過照明装置１１１の光が透過型液晶表示装置１ｂを透過している状態で、対向側基板３に記された欠陥位置マーク４１を目視して、透過型液晶表示装置１ｂが光ビーム照射装置１０４の照射直下位置に来るように移動ステージ１０２ａを操作する。
【００１７】
つぎに、作業者４０は、ＴＦＴ側基板２側観察用のモニタ１１０を観察しながら、点灯プローブ１０３を介して駆動装置（図示せず）から付与される表示信号を切り換えて、図７（図７の上図）に示すように、モニタ１１０（モニタ表示画面１１０ａ）により欠陥絵素４３を確認できるようにする。
【００１８】
この時、作業者４０は、切り換えた表示信号とモニタ１１０上の欠陥絵素４３の表示状態の変化等から、あらかじめ定められた基準に従い、その欠陥の種類を判定する。
【００１９】
つぎに、作業者４０は、モニタ１１０を観察しながら、あらかじめ教示されている光ビーム照射位置教示マーク４４に欠陥絵素４３が重合するように移動ステージ１０２ａを操作する（図６の下図）。
【００２０】
つぎに、作業者４０は、レンズ切換装置１０７を操作して光ビーム照射用の倍率レンズにより、モニタ１１０を図８に示すような光ビーム照射設定用の表示とする。
【００２１】
つぎに、作業者４０は、欠陥の種類ごとにあらかじめ作成された修正手順群の中から、先に判定した欠陥の種類と合致する修正手順を選択して、光ビーム照射形状教示マーク４５を観察しながら、上記手順に示された光ビームの照射形状および照射強度等を設定し、ＴＦＴ配線部４６の前記手順に示された位置に光ビーム照射形状教示マーク４５が重合するように移動ステージ１０２ａを操作し、順次光ビームを照射する。
【００２２】
つぎに、作業者４０は、レンズ切換装置１０７を操作して欠陥修正確認用の倍率レンズにより、モニタ１１０を図７に示すような欠陥修正確認用の表示とする。
【００２３】
つぎに、作業者４０は、モニタ１１０を観察しながら、点灯プローブ１０３を介して付与される表示信号を切り換えて、欠陥絵素４３が修正されたか否かを判断する。以上の作業を、作業者４０は、各欠陥位置マーク４１について、順次行う。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の透過型液晶表示装置の欠陥修正装置１０１では、透過型液晶表示装置１ｂに対してのみ欠陥修正可能であり、反射型液晶表示装置１ｃに対する欠陥修正、および透過・反射型液晶表示装置１ａに対する完全な欠陥修正が不可能である。すなわち、透過型液晶表示装置１ｂの欠陥位置の特定に用いるカメラ１０９の撮像側（作業者４０の目視側）はＴＦＴ側基板２側であり、この側からでは、反射型液晶表示装置１ｃおよび透過・反射型液晶表示装置１ａの対向側基板３上に記された欠陥位置マーク４１や反射による点灯表示状態を確認することができない。この結果、欠陥の修正は不可能である。
【００２５】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、透過型の表示装置のみならず、反射型の表示装置、さらには透過型と反射型の両機能を併せ持つ表示装置に対しても、欠陥の修正を容易に、かつ確実に行うことができる表示装置の欠陥修正装置を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の表示装置の欠陥修正装置は、透過型、反射型、あるいは透過・反射型の表示装置の欠陥箇所を修正するための光ビームを照射する光ビーム照射手段と、前記表示装置を支持するとともに、この表示装置での前記光ビームの照射位置を変更する方向へ表示装置を移動可能な移動手段と、前記表示装置に表示信号を付与して表示装置の各絵素を表示状態に駆動する駆動手段と、前記駆動手段によって駆動される表示装置の絵素の表示状態を観察するための第１観察手段と、前記表示装置に光を透過させて表示状態を示すための透過照明手段と、前記表示装置に光を照射し反射光による表示状態を観察するための反射照明手段と、前記光ビーム照射手段による前記表示装置上での光ビーム照射位置を特定するための位置特定手段とを備えるとともに、前記第１観察手段および前記反射照明手段が前記表示装置の表示面側に設けられ、前記光ビーム照射手段および前記透過照明手段が前記表示装置に対して前記第１観察手段側とは反対側に設けられ、さらに、前記透過照明手段が、光源と、該光源からの出射光を拡散する光拡散部材と、該光拡散部材で拡散された光を前記表示装置へ導く導光部材とを備えていることを特徴としている。
【００２７】
上記の構成により、駆動手段により表示装置を駆動している状態において、透過照明手段および反射照明手段を作動させ、第１観察手段にて表示装置における絵素の表示状態を観察することにより、表示装置の欠陥絵素を特定することができる。その後、位置特定手段にて光ビーム照射手段による表示装置上での光ビーム照射位置を特定するとともに、この光ビーム照射位置と前記欠陥絵素の位置とが一致するように、移動手段にて表示装置を移動させ、光ビーム照射手段から前記欠陥絵素に対して光ビームを照射すれば、その欠陥絵素を修正することができる。
【００２８】
このとき、透過照明手段および反射照明手段によって、表示装置の透過型表示および反射型表示が可能となる。したがって、本発明の欠陥修正装置は、透過型、反射型、および透過型と反射型の機能を有する透過・反射型の各表示装置の欠陥の修正を容易かつ確実に行うことができる。その結果、表示装置の良品率を向上させて、商品のコストダウンを図ることができる。
【００２９】
さらに、光源からの出射光を光拡散部材で拡散し、導光部材で表示装置に導いて照射するため、透過型表示の光源を自由に配置することができる。この結果、欠陥修正装置の設計の自由度を広げることができるとともに、欠陥修正装置の小型化を容易に達成することができる。
【００３０】
加えて、本発明の表示装置の欠陥修正装置は、前記第１観察手段が前記表示装置の表示面側に設けられ、前記光ビーム照射手段が前記表示装置に対して前記第１観察手段側とは反対側に設けられている。この構成により、表示装置における実用時の視認方向と同じ方向から表示装置の欠陥を観察することができる。この結果、表示装置の実用時と差異のない表示状態の観察ができる。
【００３１】
本発明の表示装置の欠陥修正装置は、さらに、前記透過照明手段は、導光部材が光源からの出射光を前記光ビームと同一光路に導くように配設されていることを特徴としている。
【００３２】
上記の構成により、さらに、表示装置に対して、光ビームおよび透過型の照明光の２本の光路を確保する必要がないため、装置を大型にすることなく透過照明手段を設けることができる。
【００３３】
本発明の表示装置の欠陥修正装置は、さらに、前記光ビーム照射手段が、光ビーム照射の際に前記表示装置の欠陥箇所を観察するための第２観察手段を備えるとともに、前記透過照明手段が、前記第２観察手段のために前記表示装置の欠陥箇所への照明を行うことを特徴としている。
【００３４】
上記の構成により、さらに、第２観察手段を設けることによって、表示装置の光ビームを照射する配線部の位置確認、光ビームの照射面積の調整、光ビーム照射後の観察などを行うことができる。加えて、その際に必要な観察対象である欠陥箇所への照明を透過照明手段によって、装置を大型にすることなく、欠陥箇所の観察を行うことが可能となる。
【００３５】
本発明の表示装置の欠陥修正装置は、さらに、前記透過照明手段は、光拡散部材が光の拡散の程度を調整可能であることを特徴としている。
【００３６】
上記の構成により、さらに、透過照明手段によって、表示装置へ平行光を照射することができる。したがって、表示装置への入射光の平行性を上げ、表示装置の欠陥位置特定に際し、良好な照明を行うことが可能になる。また、透過照明手段によって、表示装置へ拡散光を照射することができる。したがって、表示装置への入射光の拡散性を上げ、表示装置の表示状態の観察に際し、良好な照明を行うことが可能になる。このように、目的に応じた特性の入射光を表示装置へ照射することができる。
【００３７】
本発明の表示装置の欠陥修正装置は、さらに、前記透過照明手段は、前記表示装置の照射領域を調整する照射領域調整部材を備えていることを特徴としている。
【００３８】
上記の構成により、さらに、照射領域調整部材によって、表示装置への照射光による照射領域が良好となるように調整されるので、第１観察手段および第２観察手段による表示装置の表示状態の観察と欠陥位置特定に際し、良好な照明を行うことが可能となる。
【００３９】
本発明の表示装置の欠陥修正装置は、さらに、前記第１観察手段による前記表示装置の観察範囲内の所定位置が、前記光ビーム照射手段による光ビーム照射位置に対応可能であることを特徴としている。
【００４０】
上記の構成により、さらに、第１観察手段による表示装置の観察範囲内の所定位置と光ビームの照射位置とが対応するので、欠陥箇所が上記所定位置にくるように表示装置を移動させるだけで、前記欠陥箇所が光ビームの照射位置に合致し、前記欠陥箇所に確実に光ビームを照射することが可能となる。
【００４１】
したがって、第１観察手段と光ビーム照射手段とを、必ずしも互いの光軸が一致するように配置する必要がない。この結果、第１観察手段および光ビーム照射手段の配置を様々に設定することができ、装置の設計の自由度を広げることができるとともに、装置の小型化を容易に達成することができる。
【００４２】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について図１から図１２に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００４３】
本実施の形態に係る表示装置の欠陥修正装置は、図１に示す構成となっている。この欠陥修正装置１１は、例えば図２に示す液晶表示装置（表示装置）１の欠陥箇所を修正するものである。この液晶表示装置１には、欠陥修正に先立ち、点灯検査が行われ、その欠陥箇所（欠陥絵素４３を含む箇所）に欠陥位置マーク４１が作業者４０によって記される。
【００４４】
液晶表示装置１は、ＴＦＴ側基板２と、対向側電極やカラーフィルタを形成する対向側基板３とが、液晶層（図示せず）を介して張り合わされた構造を有している。なお、以下の説明では、液晶表示装置１のうち、前述のように、透過型と反射型の両機能を併せ持つものを透過・反射型液晶表示装置（表示装置）１ａとして示し、欠陥修正装置１１は、この透過・反射型液晶表示装置１ａに対して欠陥修正を行うものとする。
【００４５】
欠陥修正装置１１は、移動装置１２、この移動装置１２に設けられた点灯プローブ装置１３を備えている。移動装置１２は、透過・反射型液晶表示装置１ａを点灯状態で移動させることができる移動ステージ（移動手段）１２ａと、この移動ステージ１２ａを支持する支持架台１２ｂとを有している。
【００４６】
点灯プローブ装置１３は、透過・反射型液晶表示装置１ａに点灯駆動用の表示信号を供給するための点灯プローブ（駆動手段）１３ａと、上記移動ステージ１２ａに設けられ、点灯プローブ１３ａを支持する支持架台１３ｂとを有している。透過・反射型液晶表示装置１ａと点灯プローブ装置１３は、移動ステージ１２ａに対して容易に着脱可能である。上記点灯プローブ１３ａには、上記表示信号を出力する駆動装置（駆動手段）３６が接続されている。なお、上記移動ステージ１２ａおよび支持架台１２ｂには、対向側基板３側からの透過・反射型液晶表示装置１ａの観察を可能とする開口部１２ａ₁、１２ｂ₁がそれぞれ形成されている。
【００４７】
欠陥修正装置１１は、また、点灯プローブ装置１３に取り付けられた透過・反射型液晶表示装置１ａのＴＦＴ側基板２側に、光ビーム照射装置（光ビーム照射手段）１４、第１ハーフミラー１５、第２ハーフミラー（透過照明手段，導光部材）１６、レンズ切換装置１７、落射照射装置（透過照明手段，光源）１８、照射部観察用カメラ（第２観察手段）１９、第１モニタ（第２観察手段）２０、拡散板（透過照明手段，光拡散部材）６１および拡散板切換装置（透過照明手段，光拡散部材）６２を備えている。
【００４８】
光ビーム照射装置１４は、透過・反射型液晶表示装置１ａの欠陥部を修正するための光ビームを照射するものである。第１ハーフミラー１５、第２ハーフミラー１６およびレンズ切換装置１７は、光ビーム照射装置１４から透過・反射型液晶表示装置１ａへの光路中にこの順序で設けられている。レンズ切換装置１７は、透過・反射型液晶表示装置１ａへの光ビーム照射のためのレンズ、透過・反射型液晶表示装置１ａの表示状態を観察するため観察用レンズ、透過・反射型液晶表示装置１ａ内の透過照明エリアを変化させる透過照明用レンズ（照射領域調整部材）６３（図３、図４）などの必要な数種類の倍率レンズを備え、これらのうちから選択されたレンズを上記光路中に配するものである。
【００４９】
落射照射装置１８は照射部観察用カメラ１９による撮像用の照明装置であり、この落射照射装置１８の光は第２ハーフミラー１６に反射されて透過・反射型液晶表示装置１ａに照射される。照射部観察用カメラ１９は、透過・反射型液晶表示装置１ａからの光を第１ハーフミラー１５を介して受けることにより、光ビーム照射装置１４からの透過・反射型液晶表示装置１ａに対する光ビーム照射位置を観察するためのものである。第１モニタ２０は照射部観察用カメラ１９から出力される映像を表示するものである。
【００５０】
また、落射照射装置１８は透過・反射型液晶表示装置１ａを透過させて表示状態を示すための透過照明用の照明装置であり、この落射照射装置１８から出射された光は拡散板切換装置６２の拡散板６１にて拡散され、第２ハーフミラー１６にて反射され、レンズ切換装置１７の透過照明用レンズ６３を通過して、透過・反射型液晶表示装置１ａに照射される。透過・反射型液晶表示装置１ａの透過照明エリアに照射されて、ここを通過した光は、後述する低倍率カメラ２１および高倍率カメラ２２にて受光され、透過・反射型液晶表示装置１ａの表示状態が観察される。
【００５１】
ここで、拡散板切換装置６２は、透過・反射型液晶表示装置１ａを透過させて表示状態を示すための透過光を拡散させる拡散板６１を、必要な数種類を備え、これらのうちから選択された拡散板６１を上記光路中に配するものである。例えば、拡散板切換装置６２は、図４に示すように、透過・反射型液晶表示装置１ａの全表示領域を照射する拡散光Ｌｄ２が透過照明用レンズ６３から出射されるような拡散光Ｌｄ１を生成する拡散板６１を備えていてもよい。
【００５２】
つぎに、透過照明用レンズ６３より出射される透過・反射型液晶表示装置１ａへの照射光について説明する。
【００５３】
落射照明装置１８より出射された光の光路中に、拡散板切換装置６２にて拡散板６１が配されなかった場合、図３に示すように、落射照明装置１８からの平行光Ｌｐ１は、レンズ切換装置１７の透過照明用レンズ６３のレンズ効果により、平行光Ｌｐ２として透過・反射型液晶表示装置１ａに照射されて、透過照明用レンズ６３の径とほぼ等しい透過照明エリア（照射領域）Ｓｐを透過する。
【００５４】
これに対して、落射照明装置１８より出射された光の光路中に、拡散板切換装置６２にて拡散板６１が配された場合、図４に示すように、落射照明装置１８から出射され拡散板６１にて拡散された拡散光Ｌｄ１は、レンズ切換装置１７の透過照明用レンズ６３を通過して、拡散光Ｌｄ２として透過・反射型液晶表示装置１ａに照射され、透過・反射型液晶表示装置１ａの全有効表示領域を含む透過照明エリア（照射領域）Ｓｄを透過する。
【００５５】
欠陥修正装置１１は、さらに、点灯プローブ装置１３に取り付けられた透過・反射型液晶表示装置１ａの対向側基板３側に、低倍率カメラ（第１観察手段）２１、高倍率カメラ（第１観察手段）２２、反射照明装置（反射照明手段）２３、マーク第１付与装置２４、マーク第２付与装置（位置特定手段）２５、カメラ表示切換器（第１観察手段）２６および第２モニタ（第１観察手段）２７を備えている。
【００５６】
低倍率カメラ２１は、作業者４０が高倍率カメラ２２の視野に欠陥絵素４３を導くための拡大視野追い込み用のカメラである。高倍率カメラ２２は、作業者４０が透過・反射型液晶表示装置１ａの後述する欠陥絵素４３を特定して、その欠陥絵素４３を光ビーム照射位置に移動させるための欠陥絵素位置特定用のカメラである。第２モニタ２７は、低倍率カメラ２１および高倍率カメラ２２による透過・反射型液晶表示装置１ａの表示状態を表示するものである。すなわち、作業者４０は、高倍率カメラ２２の出力映像を観察することにより欠陥絵素４３を特定し、その欠陥絵素４３を移動装置１２により光ビーム照射位置に移動させることができる。
【００５７】
マーク第１付与装置２４は、低倍率カメラ２１の視野内に高倍率カメラ２２の視野位置を特定して示すためのものである。これにより、カメラ表示切換器２６にて低倍率カメラ２１の出力を選択した際、図６に示す高倍率カメラ視野教示用マーク４２が付加された透過・反射型液晶表示装置１ａの映像がカメラ表示切換器２６を介して第２モニタ２７に表示される。マーク第２付与装置２５は、高倍率カメラ２２の視野内に光ビームの照射位置を特定して示すためのものである。これにより、カメラ表示切換器２６にて高倍率カメラ２２の出力を選択した際、光ビーム照射位置教示マーク４４が付加された透過・反射型液晶表示装置１ａの映像がカメラ表示切換器２６を介して第２モニタ２７に表示される。
【００５８】
マーク第１付与装置２４およびマーク第２付与装置２５は、カメラ画像の特定の位置に、カメラ画像に重ねてマークを表示させるための装置であり、例えばクロスライン発生器と呼ばれる装置からなる。このクロスライン発生器としては、例えば有限会社ナイス電子製の電子ライン発生器（DL-3201,D-3401,DL-3601等）を使用することができる。
【００５９】
第２モニタ２７は、カメラ表示切換器２６を介して入力される、高倍率カメラ２２および低倍率カメラ２１からの映像を表示するものである。そして、カメラ表示切換器２６は、第２モニタ２７に表示する映像を、高倍率カメラ２２の出力と低倍率カメラ２１の出力とから選択する切換装置である。
【００６０】
ここで、反射照明装置２３は、高倍率カメラ２２および低倍率カメラ２１によって、透過・反射型液晶表示装置１ａの反射光による表示状態を観察するための照明装置である。
【００６１】
また、前記の落射照明装置１８、拡散板６１、第２ハーフミラー１６、透過照明用レンズ６３は、ＴＦＴ側基板２側から透過・反射型液晶表示装置１ａに光を照射し、その透過光により、対向側基板３側に設けられた高倍率カメラ２１および低倍率カメラ２２が透過・反射型液晶表示装置１ａの表示画像を撮像できるようにするためのものである。そのため、拡散板６１および透過照明用レンズ６３は、落射照明装置１８が出射した光をＴＦＴ側基板２の所定の透過照明エリアにむらなく均一に拡散照射するように形成されている。
【００６２】
このように、欠陥修正装置１１では、光源（落射照明装置１８）からの出射光を拡散板６１で拡散し、第２ハーフミラー１６で透過・反射型液晶表示装置１ａに導光するため、光源を配線の欠陥箇所の観察のための光源と共通にすることができる。また、欠陥修正装置１１では、第２ハーフミラー１６およびレンズ切換装置１７を設けることによって、透過照明の拡散光の光路を、光ビーム１４からの光ビームの光路と一致させ、透過・反射型液晶表示装置１ａに対して同一の光軸から透過照明光および光ビームを照射することができる。よって、透過・反射型液晶表示装置１ａの全ての範囲に対して、光ビーム照射装置１４による光ビーム照射や、照射部観察用カメラ１９による光ビーム照射位置の観察視野が遮断されない。したがって、欠陥修正装置１１では、装置設計の自由度を狭めることなく、かつ、装置を大型化することなく、透過照明を行うことができる。
【００６３】
なお、透過・反射型液晶表示装置１ａがモジュール形態である場合、図５に示すように、モジュール形態の透過・反射型液晶表示装置５１は、モジュール形態用の保持点灯装置５２により保持され、かつ点灯駆動される。この構成においても、透過・反射型液晶表示装置５１と保持点灯装置５２は、透過・反射型液晶表示装置５１を点灯状態で移動させる移動ステージ１２ａに対して容易に着脱可能である。なお、５２はモジュール形態用の点灯プローブ装置であり、５２ａは前記点灯プローブ１３ａに対応する保持点灯接続部（駆動手段）、５２ｂは支持架台である。さらに、支持架台５２ｂには、対向側基板３側からの透過・反射型液晶表示装置１ａの観察を可能とする開口部５２ｂ₁が形成されている。
【００６４】
つぎに、本欠陥修正装置１１による透過・反射型液晶表示装置１ａの欠陥修正方法について説明する。
【００６５】
まず、作業者４０は、レンズ切換装置１７を操作して、透過照明用レンズ６３に切り換える。あわせて、照射透過エリアを広くしたい場合は、拡散板切換装置６２を操作して拡散板６１を光路中に配置して、透過照明の照射光を拡散光にする。
【００６６】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に低倍率カメラ２１により撮像された透過・反射型液晶表示装置１ａの図６（図６の上側）に示すような映像を表示させる。
【００６７】
つぎに、作業者４０は、反射照明装置２３もしくは落射照明装置１８の光量等を調整して、第２モニタ２７の表示画面、すなわち第２モニタ表示画面２７ａにおいて透過・反射型液晶表示装置１ａの対向側基板３に記された欠陥位置マーク４１を視認できるようにする。なお、同図に示す透過・反射型液晶表示装置１ａはもちろん、第２モニタ表示画面２７ａに表示されているものである。
【００６８】
つぎに、作業者４０は、図６（図６の下側）に示すように、第２モニタ２７に映し出された欠陥位置マーク４１が、あらかじめ所定位置、例えば第２モニタ表示画面２７ａの中央部に設定された高倍率カメラ視野教示用マーク４２と重合するように、移動ステージ１２ａを操作する。
【００６９】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に高倍率カメラ２２からの図７（図７の上側）に示すような映像、すなわち高倍率カメラ視野教示用マーク４２の位置における欠陥位置マーク４１の部分が拡大された映像を表示させる。
【００７０】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７を観察しながら、点灯プローブ１３ａを介して駆動装置３６から透過・反射型液晶表示装置１ａに付与される表示信号を切り換え、さらに、反射照明装置２３もしくは落射照明装置１８の光量と、レンズ切換装置１７等を調整し、図７に示すように、第１モニタ２０において欠陥絵素４３が確認できるようにする。
【００７１】
このとき、作業者４０は、切り換えた表示信号と、第１モニタ２０上の欠陥絵素４３についての上記表示信号の切り換えによる表示状態の変化等から、あらかじめ定められた基準に従って、欠陥絵素４３の欠陥の種類を判定する。
【００７２】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７を観察しながら、図７（図７の下側）に示すように、あらかじめ所定位置、例えば第２モニタ表示画面２７ａの中央部に設定されている光ビーム照射位置教示マーク４４に欠陥絵素４３が重合するように移動ステージ１２ａを操作する。
【００７３】
つぎに、作業者４０は、レンズ切換装置１７を操作して、光ビーム照射用の倍率レンズにより、第１モニタ２０（第１モニタ表示画面２０ａ）を図８に示すような光ビーム照射設定用の表示とする。
【００７４】
つぎに、作業者４０は、欠陥絵素４３における欠陥の種類ごとにあらかじめ作成されている修正手順群のうちから、先に判定した欠陥の種類と合致する修正手順を選択する。そして、光ビーム照射装置１４からの光ビームの照射形状を示す光ビーム照射形状教示マーク４５を観察しながら、上記手順に示された光ビーム照射形状および照射強度等を設定する。さらに、透過・反射型液晶表示装置１ａにおけるＴＦＴ配線部４６の上記手順に示された位置に光ビーム照射形状教示マーク４５が重合するように移動ステージ１２ａを操作し、光ビーム照射装置１４から順次光ビームを照射する。
【００７５】
つぎに、作業者４０は、再び、レンズ切換装置１７を操作して、透過照明用レンズ６３に切り換える。あわせて、照射透過エリアを広くしたい場合は、拡散板切換装置６２を操作して拡散板６１を光路中に配置して、透過照明の照射光を拡散光にする。
【００７６】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に、高倍率カメラ２２もしくは低倍率カメラ２１からの映像を選択して表示させる。そして、第２モニタ２７を観察しながら、点灯プローブ１３ａを介して駆動装置３６から透過・反射型液晶表示装置１ａに付与される表示信号を切り換え、さらに、反射照明装置２３もしくは落射照明装置１８の光量等を調整して、欠陥絵素４３が修正されたか否かを判断する。以上の作業を、作業者４０は、各欠陥位置マーク４１について、順次行う。
【００７７】
ここで、図６に示した高倍率カメラ視野教示用マーク４２と、図７に示した光ビーム照射位置教示マーク４４と、図８に示した光ビーム照射形状教示マーク４５の各位置を関連付ける方法について説明する。
【００７８】
まず、作業者４０は、レンズ切換装置１７を操作して光ビーム照射用の倍率レンズにより第１モニタ２０を図８に示すような光ビーム照射設定用の表示とする。
【００７９】
つぎに、作業者４０は、第１モニタ２０の表示画面の任意のコーナーにおける透過・反射型液晶表示装置１ａの最外郭の絵素、例えば最上段右端の絵素の中心が光ビーム照射形状教示マーク４５と重なるように移動ステージ１２ａを操作する。
【００８０】
つぎに、作業者４０は、レンズ切換装置１７を操作して、透過照明用レンズ６３に切り換え、必要に応じて拡散板切換装置６２を操作して透過照明用の照射光を拡散光にする。
【００８１】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に欠陥絵素位置特定用の高倍率カメラ２２からの図７に示すような映像を表示させる。
【００８２】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７に表示されている映像における、上記の最上段右端の絵素に光ビーム照射位置教示マーク４４が重なるように、マーク第２付与装置２５を操作して、光ビーム照射位置教示マーク４４の位置を調整する。
【００８３】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に低倍率カメラ２１からの図６に示すような映像を表示させる。
【００８４】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７に表示されている映像における、上記の最上段右端の絵素に高倍率カメラ視野教示用マーク４２が重なるように、マーク第１付与装置２４を操作して、高倍率カメラ視野教示用マーク４２の位置を調整する。
【００８５】
以上の作業により、低倍率カメラ２１内の高倍率カメラ２２の視野位置、すなわち高倍率カメラ視野教示用マーク４２と、高倍率カメラ２２内の光ビーム照射位置、すなわち光ビーム照射位置教示マーク４４とを、各カメラ視野光軸が一致していなくても、関連付けることができる。
【００８６】
なお、本実施の形態では、表示装置として透過・反射型液晶表示装置１ａの欠陥修正を例に挙げて説明したが、本欠陥修正装置１１は、透過型液晶表示装置１ｂおよび反射型液晶表示装置１ｃの欠陥修正にも適応することができるのはもちろんである。
【００８７】
また、本欠陥修正装置１１は、例えば、低温ポリシリコン液晶表示装置、高温ポリシリコン液晶表示装置、ＬＣＤオン単結晶シリコンデバイス、ＥＬ表示装置、プラズマ表示装置、プラズマアドレス液晶表示装置（ＰＡＬＣ）等の表示装置に存在する欠陥の修正にも適応することが可能である。
【００８８】
さらに、本欠陥修正装置１１は、欠陥箇所の修正を行うだけでなく、修正工程前の点灯検査のための装置としても単独で十分に使用できるものであり、また点灯検査装置および欠陥修正装置の両機能を備えた欠陥検査修正装置としても使用可能である。
【００８９】
なお、以下において、図９に基づき、本欠陥修正装置１１を得る前提となった、反射型液晶表示装置１ｃの欠陥修正装置７１について説明しておく。
【００９０】
この欠陥修正装置７１は、図９に示すように、移動装置１２、この移動装置１２に設けられた点灯プローブ１３ａを備えている。点灯プローブ１３ａは、反射型液晶表示装置１ｃに点灯駆動用の表示信号を供給するためのものである。
【００９１】
欠陥修正装置７１は、また、点灯プローブ１３ａに取り付けられた反射型液晶表示装置１ｃのＴＦＴ側基板２側に、光ビーム照射装置１４、第１ハーフミラー１５、第２ハーフミラー１６、レンズ切換装置１７、落射照射装置１８、照射部観察用カメラ１９および第１モニタ２０を備えている。
【００９２】
欠陥修正装置７１は、さらに、点灯プローブ１３ａに取り付けられた反射型液晶表示装置１ｃの対向側基板３側に、低倍率カメラ２１、高倍率カメラ２２、反射照明装置２３、マーク第１付与装置２４、マーク第２付与装置２５、カメラ表示切換器２６および第２モニタ２７を備えている。
【００９３】
つぎに、本欠陥修正装置７１による反射型液晶表示装置１ｃの欠陥修正方法について説明する。
【００９４】
まず、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に低倍率カメラ２１により撮像された反射型液晶表示装置１ｃの図６（図６の上側）に示すような映像を表示させる。
【００９５】
つぎに、作業者４０は、反射照明装置２３の照射光により、第２モニタ表示画面２７ａにおいて、図６（図６の下側）に示すように、反射型液晶表示装置１ｃの対向側基板３に記された欠陥位置マーク４１が第２モニタ表示画面２７ａの所定位置に設定された高倍率カメラ視野教示用マーク４２と重合するように、移動ステージ１２ａを操作する。
【００９６】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に欠陥絵素位置特定用の高倍率カメラ２２からの図７（図７の上側）に示すような映像を表示させる。
【００９７】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７を観察しながら、点灯プローブ１３ａを介して反射型液晶表示装置１ｃに付与される表示信号を切り換えて、第１モニタ２０において欠陥絵素４３が確認できるようにする。この時、作業者４０は、切り換えた表示信号とモニタ上欠陥絵素の表示状態の変化等から、あらかじめ定められた基準に従い、その欠陥の種類を判定する。
【００９８】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７を観察しながら、図７（図７の下側）に示すように、所定位置に設定されている光ビーム照射位置教示マーク４４に欠陥絵素４３が重合するように移動ステージ１２ａを操作する。
【００９９】
つぎに、作業者４０は、レンズ切換装置１７を操作して、光ビーム照射用の倍率レンズにより、第１モニタ表示画面２０ａを図８に示すような光ビーム照射設定用の表示とする。
【０１００】
つぎに、作業者４０は、欠陥絵素４３における欠陥の種類ごとにあらかじめ作成されている修正手順群のうちから、先に判定した欠陥種類と合致する修正手順を選択する。そして、光ビーム照射形状教示マーク４５を観察しながら、上記手順に示された光ビーム照射形状および照射強度等を設定する。さらに、反射型液晶表示装置１ｃにおけるＴＦＴ配線部４６の上記手順に示された位置に光ビーム照射形状教示マーク４５が重合するように移動ステージ１２ａを操作し、光ビーム照射装置１４から順次光ビームを照射する。
【０１０１】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に、高倍率カメラ２２もしくは低倍率カメラ２１からの映像を選択して表示させる。そして、第２モニタ２７を観察しながら、点灯プローブ１３ａを介して反射型液晶表示装置１ｃに付与される表示信号を切り換えて、欠陥絵素４３が修正されたか否かを判断する。以上の作業を、作業者４０は、各欠陥位置マーク４１について、順次行う。
【０１０２】
上記のような欠陥修正装置７１では、反射型液晶表示装置１ｃに対してのみ修正可能であった。すなわち、欠陥修正装置７１では、低倍率カメラ２１および高倍率カメラ２２による透過型液晶表示装置１ｂの欠陥撮像用となる、ＴＦＴ側基板２方向からの透過型液晶表示装置１ｂの透過光源が、落射照射装置１８のみである。そして、この落射照射装置１８にて透過できる範囲は微小であるため、初期観察用の低倍率カメラ２１にて透過型液晶表示装置１ｂの欠陥を識別できない。この結果、透過型液晶表示装置１ｂに対する欠陥修正が不可能であった。
【０１０３】
さらに、以下において、図１０から図１２、図２および図６から図８に基づき、本欠陥修正装置１１を得る前提となった、透過・反射型液晶表示装置１ａの欠陥修正装置８１について説明しておく。
【０１０４】
この欠陥修正装置８１は、図１０に示すように、移動装置１２、この移動装置１２に設けられた点灯プローブ装置１３、および透過照明装置２８を備えている。移動装置１２は、透過・反射型液晶表示装置１ａを点灯状態で移動させることができる移動ステージ１２ａと、この移動ステージ１２ａを支持する支持架台１２ｂとを有している。
【０１０５】
点灯プローブ装置１３は、透過・反射型液晶表示装置１ａに点灯駆動用の表示信号を供給するための点灯プローブ１３ａと、上記移動ステージ１２ａに設けられ、点灯プローブ１３ａを支持する支持架台１３ｂとを有している。透過・反射型液晶表示装置１ａと点灯プローブ装置１３は、移動ステージ１２ａに対して容易に着脱可能である。上記点灯プローブ１３ａには、上記表示信号を出力する駆動装置３６が接続されている。なお、上記移動ステージ１２ａ、支持架台１２ｂおよび支持架台１３ｂには、対向側基板３側からの透過・反射型液晶表示装置１ａの観察を可能とする開口部１２ａ₁、１２ｂ₁、１３ｂ₁がそれぞれ形成されている。
【０１０６】
透過照明装置２８は、点灯プローブ装置１３に取り付けられた状態の透過・反射型液晶表示装置１ａにおけるＴＦＴ側基板２の外面に沿うように設けられ、支持部材２９を介して、上記支持架台１２ｂに支持されている。
【０１０７】
欠陥修正装置８１は、また、点灯プローブ装置１３に取り付けられた透過・反射型液晶表示装置１ａのＴＦＴ側基板２側に、光ビーム照射装置１４、第１ハーフミラー１５、第２ハーフミラー１６、レンズ切換装置１７、落射照射装置１８、照射部観察用カメラ１９および第１モニタ２０を備えている。
【０１０８】
光ビーム照射装置１４は、透過・反射型液晶表示装置１ａの欠陥部を修正するための光ビームを照射するものである。第１ハーフミラー１５、第２ハーフミラー１６およびレンズ切換装置１７は、光ビーム照射装置１４から透過・反射型液晶表示装置１ａへの光路中にこの順序で設けられている。レンズ切換装置１７は、透過・反射型液晶表示装置１ａへの光ビームの照射状態や透過・反射型液晶表示装置１ａの表示状態を観察するために必要な数種類の倍率レンズを備え、これらのうちから選択されたレンズを上記光路中に配するものである。落射照射装置１８は照射部観察用カメラ１９による撮像用の照明装置であり、この落射照射装置１８の光は第２ハーフミラー１６に反射されて透過・反射型液晶表示装置１ａに照射される。照射部観察用カメラ１９は、透過・反射型液晶表示装置１ａからの光を第１ハーフミラー１５を介して受けることにより、光ビーム照射装置１４からの透過・反射型液晶表示装置１ａに対する光ビーム照射位置を観察するためのものである。第１モニタ２０は照射部観察用カメラ１９から出力される映像を表示するものである。
【０１０９】
欠陥修正装置８１は、さらに、点灯プローブ装置１３に取り付けられた透過・反射型液晶表示装置１ａの対向側基板３側に、低倍率カメラ２１、高倍率カメラ２２、反射照明装置２３、マーク第１付与装置２４、マーク第２付与装置２５、カメラ表示切換器２６および第２モニタ２７を備えている。
【０１１０】
低倍率カメラ２１は、作業者４０が高倍率カメラ２２の視野に欠陥絵素４３を導くための拡大視野追い込み用のカメラである。高倍率カメラ２２は、作業者４０が透過・反射型液晶表示装置１ａの欠陥絵素４３を特定して、その欠陥絵素４３を光ビーム照射位置に移動させるための欠陥絵素位置特定用のカメラである。すなわち、作業者４０は、高倍率カメラ２２の出力映像を観察することにより欠陥絵素４３を特定し、その欠陥絵素４３を移動装置１２により光ビーム照射位置に移動させることができる。反射照明装置２３は、高倍率カメラ２２および低倍率カメラ２１による透過・反射型液晶表示装置１ａの表示画像撮像用の照明装置である。
【０１１１】
マーク第１付与装置２４は、低倍率カメラ２１の視野内に高倍率カメラ２２の視野位置を特定して示すためのものである。これにより、カメラ表示切換器２６にて低倍率カメラ２１の出力を選択した際、図６に示す高倍率カメラ視野教示用マーク４２が付加された透過・反射型液晶表示装置１ａの映像がカメラ表示切換器２６を介して第２モニタ２７に表示される。マーク第２付与装置２５は、高倍率カメラ２２の視野内に光ビームの照射位置を特定して示すためのものである。これにより、カメラ表示切換器２６にて高倍率カメラ２２の出力を選択した際、光ビーム照射位置教示マーク４４が付加された透過・反射型液晶表示装置１ａの映像がカメラ表示切換器２６を介して第２モニタ２７に表示される。
【０１１２】
マーク第１付与装置２４およびマーク第２付与装置２５は、カメラ画像の特定の位置に、カメラ画像に重ねてマークを表示させるための装置であり、例えばクロスライン発生器と呼ばれる装置からなる。このクロスライン発生器としては、例えば有限会社ナイス電子製の電子ライン発生器（DL-3201,D-3401,DL-3601等）を使用することができる。
【０１１３】
第２モニタ２７は、カメラ表示切換器２６を介して入力される、高倍率カメラ２２および低倍率カメラ２１からの映像を表示するものである。そして、カメラ表示切換器２６は、第２モニタ２７に表示する映像を、高倍率カメラ２２の出力と低倍率カメラ２１の出力とから選択する切換装置である。
【０１１４】
前記の透過照明装置２８は、ＴＦＴ側基板２側から透過・反射型液晶表示装置１ａに光を照射し、その透過光により、対向側基板３側に設けられた高倍率カメラ２１および低倍率カメラ２２が透過・反射型液晶表示装置１ａの表示画像を撮像できるようにするためのものである。
【０１１５】
透過照明装置２８は、透過・反射型液晶表示装置１ａとレンズ切換装置１７との間に配設可能なように、薄型に形成されている。透過照明装置２８は、図１１（ａ）（ｂ）に示すように、筐体３１の内部に、光源となる複数の細型の蛍光管３２を有している。透過照明装置２８は、さらに、蛍光管３２から放出される光とその反射光が均一となるように工夫された反射板３３と、蛍光管３２から放出される光と反射板３３にて反射される光とがむらなく均一に拡散するように工夫された拡散板３４とを有している。上記反射板３３は蛍光管３２に対する透過・反射型液晶表示装置１ａ側とは反対側位置に設けられ、上記拡散板３４は蛍光管３２に対する透過・反射型液晶表示装置１ａ側位置に設けられている。
【０１１６】
また、透過照明装置２８には、光ビーム照射装置１４による光ビーム照射や、照射部観察用カメラ１９による光ビーム照射位置の観察視野を遮断しないように、開口部３５が形成されている。この開口部３５は、透過照明装置２８が透過・反射型液晶表示装置１ａを点灯状態で移動させる移動ステージ１２ａから分離して固定されているため、移動ステージ１２ａの移動に伴って透過・反射型液晶表示装置１ａが移動した場合であっても移動しない。したがって、透過・反射型液晶表示装置１ａの全ての範囲に対して、光ビーム照射装置１４による光ビーム照射や、照射部観察用カメラ１９による光ビーム照射位置の観察視野が遮断されることはない。
【０１１７】
なお、透過・反射型液晶表示装置１ａがモジュール形態である場合、図１２に示すように、モジュール形態の透過・反射型液晶表示装置５１は、モジュール形態用の保持点灯装置５２により保持され、かつ点灯駆動される。この構成においても、透過・反射型液晶表示装置５１と保持点灯装置５２は、透過・反射型液晶表示装置５１を点灯状態で移動させる移動ステージ１２ａに対して容易に着脱可能である。なお、５２はモジュール形態用の点灯プローブ装置であり、５２ａは前記点灯プローブ１３ａに対応する保持点灯接続部、５２ｂは支持架台、５２ｂ₁は前記開口部１３ｂ₁に対応する開口部である。
【０１１８】
つぎに、本欠陥修正装置８１による透過・反射型液晶表示装置１ａの欠陥修正方法について説明する。
【０１１９】
まず、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に低倍率カメラ２１により撮像された透過・反射型液晶表示装置１ａの図６（図６の上側）に示すような映像を表示させる。
【０１２０】
つぎに、作業者４０は、反射照明装置２３もしくは透過照明装置２８の光量等を調整して、第２モニタ２７の表示画面、すなわち第２モニタ表示画面２７ａにおいて透過・反射型液晶表示装置１ａの対向側基板３に記された欠陥位置マーク４１を視認できるようにする。なお、同図に示す透過・反射型液晶表示装置１ａはもちろん、第２モニタ表示画面２７ａに表示されているものである。
【０１２１】
つぎに、作業者４０は、図５（図５の下側）に示すように、第２モニタ２７に映し出された欠陥位置マーク４１が、あらかじめ所定位置、例えば第２モニタ表示画面２７ａの中央部に設定された高倍率カメラ視野教示用マーク４２と重合するように、移動ステージ１２ａを操作する。
【０１２２】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に高倍率カメラ２２からの図７（図７の上側）に示すような映像、すなわち高倍率カメラ視野教示用マーク４２の位置における欠陥位置マーク４１の部分が拡大された映像を表示させる。
【０１２３】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７を観察しながら、点灯プローブ１３ａを介して駆動装置３６から透過・反射型液晶表示装置１ａに付与される表示信号を切り換え、さらに、反射照明装置２３もしくは透過照明装置２８の光量等を調整し、第１モニタ２０において欠陥絵素４３が確認できるようにする。
【０１２４】
このとき、作業者４０は、切り換えた表示信号と、第１モニタ２０上の欠陥絵素４３についての上記表示信号の切り換えによる表示状態の変化等から、あらかじめ定められた基準に従って、欠陥絵素４３の欠陥の種類を判定する。
【０１２５】
つぎに、作業者４０は、第２モニタ２７を観察しながら、図７（図７の下側）に示すように、あらかじめ所定位置、例えば第２モニタ表示画面２７ａの中央部に設定されている光ビーム照射位置教示マーク４４に欠陥絵素４３が重合するように移動ステージ１２ａを操作する。
【０１２６】
つぎに、作業者４０は、レンズ切換装置１７を操作して、光ビーム照射用の倍率レンズにより、第１モニタ２０（第１モニタ表示画面２０ａ）を図８に示すような光ビーム照射設定用の表示とする。
【０１２７】
つぎに、作業者４０は、欠陥絵素４３における欠陥の種類ごとにあらかじめ作成されている修正手順群のうちから、先に判定した欠陥の種類と合致する修正手順を選択する。そして、光ビーム照射装置１４からの光ビームの照射形状を示す光ビーム照射形状教示マーク４５を観察しながら、上記手順に示された光ビーム照射形状および照射強度等を設定する。さらに、透過・反射型液晶表示装置１ａにおけるＴＦＴ配線部４６の上記手順に示された位置に光ビーム照射形状教示マーク４５が重合するように移動ステージ１２ａを操作し、光ビーム照射装置１４から順次光ビームを照射する。
【０１２８】
つぎに、作業者４０は、カメラ表示切換器２６を操作して、第２モニタ２７に、高倍率カメラ２２もしくは低倍率カメラ２１からの映像を選択して表示させる。そして、第２モニタ２７を観察しながら、点灯プローブ１３ａを介して透過・反射型液晶表示装置１ａに付与される表示信号を切り換え、さらに、反射照明装置２３もしくは透過照明装置２８の光量等を調整して、欠陥絵素４３が修正されたか否かを判断する。以上の作業を、作業者４０は、各欠陥位置マーク４１について、順次行う。
【０１２９】
上記のような欠陥修正装置８１では、透過型および反射型液晶表示装置の修正が可能であるが、透過型液晶表示装置１ｂに対しては、透過照明装置２８が新たに必要となる。しかし、透過照明装置２８は透過型液晶表示装置１ｂとレンズ切換装置１７との間の空間に設置する必要がある。そして、レンズの倍率が約５０倍の時、透過型液晶表示装置１ｂとレンズとの距離がレンズの焦点深度との関係から約５ｍｍ程度しか確保できないため、この空間に透過照明装置２８を設置する場合、超薄型の透過照明装置２８が必要となる。
【０１３０】
ここで、透過照明装置２８には、例えば液晶ディスプレイ等で使用されるバックライト等が利用できる。しかし、液晶ディスプレイのバックライトには光ビーム照射やカメラによる光ビーム照射位置観察用の開口部等は形成されないため、このバックライトを透過照明装置２８として使用するためには、開口部等を追加工する必要がある。また、バックライトは現在３ｍｍ厚が限界であり、透過型液晶表示装置１ｂとレンズ切換装置１７との間に、バックライトおよびバックライトを保持する機構等を設置すると、レンズ焦点調整量が確保できないという問題がある。
【０１３１】
そして、今後、液晶表示装置の絵素がますます超精細化するにともなって、レンズ倍率が拡大された場合、透過照明装置２８の超薄型化がさらに必要となる。その結果、透過照明装置２８を超薄型に対応が不可能である場合、欠陥修正装置８１では欠陥の修正が不可能になる。
【０１３２】
つまり、先述した従来の欠陥修正装置１０１および上記欠陥修正装置７１では、透過型もしくは反射型のどちらか１種類のみの液晶表示装置の欠陥修正しかできないため、液晶表示装置における反射型と透過型との生産量比が変動した場合、それぞれの欠陥修正装置の過不足が生じ、非効率的である。
【０１３３】
特に、透過・反射型液晶表示装置１ａについては、その欠陥が透過表示状態で顕著となる場合や反射表示状態で顕著となる場合が混在している。そして、透過型液晶表示装置１ｂ用の欠陥修正装置１０１、および反射型液晶表示装置１ｃ用の欠陥修正装置７１の両者とも、反射型と透過型の両方の表示状態を実現できない。したがって、両者とも、透過・反射型液晶表示装置１ａに対しては、欠陥の識別および修正後の確認ができず、この結果、欠陥の修正が不可能であった。
【０１３４】
この点、透過・反射型液晶表示装置１ａ用の欠陥修正装置８１は、透過・反射型液晶表示装置１ａ、透過型液晶表示装置１ｂおよび反射型液晶表示装置１ｃの何れに対しても、その欠陥の修正が可能である。しかし、欠陥修正装置８１には、透過照明装置２８に特殊な加工を施す必要があることや、将来、液晶表示装置の絵素が高精細化したとき、設置空間が制約されるという懸念がある。
【０１３５】
これに対して、本実施の形態に係る欠陥修正装置１１では、落射照明装置１８から出射された光を拡散板６１によって拡散し、透過照明用レンズ６３で透過型液晶表示装置１ｂ上での表示領域を調整して透過型表示を行うため、透過型液晶表示装置１ｂとレンズ切換装置１７との間の空間に何も設置する必要がない。すなわち、欠陥修正装置１１によれば、透過型表示のために新たな透過照明装置を設けることなく、透過・反射型液晶表示装置１ａ、透過型液晶表示装置１ｂおよび反射型液晶表示装置１ｃの何れに対しても、その欠陥の修正が可能である。さらに、液晶表示装置１の全ての範囲に対して、光ビーム照射装置１４による光ビーム照射や、照射部観察用カメラ１９による光ビーム照射位置の観察視野が遮断されることがない。
【０１３６】
なお、本実施の形態は本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能であり、例えば、以下のように構成することができる。
【０１３７】
本発明に係る表示装置の欠陥修正装置は、表示装置の欠陥個所を修正するための光ビームを照射する光ビーム照射手段と、前記表示装置を支持するとともに、この表示装置での前記光ビーム照射手段の光ビーム照射位置を変更する方向へ表示装置を移動可能な移動手段と、前記表示装置に表示信号を付与して表示装置の各絵素を表示状態に駆動する表示装置の駆動手段と、前記表示装置の駆動手段によって駆動される絵素の表示状態を観察して欠陥個所を判定する観察手段と、前記表示装置の透過型表示および反射型表示を可能とする照明手段と、前記光ビーム照射手段による前記表示装置上での光ビーム照射位置を特定するための位置特定手段を有する構成としてもよい。
【０１３８】
この構成によれば、駆動手段により表示装置を駆動している状態において、照明手段を作動させ、観察手段にて表示装置における絵素の表示状態を観察することにより、表示装置の欠陥絵素を特定することができる。その後、位置特定手段にて光ビーム照射手段による表示装置上での光ビーム照射位置を特定するとともに、この光ビーム照射位置と前記欠陥絵素の位置とが一致するように、移動手段にて表示装置を移動させ、光ビーム照射手段から前記欠陥絵素に対して光ビームを照射すれば、その欠陥絵素を修正することができる。
【０１３９】
このとき、前記照明手段は表示装置の透過型表示装置および反射型表示装置を可能とする。したがって、上記の構成の欠陥修正装置によれば、透過型、反射型、および透過型と反射型の機能を有する透過・反射型の各表示装置の欠陥の修正を容易にかつ確実に行うことができる。その結果、表示装置の良品率を向上させて、商品のコストダウンを図ることができる。
【０１４０】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記観察手段における観察範囲の所定の位置が、前記光ビーム照射手段の光ビーム照射位置に対応しており、前記移動手段が、前記観察手段によって欠陥と判断される個所が前記所定の位置にくるように前記表示装置を移動させる構成としてもよい。
【０１４１】
この構成によれば、観察手段の観察範囲内の所定の位置と光ビームの照射位置とが対応しているので、欠陥箇所が前記所定位置にくるように表示装置を移動させるだけで、前記欠陥箇所が自ずと前記照射位置に合致し、前記欠陥箇所に確実に光ビームを照射することが可能となる。したがって、観察手段と光ビーム照射手段とを、必ずしも互いの光軸が一致するように配置する必要がない。その結果、観察手段および光ビーム照射手段の配置を様々に設定することができ、装置の設計の自由度を広げることができるとともに、設計次第では装置の小型化を図ることができる。
【０１４２】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記光ビーム照射手段が、当該表示装置の光ビームが受光する配線部の位置確認、光ビームの受光する面積の調整、および光ビームの受光後の状況を観察するための、各種倍率が選択できるカメラ手段と、前記カメラ手段のための落射照明手段とを有し、前記落射照明手段が、当該表示装置の光ビーム受光部分の透過照明機能を併せ持つ構成としてもよい。
【０１４３】
この構成によれば、当該表示装置の光ビームが受光する配線部の位置確認時には、配線部の位置確認に最適となる倍率視野が、光ビームの受光する面積の調整時には、光ビームの受光する面積の調整に最適となる倍率視野が、また、光ビームの受光後の状況を観察する場合には、光ビームの受光後の状況の観察に最適となる倍率視野が逐次選択でき、必要な作業に最適な倍率視野が提供できる。
【０１４４】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記照明手段が、前記表示装置の表示面側に設けられた反射型表示用の反射照明装置と、前記表示装置に対して表示面とは反対側に位置する、前記光ビーム照射観察カメラ用の落射照明を使用し透過型表示用の透過照明に用いる構成としてもよい。
【０１４５】
この構成によれば、透過型、反射型、および透過型と反射型との機能を有する透過・反射型の各表示装置の表示状態を容易にかつ確実に得ることができる。
【０１４６】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記観察手段が前記表示装置の表示面側に設けられ、前記光ビーム照射手段が前記表示装置に対して前記観察手段とは反対側に設けられている構成としてもよい。
【０１４７】
この構成によれば、表示装置における実用時の視認方向と同じ方向から表示装置の欠陥を観察することができる。この結果、表示装置の実用時と差異のない表示状態の観察ができる。
【０１４８】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記透過表示用の照明手段が、照射エリアを変化させるレンズ機能を有する構成としてもよい。
【０１４９】
この構成によれば、照射エリアを変化させることのできるレンズを具備することにより、表示装置への入射光のエリアが良好となるように調整されるので、観察手段による表示装置の表示状態の観察と欠陥位置特定に際し、良好な照明を提供することができる。
【０１５０】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記透過表示用の照明手段が、照射光を平行光で照射させる機能を有する構成としてもよい。
【０１５１】
この構成によれば、照射光を平行光で照射することにより、表示装置への入射光の平行性を上げ、表示装置の欠陥位置特定に際し、良好な照明を提供することができる。
【０１５２】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記透過表示用の照明手段が、照射光を拡散光で照射させる機能を有する構成としてもよい。
【０１５３】
この構成によれば、照射光を拡散光で照射することにより、表示装置への入射光の拡散性を上げ、表示装置の表示状態の観察に際し、良好な照明を提供することができる。
【０１５４】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記透過表示用の照明手段が、照明強度を調節する手段を有している構成としてもよい。
【０１５５】
この構成によれば、表示装置の入射光の強度が調整されることにより、観察手段による表示装置の表示状態の観察と欠陥位置の特定に際し、良好な照明を提供することができる。
【０１５６】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記反射表示用の照明手段が、照明強度を調節する手段と、さらに、射出する光の当該表示装置に対する入射角度を調節する手段とを有している構成としてもよい。
【０１５７】
この構成によれば、表示装置への入射角度の調整機構により、入射角度が良好となるよう調整され、入射光の強度も調整できることにより、観察手段による表示装置の表示状態の観察と欠陥位置の特定に際し、良好な照明を提供することができる。
【０１５８】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記表示装置の観察手段が、表示装置の観察する範囲を変化させる機能を有する構成としてもよい。
【０１５９】
この構成によれば、表示装置の欠陥の判定時には、各絵素の観察に最適の大きさとなる倍率視野が得られ、位置特定時には、欠陥を光ビーム照射位置に導くために最適な倍率視野が得られる。また、上記観察手段によって、点欠陥や線欠陥の欠陥修正を容易に、かつ、確実に行うことができる。
【０１６０】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記表示装置の駆動手段が、欠陥個所を判
定するために、付与する表示信号を変化させる機能を有する構成としてもよい。
【０１６１】
この構成によれば、特定の表示信号による表示状態だけでなく、数種類の表示信号による表示状態と、表示信号を変化させたときの表示状態の変化等を総合して表示状態を観察することができ、より確実な欠陥の検出ができる。さらに、表示装置の種類にあわせた信号を装置上で選択することが可能であり、表示装置の種類に関わらず、欠陥の識別確認を容易に、かつ、確実に行うことができる。
【０１６２】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記表示装置の観察手段と欠陥位置特定手段が、前記表示装置の駆動手段によって様々に駆動される前記表示装置の表示状態から、作業者の目視観察や、表示状態を画像認識して、あるいは、その両方を併用して欠陥の存在と、欠陥個所位置を特定し、光ビーム照射位置に欠陥箇所を導く機能を有する構成としてもよい。
【０１６３】
この構成によれば、表示装置の種類に関わらず、作業者は、観察手段によって欠陥を容易に確認することができ、また、画像認識機能を付加することで、より容易に、あるいは自動的に欠陥の判定ができる。また、欠陥位置特定手段により、検出した欠陥を、容易に、あるいは、自動的に光ビーム照射位置に欠陥箇所を導くことができる。
【０１６４】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記移動手段の表示装置支持部が、当該表示装置の表示状態を、表側および裏側から観察できる開口部を有している構成としてもよい。
【０１６５】
この構成によれば、移動手段に開口部が形成されていることにより、表示装置に対し、表裏どちらの方向からも光路を遮断することがない。したがって、表示装置に対して、透過照明と反射照明との両方の照明装置を備えることができる。また、表示装置に対して、表裏どちらの方向からも、検察手段、光ビーム照射手段を備えることができる。
【０１６６】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記移動手段の表示装置支持部が、当該表示装置が駆動回路装着前のパネル状態であるときに、該パネルの端子部に前記表示装置の駆動手段からの駆動信号を通電する通電手段と、前記通電手段を該パネル端子部に対して離接させる離接手段とを有し、移動手段から容易に分離できる構成としてもよい。
【０１６７】
この構成によれば、表示装置がパネル状態のとき、離接手段によって通電手段が表示装置の端子部に例えば圧接され、通電手段を介して表示信号が上記表示装置に通電される。したがって、表示装置がパネル状態であっても、表示信号の通電によって各絵素を確実に駆動させることができ、パネル状態の表示装置に対して、欠陥の識別と修正後の確認を確実に行うことができ、さらに、表示装置支持部が移動手段から容易に分離できることにより、他の種類のパネル表示装置支持部に容易に交換することができる。
【０１６８】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記移動手段の表示装置支持部が、当該表示装置が駆動回路装着後のモジュール形態であるときに、該モジュール端子部に前記表示装置の駆動手段からの駆動信号を通電する通電手段と、前記通電手段を該モジュール端子部に対して離接させる離接手段とを有し、移動手段から容易に分離できる構成としてもよい。
【０１６９】
この構成によれば、表示装置がモジュール状態のとき、離接手段によって通電手段が表示装置の端子部に例えば圧接され、通電手段を介して表示信号が前記表示装置に通電される。したがって、表示装置がモジュール状態であっても、表示信号の通電によって各絵素を確実に駆動させることができ、モジュール状態の表示装置に対して、欠陥の識別と修正後の確認を確実に行うことができ、さらに、表示装置支持部が移動手段から容易に分離できることにより、他の種類のモジュール表示装置支持部に容易に交換することができる。
【０１７０】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記移動手段の表示装置支持部が、当該表示装置の形態によって、パネル形態およびモジュール形態のそれぞれの上記表示装置支持部に、容易に交換できる構成としてもよい。
【０１７１】
この構成によれば、表示装置支持部が移動手段から容易に分離できることにより、表示状態の形態に関わりなく、事前に準備された表示装置支持部に、短時間で容易に交換ができる。
【０１７２】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記照明手段が、当該表示装置の反射表示状態を観察するための反射照明部と、当該表示装置の透過表示状態を観察するための透過照明部を、両方有し透過照明部に関しては新たに新設しない構成としてもよい。
【０１７３】
この構成によれば、表示装置が反射型の場合には、反射照明により観察手段を用いての表示装置の観察と欠陥位置特定手段による欠陥位置の特定が、表示装置が透過型の場合には、光ビーム観察用カメラの落射照明による観察手段を用いての表示装置の観察と欠陥位置特定手段による欠陥位置の特定が、また、表示装置が透過と反射の両機能を併せ持つ表示装置の場合には、反射照明による観察手段を用いての表示装置の観察と欠陥位置特定手段による欠陥位置の特定、さらに、光ビーム観察用カメラの落射照明による観察手段を用いての表示装置の観察と欠陥位置特定手段による欠陥位置の特定の両方が実現できる。また、照明手段を有していることにより、表示状態の形態に関わりなく、点欠陥や線欠陥の欠陥修正を容易に、かつ、確実に行うことができる。
【０１７４】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記光ビーム照射手段が、光ビームの照射範囲と視野内の位置、照射強度を変化させる機能と、光ビーム合焦位置、および上記カメラ手段の合焦位置を調節する機能を有する構成としてもよい。
【０１７５】
この構成によれば、光ビームの照射範囲と視野内の位置、照射強度を変化させる機能により、修正を実施する欠陥の種類や、光ビームを照射する表示装置配線部位によって、照射範囲と視野内の位置、および照射強度を変化させることができ、個別に最適となる照射範囲と視野内の位置、および照射強度が提供できる。また、合焦位置を調節する機能により、装置に供給される表示装置の供給位置が変化などして、光ビーム照射手段による光ビーム合焦位置と表示装置位置が異なる事態が生じたとき、合焦位置を調節することによって、光ビーム合焦位置と表示装置位置を容易に一致させることができ、常に最適な修正ができる。
【０１７６】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、表示装置の各製造工程および検査工程において得られる各種情報が伝達され集中する情報集積装置との間で情報伝達が可能な情報伝達手段を有している構成としてもよい。
【０１７７】
この構成によれば、構報伝達手段を介して得られる、表示装置の各製造工程および検査工程での各種情報に基づいて欠陥修正を行うことができるので、欠陥修正をより効率的に行うことができる。なお、上記の情報伝達手段としては、例えばネットワーク回線等の通信回線や各種の情報を記録可能な記録媒体がある。また、情報伝達手段を介して得られた情報に基づいて、例えば表示装置の移動や光ビームの照射を自動に行うようにすることも可能である。この場合、検査員を装置に立ち会わせる必要がなくなるので、人件費を削減することができ、これによって商品のコストダウンを図ることができる。
【０１７８】
上記の表示装置の欠陥修正装置は、前記表示装置が、透過型表示装置、反射型表示装置、および透過と反射の両機能を併せ持つ表示装置のいずれの欠陥箇所も修正できる構成としてもよい。
【０１７９】
この構成によれば、前記構成の欠陥修正装置を用いることにより、透過型表示装置、反射型表示装置、および透過と反射の両機能を併せ持つ表示装置のいずれにも欠陥箇所の修正を確実に行うことができる。
【０１８０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の表示装置の欠陥修正装置は、表示装置の欠陥箇所を修正するための光ビームを照射する光ビーム照射手段と、前記表示装置を支持するとともに、この表示装置での前記光ビームの照射位置を変更する方向へ表示装置を移動可能な移動手段と、前記表示装置に表示信号を付与して表示装置の各絵素を表示状態に駆動する駆動手段と、前記駆動手段によって駆動される表示装置の絵素の表示状態を観察するための第１観察手段と、前記表示装置の透過型表示を可能とする透過照明手段と、前記表示装置の反射型表示を可能とする反射照明手段と、前記光ビーム照射手段による前記表示装置上での光ビーム照射位置を特定するための位置特定手段とを備えるとともに、前記透過照明手段が、光源と、光源からの出射光を前記表示装置へ導く導光部材と、光源からの出射光を拡散する光拡散部材とを備えている構成である。
【０１８１】
それゆえ、透過照明手段および反射照明手段によって、表示装置の透過型表示および反射型表示が可能となる。したがって、本発明の欠陥修正装置は、透過型、反射型、および透過型と反射型の機能を有する透過・反射型の各表示装置の欠陥の修正を容易かつ確実に行うことができる。その結果、表示装置の良品率を向上させて、商品のコストダウンを図ることができるという効果を奏する。
【０１８２】
さらに、光源からの出射光を光拡散部材で拡散し、導光部材で表示装置に導いて照射するため、光源を自由に配置することができる。この結果、装置の設計の自由度を広げることができるとともに、装置の小型化を容易に達成することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る表示装置の欠陥修正装置の概略の全体構成図である。
【図２】図２（ａ）は図１に示した液晶表示装置の正面図、図２（ｂ）は同側面図である。
【図３】図１に示した欠陥修正装置における、透過照明用レンズより出射された平行光の説明図である。
【図４】図１に示した欠陥修正装置における、透過照明用レンズより出射された拡散光の説明図である。
【図５】図１に示した表示装置の欠陥修正装置の他の例を示すものであって、モジュール形態の液晶表示装置に対応する欠陥修正装置の概略の全体構成図である。
【図６】図１に示した拡大視野追い込み用の低倍率カメラによる撮像映像の説明図である。
【図７】図１に示した欠陥絵素位置特定用の高倍率カメラによる撮像映像の説明図である。
【図８】図１に示した光ビーム照射部確認用のカメラによる撮像映像の説明図である。
【図９】図１に示した表示装置の欠陥修正装置の前提となる反射型表示装置の欠陥修正装置の概略の全体構成図である。
【図１０】図１に示した表示装置の欠陥修正装置の前提となる透過・反射型表示装置の欠陥修正装置の概略の全体構成図である。
【図１１】図１１（ａ）は図１０に示した透過照明装置の正面図、図１１（ｂ）は同平面図である。
【図１２】図１に示した表示装置の欠陥修正装置の前提となる他の透過・反射型表示装置の欠陥修正装置の概略の全体構成図である。
【図１３】従来の透過型表示装置の欠陥修正装置の概略の全体構成図である。
【符号の説明】
１ 液晶表示装置（表示装置）
１ａ 透過・反射型液晶表示装置（表示装置）
１ｂ 透過型液晶表示装置（表示装置）
１ｃ 反射型液晶表示装置（表示装置）
２ ＴＦＴ側基板
３ 対向側基板
１１ 欠陥修正装置
１２ 移動装置
１２ａ 移動ステージ（移動手段）
１３ 点灯プローブ装置
１３ａ 点灯プローブ（駆動手段）
１４ 光ビーム照射装置（光ビーム照射手段）
１５ 第１ハーフミラー
１６ 第２ハーフミラー（透過照明手段，導光部材）
１７ レンズ切換装置
１８ 落射照明装置（透過照明手段，光源）
１９ 照射部観察用カメラ（第２観察手段）
２０ 第１モニタ（第２観察手段）
２１ 低倍率カメラ（第１観察手段）
２２ 高倍率カメラ（第１観察手段）
２３ 反射照明装置（反射照明手段）
２４ マーク第１付与装置
２５ マーク第２付与装置（位置特定手段）
２６ カメラ表示切換器（第１観察手段）
２７ 第２モニタ（第１観察手段）
３６ 駆動装置（駆動手段）
４１ 欠陥位置マーク
４２ 高倍率カメラ視野教示用マーク
４３ 欠陥絵素
４４ 光ビーム照射位置教示マーク
４５ 光ビーム照射形状教示マーク
４６ ＴＦＴ配線部
５１ モジュール形態の透過・反射型液晶表示装置
５２ 保持点灯装置
６１ 拡散板（透過照明手段，光拡散部材）
６２ 拡散板切換装置（透過照明手段，光拡散部材）
６３ 透過照明用レンズ（照射領域調整部材）
Ｓｐ，Ｓｄ 透過照明エリア（照射領域）

Claims (6)

1. 透過型、反射型、あるいは透過・反射型の表示装置の欠陥箇所を修正するための光ビームを照射する光ビーム照射手段と、
   前記表示装置を支持するとともに、この表示装置での前記光ビームの照射位置を変更する方向へ表示装置を移動可能な移動手段と、
   前記表示装置に表示信号を付与して表示装置の各絵素を表示状態に駆動する駆動手段と、
   前記駆動手段によって駆動される表示装置の絵素の表示状態を観察するための第１観察手段と、
   前記表示装置に光を透過させて表示状態を示すための透過照明手段と、
   前記表示装置に光を照射し反射光による表示状態を観察するための反射照明手段と、
   前記光ビーム照射手段による前記表示装置上での光ビーム照射位置を特定するための位置特定手段とを備えるとともに、
   前記第１観察手段および前記反射照明手段が前記表示装置の表示面側に設けられ、前記光ビーム照射手段および前記透過照明手段が前記表示装置に対して前記第１観察手段側とは反対側に設けられ、
   さらに、前記透過照明手段が、光源と、該光源からの出射光を拡散する光拡散部材と、該光拡散部材で拡散された光を前記表示装置へ導く導光部材とを備えていることを特徴とする表示装置の欠陥修正装置。
2. 前記透過照明手段は、導光部材が光源からの出射光を前記光ビームと同一光路に導くように配設されていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の欠陥修正装置。
3. 前記光ビーム照射手段が、光ビーム照射の際に前記表示装置の欠陥箇所を観察するための第２観察手段を備えるとともに、
   前記透過照明手段が、前記第２観察手段のために前記表示装置の欠陥箇所への照明を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の表示装置の欠陥修正装置。
4. 前記透過照明手段は、光拡散部材が光の拡散の程度を調整可能であることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の表示装置の欠陥修正装置。
5. 前記透過照明手段は、前記表示装置の照射領域を調整する照射領域調整部材を備えていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の表示装置の欠陥修正装置。
6. 前記第１観察手段による前記表示装置の観察範囲内の所定位置が、前記光ビーム照射手段による光ビーム照射位置に対応可能であることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の表示装置の欠陥修正装置。

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