JP2005104629A - 基板収納具、基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板ケースのプリント基板の収納枚数を増加させ、且つ、プリント基板の歩留りを向上させること。
【解決手段】複数の基板を一定の間隔をおいて立てて収納する基板収納手段と、少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように前記複数の基板を下方から支持する支持台と、前記基板収納手段から前記基板の上部を保持して取り出すか、又は、前記基板収納手段に前記基板の上部を保持して収納する搬送手段とを有する。
【選択図】 図1
【解決手段】複数の基板を一定の間隔をおいて立てて収納する基板収納手段と、少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように前記複数の基板を下方から支持する支持台と、前記基板収納手段から前記基板の上部を保持して取り出すか、又は、前記基板収納手段に前記基板の上部を保持して収納する搬送手段とを有する。
【選択図】 図1
Description
本発明は基板収納具、基板搬送装置及び基板搬送方法に関し、より詳しくは、複数の基板を立てて収納する基板収納具と、基板収納具から基板を取り出し、搬送し、基板ケースに基板を立てて収納する基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。
近年、電子機器の小型化に伴い、電子部品を装着するプリント基板にも薄型化が要求されており、作業性及び搬送性を向上させるために基板ケースに多数枚に纏めて収納される。そのため、プリント基板に加工を施す装置やプリント基板へ電子部品を搭載する装置は、プリント基板を自動的に基板ケースから取り出したり、基板ケースに収納する基板搬送装置と共に用いられる。
基板搬送装置では、図6に示すように、プリント基板1を横たえさせて基板ケース2に収納する。そして、表面に吸引パッド6を具備した搬送ハンド5と呼ばれる基板保持具を用いて、プリント基板1を収納ケース2から取り出し、収納ケース2に収納している。しかしながら、このように基板ケース2にプリント基板1を収納すると、基板ケース2内のプリント基板1が自重により撓み、プリント基板1間に搬送ハンド5を挿入するための十分な隙間が得にくく、搬送ハンド5にプリント基板1が接触することがあった。この接触により、プリント基板1はその表面に傷を生じて不良品となってしまい、歩留まりが低くなってしまう。
このような問題を解決するために、図7に示すように、プリント基板1を立てて基板ケース2に収納してプリント基板1を取り出す搬送装置もある。(例えば、特許文献1参照。)。
特開平11−5627号公報
しかしながら、このような基板搬送装置においても、プリント基板1の間に搬送ハンド5を挿入して基板ケース2からプリント基板1を取り出すことには変わりはない。つまり、プリント基板1と搬送ハンド5との接触を避けるために基板ケース2内のプリント基板1の間隔を十分確保しておく必要がある。このような理由から、基板ケース2へのプリント1基板の収納枚数を増やす場合には、基板ケース2を大きくするしかなかった。この場合、基板ケース2自体の重量が増加するので、基板ケース2を基板搬送装置へ配置する際や装置間で運搬する際に、作業性及び搬送性が悪くなる。
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、基板ケースへのプリント基板の収納枚数を増加させ、且つ、プリント基板の歩留りを向上させる基板収納具、基板搬送装置及び基板搬送方法を提供することを目的とする。
上記した課題は、複数の基板を一定の間隔をおいて立てて収納する基板収納手段と、少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように前記複数の基板を下方から支持する支持台と、前記基板収納手段から前記基板の上部を保持して取り出すか、又は、前記基板収納手段に前記基板の上部を保持して収納する搬送手段とを有することを特徴とする基板搬送装置により解決する。
または、上記した課題は、複数の基板を一定の間隔をおいて前記複数の基板を立てて基板収納手段に収納された前記複数の基板を1枚毎に前記基板収納手段から取り出し、所定の処理を終えた前記複数の基板を1枚毎に保持して前記基板収納手段に立てて収納する基板搬送方法において、前記基板収納手段において少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように前記複数の基板を下方から支持し、前記複数の基板を取り出す際には、収納高さの高い方から順に前記基板の上部を保持して前記複数の基板を取り出し、前記複数の基板を収納する際には、前記基板の上部を保持して前記基板収納手段の前記複数の基板が収納高さの低い位置から順に前記複数の基板を前記基板収納手段に収納することを特徴とする基板搬送方法により解決する。
または、上記した課題は、少なくとも上方に開口した基板収納具であって、一側面と該側面に対向する他側面に複数の基板を一定の間隔をおいて保持する保持部と、前記複数の基板のうち、少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように下方から支持する支持台とを有することを特徴とする基板収納具により解決する。
本発明によれば、基板収納具において、収納される複数の基板は、立てて並列するように、かつ、少なくとも隣接する基板相互の高さが異なるように支持される。つまり、収納された基板のうち、例えば一番高い位置に収納された基板は隣接する基板に対して上方に突出する部分を生じる。
従って、この基板収納具を用いた基板搬送装置及び基板搬送方法において、基板搬送手段により基板収納具(基板収納手段)から基板を取り出す際に、収納された基板のうち、例えば一番高い位置に収納された基板を順次その突出した上部において基板搬送手段で保持しようとすると、基板収納具に収納された全ての基板を基板搬送手段と基板とが接触しないように取り出すことができる。さらに、基板収納具に基板を収納する際に、収納しようとする基板をその上部において基板搬送手段により保持し、収納高さが低い位置から順に基板収納具に基板を収納していくことにより、基板搬送手段と基板とが接触しないように全ての基板を収納することができる。
これにより、基板搬送手段と基板との接触による基板の損傷が回避され、基板の歩留りを向上させることができる。
また、本発明においては、基板収納具において、立てて並列するように収納された基板のうち一番高い位置に収納される基板は、隣接する基板に対して上方に突出する部分を生じるため、基板収納具に収納される基板の間隔を狭めても、基板搬送装置及び基板搬送方法において、基板搬送手段と基板とを接触させることなく基板搬送手段により基板を取り出し、また収納することができる。
これにより、基板収納具への基板収納数の増加に寄与し、基板収納具設置面積に対する基板収納数の割合を向上させることができる。
以下に、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板搬送装置の主要部を示す斜視図である。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板搬送装置の主要部を示す斜視図である。
本実施の形態の基板搬送装置は、プリント基板(基板)50を収納する基板ケース(保持部、基板収納手段)30と、基板ケース30を配置する基板ケースステージ(載置台)10と、基板ケース30内のプリント基板を支持する基板台20と、プリント基板50を保持して搬送する搬送アーム(搬送手段)40とを含んでいる。そして、搬送アーム40にはシリンダが取り付けられており、一定距離の往復運動を行なうことができるようになっている。
図2は、本実施の形態に係る基板ケースを示し、図2(a)は斜視図であり、図2は上面図である。
図2は、本実施の形態に係る基板ケースを示し、図2(a)は斜視図であり、図2は上面図である。
基板ケース30には、図2(b)に示すように、内側の一側壁面とこれに対向する側壁面にそれぞれ凹部31が縦に等間隔で複数形成されており、プリント基板50は凹部31に嵌め込まれて収納される。図2(b)では、例として、凹部31は1面当たり5箇所に形成されている場合について示しており、この場合、基板ケース30には5枚のプリント基板50が一定の間隔S1をおいて立てて収納される。基板ケース30の底面には、側壁面の凹部の下部を残して貫通孔Hが設けられている。即ち、基板ケース30を基板ケースステージ10から持ち上げても、プリント基板50は残した基板ケース30の底面により支持されるようになっている。また、基板ケースステージ10にも、基板ケース30を載せる場所に貫通孔Hと同形状の貫通孔hが設けられている。なお、基板ケース30を形成する側壁の上端部は、図2(a)に示すように、内側に傾斜のついた形状となっており、プリント基板50を収納しやすくなっている。
図3は、本実施の形態に係る基板台を示し、図3(a)は斜視図であり、図3(b)は上面図である。
基板台20は支持台23の底部に台座22に支えられた台座22に嵌入されたボールねじ21と連結されている。これにより、支持台23は台座22に対して昇降できるようになっている。
基板台20は支持台23の底部に台座22に支えられたボールねじ21に連結された構造になっている。支持台23の縦横の寸法D1,W1は基板ケースステージ10及び基板ケース30の貫通孔h,Hの縦横の寸法D2,W2よりそれぞれ小さく、ボールねじ21の駆動によって基板ケースステージ10及び基板ケース30の貫通孔h,Hを介して基板ケースステージ10及び基板ケース30の底面より上方に支持台23を上昇させることできる。支持台23は基板ケース30の収納枚数と同じ5つの段が階段状に形成され、隣接する各段間の段差Dは等しく形成されている。また、各段の幅S2は基板ケース30の隣り合うプリント基板50の間隔S1と等しく、ホールねじ21により支持台23を上昇させた際に、各段25がそれぞれ1枚のプリント基板50を支持するようになっている。これにより、プリント基板50の上端の位置は支持台23の段差を反映して一側方から他側方にかけて一様にDの割合で徐々に低くなる。
搬送アーム40には、2つのボールねじ41,42が嵌入されており、それぞれボールねじに繋がれたモータ(図示せず)の回転動作が半藤アーム40の水平面に平行な一方向及び垂直方向の移動に変換される。搬送アーム40には1対の基板ホルダー43が設けられており、プリント基板50の上端部分を基板ホルダー43により挟んで保持することが可能となっている。
このように、本実施の形態の基板搬送装置によれば、プリント基板50を支持する支持台23の上面に階段状の段差に設けているので、基板ケース30の貫通孔Hから支持台23を上昇させてプリント基板50を支持させることにより、プリント基板50を順次、階段状に並立させることができる。また、ボールねじ21を垂直方向に駆動させることにより、支持台23の全体の高さを変えられるようにしたので、この操作に合わせてプリント基板50の上端の高さを自在に換えて支持台23の階段状に配置されたプリント基板50に対して、反動あー、うによる保持位置の高さを揃えることができる。
次に、上記した基板搬送装置を用いてプリント基板を搬送する方法について図4(a)〜図4(c)に沿って説明する。
まず、図4(a)に示すように、基板搬送装置内の基板ケースステージ10の所定位置にプリント基板50が収納された基板ケース30を配置し、基板ケースステージ10及び基板ケース30の貫通孔h,Hからボールねじ21の駆動により支持台23を上昇させる。これにより、図4(b)に示すように、支持台23が各々のプリント基板50の下端を支持して上方に押し上げ、プリント基板50は上端の高さが順次高くなっていく。
次に、図4(b)に示すように、基板ホルダー43が開けた状態で一番高く押し上げられたプリント基板50aの上方に位置するようにモータ46の駆動により搬送アーム40を移動させた後に下降させ、基板ホルダー43を閉じてプリント基板50aを挟んで保持する。この際、基板ホルダー43の先端部が保持するプリント基板50aとそれに隣接するプリント基板50bとの間に入らない程度の高さまで搬送アーム40を下降させる。つまり、基板ホルダー43によるプリント基板50aの保持部分の長さは階段部の段差D未満となっている。
このようにすれば、プリント基板50bと搬送アーム40との接触を回避することができる。次いで、モータ45の駆動により搬送アーム40を上昇させて基板ケース30からプリント基板50aを取り出した後、モータ46の駆動により搬送アーム40を水平方向に移動させて所望の基板処理装置までプリント基板50aを搬送する。
その後、次のプリント基板50bの取り出しに移る。まず、図4(c)に示すように、プリント基板50bの上端が所定の高さとなるように、ボールねじ21の駆動により支持台を更に上昇された後、ボールねじ42の回転により搬送アーム40をプリント基板50bの上方に位置するように移動させる。次に、ボールねじ41の回転により搬送アーム40を下降させてプリント基板50bを基板ホルダー43により挟んで保持し、ボールねじ41の回転により搬送アーム40を上昇させて基板ケース30からプリント基板40を水平方向に移動させて所望の基板処理装置にプリント基板50を搬送する。
このように、搬送アーム40にプリント基板50bを保持させる際に、プリント基板50bの上端の位置が一定の高さHとなるようにボールねじ21により支持台の高さを調整すると、図7に示す搬送装置と同様にプリント基板50a,50bの取り出し、又は、収納の際の搬送アーム40の垂直方向の動作がプリント基板50a,50b毎に変わることなく、搬送アーム40に高精度の動作が要求されない。
このようになそう差を残りのプリント基板50c,50d,50eについても行い、基板ケース30に収納された全てのプリント基板50a〜50eを搬送する。
その後、基板ケース30を取り替えて上記同様にプリント基板を搬送する。
上記した搬送方法の逆の手順を踏めば、基板ケース30にプリント基板50a〜50eを収納することができる。この際、既に収納されたプリント基板と搬送アーム40との接触を避けるために、収納しようとするプリント基板の収納位置としては、隣接位置に収納高さが低いプリント基板がくるような位置を選ぶ。例えば、収納高さが低い位置から順にプリント基板を収納していくとよい。つまり、図4において、プリント基板50eの位置に最初に収納するプリント基板を収納し、最後に収納するプリント基板はプリント基板50aの位置に収納する。
このように、本実施の形態の基板搬送方法によれば、搬送アーム40によりプリント基板50a〜50eを基板ケース30から取り出す際に、収納されたプリント基板のうち、一番高い位置に収納されたプリント基板を順次その突出した上部において保持するので、基板ケース30に収納された全てのプリント基板50a〜50eを搬送アーム40とプリント基板50a〜50eとが接触しないように取り出すことができる。
また、プリント基板50a〜50eを基板ケース30に収納する際に、収納しようとするプリント基板をその上部において搬送アームにより保持し、収納高さが低い位置から順に基板ケースにプリント基板50a〜50eを収納していくことにより、搬送アーム40とプリント基板50a〜50eとが接触しないように全ての基板50a〜50eを収納することができる。
これにより、プリント基板50a〜50eの表面に傷を生じさせることなくプリント基板50a〜50eを搬送することができるので、プリント基板の歩留りが向上する。
また、基板ケース30に収納されたプリント基板50a〜50eのうち、一番高い位置に収納されたプリント基板50は、隣接するプリント基板50a〜50eに対して上方に突出する部分を生じるため、基板ケース30のプリント基板50a〜50eの収納間隔を狭めても、搬送アーム40とプリント基板50a〜50eとを接触させずにプリント基板50a〜50eを取り出し、又は収納することができる。
これにより、基板ケース30の設置面積に対する基板収納枚数の割合を向上させることができる。
(第2の実施の形態)
本実施の形態では、第1の実施の形態よりも簡素化した構造の基板搬送装置について説明する。
(第2の実施の形態)
本実施の形態では、第1の実施の形態よりも簡素化した構造の基板搬送装置について説明する。
図5は、本発明の第2の基板搬送装置の主要部を示す斜視図である。
本実施の形態の基板搬送装置では、基板ケース30の底面に基板ケース30が一体化して基板台20が形成され、基板ケース30のみから構成される点において、第1の実施の形態とは異なる。つまり、本実施の形態の基板搬送装置では、支持台23は動作せず、プリント基板50が、基板ケース30に収納された時点で、プリント基板50の上端の位置が階段状に並列する。また、本実施の形態では、基板ケース30と基板台20とが一体化しているので、基板ケース30や基板ケースステージ10に基板台20を基板ケース30に挿入するための貫通孔h,Hは必要ない。なお、本実施の形態の場合、各基板を挟んで保持する高さが異なるので、搬送アームにはボールねじ(図示せず)が取り付けられて、上下方向に自由に昇降運動できるようにしておく。
この基板搬送装置を用いてプリント基板50を搬送する場合、第1の実施の形態とは異なり支持台23が動作しないので、搬送アーム40にプリント基板40を保持させる際に、プリント基板50の上端の高さはプリント基板毎に異なる。この場合、搬送アーム40を所望のプリント基板の上端が挟める位置までボールねじにより搬送アームを下降させてプリント基板50を保持する。
本実施の形態では、第1の実施の形態と比較して基板台20が動作しないので、装置の構造が簡素化され低価格で基板搬送装置を提供することができる。
本発明は以上説明した実施の形態に限定されるものではない。例えば、第2の実施の形態のhsん同道地において、基板ケースステージ10を縦方向にどうされきるようにしてもよい。この場合、基板ケースステージ10にシリンダが連結される。
また、支持台23の段数と基板ケース30のプリント基板50の収納枚数は必ずしも一致させる必要はなく、収納枚数と比較して段数が十分多くしてもよい。また、支持台23の上面を水平面に対して角度をなす傾斜面としてもよい。このようにすれば、上記の実施の形態と同様に、プリント基板50は上端部の高さが順次高くなる。
さらに、プリント基板50の高さを必ずしも順次高くする必要はなく、隣接するプリント基板50の高さを異ならせるだけでも、上記の実施の形態と同様の効果が得られる。
例えば、プリント基板50の上端の位置がノコギリ状に1枚おきに変わるように支持台23を作成する。この場合、収納されたプリント基板50は高い位置にあるものと低い位置にあるものに分かれ、高い位置にあるプリント基板50同士の間には上部に収納間隔の2倍の空間が生じている。このようにして、搬送アーム40を差し込むために十分な空間を形成し、搬送アーム40をこの空間に差し込んでプリント基板50を保持することにより、プリント基板50と搬送アーム40との接触を回避することができる。また、高い位置のプリント基板50を全て取り出した後、低い位置のプリント基板50の間には収納間隔の2倍の空間が生じるので、高い位置のプリント基板50を保持する場合と同様に、プリント基板50と搬送アーム40との接触を回避することができる。
また、上記の実施の形態では、搬送アーム40はプリント基板50の上端部を挟んで保持したが、両側方から上側部を挟んで保持してもよい。この場合も上記の実施の形態と同様に、プリント基板50間に搬送アーム40を挿入することなくプリント基板50を保持することができるので、プリント基板50と搬送アーム40とが接触することはない。
また、基板ケース30内のプリント基板50を横たえないようにすればよいものであり、プリント基板50を立てて基板ケース30に収納しさえすれば基板ケース30からプリント基板50を取り出す方向、又は、基板ケース30へプリント基板50を収納の方向は限定しない。例えば、上記の実施の形態の基板ケース30において、凹部31が形成された側壁面の一方を取り外し可能とする。この場合、取り外された側壁面側からプリント基板50の取り出し、収納を行う。
さらに、搬送の対象物はプリント基板50に限定されるものではなく、半導体ウエハの搬送にも本発明を適用することができる。
1・・・プリント基板
2・・・基板ケース
5・・・搬送ハンド
6・・・吸引パッド
10・・・基板ケースステージ
20・・・基板台
23・・・支持台
30・・・基板ケース(保持部、基板収納手段)
40・・・搬送アーム(搬送手段)
50・・・プリント基板(基板)
2・・・基板ケース
5・・・搬送ハンド
6・・・吸引パッド
10・・・基板ケースステージ
20・・・基板台
23・・・支持台
30・・・基板ケース(保持部、基板収納手段)
40・・・搬送アーム(搬送手段)
50・・・プリント基板(基板)
Claims (10)
- 複数の基板を一定の間隔をおいて立てて収納する基板収納手段と、
少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように前記複数の基板を下方から支持する支持台と、
前記基板収納手段から前記基板の上部を保持して取り出すか、又は、前記基板収納手段に前記基板の上部を保持して収納する搬送手段と
を有することを特徴とする基板搬送装置。 - 前記基板収納手段の底面には貫通孔が設けられおり、前記支持台は前記貫通孔を通して上下方向に昇降可能であり、前記複数の基板の高さを変えることができることを特徴とする請求項7に記載の基板収納具。
- 前記基板収納手段は、該基板収納手段を載置する載置台と一体化して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記支持台の上面は、階段状になっていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 複数の基板を一定の間隔をおいて前記複数の基板を立てて基板収納手段に収納された前記複数の基板を1枚毎に前記基板収納手段から取り出し、所定の処理を終えた前記複数の基板を1枚毎に保持して前記基板収納手段に立てて収納する基板搬送方法において、
前記基板収納手段において、少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように前記複数の基板を下方から支持し、前記複数の基板を取り出す際には、収納高さの高い方の高い順に前記基板の上部を保持して前記複数の基板を取り出し、前記複数の基板を収納する際には、前記基板の上部を保持して前記基板収納手段の前記複数の基板が収納高さの低い位置から順に前記複数の基板を前記基板収納手段に収納することを特徴とする基板搬送方法。 - 前記複数の基板は、前記基板搬送手段の一側方から他側方にかけて順次高くなるように収納されることを特徴とする請求項5に記載の基板搬送方法。
- 少なくとも上方に開口した基板収納具であって、
一側面と該側面に対向する他側面に複数の基板を一定の間隔をおいて保持する保持部と、
前記複数の基板のうち、少なくとも隣接する前記基板相互の高さが異なるように下方から支持する支持台と
を有することを特徴とする基板収納具。 - 前記基板収納具の底面には貫通孔が設けられおり、前記支持台は前記貫通孔を通して上下方向に昇降可能であり、前記複数の基板の高さを変えることができることを特徴とする請求項7に記載の基板収納具。
- 前記支持台は、前記基板収納具の底面と一体化して設けられていることを特徴とする請求項7に記載の基板収納具。
- 前記支持台の上面は、階段状になっていることを特徴とする請求項7乃至請求項9のいずれかに記載の基板収納具。
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KR101282376B1 (ko) * | 2012-12-24 | 2013-07-04 | 주식회사 디에스이엔티 | 인쇄회로기판용 더블로더형 투입 및 수취 전환장치 |
CN111554599A (zh) * | 2020-04-27 | 2020-08-18 | 厦门通富微电子有限公司 | 承载晶圆料盒的治具、晶圆料盒装置及装载晶圆的方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061205 |