JP3520752B2 - 液晶パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法、並びに投射型表示装置 - Google Patents
液晶パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法、並びに投射型表示装置Info
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Description
陥等を検査するための装置および方法に係わり、特に液
晶プロジェクタ用の液晶パネルの検査に適用して好適な
技術に関する。
てTFT素子を各画素に配置する液晶パネルの製造に際
しては、スイッチング素子であるTFT素子の不良や液
晶層に異物が混入することなどによって、点欠陥と称さ
れる製造欠陥が生じることが多いため、液晶パネルを組
み込んだ液晶装置を最終製品とする前に、この点欠陥の
発生状況を検査する必要がある。
検査装置の一例のブロック構成図を図2に示す。この検
査装置によれば、バックライト10からの光が照射され
ている検査対象である液晶パネル20は、検査パターン
発生部40から与えられる制御信号に基づいて、所定の
検査パターン(画素毎のオン・オフパターン)で駆動さ
れる。この液晶パネルは一対の基板間に液晶が封入さ
れ、基板の外側に一対の偏光板を配置して構成される。
た液晶パネル20で表示されるオン・オフパターンをC
CDカメラ30が輝度情報として取り込んで欠陥判定部
50に与える。
度情報と検査パターンとを比較して、液晶パネル20が
所定のパターンを表示しているか否かを判定し、所定の
パターンを表示している場合には正常と判定し、一方、
所定のパターンを表示していない場合には異常、即ち、
点欠陥が存在するとして検査対象である液晶パネル20
の検査を行っていた。
たような従来の検査装置によれば、検査対象である液晶
パネル20を実際に透過する光は、CCDカメラ30が
光を取り込む視野角θを越えて広がってしまう。
のような、液晶パネル面に対して垂直方向の光(適宜
「垂直方向の光」と称する)を考慮して検査を行うこと
はできるものの、光線b(図2)のように、液晶パネル
面に対して垂直な方向と所定の角度を有する方向の光
(適宜「斜め方向の光」と称する)をも考慮した検査を
行うことができないことを意味していた。
に、光線bのような光の影響をも考慮した検査を行えば
異常となるものであっても、光線aのような光の影響の
みを考慮した検査しか行わなければ正常と判断されてし
まうという事態が生じ得、従来、斜め方向の光の影響を
考慮して正確に検査を行っていなかった。
晶パネルは、人間が直視するものが多いため斜め方向の
光の影響はさほど気にならないものの、例えば、液晶プ
ロジェクタ用の液晶パネルでは、斜め方向の光の影響を
正確に把握する要請が強かった。
るためになされたもので、その目的は、斜め方向の光の
影響をも考慮して正確に液晶パネルの検査を行う手段を
提供する点にある。
に、本発明は第1に、液晶パネルを検査する方法であっ
て、前記液晶パネルに光を照射し、該液晶パネルが所定
の透過率を示すように駆動して、該液晶パネルを透過或
いは反射した光を所定位置に設置されたスクリーン上に
投射し、前記液晶パネルを透過或いは反射した光の投射
光路中にNDフィルタを挿入し、前記NDフィルタを透
過して前記スクリーンに投射された光による輝度を基準
輝度として、前記NDフィルタを透過せずに前記スクリ
ーンに投射された光による輝度を比較し、前記液晶パネ
ルの欠陥画素の発生状態を検査してなることを特徴とす
る。
な構成で、斜め方向の光の影響をも考慮した欠陥画素の
検出を行うことが可能になる。
ネルの透過率100%の状態であり、前記所定の低透過
率は前記液晶パネルの透過率0%の状態であることを特
徴とする。これによれば、100%透過率の光を欠陥画
素の基準となる輝度まで減衰させて、この輝度を基準と
して欠陥画素の輝度を比較し、判定することができる。
NDフィルタを取り替えて減衰率を調整することによ
り、欠陥画素の判定基準を調整できるので、検査方法が
簡便となる。
あって、前記液晶パネルに光を照射し、該液晶パネルの
各画素を所定の同一透過率となるように駆動して、該液
晶パネルを透過或いは反射した光を所定位置に設置され
たスクリーン上に投射し、前記スクリーン上の前記各画
素による輝度分布を検出して特異な輝度の有無を判別
し、前記液晶パネルの欠陥画素の発生状態を検査してな
ることを特徴とする。
慮して、欠陥画素か否かを判定することが可能となる。
また、オン/オフのパターンを投射しなくとも、特異な
輝度を発見すれば、欠陥画素が判るので簡便な検査とな
る。
参照しつつ説明する。
ク構成図である。この検査装置は、検査対象である液晶
パネル21に光を照射するランプ15と、液晶パネル2
1の透過光を所定位置に設置されたスクリーン70上に
投射する投射光学系60と、スクリーン70上の像の輝
度分布を検出する視野角θのCCDカメラ30と、液晶
パネル21を所定の検査パターンで駆動する検査パター
ン発生部40と、検査パターンとCCDカメラ30によ
る検出結果とを参照して、液晶パネル21の点欠陥の存
在の有無を判定する欠陥判定部50と、を有している。
独または複数枚のレンズの組合せでなり、液晶パネル2
1を透過(変調)した透過光をスクリーン70上に投射
させるように構成されている。
る検査対象である液晶パネル21は、検査パターン発生
部40からの制御信号に基づいて、所定の検査パターン
(画素毎のオン・オフパターン)になるように、ランプ
15からの光を変調する。液晶パネル21は、先の説明
と同様に一対の偏光板を有するアクティブマトリクス型
パネルである。
た液晶パネル21にて形成されたオン・オフパターン
は、レンズ61(投射光学系60)によってスクリーン
70上に投射される。CCDカメラ30は、このスクリ
ーン70上の投射像を輝度情報として取り込んで欠陥判
定部50に与える。そして、欠陥判定部50は、与えら
れた輝度情報と検査パターンとを比較して、液晶パネル
21が所定のパターンを形成するように構成されている
か否かを判定し、所定のパターンをスクリーン70に投
射している場合には正常と判定し、一方、所定のパター
ンをスクリーン70に投射していない場合には異常、即
ち、欠陥画素が存在するとして検査対象である液晶パネ
ル21の検査を行う。
作用によって、液晶パネル21を透過した垂直方向の光
のみならず斜め方向の光をもスクリーン70上に投射さ
れる。例えば、図1に示した光線cのように、液晶パネ
ル21で透過される斜めの光であっても、レンズ61
(投影光学系60)の作用によってスクリーン70上に
投射される。従って、この実施の形態によれば、斜め方
向の光の影響をも考慮した欠陥判定を行うことが可能に
なる。
よって、液晶パネルのランク分類を自動的に行うように
しても良く、これによれば、液晶パネル製品のランク分
類を自動的に行えるので生産効率が向上する。具体的に
は、欠陥判定部50は、図7に示すようなテーブル70
0を記憶しておいて、自身が検出した点欠陥の数に対応
する製品ランクをテーブル700を索出して求めて図示
しない出力部から出力するようにすればよい。なお、赤
色、緑色、青色用の3種類のパネルを用いて液晶プロジ
ェクタを製造する場合、通常、最も品質の良いAランク
のパネルを緑色用のパネルとして用いて液晶プロジェク
タを製造するのが好ましい。これは人間の比視感度曲線
を考慮したとき、緑色での反応感度が他の色に比べて強
いからである。
等からなる透過型スクリーン71を介して透過された像
の輝度分布をCCDカメラ30で取り込めるように構成
したものである。このような装置構成によっても、図1
に示したものと同様の処理動作とレンズ61(投射光学
系60)の作用によって、液晶パネル21を透過した垂
直方向の光のみならず斜め方向の光の影響をも考慮した
欠陥判定を行うことが可能になる。
ついて説明する。
40が、基準輝度を有する基準パターンを発生可能に構
成されている。さらに、図3に示すように、欠陥判定部
51に、検査対象となる液晶パネル21の印加電圧−透
過率特性(T−V特性)をデータとして記憶するT−V
特性記憶部52を設け、予め液晶パネルに駆動電圧を順
次変化させて印加し、その時の透過率を検出して、被検
査対象の液晶パネルのV−T特性を調べ、T−V特性の
データをT−V特性記憶部52に記憶させておく。
過率の基準パターンを発生させるように、検査対象とな
る液晶パネル21の各画素に電圧印加を行う。この駆動
電圧はT−V特性記憶部52のデータを参照し、所定の
透過率となるような電圧を選択して印加する。CCDカ
メラ30は、液晶パネル21を介して透過され投射光学
系60によってスクリーン70上に投射された像の実際
の輝度分布を検出し、輝度分布情報として欠陥判定部5
0に与える。
生させるために検査パターン発生部40が各画素に印加
した印加電圧に対応する輝度情報、即ち、本来期待され
る輝度を、T−V特性記憶部52を参照して求め(予め
T−V特性が検出されていれば、印加電圧に応じて期待
される輝度は分かる)、さらに、この本来期待される輝
度とCCDカメラ30によって実際に検出された輝度と
を比較する。この比較は、液晶パネルの各画素によって
形成された投射像が液晶パネルの各画素に印加した駆動
電圧によるパターン像と一致しているかどうかを判断す
るものである。
検査用として投射される。
T−V特性において、電圧値を16等分割し、100%
と0%の電圧を除いた電圧を順次印加する) 全画素を黒表示(透過率0%) 全画素の中央部に黒のウインドウ表示、その周りを白
表示 横縞表示(黒表示ラインと白表示ラインを繰り返した
表示、次に黒表示ラインと白表示ラインを入れ替え) 縦縞表示(黒表示ラインと白表示ラインを繰り返した
表示、次に黒表示ラインと白表示ラインを入れ替え) 斜め縞表示(黒表示の斜めラインと白表示の斜めライ
ンを繰り返した表示、次に黒表示ラインと白表示ライン
を入れ替え) このような各検査パターンにおいて、予定された輝度と
異なる輝度をスクリーン上で示した画素があれば、CC
Dカメラ30からの捉えた輝度分布の情報と上記パター
ンの輝度情報とを比較することにより、その予定外の輝
度の画素を欠陥判定部50にて判定することができる。
例えば、横縞表示の場合は、黒表示ラインの一部が白表
示となれば、2本の白表示ラインが繋がってしまうの
で、これを検出し、欠陥画素の存在が明かとなる。
果、例えば、実際に検出された画素の輝度が、本来期待
される輝度と所定値以上異なるものである場合、その画
素を欠陥画素とし、これ以外を欠陥のない画素とする。
これによって、欠陥画素が判明して、その欠陥画素数に
応じて製品ランクが定まる。
象となった液晶パネルを、液晶プロジェクタの赤色光の
変調用ライトバルブ、緑色光の変調用ライトバルブ、青
色光の変調用ライトバルブのいずれに使うか決定するこ
とができる。なお、このような欠陥画素の検出結果をC
RT等で実現可能な図示しない出力部に出力することが
好ましい。
斜め方向の光の影響をも考慮した画素欠陥判定を、基準
パターンの基準輝度と実際に検出した輝度情報とを比較
して行うことが可能となる。
する。
図1や図4の投射光学系60から投射される液晶パネル
21により変調され透過される光の光路の一部に光を減
衰させるためのNDフィルタ90を挿入し、基準パター
ン80の本来の輝度をNDフィルタ90により所定量減
衰させてスクリーン70(71)上に投射させたときの
輝度を基準として、NDフィルタ90を介していない領
域の画素の輝度と比較するものである。
0を起動させ、液晶パネル21の全画素中の一部の画素
(基準パターンを構成する画素)が透過率100%とな
るように駆動電圧を印加する。残りの大部分の画素は透
過率0%になるように駆動電圧を印加する。これらの駆
動電圧は、図3のT−V特性記憶部52に予め記憶され
た液晶パネルの画素(基本的に全画素の特性は同一とす
る)の透過率−印加電圧特性から、透過率100%,0
%に対応する印加電圧を選択して得たものである。液晶
パネル21から射出される光は投射光学系60から投射
される。投射光学系60とスクリーン70(71)の間
にNDフィルタ90を挿入する。この挿入位置は、液晶
パネル21における上記の基準パターン80を構成する
画素から透過してくる光の投射光路となる。このNDフ
ィルタ90は、予め光の減衰量が決められて設定されて
いる。例えば、光の減衰量として、透過率100%の光
を5%まで減衰するように設定されていれば、スクリー
ンには5%に相当する輝度で投射される。
の透過率0%となる駆動電圧を印加した画素の位置であ
って、NDフィルタ90を透過しない画素位置は本来、
黒表示となる。しかし、この領域に輝度が得られるので
あれば、これは欠陥画素となる可能性がある。この欠陥
画素となる可能性を有する画素の輝度は、基準パターン
80の輝度と比較する。先に述べたように透過率5%に
相当する輝度の基準パターン80と比較し、これよりも
明るい輝度と判断されれば、この画素は欠陥画素である
と判別される。すなわち、この例では、本来の透過率0
%の画素が透過率5%より高い輝度を示した場合には欠
陥画素と判断される。
うに欠陥判定部50において自動的に行ってもよいが、
スクリーン上の2つの画素の輝度の比較で判定できるた
め、目視により簡単に人が判別し、検査することもでき
る。
上をずらしながら、各画素について投射された輝度とN
Dフィルタ90を介した輝度とが比較できるようにし、
これにより全画素中の欠陥画素を判定することができ
る。
対応する画素とその他の画素の透過率の設定を異ならせ
ていたが、これに限定されるものではない。たとえば、
画素全体を同一透過率(例えば、透過率100%)に設
定し、NDフィルタ80の減衰率を低くして(例えば5
%減衰)することにより基準パターンの輝度を透過率9
5%相当の輝度とし、NDフィルタを介さない領域の画
素(本来、透過率100%)の透過率が95%より低け
れば、画素欠陥と判断するようにしてもよい。また、基
準パターンを透過率100%に設定することを説明した
が、中間階調の透過率に設定しても良いことは言うまで
もない。
素数に応じて製品ランクが定まり、この製品ランクに応
じて、実施例1で述べたように、検査対象となった液晶
パネル21がライトバルブとして変調する色光が定ま
る。
NDフィルタ90を用いた簡単な構成で、斜め方向の光
の影響をも考慮した欠陥画素の検出を行うことが可能に
なる。また、この実施形態においても、目視ではなく、
図1や図4に示したようなCCDカメラ30、欠陥判定
部50、検査パターン発生部40を用いての自動検査を
することができることは言うまでもない。この場合の検
査装置は、図1や図4と同一構成であり、異なる箇所
は、投射光学系60からスクリーン70(71)までの
光路中にNDフィルタ90が挿入され、その挿入箇所に
投射される基準パターンと非挿入箇所に投射される基準
パターンの輝度をCCDカメラ30で取り込み、比較し
て判別する点にある。
様な装置により、液晶パネル21に光源ランプ15から
光照射し、液晶パネルにより変調(透過制御)された光
を投射光学系60によりスクリーンに投射する。
は、図1や図4の検査パターン発生部40を起動させ、
液晶パネル21の全画素が中間階調(例えば透過率50
%)となるように駆動電圧を印加する。これらの駆動電
圧は、図3のT−V特性記憶部52に予め記憶された液
晶パネルの画素(基本的に全画素の特性は同一とする)
の透過率−印加電圧特性から、透過率50%に対応する
印加電圧を選択して得たものである。液晶パネル21か
ら射出される全画素の透過光は投射光学系60から投射
される。
(71)上では、本来は中間階調の透過率に相当する輝
度が全画面で得られるはずである。しかしながら、この
中間階調透過率とは異なる特異な輝度があれば、それは
欠陥画素となる。欠陥画素とは、液晶パネルの液晶内に
ゴミ等の異物が入り込んだり、アクティブマトリックス
型液晶パネルにおいては各画素の液晶への電圧印加を制
御する各画素毎のスイッチング素子が特性劣化や破壊に
より機能していない、等の原因により、画素の透過率が
コントロールできないものである。画像表示の場合は、
中間階調制御の善し悪しが表示品質の向上に繋がるもの
であるから、中間階調制御が不十分な或いはできない画
素は欠陥画素と判定できる。
簡単に欠陥画素と判別できるので、検査方法が簡便とな
る。
うに欠陥判定部50において自動的に行ってもよいが、
スクリーン上の2つの画素の輝度の比較でされるため、
目視により簡単に人が判別し、検査することもできる。
することを説明したが、他の中間階調の透過率に設定し
ても良いことは言うまでもない。
素数に応じて製品ランクが定まり、この製品ランクに応
じて、実施例1で述べたように、検査対象となった液晶
パネル21がライトバルブとして変調する色光が定ま
る。
なく、図1や図4に示したようなCCDカメラ30、欠
陥判定部50、検査パターン発生部40を用いての自動
検査をすることができることは言うまでもない。この場
合の検査装置は、図1や図4と同一構成であり、異なる
箇所は、全画素を同一の中間階調透過率とし、全画面の
中から特異な輝度を欠陥判定部50が判別することであ
る。
な液晶プロジェクタを検査する際に適したものであり、
液晶プロジェクタの構成要素を若干変更することで液晶
プロジェクタ自体を容易に検査することが可能となる。
このことを説明するために、まず、図6を参照して液晶
プロジェクタの構成を説明する。
ランプ等の光源100と、赤色のみを透過するダイクロ
イックミラー130と、この赤色光を反射する反射ミラ
ー170と、この赤色光が照射される液晶パネル220
と、ダイクロイックミラー130で反射された光のうち
緑色のみを反射するダイクロイックミラー140と、こ
の緑色光が照射される液晶パネル230と、ダイクロイ
ックミラー140を透過した青色光を液晶パネル240
に導き、長光路による光損失を防止するための光学系
(入射レンズ180、反射ミラー150、リレーレンズ
190、反射ミラー160および出射レンズ200)
と、液晶パネル220、230および240の透過光を
合成するためのクロスダイクロイックプリズム250
と、この合成光をスクリーン70上に投影するための投
射光学系260と、を有している。
色光のうちの赤色光は、ダイクロイックミラー130を
透過し、反射ミラー170によって反射され、液晶パネ
ル220に照射される。また、白色光のうちの緑色光
は、ダイクロイックミラー140で反射され液晶パネル
230に照射される。さらに、白色光のうちの青色光
は、ダイクロイックミラー140を透過し、さらに、入
射レンズ180による集光、反射ミラー150により反
射、リレーレンズ190により透過、反射ミラー160
による反射、出射レンズ200による集光が行われて、
液晶パネル250に照射される。
液晶パネル220、230および240からの透過光
は、クロスダイクロイックプリズム250で合成され、
この合成光は投射光学系260を介してスクリーン70
上に投射されて、投射動作が行われる。
および投射光学系260の夫々は、図1や図4の検査装
置のランプ15、投射光学系60と同一の機能を有す
る。ここで、液晶パネル220、230および240の
各々が検査対象であるとする。
は、例えば、クロスダイクロイックプリズム250も取
り外し、さらに、液晶パネル220と投射光学系260
の間の光路長が変わらないように、クロスダイクロイッ
クプリズム250と同屈折率、同寸法のガラスブロック
を光路中に介在させ、赤色光のみが投射光学系260に
導かれるように、クロスダイクロイックプリズム250
を取り外した位置に反射ミラーを設け、さらに、CCD
カメラ30、欠陥判定部50および検査パターン発生部
40を設ければ、図1や図4と同一の機能を有する検査
装置が実現でき、液晶パネル220の斜め方向の透過光
をも考慮した欠陥判定を行うことが可能になる。
には、クロスダイクロイックプリズム250を取り外
し、さらに、液晶パネル230と投射光学系260の間
の光路長が変わらないように、クロスダイクロイックプ
リズム250と同屈折率、同寸法のガラスブロックを光
路中に介在させ、緑色光のみが直接投射光学系260に
導かれるようにし、さらに、CCDカメラ30、欠陥判
定部50および検査パターン発生部40を設ければ、図
1や図4と同一の機能を有する検査装置が実現でき、液
晶パネル230の斜め方向の透過光をも考慮した欠陥判
定を行うことが可能になる。
ためには、クロスダイクロイックプリズム250を取り
外し、さらに、液晶パネル240と投射光学系260の
間の光路長が変わらないように、クロスダイクロイック
プリズム250と同屈折率、同寸法のガラスブロックを
光路中に介在させ、青色光のみが直接投射光学系260
に導かれるように、クロスダイクロイックプリズム25
0を取り外した位置に反射ミラーを設け、さらに、CC
Dカメラ30、欠陥判定部50および検査パターン発生
部40を設ければ、図1や図4と同一の機能を有する検
査装置が実現でき、液晶パネル240の斜め方向の透過
光をも考慮した欠陥判定を行うことが可能になる。
慮すると、液晶プロジェクタの構成要素を若干変更する
ことで液晶プロジェクタ用液晶パネル自体を容易に検査
することが可能となる。
いて、各液晶パネルにおいて判明した画素欠陥数によ
り、液晶パネルの品質をランク分けすることができる。
このランクを用い、各液晶パネルに含まれる画素欠陥数
の許容度を、青の色光を変調する液晶パネル240につ
いて最も大きく設定することができる。赤、緑、青のう
ち、人間の視感度の最も低い波長は青の色光であり、こ
の色光を変調する液晶パネル240に画素欠陥が多少あ
っても、投射画面上では画素欠陥があって青の色光がそ
の画素だけ欠落しても、その画素には赤と緑の色光の画
素が重ねられ、完全に表示無しにはなりにくく、且つ青
の色光の欠落は人間の目には目立ちにくいので、投射画
像の表示品質に大きな影響を与えない。その上、画素欠
陥があっても、青色光用の液晶パネルとして用いること
ができるので、液晶パネルの歩留まりは向上し、投射型
表示装置としてのコストも下げることが可能となる。
緑であるから、残りの青色光と赤色光の変調用液晶パネ
ルの欠陥画素数の許容度を緑色光のパネルより低くし、
青色と赤色は同一許容度としてもよい。
変調する液晶パネル220について最も小さく設定する
とさらに効果は増大する。人間の視感度の最も高い波長
は緑の色光であり、この色光を変調する液晶パネル22
0に画素欠陥に画素欠陥を少なくすることが表示品質を
保つためには必要である。従って、青>赤>緑の順に液
晶パネルの画素欠陥数の許容度を設定することにより、
画素欠陥の検査によって判別した液晶パネルのランクに
応じて、液晶パネルを効率よく、投射型表示装置内にて
使い分けることができ、液晶パネルの歩留まりは向上
し、投射型表示装置としてのコストも下げることが可能
となる。すなわち、液晶パネルの画素欠陥数の許容度の
大きさの設定は、青>赤>緑の場合と、青>赤=青
の場合の2通りが考えられる。例えば、全画素の中で許
容される欠陥画素数は、の場合、青3個,赤1個,緑
1個、の場合、青3個,赤1個,緑0個となる。液晶
パネルが高精細になればなる程、高表示品質が要求され
るので許容度は厳しくなる。
を透過制御する透過型液晶パネルとして説明されてきた
が、光源光を各画素において反射する反射型液晶パネル
に置き換え、液晶パネルから反射制御された光を投射光
学系によりスクリーン上に投射する構成にしても良いこ
とは言うまでもない。図8に示されるように、反射型液
晶パネル21'を検査する場合は、光源ランプ15と液
晶パネル21'と投射光学系60との間に、偏光分離器
の一例として偏光ビームスプリッタ16を配置する。偏
光ビームスプリッタ16は、ランプ15からの光のうち
の一つの偏光軸(例えばS偏光)の光を反射型液晶パネ
ル21'に反射し、反射型液晶パネル21'から反射され
た光のうち他の偏光軸(例えばP偏光)の光を投射レン
ズ61に向けて透過する。
(液晶パネルに入射された光のうち、液晶層を透過して
偏光ビームスプリッタ16を透過した光の割合)は存在
し、透過型液晶パネルと同様にゴミ等の異物により画素
欠陥も発生する。このような液晶パネルを上記実施例の
検査方法及装置により検査すれば、同様の効果を得るこ
とができる。反射型液晶パネルの場合の液晶は、TN
型、垂直配向型、光散乱型などが用いられ、液晶パネル
の光入射側には偏光板は不要とすることが出来る(偏光
ビームスプリッタ16により代用できる)。
バルブとして、透過型液晶パネルではなく、反射型液晶
パネルを用いたものも知られており、かかるライトバル
ブに対する画素欠陥数の許容度も、実施例4の場合と同
様とすることができる。
の液晶がツイストネマチック型などの場合には、パネル
の前又は後、或いは前後の各々には偏光板が配置される
ことは言うまでもない。しかし、液晶パネルの液晶が光
散乱型などの液晶では偏光板不要の場合がある。
投射光学系によって、液晶パネルの斜め方向の透過光/
反射光をもスクリーン上に投射することができ、斜め方
向の光の影響をも考慮した欠陥判定を行うことが可能に
なる。
出力するので液晶パネルの性能を即座に把握でき液晶装
置製造における作業性が向上する。
で、斜め方向の光の影響をも考慮した欠陥画素の検出が
可能になる。
晶パネルとして用いることができるので、液晶パネルの
歩留まりは向上し、投射型表示装置としてのコストも下
げることが可能となる。
液晶パネルのランクに応じて、液晶パネルを効率よく、
投射型表示装置内にて使い分けることができる。
ック構成図である。
欠陥判定部の構成図である。
ブロック構成図である。
的説明図である。
である。
ブロック構成図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 液晶パネルを検査する方法であって、 前記液晶パネルに光を照射し、該液晶パネルが所定の透
過率を示すように駆動して、該液晶パネルにより透過或
いは反射された光を所定位置に設置されたスクリーン上
に投射し、 前記液晶パネルを透過或いは反射した光の投射光路中に
NDフィルタを挿入し、前記NDフィルタを透過して前
記スクリーンに投射された光による輝度を基準輝度とし
て、前記NDフィルタを透過せずに前記スクリーンに投
射された光による輝度を比較し、前記液晶パネルの欠陥
画素の発生状態を検査してなることを特徴とする液晶パ
ネルの検査方法。 - 【請求項2】 前記NDフィルタを透過させる光は、前
記液晶パネルの画素の透過率を所定の高透過率に駆動し
た場合の光であり、当該光を前記NDフィルタにより減
衰させた輝度を基準輝度とし、 前記NDフィルタを透過しない光は、前記液晶パネルの
画素の透過率が前記基準輝度よりも低い所定の低透過率
となるように駆動した場合の光であり、 前記基準輝度よりも高い透過率を示した光を透過或いは
反射した前記画素を欠陥画素と判定することを特徴とす
る請求項1記載の液晶パネルの検査方法。 - 【請求項3】 前記所定の高透過率は前記液晶パネルの
透過率100%の状態であり、前記所定の低透過率は前
記液晶パネルの透過率0%の状態であることを特徴とす
る請求項2記載の液晶パネルの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34692097A JP3520752B2 (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 液晶パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法、並びに投射型表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP34692097A JP3520752B2 (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 液晶パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法、並びに投射型表示装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH11174398A JPH11174398A (ja) | 1999-07-02 |
JP3520752B2 true JP3520752B2 (ja) | 2004-04-19 |
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ID=18386715
Family Applications (1)
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JP34692097A Expired - Fee Related JP3520752B2 (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 液晶パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法、並びに投射型表示装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3520752B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6359662B1 (en) * | 1999-11-05 | 2002-03-19 | Agilent Technologies, Inc. | Method and system for compensating for defects in a multi-light valve display system |
JP2003270608A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-25 | Mecc Co Ltd | 液晶表示パネル検査装置 |
JP3932115B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2007-06-20 | 横河電機株式会社 | 液晶パネル検査装置 |
JP2006162639A (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-22 | Hitachi Displays Ltd | 液晶表示装置およびプロジェクタ |
-
1997
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JPH11174398A (ja) | 1999-07-02 |
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