JP2005075663A - 基板置台 - Google Patents

Abstract

【課題】超大型ガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が最小になるように移動させ、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる基板置台を提供すること。
【解決手段】基板置台１の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材２と、該並列する支持部材２間で基板置台１に出没可能に設けられ、支持部材２に支持された枚葉基板３を押し上げて支持する押上支持部材４とを備えるとともに、前記支持部材２を、該押し上げられた枚葉基板３の下から退去可能に設け、押上支持部材４の没入により枚葉基板３を基板置台１上に載置するようにする。
【選択図】図３

Description

本発明は、基板置台に関し、特に、超大型ガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が最小になるように移動させ、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる基板置台に関するものである。

液晶等の大型のガラス基板は、互いに接触しないように分離して収容するために、専用のガラス基板収納用カセット等の収納装置に収納される。
基板置台は、このような大型基板を用いた製造ラインにおいて、カセット等の収納装置と、この収納装置から取り出した枚葉基板を製造装置に渡す部分に使用されている。

枚葉基板の収納装置は、図９に示すように、収納装置６の両側から対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材６１を延設するとともに、移載機のハンド５を、ハンド５の昇降位置で、前記並列する支持部材６１の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部５１と、前記対向する支持部材６１の間に位置し、前記横ハンド支持部５１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部５２とにより構成し、収納装置６の支持部材６１や移載機の各ハンド支持部による枚葉基板３の支持を広い範囲に拡大し、大型の枚葉基板３をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止するようにしている。

これに対し、基板置台は、図９に示すように、枚葉基板３が載置される基板置台１と、該基板置台１に出没可能に設けられ、枚葉基板３を押し上げて支持する押上支持部材４とを備えている。
この基板置台は、突起状の押上支持部材４を、移載機ハンド５の挿入方向に３列設けることにより、枚葉基板の支持を広い範囲に拡大し、大型の枚葉基板３をその自重による撓み量が小さくなるようにしている。

しかしながら、上記従来の基板置台は、ガラス基板が例えば幅２０００ｍｍ位の超大型になると、特に収納時に支持されない部分が増大し、ガラス基板の撓みが大きくなって破損する可能性が発生する。
そのため、例えば、図１０に示すように、押上支持部材４の列数を４列以上に増やして支持範囲を広げる必要があるが、押上支持部材４を４列にすると、移載機ハンドと干渉するという問題が発生する。

本発明は、上記従来の基板置台が有する問題点に鑑み、超大型ガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が最小になるように移動させ、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる基板置台を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本第１発明の基板置台は、基板置台の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材と、該並列する支持部材間で基板置台に出没可能に設けられ、支持部材に支持された枚葉基板を押し上げて支持する押上支持部材とを備えるとともに、前記支持部材を、該押し上げられた枚葉基板の下から退去可能に設けたことを特徴とする。

また、同じ目的を達成するため、本第２発明の基板置台は、基板置台の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材と、該並列する支持部材間で基板置台に出没可能に設けられ、支持部材に支持された枚葉基板を、支持部材との間に所定の間隔が開くように押し上げて支持する押上支持部材とを備えたことを特徴とする。

本第１発明の基板置台によれば、基板置台の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材と、該並列する支持部材間で基板置台に出没可能に設けられ、支持部材に支持された枚葉基板を押し上げて支持する押上支持部材とを備えるとともに、前記支持部材を、該押し上げられた枚葉基板の下から退去可能に設けることから、押上支持部材の没入により枚葉基板を基板置台上に載置するとともに、移載機ハンドと干渉させることなく押上支持部材の列数を増やすことができ、これにより、枚葉基板の支持範囲を広げ、超大型ガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量を最小にして移動させ、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる。

また、本第２発明の基板置台によれば、基板置台の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材と、該並列する支持部材間で基板置台に出没可能に設けられ、支持部材に支持された枚葉基板を、支持部材との間に所定の間隔が開くように押し上げて支持する押上支持部材とを備えることから、押上支持部材により支持した枚葉基板の下にフォーク状ハンドを挿入して製造装置側との受け渡しを行うとともに、移載機ハンドと干渉させることなく押上支持部材の列数を増やすことができ、これにより、枚葉基板の支持範囲を広げ、超大型ガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量を最小にして移動させ、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる。

以下、本発明の基板置台の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図４に、本発明の基板置台の第１実施例を示す。
この基板置台１は、基板置台１の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材２と、該並列する支持部材２間で基板置台１に出没可能に設けられ、支持部材２に支持された枚葉基板３を押し上げて支持する押上支持部材４とを備えるとともに、前記支持部材２を、該押し上げられた枚葉基板３の下から退去可能に設け、押上支持部材４の没入により枚葉基板３を基板置台１上に載置するようにしている。

支持部材２は、後述する移載機ハンド５と干渉しないように、収納装置６の支持部材６１と略同長で同間隔をもって設けられており、図示省略する駆動機構によって後退することにより、枚葉基板３の下から退去するようになっている。

押上支持部材４は、本実施例では、移載機ハンド５の挿入方向に４列設けられた複数のピンからなり、前記並列する支持部材２間で基板置台１に上下に出没可能に設けられている。
この押上支持部材４は、支持部材２に支持された枚葉基板３を押し上げて支持するとともに、支持部材２の退去後、基板置台１に没入することにより、枚葉基板３を基板置台１上に載置することができる。

一方、この基板置台１と組み合わせて使用される枚葉基板の収納装置は、図１に示すように、収納装置６の両側から対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材６１を延設するとともに、移載機のハンド５を、ハンド５の昇降位置で、前記並列する支持部材６１の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部５１と、前記対向する支持部材６１の間に位置し、前記横ハンド支持部５１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部５２とにより構成されている。

次に、本実施例の基板置台の動作を説明する。
図１（ａ）に示すように、移載機ハンド５により、収納装置６から枚葉基板３を取り出し、図１（ｂ）、図２（ｃ）及び図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、基板置台１の支持部材２上に枚葉基板３を載置する。
移載機ハンド５は、この枚葉基板３の載置後に少し下降し、支持部材２と基板置台１との間の空隙を通じて基板置台１側から退去する。

次に、図２（ｄ）及び図３（ｄ）に示すように、押上支持部材４が基板置台１から支持部材２より上まで上昇し、支持部材２から枚葉基板３を押し上げ、支持部材２に代わって枚葉基板３を支持する。
そして、図２（ｅ）及び図３（ｅ）に示すように、支持部材２が枚葉基板３の下から退去し、図３（ｆ）に示すように、押上支持部材４が基板置台１に没入することにより、枚葉基板３を基板置台１上に載置する。
この後は、所定の製造装置内部に基板置台１が移動し、枚葉基板３は所定の加工処理が施される。

かくして、本実施例の基板置台は、基板置台１の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材２と、該並列する支持部材２間で基板置台１に出没可能に設けられ、支持部材２に支持された枚葉基板３を押し上げて支持する押上支持部材４とを備えるとともに、前記支持部材２を、該押し上げられた枚葉基板３の下から退去可能に設けることから、押上支持部材４の没入により枚葉基板３を基板置台１上に載置するとともに、移載機ハンド５と干渉させることなく押上支持部材４の列数を増やすことができ、これにより、枚葉基板３の支持範囲を広げ、超大型ガラス基板等の枚葉基板３をその自重による撓み量を最小にして移動させ、曲げ応力に起因する枚葉基板３の変形や破損を防止することができる。
さらに、図４に示すように、移載機ハンド５の縦ハンド支持部に縦溝が設けられていないものにでも対応することが可能である。

次に、図５〜図８を参照して、本発明の基板置台の第２実施例を説明する。
この基板置台１は、基板置台１の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材７と、該並列する支持部材７間で基板置台１に出没可能に設けられ、支持部材７に支持された枚葉基板３を、支持部材７との間に所定の間隔が開くように押し上げて支持する押上支持部材８とを備えている。
なお、収納装置６と移載機ハンド５は、第１実施例で説明したものと同じ構成であるため、その説明は省略する。

支持部材７は、移載機ハンド５と干渉しないように、収納装置６の支持部材６１と略同長で同間隔をもって設けられている。
支持部材７は基板置台１に一体に設けられており、この支持部材７の下には、移載機ハンド５を挿入するための空間部７１が形成されている。

押上支持部材８は、本実施例では、移載機ハンド５の挿入方向に４列設けられた複数のピンからなり、前記並列する支持部材７間で基板置台１に上下に出没可能に設けられている。
この押上支持部材８は、支持部材７に支持された枚葉基板３を、該枚葉基板３と支持部材７との間に製造装置側のフォーク状ハンド９を挿入する間隔が開くまで押し上げて支持することができる。

次に、本実施例の基板置台の動作を説明する。
図５（ａ）に示すように、移載機ハンド５により、収納装置６から枚葉基板３を取り出し、図５（ｂ）図６（ｃ）及び図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、基板置台１の支持部材７上に枚葉基板３を載置する。
移載機ハンド５は、この枚葉基板３の載置後に少し下降し、支持部材７下の空間部７１を通じて基板置台１側から退去する。

次に、図６（ｄ）及び図７（ｄ）に示すように、押上支持部材８が基板置台１から支持部材７より上まで上昇し、支持部材７から枚葉基板３を押し上げ、支持部材７に代わって枚葉基板３を支持する。
そして、図７（ｅ）に示すように、押上支持部材８に支持された枚葉基板３の下に、製造装置側のフォーク状ハンド９を差し入れ、このフォーク状ハンド９を上昇させることにより枚葉基板３を持ち上げる。
この後は、所定の製造装置内部に基板置台１を移動させ、枚葉基板３に所定の加工処理が施される。

かくして、本実施例の基板置台は、基板置台１の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材７と、該並列する支持部材７間で基板置台１に出没可能に設けられ、支持部材７に支持された枚葉基板３を、支持部材７との間に所定の間隔が開くように押し上げて支持する押上支持部材８とを備えることから、押上支持部材８により支持した枚葉基板３の下にフォーク状ハンド９を挿入して製造装置側との受け渡しを行うとともに、移載機ハンド５と干渉させることなく押上支持部材８の列数を増やすことができ、これにより、枚葉基板３の支持範囲を広げ、超大型ガラス基板等の枚葉基板３をその自重による撓み量を最小にして移動させ、曲げ応力に起因する枚葉基板３の変形や破損を防止することができる。
さらに、図８に示すように、移載機ハンド５の縦ハンド支持部に縦溝が設けられていないものにでも対応することが可能である。

以上、本発明の実施例を説明したが、本発明の基板置台は、この実施例の記載に限定されるものではなく、例えば、押上支持部材の形状や数量は自由に選択できるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜に変更することが可能である。

以上、本発明の基板置台は、枚葉基板の撓みを最小にして移動させるという特性を有していることから、ガラス基板の製造システムなどの用途に好適に用いることができる。

本発明の基板置台の一実施例と収納装置を示し、（ａ）は第１工程図、（ｂ）は第２工程図である。 同実施例の基板置台を示し、（ｃ）は第３工程図、（ｄ）は第４工程図、（ｅ）は第５工程図である。 同基板置台の断面を示し、（ａ）は第１工程図、（ｂ）は第２工程図、（ｃ）は第３工程図、（ｄ）は第４工程図、（ｅ）は第５工程図、（ｆ）は第６工程図である。 同基板置台と移載機ハンドの他の例を示す斜視図である。 本発明の基板置台の一実施例と収納装置を示し、（ａ）は第１工程図、（ｂ）は第２工程図である。 同実施例の基板置台を示し、（ｃ）は第３工程図、（ｄ）は第４工程図である。 同基板置台の断面を示し、（ａ）は第１工程図、（ｂ）は第２工程図、（ｃ）は第３工程図、（ｄ）は第４工程図、（ｅ）は第５工程図、（ｆ）は第６工程図である。 同基板置台と移載機ハンドの他の例を示す斜視図である。 従来の基板置台と収納装置を示す斜視図である。 押上支持部材による３列支持と４列支持とによる枚葉基板の撓みの差を示す図である。

符号の説明

１ 基板置台
２ 支持部材
３ 枚葉基板
４ 押上支持部材
５ 移載機ハンド
５１ 横ハンド支持部
５２ 縦ハンド支持部
６ 収納装置
６１ 支持部材
７ 支持部材
７１ 空間部
８ 押上支持部材
９ フォーク状ハンド

Claims (2)

1. 基板置台の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材と、該並列する支持部材間で基板置台に出没可能に設けられ、支持部材に支持された枚葉基板を押し上げて支持する押上支持部材とを備えるとともに、前記支持部材を、該押し上げられた枚葉基板の下から退去可能に設けたことを特徴とする基板置台。
2. 基板置台の両側から対向方向にそれぞれ延設された複数の並列する支持部材と、該並列する支持部材間で基板置台に出没可能に設けられ、支持部材に支持された枚葉基板を、支持部材との間に所定の間隔が開くように押し上げて支持する押上支持部材とを備えたことを特徴とする基板置台。

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