JP3202038B2 - ウエハの移載装置 - Google Patents
ウエハの移載装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハの移載装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体素子の製造工程におい
て、半導体ウエハ等を搬送する場合に、キャリアあるい
はカセットと称されるウエハ収納容器が用いられる。こ
のウエハ収納容器は、軽量で安価な樹脂等からなり、ウ
エハを複数枚例えば25枚収納可能に構成されている。
て、半導体ウエハ等を搬送する場合に、キャリアあるい
はカセットと称されるウエハ収納容器が用いられる。こ
のウエハ収納容器は、軽量で安価な樹脂等からなり、ウ
エハを複数枚例えば25枚収納可能に構成されている。
【０００３】一方、熱処理装置等によって多数のウエハ
をバッチ処理するような場合、上記のような樹脂製のウ
エハ収納容器に収納された状態でウエハの熱処理を行う
ことはできず、化学的に安定でかつ耐熱性に優れた石英
ガラス等からなる熱処理用ウエハ保持具にウエハを移載
してから熱処理を行う必要がある。
をバッチ処理するような場合、上記のような樹脂製のウ
エハ収納容器に収納された状態でウエハの熱処理を行う
ことはできず、化学的に安定でかつ耐熱性に優れた石英
ガラス等からなる熱処理用ウエハ保持具にウエハを移載
してから熱処理を行う必要がある。
【０００４】図７および図８に熱処理用ウエハ保持具の
一例を示す。図７は、熱処理用ウエハ保持具を上方から
見た説明図であり、図８は図７のＣ−Ｏ−Ｃ断面図であ
る。この熱処理用ウエハ保持具60は、４本の支柱61と、
複数のリング状ウエハ支持板65とよりなる。支柱61には
一定のピッチで溝62が形成され、この溝62にリング状ウ
エハ支持板65の周縁が嵌合されることにより、リング状
ウエハ支持板65が支柱61に保持されている。65Ａはウエ
ハ支持面であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支持面
65Ａに対接されることにより、リング状ウエハ支持板65
に支持される。
一例を示す。図７は、熱処理用ウエハ保持具を上方から
見た説明図であり、図８は図７のＣ−Ｏ−Ｃ断面図であ
る。この熱処理用ウエハ保持具60は、４本の支柱61と、
複数のリング状ウエハ支持板65とよりなる。支柱61には
一定のピッチで溝62が形成され、この溝62にリング状ウ
エハ支持板65の周縁が嵌合されることにより、リング状
ウエハ支持板65が支柱61に保持されている。65Ａはウエ
ハ支持面であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支持面
65Ａに対接されることにより、リング状ウエハ支持板65
に支持される。
【０００５】ここに、１回のバッチ処理によって処理さ
れるウエハの数は、熱処理用ウエハ保持具のリング状ウ
エハ支持板の配列数によって決まる。然るに、上記のよ
うな縦型の熱処理用ウエハ保持具においては、熱処理炉
の容量や搬送性などの観点から高さが制限されるため、
１回のバッチ処理によって多数のウエハを処理するため
には、リング状ウエハ支持板間のピッチをできるだけ小
さくすることが必要となる。
れるウエハの数は、熱処理用ウエハ保持具のリング状ウ
エハ支持板の配列数によって決まる。然るに、上記のよ
うな縦型の熱処理用ウエハ保持具においては、熱処理炉
の容量や搬送性などの観点から高さが制限されるため、
１回のバッチ処理によって多数のウエハを処理するため
には、リング状ウエハ支持板間のピッチをできるだけ小
さくすることが必要となる。
【０００６】一方、ウエハをウエハ収納容器から、熱処
理用ウエハ保持具へ移載する手段としては、図１２に示
すような移載手段が用いられる。この移載手段は、ウエ
ハ移載用フォーク91（以下「移載用フォーク91」とい
う）と、ウエハ突き上げ用フォーク95（以下「突き上げ
用フォーク95」という）とを備えている。移載用フォー
ク91は、ウエハの下面と対接する上面を有する板状体で
あり、突き上げ用フォーク95は、その上面にウエハの下
面と対接する３ヶ所の突起部98を有する板状体である。
移載用フォーク91はフォーク保持機構92に接続されて矢
印Ｘに示す方向への往復運動が可能であり、突き上げ用
フォーク95はフォーク保持機構96に接続されて矢印Ｘに
示す方向への往復運動が可能である。また、フォーク保
持機構92およびフォーク保持機構96は、それぞれ軸97に
沿って矢印Ｚに示す方向への往復運動および軸97を中心
として矢印θに示す回転運動が可能であり、従って、移
載用フォーク91および突き上げ用フォーク95は、それぞ
れＺ方向への往復運動およびθ方向への回転運動が可能
になる。
理用ウエハ保持具へ移載する手段としては、図１２に示
すような移載手段が用いられる。この移載手段は、ウエ
ハ移載用フォーク91（以下「移載用フォーク91」とい
う）と、ウエハ突き上げ用フォーク95（以下「突き上げ
用フォーク95」という）とを備えている。移載用フォー
ク91は、ウエハの下面と対接する上面を有する板状体で
あり、突き上げ用フォーク95は、その上面にウエハの下
面と対接する３ヶ所の突起部98を有する板状体である。
移載用フォーク91はフォーク保持機構92に接続されて矢
印Ｘに示す方向への往復運動が可能であり、突き上げ用
フォーク95はフォーク保持機構96に接続されて矢印Ｘに
示す方向への往復運動が可能である。また、フォーク保
持機構92およびフォーク保持機構96は、それぞれ軸97に
沿って矢印Ｚに示す方向への往復運動および軸97を中心
として矢印θに示す回転運動が可能であり、従って、移
載用フォーク91および突き上げ用フォーク95は、それぞ
れＺ方向への往復運動およびθ方向への回転運動が可能
になる。
【０００７】ここに、ウエハ収納容器から熱処理用ウエ
ハ保持具へのウエハの移載方法としては、 移載用フ
ォーク91により、ウエハ収納容器からウエハを搬出し、
移載用フォーク91の先端が熱処理用ウエハ保持具に対向
するまで、フォーク保持機構92をθ方向へ旋回させる。
図９に示すように、ウエハＷを支持している移載用
フォーク91を、リング状ウエハ支持板65(651) と65(65
2) との間に挿入するとともに、突き上げ用フォーク95
を、リング状ウエハ支持板65(652) と65(653) との間に
挿入する。 突き上げ用フォーク95を、突起部98がウ
エハＷの下面に対接するまで上昇させ、この状態で移載
用フォーク91を熱処理用ウエハ保持具60から退去させ
る。これにより、図１０に示すように、突き上げ用フォ
ーク95によりウエハＷが支持される。 突き上げ用フ
ォーク95を下降させる。これにより、図１１に示すよう
に、ウエハＷはリング状ウエハ支持板65(652) に支持さ
れる。 突き上げ用フォーク95を熱処理用ウエハ保持
具60から退去させる。ここで、上記図９〜図１１は、そ
れぞれ図７におけるＤ−Ｄ断面図であり、一部を省略し
て示している。
ハ保持具へのウエハの移載方法としては、 移載用フ
ォーク91により、ウエハ収納容器からウエハを搬出し、
移載用フォーク91の先端が熱処理用ウエハ保持具に対向
するまで、フォーク保持機構92をθ方向へ旋回させる。
図９に示すように、ウエハＷを支持している移載用
フォーク91を、リング状ウエハ支持板65(651) と65(65
2) との間に挿入するとともに、突き上げ用フォーク95
を、リング状ウエハ支持板65(652) と65(653) との間に
挿入する。 突き上げ用フォーク95を、突起部98がウ
エハＷの下面に対接するまで上昇させ、この状態で移載
用フォーク91を熱処理用ウエハ保持具60から退去させ
る。これにより、図１０に示すように、突き上げ用フォ
ーク95によりウエハＷが支持される。 突き上げ用フ
ォーク95を下降させる。これにより、図１１に示すよう
に、ウエハＷはリング状ウエハ支持板65(652) に支持さ
れる。 突き上げ用フォーク95を熱処理用ウエハ保持
具60から退去させる。ここで、上記図９〜図１１は、そ
れぞれ図７におけるＤ−Ｄ断面図であり、一部を省略し
て示している。
【０００８】リング状ウエハ支持板65の各配置レベルに
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器から熱処理用ウエハ保持具60へのウエハＷの移載が
行われる。
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器から熱処理用ウエハ保持具60へのウエハＷの移載が
行われる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにしてウエハを移載する場合、熱処理用ウエハ保持
具60にウエハを搬入、搬出する操作において、突起部98
を有する突き上げ用フォーク95をリング状ウエハ支持板
65間に挿入させる必要があるために、リング状ウエハ支
持板65間のピッチを小さくすることができず、例えば上
記の熱処理用ウエハ保持具60では13〜14mm程度のピッチ
が必要となる。このような熱処理用ウエハ保持具では、
１回のバッチ処理によって多数のウエハを処理すること
ができない。
ようにしてウエハを移載する場合、熱処理用ウエハ保持
具60にウエハを搬入、搬出する操作において、突起部98
を有する突き上げ用フォーク95をリング状ウエハ支持板
65間に挿入させる必要があるために、リング状ウエハ支
持板65間のピッチを小さくすることができず、例えば上
記の熱処理用ウエハ保持具60では13〜14mm程度のピッチ
が必要となる。このような熱処理用ウエハ保持具では、
１回のバッチ処理によって多数のウエハを処理すること
ができない。
【００１０】本発明は以上のような事情に基づいてなさ
れたものであって、その目的は、リング状ウエハ支持板
間のピッチを小さくすることができるウエハの移載装置
を提供することにある。
れたものであって、その目的は、リング状ウエハ支持板
間のピッチを小さくすることができるウエハの移載装置
を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のウエハの移載装
置は、熱処理装置に搬入搬出される複数のリング状ウエ
ハ支持板が上下方向に配列されている熱処理用ウエハ保
持具とウエハ収納容器との間でウエハを移載するウエハ
の移載装置であって、ウエハ収納容器から搬出したウエ
ハを複数のリング状ウエハ支持板の各々へ搬入するとと
もに、複数のリング状ウエハ支持板の各々から搬出した
ウエハをウエハ収納容器へ搬入する移載手段と、熱処理
用ウエハ保持具を載置する保持具載置台と、昇降手段を
有すると共に、この昇降手段によって昇降され最下降時
に保持具載置台内において待機されるウエハ突き上げ盤
と、このウエハ突き上げ盤上に形成された突起部とを具
備し、保持具載置台に載置された熱処理用ウエハ保持具
の複数のリング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内
を、ウエハ突き上げ盤が昇降するように構成されたウエ
ハ突き上げ機構とを備えていることを特徴とする。
置は、熱処理装置に搬入搬出される複数のリング状ウエ
ハ支持板が上下方向に配列されている熱処理用ウエハ保
持具とウエハ収納容器との間でウエハを移載するウエハ
の移載装置であって、ウエハ収納容器から搬出したウエ
ハを複数のリング状ウエハ支持板の各々へ搬入するとと
もに、複数のリング状ウエハ支持板の各々から搬出した
ウエハをウエハ収納容器へ搬入する移載手段と、熱処理
用ウエハ保持具を載置する保持具載置台と、昇降手段を
有すると共に、この昇降手段によって昇降され最下降時
に保持具載置台内において待機されるウエハ突き上げ盤
と、このウエハ突き上げ盤上に形成された突起部とを具
備し、保持具載置台に載置された熱処理用ウエハ保持具
の複数のリング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内
を、ウエハ突き上げ盤が昇降するように構成されたウエ
ハ突き上げ機構とを備えていることを特徴とする。
【００１２】
【作用】ウエハ突き上げ機構によって、ウエハの下面
を、リング状ウエハ支持板から離間させることができ、
これにより移載手段が挿入されるギャップを確保するこ
とができる。しかも、ウエハ突き上げ機構は、複数のリ
ング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能
に設けられているので、突き上げ手段をリング状ウエハ
支持板間に挿入させる必要がなく、リング状ウエハ支持
板間のピッチを小さくすることができる。更に、複数の
リング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を有効に
利用でき、装置全体としてのスペース効率が向上する。
を、リング状ウエハ支持板から離間させることができ、
これにより移載手段が挿入されるギャップを確保するこ
とができる。しかも、ウエハ突き上げ機構は、複数のリ
ング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を昇降可能
に設けられているので、突き上げ手段をリング状ウエハ
支持板間に挿入させる必要がなく、リング状ウエハ支持
板間のピッチを小さくすることができる。更に、複数の
リング状ウエハ支持板によって囲まれた空間内を有効に
利用でき、装置全体としてのスペース効率が向上する。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基づい
て説明する。図１は、本発明のウエハの移載装置の一実
施例を示す説明用斜視図である。本実施例のウエハの移
載装置は、図示しない熱処理装置に搬入搬出される熱処
理用ウエハ保持具10とウエハ収納容器50との間でウエハ
Ｗを移載するものである。熱処理用ウエハ保持具10は、
４本の支柱12と、図１においては省略して記載されてい
るが、複数例えば60枚のリング状ウエハ支持板11とによ
り構成され、保持具載置台15上に載置されている。ウエ
ハ収納容器50は、収納容器載置台55上に載置され、ウエ
ハ収納容器50内には複数のウエハが上下方向に同一ピッ
チで配列された状態で収納されている。20はウエハ突き
上げ機構であり、この図においては、保持具載置台15内
において待機されている。30は移載手段であり、移載手
段30は、移載用フォーク31と、フォーク保持機構32と、
軸37とを備えている。移載用フォーク31は、ウエハの下
面と対接する上面を有する板状体であり、フォーク保持
機構32に接続されて矢印Ｘに示す方向への往復運動が可
能である。また、移載用フォーク31は、フォーク保持機
構32を介してＺ方向への往復運動およびθ方向への回転
運動が可能である。
て説明する。図１は、本発明のウエハの移載装置の一実
施例を示す説明用斜視図である。本実施例のウエハの移
載装置は、図示しない熱処理装置に搬入搬出される熱処
理用ウエハ保持具10とウエハ収納容器50との間でウエハ
Ｗを移載するものである。熱処理用ウエハ保持具10は、
４本の支柱12と、図１においては省略して記載されてい
るが、複数例えば60枚のリング状ウエハ支持板11とによ
り構成され、保持具載置台15上に載置されている。ウエ
ハ収納容器50は、収納容器載置台55上に載置され、ウエ
ハ収納容器50内には複数のウエハが上下方向に同一ピッ
チで配列された状態で収納されている。20はウエハ突き
上げ機構であり、この図においては、保持具載置台15内
において待機されている。30は移載手段であり、移載手
段30は、移載用フォーク31と、フォーク保持機構32と、
軸37とを備えている。移載用フォーク31は、ウエハの下
面と対接する上面を有する板状体であり、フォーク保持
機構32に接続されて矢印Ｘに示す方向への往復運動が可
能である。また、移載用フォーク31は、フォーク保持機
構32を介してＺ方向への往復運動およびθ方向への回転
運動が可能である。
【００１４】図２は、保持具載置台15に載置された熱処
理用ウエハ保持具10を上方から見た説明図であり、図３
は図２のＡ−Ｏ−Ａ断面図である。支柱12には一定のピ
ッチで溝13が形成され、この溝13にリング状ウエハ支持
板11の周縁が嵌合されることにより、リング状ウエハ支
持板11が支柱12に保持されている。11Ａはウエハ支持面
であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支持面11Ａに対
接されることにより、リング状ウエハ支持板11に支持さ
れる。ウエハ突き上げ機構20は、図示しない昇降手段
と、この昇降手段によって上下方向に移動可能なウエハ
突き上げ盤21と、このウエハ突き上げ盤21上の３ヶ所に
形成された突起部22とよりなり、複数のリング状ウエハ
支持板11によって囲まれた空間Ｐ内において昇降可能で
ある。ここに、昇降手段としては、例えばボールネジ機
構などを挙げることができるが、これに限定されるもの
ではない。
理用ウエハ保持具10を上方から見た説明図であり、図３
は図２のＡ−Ｏ−Ａ断面図である。支柱12には一定のピ
ッチで溝13が形成され、この溝13にリング状ウエハ支持
板11の周縁が嵌合されることにより、リング状ウエハ支
持板11が支柱12に保持されている。11Ａはウエハ支持面
であり、ウエハＷは、その下面がウエハ支持面11Ａに対
接されることにより、リング状ウエハ支持板11に支持さ
れる。ウエハ突き上げ機構20は、図示しない昇降手段
と、この昇降手段によって上下方向に移動可能なウエハ
突き上げ盤21と、このウエハ突き上げ盤21上の３ヶ所に
形成された突起部22とよりなり、複数のリング状ウエハ
支持板11によって囲まれた空間Ｐ内において昇降可能で
ある。ここに、昇降手段としては、例えばボールネジ機
構などを挙げることができるが、これに限定されるもの
ではない。
【００１５】この例の熱処理用ウエハ保持具10は、６イ
ンチのウエハを保持するものであり、その寸法の一例を
示せば、下記のとおりである。 リング状ウエハ支持板11の外径：φ１５６mm リング状ウエハ支持板11の内径：φ１２３mm ウエハ支持面11Ａの外径 ：φ１５３mm リング状ウエハ支持板11の厚さ： ３mm（但し、ウエハ
支持面11Ａ側は２mm） リング状ウエハ支持板11間のピッチ：９．５２５mm
ンチのウエハを保持するものであり、その寸法の一例を
示せば、下記のとおりである。 リング状ウエハ支持板11の外径：φ１５６mm リング状ウエハ支持板11の内径：φ１２３mm ウエハ支持面11Ａの外径 ：φ１５３mm リング状ウエハ支持板11の厚さ： ３mm（但し、ウエハ
支持面11Ａ側は２mm） リング状ウエハ支持板11間のピッチ：９．５２５mm
【００１６】ここに、ウエハ収納容器50から熱処理用ウ
エハ保持具10へのウエハの移載方法としては、 移載
用フォーク31により、ウエハ収納容器50からウエハＷを
搬出し、移載用フォーク31の先端が熱処理用ウエハ保持
具10に対向するまで、フォーク保持機構32をθ方向へ旋
回させる。 図４に示すように、ウエハＷを支持して
いる移載用フォーク31を、リング状ウエハ支持板11(11
1) と11(112) との間に挿入する。 ウエハ突き上げ
機構20のウエハ突き上げ盤21を、突起部22がウエハＷの
下面に対接するまで上昇させて、この状態で移載用フォ
ーク31を熱処理用ウエハ保持具10から退去させる。これ
により、図５に示すように、ウエハ突き上げ機構20によ
りウエハＷが支持される。 ウエハ突き上げ機構20の
ウエハ突き上げ盤21を下降させる。これにより、図６に
示すように、ウエハＷはリング状ウエハ支持板11(112)
に支持される。上記の搬出操作において、移載用フォー
ク31の駆動は、Ｘ方向の往復およびθ方向への回転のみ
である。なお、上記図４〜図６は、それぞれ図２におけ
るＢ−Ｂ断面図であり、一部を省略して示している。
エハ保持具10へのウエハの移載方法としては、 移載
用フォーク31により、ウエハ収納容器50からウエハＷを
搬出し、移載用フォーク31の先端が熱処理用ウエハ保持
具10に対向するまで、フォーク保持機構32をθ方向へ旋
回させる。 図４に示すように、ウエハＷを支持して
いる移載用フォーク31を、リング状ウエハ支持板11(11
1) と11(112) との間に挿入する。 ウエハ突き上げ
機構20のウエハ突き上げ盤21を、突起部22がウエハＷの
下面に対接するまで上昇させて、この状態で移載用フォ
ーク31を熱処理用ウエハ保持具10から退去させる。これ
により、図５に示すように、ウエハ突き上げ機構20によ
りウエハＷが支持される。 ウエハ突き上げ機構20の
ウエハ突き上げ盤21を下降させる。これにより、図６に
示すように、ウエハＷはリング状ウエハ支持板11(112)
に支持される。上記の搬出操作において、移載用フォー
ク31の駆動は、Ｘ方向の往復およびθ方向への回転のみ
である。なお、上記図４〜図６は、それぞれ図２におけ
るＢ−Ｂ断面図であり、一部を省略して示している。
【００１７】リング状ウエハ支持板11の各配置レベルに
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器50から熱処理用ウエハ保持具10へのウエハＷの移載
が行われる。
おいて、上記の操作を繰り返すことにより、ウエハ収納
容器50から熱処理用ウエハ保持具10へのウエハＷの移載
が行われる。
【００１８】また、熱処理用ウエハ保持具10からウエハ
収納容器50へのウエハＷの移載は、上記と逆の操作、す
なわち、リング状ウエハ支持板11に支持されているウエ
ハＷを、ウエハ突き上げ機構20により突き上げて、その
下面をリング状ウエハ支持板11から離間させ、このギャ
ップに移載用フォーク31を挿入させてウエハを搬出する
ことにより行われる。
収納容器50へのウエハＷの移載は、上記と逆の操作、す
なわち、リング状ウエハ支持板11に支持されているウエ
ハＷを、ウエハ突き上げ機構20により突き上げて、その
下面をリング状ウエハ支持板11から離間させ、このギャ
ップに移載用フォーク31を挿入させてウエハを搬出する
ことにより行われる。
【００１９】本実施例のウエハの移載装置によれば、ウ
エハ突き上げ機構20によって、ウエハの下面を、リング
状ウエハ支持板11から離間させることができ、これによ
りウエハ移載用フォーク31が挿入されるギャップを確保
することができる。しかも、ウエハ突き上げ機構20は、
複数のリング状ウエハ支持板11によって囲まれた空間Ｐ
内に設けられているので、リング状ウエハ支持板11間の
ピッチを小さくすることができる。従って、斯かるリン
グ状ウエハ支持板11を有する熱処理用ウエハ保持具10を
用いることにより、１回のバッチ処理によって多数のウ
エハを処理することができる。更に、前記空間Ｐ内を有
効に利用でき、ウエハの移載装置全体としてのスペース
効率が向上する。
エハ突き上げ機構20によって、ウエハの下面を、リング
状ウエハ支持板11から離間させることができ、これによ
りウエハ移載用フォーク31が挿入されるギャップを確保
することができる。しかも、ウエハ突き上げ機構20は、
複数のリング状ウエハ支持板11によって囲まれた空間Ｐ
内に設けられているので、リング状ウエハ支持板11間の
ピッチを小さくすることができる。従って、斯かるリン
グ状ウエハ支持板11を有する熱処理用ウエハ保持具10を
用いることにより、１回のバッチ処理によって多数のウ
エハを処理することができる。更に、前記空間Ｐ内を有
効に利用でき、ウエハの移載装置全体としてのスペース
効率が向上する。
【００２０】
【発明の効果】本発明のウエハの移載装置によれば、熱
処理用ウエハ保持具のリング状ウエハ支持板間のピッチ
を小さくすることができる。従って、斯かるリング状ウ
エハ支持板を有する熱処理用ウエハ保持具を用いること
により、１回のバッチ処理によって多数のウエハを処理
することができる。また、複数のリング状ウエハ支持板
によって囲まれた空間内を有効に利用でき、装置全体と
してのスペース効率が向上する。
処理用ウエハ保持具のリング状ウエハ支持板間のピッチ
を小さくすることができる。従って、斯かるリング状ウ
エハ支持板を有する熱処理用ウエハ保持具を用いること
により、１回のバッチ処理によって多数のウエハを処理
することができる。また、複数のリング状ウエハ支持板
によって囲まれた空間内を有効に利用でき、装置全体と
してのスペース効率が向上する。
【図１】本発明のウエハの移載装置の一実施例を示す説
明用斜視図である。
明用斜視図である。
【図２】保持具載置台に載置された熱処理用ウエハ保持
具を上方から見た説明図である。
具を上方から見た説明図である。
【図３】図２のＡ−Ｏ−Ａ断面図である。
【図４】本実施例によるウエハの移載操作を示す図２の
Ｂ−Ｂ断面図である。
Ｂ−Ｂ断面図である。
【図５】本実施例によるウエハの移載操作を示す図２の
Ｂ−Ｂ断面図である。
Ｂ−Ｂ断面図である。
【図６】本実施例によるウエハの移載操作を示す図２の
Ｂ−Ｂ断面図である。
Ｂ−Ｂ断面図である。
【図７】熱処理用ウエハ保持具を上方から見た説明図で
ある。
ある。
【図８】図７のＣ−Ｏ−Ｃ断面図である。
【図９】従来のウエハの移載操作を示す図７のＤ−Ｄ断
面図である。
面図である。
【図１０】従来のウエハの移載操作を示す図７のＤ−Ｄ
断面図である。
断面図である。
【図１１】従来のウエハの移載操作を示す図７のＤ−Ｄ
断面図である。
断面図である。
【図１２】従来の移載手段を示す説明用斜視図である。
10 熱処理用ウエハ保持具 11 リング状ウエ
ハ支持板 12 支柱 13 溝 15 保持具載置台 20 ウエハ突き上
げ機構 21 ウエハ突き上げ盤 22 突起部 30 移載手段 31 移載用フォー
ク 32 フォーク保持機構 37 軸 50 ウエハ収納容器 55 収納容器載置
台 60 熱処理用ウエハ保持具 61 支柱 62 溝 65リング状ウエハ支
持板 91 移載用フォーク 92 フォーク保持
機構 95 突き上げ用フォーク 96 フォーク保持
機構 97 軸 98 突起部 Ｗ ウエハ
ハ支持板 12 支柱 13 溝 15 保持具載置台 20 ウエハ突き上
げ機構 21 ウエハ突き上げ盤 22 突起部 30 移載手段 31 移載用フォー
ク 32 フォーク保持機構 37 軸 50 ウエハ収納容器 55 収納容器載置
台 60 熱処理用ウエハ保持具 61 支柱 62 溝 65リング状ウエハ支
持板 91 移載用フォーク 92 フォーク保持
機構 95 突き上げ用フォーク 96 フォーク保持
機構 97 軸 98 突起部 Ｗ ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】熱処理装置に搬入搬出される複数のリング
状ウエハ支持板が上下方向に配列されている熱処理用ウ
エハ保持具とウエハ収納容器との間でウエハを移載する
ウエハの移載装置であって、 ウエハ収納容器から搬出したウエハを複数のリング状ウ
エハ支持板の各々へ搬入するとともに、複数のリング状
ウエハ支持板の各々から搬出したウエハをウエハ収納容
器へ搬入する移載手段と、 熱処理用ウエハ保持具を載置する保持具載置台と、 昇降手段を有すると共に、この昇降手段によって昇降さ
れ最下降時に保持具載置台内において待機されるウエハ
突き上げ盤と、このウエハ突き上げ盤上に形成された突
起部とを具備し、前記保持具載置台に載置された熱処理
用ウエハ保持具の複数のリング状ウエハ支持板によって
囲まれた空間内を、当該ウエハ突き上げ盤が昇降するよ
うに構成されたウエハ突き上げ機構とを備えていること
を特徴とするウエハの移載装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18834191A JP3202038B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ウエハの移載装置 |
| US07/907,545 US5275521A (en) | 1991-07-03 | 1992-07-02 | Wafer transfer device |
| US08/126,882 US5380137A (en) | 1991-07-03 | 1993-09-27 | Wafer transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18834191A JP3202038B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ウエハの移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0513548A JPH0513548A (ja) | 1993-01-22 |
| JP3202038B2 true JP3202038B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=16221924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18834191A Expired - Fee Related JP3202038B2 (ja) | 1991-07-03 | 1991-07-03 | ウエハの移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3202038B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102372253B1 (ko) * | 2019-11-12 | 2022-03-07 | 장병성 | 소취 기능을 갖는 요실금 팬티 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010098048A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハ移載装置及び縦型熱処理装置 |
-
1991
- 1991-07-03 JP JP18834191A patent/JP3202038B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102372253B1 (ko) * | 2019-11-12 | 2022-03-07 | 장병성 | 소취 기능을 갖는 요실금 팬티 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0513548A (ja) | 1993-01-22 |
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