JP3081025B2 - ウエハの移載装置 - Google Patents
ウエハの移載装置Info
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- JP3081025B2 JP3081025B2 JP18834091A JP18834091A JP3081025B2 JP 3081025 B2 JP3081025 B2 JP 3081025B2 JP 18834091 A JP18834091 A JP 18834091A JP 18834091 A JP18834091 A JP 18834091A JP 3081025 B2 JP3081025 B2 JP 3081025B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハの移載装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体素子の製造工程におい
て、半導体ウエハ等を搬送する場合に、キャリアあるい
はカセットと称されるウエハ収納容器が用いられる。こ
のウエハ収納容器は、軽量で安価な樹脂等からなり、ウ
エハを複数枚例えば25枚収納可能に構成されている。
て、半導体ウエハ等を搬送する場合に、キャリアあるい
はカセットと称されるウエハ収納容器が用いられる。こ
のウエハ収納容器は、軽量で安価な樹脂等からなり、ウ
エハを複数枚例えば25枚収納可能に構成されている。
【０００３】一方、熱処理装置等によって多数のウエハ
をバッチ処理するような場合、上記のような樹脂製のウ
エハ収納容器に収納された状態でウエハの熱処理を行う
ことはできず、化学的に安定でかつ耐熱性に優れた石英
ガラス等からなる熱処理用ウエハ保持具にウエハを移載
してから熱処理を行う必要がある。
をバッチ処理するような場合、上記のような樹脂製のウ
エハ収納容器に収納された状態でウエハの熱処理を行う
ことはできず、化学的に安定でかつ耐熱性に優れた石英
ガラス等からなる熱処理用ウエハ保持具にウエハを移載
してから熱処理を行う必要がある。
【０００４】図９および図１０に熱処理用ウエハ保持具
の一例を示す。図９は、熱処理用ウエハ保持具を上方か
ら見た説明図であり、図１０は図９のＣ−Ｏ−Ｃ断面図
である。この熱処理用ウエハ保持具60は、４本の支柱61
と、複数のリング状ウエハ支持板65とよりなる。支柱61
には一定のピッチで溝62が形成され、この溝62にリング
状ウエハ支持板65の周縁が嵌合されることにより、リン
グ状ウエハ支持板65が支柱61に保持されている。65Ａは
ウエハ支持面であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支
持面65Ａに対接されることにより、リング状ウエハ支持
板65に支持される。ここに、１回のバッチ処理によって
処理されるウエハの数は、熱処理用ウエハ保持具のリン
グ状ウエハ支持板の配列数によって決まる。従って、１
回のバッチ処理によって多数のウエハを処理するために
は、リング状ウエハ支持板間のピッチをできるだけ小さ
くすることが必要となる。
の一例を示す。図９は、熱処理用ウエハ保持具を上方か
ら見た説明図であり、図１０は図９のＣ−Ｏ−Ｃ断面図
である。この熱処理用ウエハ保持具60は、４本の支柱61
と、複数のリング状ウエハ支持板65とよりなる。支柱61
には一定のピッチで溝62が形成され、この溝62にリング
状ウエハ支持板65の周縁が嵌合されることにより、リン
グ状ウエハ支持板65が支柱61に保持されている。65Ａは
ウエハ支持面であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支
持面65Ａに対接されることにより、リング状ウエハ支持
板65に支持される。ここに、１回のバッチ処理によって
処理されるウエハの数は、熱処理用ウエハ保持具のリン
グ状ウエハ支持板の配列数によって決まる。従って、１
回のバッチ処理によって多数のウエハを処理するために
は、リング状ウエハ支持板間のピッチをできるだけ小さ
くすることが必要となる。
【０００５】一方、ウエハをウエハ収納容器から、熱処
理用ウエハ保持具へ移載する手段としては、図１５に示
すような移載手段が用いられる。この移載手段は、ウエ
ハ移載用フォーク91（以下「移載用フォーク91」とい
う）と、ウエハ突き上げ用フォーク95（以下「突き上げ
用フォーク95」という）とを備えている。移載用フォー
ク91は、ウエハの下面と対接する上面を有する板状体で
あり、突き上げ用フォーク95は、その上面にウエハの下
面と対接する３ヶ所の突起部98を有する板状体である。
移載用フォーク91はフォーク保持機構92に接続されて矢
印Ｘに示す方向への往復運動が可能であり、突き上げ用
フォーク95はフォーク保持機構96に接続されて矢印Ｘに
示す方向への往復運動が可能である。また、フォーク保
持機構92およびフォーク保持機構96は、それぞれ軸97に
沿って矢印Ｚに示す方向への往復運動および軸97を中心
として矢印θに示す回転運動が可能であり、従って、移
載用フォーク91および突き上げ用フォーク95は、それぞ
れＺ方向への往復運動およびθ方向への回転運動が可能
になる。
理用ウエハ保持具へ移載する手段としては、図１５に示
すような移載手段が用いられる。この移載手段は、ウエ
ハ移載用フォーク91（以下「移載用フォーク91」とい
う）と、ウエハ突き上げ用フォーク95（以下「突き上げ
用フォーク95」という）とを備えている。移載用フォー
ク91は、ウエハの下面と対接する上面を有する板状体で
あり、突き上げ用フォーク95は、その上面にウエハの下
面と対接する３ヶ所の突起部98を有する板状体である。
移載用フォーク91はフォーク保持機構92に接続されて矢
印Ｘに示す方向への往復運動が可能であり、突き上げ用
フォーク95はフォーク保持機構96に接続されて矢印Ｘに
示す方向への往復運動が可能である。また、フォーク保
持機構92およびフォーク保持機構96は、それぞれ軸97に
沿って矢印Ｚに示す方向への往復運動および軸97を中心
として矢印θに示す回転運動が可能であり、従って、移
載用フォーク91および突き上げ用フォーク95は、それぞ
れＺ方向への往復運動およびθ方向への回転運動が可能
になる。
【０００６】ここに、ウエハ収納容器から熱処理用ウエ
ハ保持具へのウエハの移載方法としては、 移載用フ
ォーク91により、ウエハ収納容器からウエハを搬出し、
移載用フォーク91の先端が熱処理用ウエハ保持具に対向
するまで、フォーク保持機構92をθ方向へ旋回させる。
図１２に示すように、ウエハＷを支持している移載
用フォーク91を、リング状ウエハ支持板65(651) と65(6
52) との間に挿入するとともに、突き上げ用フォーク95
を、リング状ウエハ支持板65(652) と65(653) との間に
挿入する。 突き上げ用フォーク95を、突起部98がウ
エハＷの下面に対接するまで上昇させ、この状態で移載
用フォーク91を熱処理用ウエハ保持具60から退去させ
る。これにより、図１３に示すように、突き上げ用フォ
ーク95によりウエハＷが支持される。 突き上げ用フ
ォーク95を下降させる。これにより、図１４に示すよう
に、ウエハＷはリング状ウエハ支持板65(652) に支持さ
れる。 突き上げ用フォーク95を熱処理用ウエハ保持
具60から退去させる。ここで、上記図１２〜図１４は、
それぞれ図９におけるＤ−Ｄ断面図であり、一部を省略
して示している。
ハ保持具へのウエハの移載方法としては、 移載用フ
ォーク91により、ウエハ収納容器からウエハを搬出し、
移載用フォーク91の先端が熱処理用ウエハ保持具に対向
するまで、フォーク保持機構92をθ方向へ旋回させる。
図１２に示すように、ウエハＷを支持している移載
用フォーク91を、リング状ウエハ支持板65(651) と65(6
52) との間に挿入するとともに、突き上げ用フォーク95
を、リング状ウエハ支持板65(652) と65(653) との間に
挿入する。 突き上げ用フォーク95を、突起部98がウ
エハＷの下面に対接するまで上昇させ、この状態で移載
用フォーク91を熱処理用ウエハ保持具60から退去させ
る。これにより、図１３に示すように、突き上げ用フォ
ーク95によりウエハＷが支持される。 突き上げ用フ
ォーク95を下降させる。これにより、図１４に示すよう
に、ウエハＷはリング状ウエハ支持板65(652) に支持さ
れる。 突き上げ用フォーク95を熱処理用ウエハ保持
具60から退去させる。ここで、上記図１２〜図１４は、
それぞれ図９におけるＤ−Ｄ断面図であり、一部を省略
して示している。
【０００７】リング状ウエハ支持板65の各配置レベルに
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器から熱処理用ウエハ保持具60へのウエハＷの移載が
行われる。
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器から熱処理用ウエハ保持具60へのウエハＷの移載が
行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
してウエハを移載する場合、熱処理用ウエハ保持具60に
ウエハを搬入、搬出する操作において、突起部98を有す
る突き上げ用フォーク95をリング状ウエハ支持板65間に
挿入させる必要があるために、リング状ウエハ支持板65
間のピッチを小さくすることができず、例えば上記の熱
処理用ウエハ保持具60では13〜14mm程度のピッチが必要
となる。このような熱処理用ウエハ保持具では、１回の
バッチ処理によって多数のウエハを処理することができ
ない。
してウエハを移載する場合、熱処理用ウエハ保持具60に
ウエハを搬入、搬出する操作において、突起部98を有す
る突き上げ用フォーク95をリング状ウエハ支持板65間に
挿入させる必要があるために、リング状ウエハ支持板65
間のピッチを小さくすることができず、例えば上記の熱
処理用ウエハ保持具60では13〜14mm程度のピッチが必要
となる。このような熱処理用ウエハ保持具では、１回の
バッチ処理によって多数のウエハを処理することができ
ない。
【０００９】この場合において、複数のリング状ウエハ
支持板によって囲まれた空間内において、当該空間内を
昇降するウエハ突き上げ機構を設けることも考えられ、
このようなウエハ突き上げ機構が設けられたウエハの移
載装置によれば、突き上げフォークなどの突き上げ手段
をリング状ウエハ支持板間に挿入させる必要がないた
め、リング状ウエハ支持板間のピッチを小さくすること
ができる。
支持板によって囲まれた空間内において、当該空間内を
昇降するウエハ突き上げ機構を設けることも考えられ、
このようなウエハ突き上げ機構が設けられたウエハの移
載装置によれば、突き上げフォークなどの突き上げ手段
をリング状ウエハ支持板間に挿入させる必要がないた
め、リング状ウエハ支持板間のピッチを小さくすること
ができる。
【００１０】図１１はウエハ突き上げ機構の概略を示す
説明図であり、40はウエハ突き上げ機構、41はウエハ突
き上げ盤、42はウエハ突き上げ盤41上に形成された突起
部、43はウエハ突き上げ盤の昇降手段、15は熱処理用ウ
エハ保持具が載置される保持具載置台である。同図にお
いて、はウエハ突き上げ盤41が保持具載置台15内で待
機している状態（下限レベル）を示し、はウエハ突き
上げ盤41が昇降手段43により押し上げられている状態
（上限レベル）を示している。
説明図であり、40はウエハ突き上げ機構、41はウエハ突
き上げ盤、42はウエハ突き上げ盤41上に形成された突起
部、43はウエハ突き上げ盤の昇降手段、15は熱処理用ウ
エハ保持具が載置される保持具載置台である。同図にお
いて、はウエハ突き上げ盤41が保持具載置台15内で待
機している状態（下限レベル）を示し、はウエハ突き
上げ盤41が昇降手段43により押し上げられている状態
（上限レベル）を示している。
【００１１】しかして、上記のウエハ突き上げ機構40を
備えてなるウエハの移載装置においては、熱処理用ウエ
ハ保持具の下方に、ウエハ突き上げ盤41のストロークＺ
3 に対応するウエハ突き上げ機構40の配置スペースが必
要となる。
備えてなるウエハの移載装置においては、熱処理用ウエ
ハ保持具の下方に、ウエハ突き上げ盤41のストロークＺ
3 に対応するウエハ突き上げ機構40の配置スペースが必
要となる。
【００１２】しかしながら、ウエハ突き上げ機構の昇降
手段のストロークが長いものである場合には、ウエハの
移載装置およびこれを具えた縦型のウエハの熱処理装置
において、装置の運搬やクリーンルームへの搬入の際に
おける高さの制限により、ウエハ突き上げ機構の配置ス
ペースを確保することができない、という新たな問題が
発生した。特に、高身長縦型の熱処理用ウエハ保持具に
ウエハを移載する場合には、高さ方向のスペースを確保
することは極めて困難である。
手段のストロークが長いものである場合には、ウエハの
移載装置およびこれを具えた縦型のウエハの熱処理装置
において、装置の運搬やクリーンルームへの搬入の際に
おける高さの制限により、ウエハ突き上げ機構の配置ス
ペースを確保することができない、という新たな問題が
発生した。特に、高身長縦型の熱処理用ウエハ保持具に
ウエハを移載する場合には、高さ方向のスペースを確保
することは極めて困難である。
【００１３】本発明は以上のような事情に基づいてなさ
れたものであって、その目的は、熱処理用ウエハ保持具
におけるリング状ウエハ支持板間のピッチを小さくする
ことができるウエハの移載装置であって、しかも、ウエ
ハを突き上げるための高さ方向のスペースが小さいウエ
ハの移載装置を提供することにある。
れたものであって、その目的は、熱処理用ウエハ保持具
におけるリング状ウエハ支持板間のピッチを小さくする
ことができるウエハの移載装置であって、しかも、ウエ
ハを突き上げるための高さ方向のスペースが小さいウエ
ハの移載装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明のウエハの移載装
置は、複数のリング状ウエハ支持板が上下方向に配列さ
れている熱処理用ウエハ保持具とウエハ収納容器との間
でウエハを移載するウエハの移載装置であって、ウエハ
収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウエハ支
持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状ウエハ
支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容器へ搬
入する移載手段と、熱処理用ウエハ保持具の複数のリン
グ状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能に
設けられたウエハ突き上げ機構とを備えてなり、前記ウ
エハ突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤と、このウエハ
突き上げ盤を昇降させる第１の昇降手段と、この第１の
昇降手段を昇降させる第２の昇降手段とを有しているこ
とを特徴とする。
置は、複数のリング状ウエハ支持板が上下方向に配列さ
れている熱処理用ウエハ保持具とウエハ収納容器との間
でウエハを移載するウエハの移載装置であって、ウエハ
収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウエハ支
持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状ウエハ
支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容器へ搬
入する移載手段と、熱処理用ウエハ保持具の複数のリン
グ状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能に
設けられたウエハ突き上げ機構とを備えてなり、前記ウ
エハ突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤と、このウエハ
突き上げ盤を昇降させる第１の昇降手段と、この第１の
昇降手段を昇降させる第２の昇降手段とを有しているこ
とを特徴とする。
【００１５】
【作用】ウエハ突き上げ機構によって、ウエハの下面
を、リング状ウエハ支持板から離間させることができ、
これにより移載手段が挿入されるギャップを確保するこ
とができる。しかも、ウエハ突き上げ機構は、複数のリ
ング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能
に設けられているので、突き上げ手段をリング状ウエハ
支持板間に挿入させる必要がなく、リング状ウエハ支持
板間のピッチを小さくすることができる。また、ウエハ
突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤を昇降させる第１の
昇降手段およびこの第１の昇降手段をさらに昇降させる
第２の昇降手段を有しているので、ウエハ突き上げ機構
の高さ方向の配置スペースは、１段階でウエハ突き上げ
盤を昇降させる場合に比べて小さいものとなる。
を、リング状ウエハ支持板から離間させることができ、
これにより移載手段が挿入されるギャップを確保するこ
とができる。しかも、ウエハ突き上げ機構は、複数のリ
ング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能
に設けられているので、突き上げ手段をリング状ウエハ
支持板間に挿入させる必要がなく、リング状ウエハ支持
板間のピッチを小さくすることができる。また、ウエハ
突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤を昇降させる第１の
昇降手段およびこの第１の昇降手段をさらに昇降させる
第２の昇降手段を有しているので、ウエハ突き上げ機構
の高さ方向の配置スペースは、１段階でウエハ突き上げ
盤を昇降させる場合に比べて小さいものとなる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基づい
て説明する。図１は、本発明のウエハの移載装置の一実
施例を示す説明用斜視図である。本実施例のウエハの移
載装置は、図示しない熱処理装置に搬入搬出される熱処
理用ウエハ保持具10とウエハ収納容器50との間でウエハ
Ｗを移載するものである。熱処理用ウエハ保持具10は、
４本の支柱12と、図１においては省略して記載されてい
るが、複数例えば60枚のリング状ウエハ支持板11とによ
り構成され、保持具載置台15上に載置されている。ウエ
ハ収納容器50は、収納容器載置台55上に載置され、ウエ
ハ収納容器50内には複数のウエハが上下方向に同一ピッ
チで配列された状態で収納されている。20はウエハ突き
上げ機構であり、この図においては、保持具載置台15内
において待機されている。30は移載手段であり、移載手
段30は、移載用フォーク31と、フォーク保持機構32と、
軸37とを備えている。移載用フォーク31は、ウエハの下
面と対接する上面を有する板状体であり、フォーク保持
機構32に接続されて矢印Ｘに示す方向への往復運動が可
能である。また、移載用フォーク31は、フォーク保持機
構32を介してＺ方向への往復運動およびθ方向への回転
運動が可能である。
て説明する。図１は、本発明のウエハの移載装置の一実
施例を示す説明用斜視図である。本実施例のウエハの移
載装置は、図示しない熱処理装置に搬入搬出される熱処
理用ウエハ保持具10とウエハ収納容器50との間でウエハ
Ｗを移載するものである。熱処理用ウエハ保持具10は、
４本の支柱12と、図１においては省略して記載されてい
るが、複数例えば60枚のリング状ウエハ支持板11とによ
り構成され、保持具載置台15上に載置されている。ウエ
ハ収納容器50は、収納容器載置台55上に載置され、ウエ
ハ収納容器50内には複数のウエハが上下方向に同一ピッ
チで配列された状態で収納されている。20はウエハ突き
上げ機構であり、この図においては、保持具載置台15内
において待機されている。30は移載手段であり、移載手
段30は、移載用フォーク31と、フォーク保持機構32と、
軸37とを備えている。移載用フォーク31は、ウエハの下
面と対接する上面を有する板状体であり、フォーク保持
機構32に接続されて矢印Ｘに示す方向への往復運動が可
能である。また、移載用フォーク31は、フォーク保持機
構32を介してＺ方向への往復運動およびθ方向への回転
運動が可能である。
【００１７】図２は、保持具載置台15に載置された熱処
理用ウエハ保持具10を上方から見た説明図であり、図３
は図２のＡ−Ｏ−Ａ断面図である。支柱12には一定のピ
ッチで溝13が形成され、この溝13にリング状ウエハ支持
板11の周縁が嵌合されることにより、リング状ウエハ支
持板11が支柱12に保持されている。11Ａはウエハ支持面
であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支持面11Ａに対
接されることにより、リング状ウエハ支持板11に支持さ
れる。ウエハ突き上げ機構20は、複数のリング状ウエハ
支持板11によって囲まれた空間Ｐ内において昇降可能で
ある。
理用ウエハ保持具10を上方から見た説明図であり、図３
は図２のＡ−Ｏ−Ａ断面図である。支柱12には一定のピ
ッチで溝13が形成され、この溝13にリング状ウエハ支持
板11の周縁が嵌合されることにより、リング状ウエハ支
持板11が支柱12に保持されている。11Ａはウエハ支持面
であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支持面11Ａに対
接されることにより、リング状ウエハ支持板11に支持さ
れる。ウエハ突き上げ機構20は、複数のリング状ウエハ
支持板11によって囲まれた空間Ｐ内において昇降可能で
ある。
【００１８】図４はウエハ突き上げ機構20の詳細を示す
説明用斜視図である。同図において、23はウエハ突き上
げ盤21を昇降させる第１の昇降手段、25は第１の昇降手
段23を昇降させる第２の昇降手段である。
説明用斜視図である。同図において、23はウエハ突き上
げ盤21を昇降させる第１の昇降手段、25は第１の昇降手
段23を昇降させる第２の昇降手段である。
【００１９】第１の昇降手段23は、モータ23Ｍと、モー
タ23Ｍにより回転するネジ棒23Ｌと、ガイド23Ｇと、ウ
エハ突き上げ盤21に連結し、ボールネジ機構を有する第
１の昇降板23Ａとよりなる。モータ23Ｍおよびガイド23
Ｇは、それぞれ筒状容器24内において、後述する第２の
昇降板25Ａの一端側に固定されている。ネジ棒23Ｌの回
転により、第１の昇降板23Ａはガイド23Ｇに沿って移動
し、これにより、ウエハ突き上げ盤21が第２の昇降板25
Ａに対して上下方向に移動する。
タ23Ｍにより回転するネジ棒23Ｌと、ガイド23Ｇと、ウ
エハ突き上げ盤21に連結し、ボールネジ機構を有する第
１の昇降板23Ａとよりなる。モータ23Ｍおよびガイド23
Ｇは、それぞれ筒状容器24内において、後述する第２の
昇降板25Ａの一端側に固定されている。ネジ棒23Ｌの回
転により、第１の昇降板23Ａはガイド23Ｇに沿って移動
し、これにより、ウエハ突き上げ盤21が第２の昇降板25
Ａに対して上下方向に移動する。
【００２０】第２の昇降手段25は、モータ25Ｍと、モー
タ25Ｍにより回転するネジ棒25Ｌと、ガイド25Ｇと、ボ
ールネジ機構を有する第２の昇降板25Ａとよりなり、筒
状容器26内に収納されている。筒状容器26および保持具
載置台15には、それぞれ第２の昇降板25Ａの昇降路とな
る開口が形成され、ネジ棒25Ｌの回転により、第２の昇
降板25Ａはガイド25Ｇに沿って移動し、これにより、第
１の昇降手段23が上下方向に移動する。
タ25Ｍにより回転するネジ棒25Ｌと、ガイド25Ｇと、ボ
ールネジ機構を有する第２の昇降板25Ａとよりなり、筒
状容器26内に収納されている。筒状容器26および保持具
載置台15には、それぞれ第２の昇降板25Ａの昇降路とな
る開口が形成され、ネジ棒25Ｌの回転により、第２の昇
降板25Ａはガイド25Ｇに沿って移動し、これにより、第
１の昇降手段23が上下方向に移動する。
【００２１】図５はウエハ突き上げ機構20の概略を示す
説明図である。同図において、はウエハ突き上げ盤21
が保持具載置台15内で待機している状態（下限レベル）
を示し、は第１の昇降手段23および第２の昇降手段25
によりウエハ突き上げ盤21が押し上げられている状態
（上限レベル）を示している。同図において、Ｚ1 は第
１の昇降手段23によるストローク、Ｚ2 は第２の昇降手
段25によるストロークであり、これらの和（Ｚ1 ＋
Ｚ2 ）は、図１１に示した昇降手段42によるストローク
Ｚ3 と同一である。然るに、本実施例においては、２段
階の昇降手段を用いているので、ウエハ突き上げ機構20
の配置スペースは、図１１に示したウエハ突き上げ機構
40の配置スペースよりも小さいものとなる。図５の
は、ウエハ突き上げ機構20によりウエハＷが突き上げら
れている状態を示している。
説明図である。同図において、はウエハ突き上げ盤21
が保持具載置台15内で待機している状態（下限レベル）
を示し、は第１の昇降手段23および第２の昇降手段25
によりウエハ突き上げ盤21が押し上げられている状態
（上限レベル）を示している。同図において、Ｚ1 は第
１の昇降手段23によるストローク、Ｚ2 は第２の昇降手
段25によるストロークであり、これらの和（Ｚ1 ＋
Ｚ2 ）は、図１１に示した昇降手段42によるストローク
Ｚ3 と同一である。然るに、本実施例においては、２段
階の昇降手段を用いているので、ウエハ突き上げ機構20
の配置スペースは、図１１に示したウエハ突き上げ機構
40の配置スペースよりも小さいものとなる。図５の
は、ウエハ突き上げ機構20によりウエハＷが突き上げら
れている状態を示している。
【００２２】この例の熱処理用ウエハ保持具10は、６イ
ンチのウエハを保持するものであり、その寸法の一例を
示せば、下記のとおりである。 リング状ウエハ支持板11の外径：φ１５６mm リング状ウエハ支持板11の内径：φ１２３mm ウエハ支持面11Ａの外径 ：φ１５３mm リング状ウエハ支持板11の厚さ： ３mm（但し、ウエハ
支持面11Ａ側は２mm） リング状ウエハ支持板11間のピッチ：９．５２５mm
ンチのウエハを保持するものであり、その寸法の一例を
示せば、下記のとおりである。 リング状ウエハ支持板11の外径：φ１５６mm リング状ウエハ支持板11の内径：φ１２３mm ウエハ支持面11Ａの外径 ：φ１５３mm リング状ウエハ支持板11の厚さ： ３mm（但し、ウエハ
支持面11Ａ側は２mm） リング状ウエハ支持板11間のピッチ：９．５２５mm
【００２３】ここに、ウエハ収納容器50から熱処理用ウ
エハ保持具10へのウエハの移載方法としては、 移載
用フォーク31により、ウエハ収納容器50からウエハＷを
搬出し、移載用フォーク31の先端が熱処理用ウエハ保持
具10に対向するまで、フォーク保持機構32をθ方向へ旋
回させる。 図６に示すように、ウエハＷを支持して
いる移載用フォーク31を、リング状ウエハ支持板11(11
1) と11(112) との間に挿入する。 ウエハ突き上げ
機構20のウエハ突き上げ盤21を、突起部22がウエハＷの
下面に対接するまで上昇させて、この状態で移載用フォ
ーク31を熱処理用ウエハ保持具10から退去させる。これ
により、図７に示すように、ウエハ突き上げ機構20によ
りウエハＷが支持される。 ウエハ突き上げ機構20の
ウエハ突き上げ盤21を下降させる。これにより、図８に
示すように、ウエハＷはリング状ウエハ支持板11(112)
に支持される。上記の搬出操作において、移載用フォー
ク31の駆動は、Ｘ方向の往復およびθ方向への回転のみ
である。なお、上記図６〜図８は、それぞれ図２におけ
るＢ−Ｂ断面図であり、一部を省略して示している。
エハ保持具10へのウエハの移載方法としては、 移載
用フォーク31により、ウエハ収納容器50からウエハＷを
搬出し、移載用フォーク31の先端が熱処理用ウエハ保持
具10に対向するまで、フォーク保持機構32をθ方向へ旋
回させる。 図６に示すように、ウエハＷを支持して
いる移載用フォーク31を、リング状ウエハ支持板11(11
1) と11(112) との間に挿入する。 ウエハ突き上げ
機構20のウエハ突き上げ盤21を、突起部22がウエハＷの
下面に対接するまで上昇させて、この状態で移載用フォ
ーク31を熱処理用ウエハ保持具10から退去させる。これ
により、図７に示すように、ウエハ突き上げ機構20によ
りウエハＷが支持される。 ウエハ突き上げ機構20の
ウエハ突き上げ盤21を下降させる。これにより、図８に
示すように、ウエハＷはリング状ウエハ支持板11(112)
に支持される。上記の搬出操作において、移載用フォー
ク31の駆動は、Ｘ方向の往復およびθ方向への回転のみ
である。なお、上記図６〜図８は、それぞれ図２におけ
るＢ−Ｂ断面図であり、一部を省略して示している。
【００２４】リング状ウエハ支持板11の各配置レベルに
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器50から熱処理用ウエハ保持具10へのウエハＷの移載
が行われる。
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器50から熱処理用ウエハ保持具10へのウエハＷの移載
が行われる。
【００２５】また、熱処理用ウエハ保持具10からウエハ
収納容器50へのウエハＷの移載は、上記と逆の操作、す
なわち、リング状ウエハ支持板11に支持されているウエ
ハＷを、ウエハ突き上げ機構20により突き上げて、その
下面をリング状ウエハ支持板11から離間させ、このギャ
ップに移載用フォーク31を挿入させてウエハを搬出する
ことにより行われる。
収納容器50へのウエハＷの移載は、上記と逆の操作、す
なわち、リング状ウエハ支持板11に支持されているウエ
ハＷを、ウエハ突き上げ機構20により突き上げて、その
下面をリング状ウエハ支持板11から離間させ、このギャ
ップに移載用フォーク31を挿入させてウエハを搬出する
ことにより行われる。
【００２６】本実施例のウエハの移載装置によれば、ウ
エハ突き上げ機構20によって、ウエハの下面を、リング
状ウエハ支持板11から離間させることができ、これによ
りウエハ移載用フォーク31が挿入されるギャップを確保
することができる。しかも、ウエハ突き上げ機構20は、
複数のリング状ウエハ支持板11によって囲まれた空間Ｐ
内に設けられているので、リング状ウエハ支持板11間の
ピッチを小さくすることができる。従って、斯かるリン
グ状ウエハ支持板11を有する熱処理用ウエハ保持具10を
用いることにより、１回のバッチ処理によって多数のウ
エハを処理することができる。また、ウエハ突き上げ盤
21を昇降させる第１の昇降手段23およびこの第１の昇降
手段23を昇降させる第２の昇降手段25を有しているの
で、ウエハ突き上げ機構20の高さ方向の配置スペース
は、図１１に示したウエハ突き上げ機構40の配置スペー
スよりも小さいものとなる。
エハ突き上げ機構20によって、ウエハの下面を、リング
状ウエハ支持板11から離間させることができ、これによ
りウエハ移載用フォーク31が挿入されるギャップを確保
することができる。しかも、ウエハ突き上げ機構20は、
複数のリング状ウエハ支持板11によって囲まれた空間Ｐ
内に設けられているので、リング状ウエハ支持板11間の
ピッチを小さくすることができる。従って、斯かるリン
グ状ウエハ支持板11を有する熱処理用ウエハ保持具10を
用いることにより、１回のバッチ処理によって多数のウ
エハを処理することができる。また、ウエハ突き上げ盤
21を昇降させる第１の昇降手段23およびこの第１の昇降
手段23を昇降させる第２の昇降手段25を有しているの
で、ウエハ突き上げ機構20の高さ方向の配置スペース
は、図１１に示したウエハ突き上げ機構40の配置スペー
スよりも小さいものとなる。
【００２７】
【発明の効果】本発明の熱処理用ウエハ保持具によれ
ば、熱処理用ウエハ保持具のリング状ウエハ支持板間の
ピッチを小さくすることができる。従って、斯かるリン
グ状ウエハ支持板を有する熱処理用ウエハ保持具を用い
ることにより、１回のバッチ処理によって多数のウエハ
を処理することができる。また、ウエハ突き上げ機構の
高さ方向における配置スペースが小さいものとなる。従
って、リング状ウエハ支持板間のピッチを小さくできる
こととも相まって装置全体としてのスペース効率が向上
する。
ば、熱処理用ウエハ保持具のリング状ウエハ支持板間の
ピッチを小さくすることができる。従って、斯かるリン
グ状ウエハ支持板を有する熱処理用ウエハ保持具を用い
ることにより、１回のバッチ処理によって多数のウエハ
を処理することができる。また、ウエハ突き上げ機構の
高さ方向における配置スペースが小さいものとなる。従
って、リング状ウエハ支持板間のピッチを小さくできる
こととも相まって装置全体としてのスペース効率が向上
する。
【図１】本発明のウエハの移載装置の一実施例を示す説
明用斜視図である。
明用斜視図である。
【図２】保持具載置台に載置された熱処理用ウエハ保持
具を上方から見た説明図である。
具を上方から見た説明図である。
【図３】図２のＡ−Ｏ−Ａ断面図である。
【図４】本実施例を構成するウエハ突き上げ機構の詳細
を示す説明用斜視図である。
を示す説明用斜視図である。
【図５】本実施例を構成するウエハ突き上げ機構の概略
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図６】本実施例によるウエハの移載操作を示す図２の
Ｂ−Ｂ断面図である。
Ｂ−Ｂ断面図である。
【図７】本実施例によるウエハの移載操作を示す図２の
Ｂ−Ｂ断面図である。
Ｂ−Ｂ断面図である。
【図８】本実施例によるウエハの移載操作を示す図２の
Ｂ−Ｂ断面図である。
Ｂ−Ｂ断面図である。
【図９】熱処理用ウエハ保持具を上方から見た説明図で
ある。
ある。
【図１０】図９のＣ−Ｏ−Ｃ断面図である。
【図１１】ウエハ突き上げ機構の概略を示す説明図であ
る。
る。
【図１２】従来のウエハの移載操作を示す図９のＤ−Ｄ
断面図である。
断面図である。
【図１３】従来のウエハの移載操作を示す図９のＤ−Ｄ
断面図である。
断面図である。
【図１４】従来のウエハの移載操作を示す図９のＤ−Ｄ
断面図である。
断面図である。
【図１５】従来の移載手段を示す説明用斜視図である。
10 熱処理用ウエハ保持具 11 リング状ウエ
ハ支持板 12 支柱 13 溝 15 保持具載置台 20 ウエハ突き上
げ機構 21 ウエハ突き上げ盤 22 突起部 23 第１の昇降手段 24 筒状容器 25 第２の昇降手段 26 筒状容器 30 移載手段 31 移載用フォー
ク 32 フォーク保持機構 37 軸 40 ウエハ突き上げ機構 41 ウエハ突き上
げ盤 42 突起部 43 ウエハ突き上
げ盤の昇降手段 50 ウエハ収納容器 55 収納容器載置
台 60 熱処理用ウエハ保持具 61 支柱 62 溝 65リング状ウエハ支
持板 91 移載用フォーク 92 フォーク保持
機構 95 突き上げ用フォーク 96 フォーク保持
機構 97 軸 98 突起部 Ｗ ウエハ
ハ支持板 12 支柱 13 溝 15 保持具載置台 20 ウエハ突き上
げ機構 21 ウエハ突き上げ盤 22 突起部 23 第１の昇降手段 24 筒状容器 25 第２の昇降手段 26 筒状容器 30 移載手段 31 移載用フォー
ク 32 フォーク保持機構 37 軸 40 ウエハ突き上げ機構 41 ウエハ突き上
げ盤 42 突起部 43 ウエハ突き上
げ盤の昇降手段 50 ウエハ収納容器 55 収納容器載置
台 60 熱処理用ウエハ保持具 61 支柱 62 溝 65リング状ウエハ支
持板 91 移載用フォーク 92 フォーク保持
機構 95 突き上げ用フォーク 96 フォーク保持
機構 97 軸 98 突起部 Ｗ ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のリング状ウエハ支持板が上下方向
に配列されている熱処理用ウエハ保持具とウエハ収納容
器との間でウエハを移載するウエハの移載装置であっ
て、 ウエハ収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウ
エハ支持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状
ウエハ支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容
器へ搬入する移載手段と、 熱処理用ウエハ保持具の複数のリング状ウエハ支持板に
よって囲まれた空間内を昇降可能に設けられたウエハ突
き上げ機構とを備えてなり、 前記ウエハ突き上げ機構は、ウエハ突き上げ盤と、この
ウエハ突き上げ盤を昇降させる第１の昇降手段と、この
第１の昇降手段を昇降させる第２の昇降手段とを有して
いることを特徴とするウエハの移載装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18834091A JP3081025B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ウエハの移載装置 |
| US07/907,545 US5275521A (en) | 1991-07-03 | 1992-07-02 | Wafer transfer device |
| US08/126,882 US5380137A (en) | 1991-07-03 | 1993-09-27 | Wafer transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18834091A JP3081025B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ウエハの移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0513547A JPH0513547A (ja) | 1993-01-22 |
| JP3081025B2 true JP3081025B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=16221906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18834091A Expired - Fee Related JP3081025B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ウエハの移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3081025B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005311306A (ja) | 2004-03-25 | 2005-11-04 | Tokyo Electron Ltd | 縦型熱処理装置及び被処理体移載方法 |
| CN100433285C (zh) * | 2004-03-25 | 2008-11-12 | 东京毅力科创株式会社 | 立式热处理装置和被处理体移送方法 |
| JP4313401B2 (ja) | 2007-04-24 | 2009-08-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型熱処理装置及び被処理基板移載方法 |
-
1991
- 1991-07-03 JP JP18834091A patent/JP3081025B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0513547A (ja) | 1993-01-22 |
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