JPH044061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044061U JPH044061U JP4507490U JP4507490U JPH044061U JP H044061 U JPH044061 U JP H044061U JP 4507490 U JP4507490 U JP 4507490U JP 4507490 U JP4507490 U JP 4507490U JP H044061 U JPH044061 U JP H044061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic member
- base plate
- insertion hole
- shape
- insulating substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 3
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
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- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例によるスパツタ治具
を示す図、第２図は従来のスパツタ治具を示す図
である。 図において、１は基板ホルダ、１−１はベース
プレート、１−１ａはヒータ、１−１ｂは熱電対
、２は絶縁基板、５はボルト、１３は皿ばね、１
３ａは挿通孔、１３ｂは締着孔、１４は係着部材
、１４ａは爪部、を示す。
を示す図、第２図は従来のスパツタ治具を示す図
である。 図において、１は基板ホルダ、１−１はベース
プレート、１−１ａはヒータ、１−１ｂは熱電対
、２は絶縁基板、５はボルト、１３は皿ばね、１
３ａは挿通孔、１３ｂは締着孔、１４は係着部材
、１４ａは爪部、を示す。
Claims (1)
- 基板ホルダ１のベースプレート１−１と等しい
外径で、中央部に絶縁基板２の外姿が遊合できる
形状の挿通孔１３ａを設けた皿状の弾性部材１３
に、該絶縁基板２の外周縁が係止できる形状に成
形した複数個の係着部材１４を上記弾性部材１３
の凸面で該挿通孔１３ａ周縁に固着して、該弾性
部材１３を上記基板ホルダ１の該ベースプレート
１−１に締着できるように構成したことを特徴と
するスパツタ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4507490U JPH044061U (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4507490U JPH044061U (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044061U true JPH044061U (ja) | 1992-01-14 |
Family
ID=31558940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4507490U Pending JPH044061U (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044061U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100947425B1 (ko) * | 2007-09-05 | 2010-03-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 증착장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS612451B2 (ja) * | 1979-06-07 | 1986-01-24 | Nippon Steel Corp | |
| JPS6141235U (ja) * | 1985-07-04 | 1986-03-15 | キヤノン株式会社 | カメラの付属装置 |
-
1990
- 1990-04-25 JP JP4507490U patent/JPH044061U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS612451B2 (ja) * | 1979-06-07 | 1986-01-24 | Nippon Steel Corp | |
| JPS6141235U (ja) * | 1985-07-04 | 1986-03-15 | キヤノン株式会社 | カメラの付属装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100947425B1 (ko) * | 2007-09-05 | 2010-03-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 증착장치 |