KR20110009488A - 기판정렬장치 - Google Patents

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강재환
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Abstract

기판을 정렬하는 과정에서 벨트 등의 구성요소 마모에 따른 분진의 발생이 적은 기판정렬장치가 필요하다. 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판정렬장치는, 본체와, 본체에 마련되고 일측에 제1외주홈이 마련되며, 타측에는 제1외주홈과 반대방향의 제2외주홈이 마련된 스크류와, 제1,제2외주홈에 각각 결합되는 제1,제2너트부를 포함하고, 제1,제2너트부중의 적어도 어느 하나는 회전하지 않도록 본체에 의하여 지지되며, 기판이 소정 위치로 정렬되도록 기판을 향하여 상기 제1,제2너트부가 이동한다.
Figure P1020090066912
기판, 정렬, 스크류, 너트

Description

기판정렬장치 {SUBSTRATE ALIGNING DEVICE}
본 발명은 기판을 정렬하기 위한 기판정렬장치에 관한 것이다.
평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.
통상적으로, 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display)를 제조하는 공정은 유리 기판에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 TFT 공정과, 유리 기판에 배향막을 도포하고 액정을 주입함으로써 완제품 셀(cell)을 제작하는 셀공정과, 완성된 셀에 구동 IC 및 피시비(PCB)를 부착하고 백라이트유닛(back light unit) 및 하우징을 조립하는 모듈(module) 공정으로 이루어진다.
액정표시장치의 기판은 여러 공정을 거치게 되며, 각각의 공정으로 이동하는 과정에서 일정한 위치로 정렬되어야 한다. 여기에서의 정렬이란 기판의 합착공정에서와 같은 정밀한 정렬을 의미하는 것이 아니라 이재기 또는 흡착유닛 등이 기판을 다음 공정으로 옮길 수 있도록 가정렬하는 것을 의미한다.
일반적으로 정렬을 위해서 기판의 양측에서 푸시부가 기판을 밀어붙여서 소정의 위치에 놓이도록 한다. 이때 푸시부가 기판을 향하여 모이도록 하는 수단으로서 벨트를 적용한 방식이 사용된다. 벨트를 사용하는 경우에는 수회의 반복 동작으로 인하여 벨트가 마모되는 경우가 많고 마모되어 분산되는 분진이 기판에 부착되면 기판의 품질에 악영향을 미치게 되는 문제가 있다.
기판을 정렬하는 과정에서 벨트 등의 구성요소 마모에 따른 분진의 발생이 적은 기판정렬장치가 필요하다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자가 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판정렬장치는, 본체; 상기 본체에 마련되고 일측에 제1외주홈이 마련되며, 타측에는 상기 제1외주홈과 반대방향의 제2외주홈이 마련된 스크류; 상기 제1,제2외주홈에 각각 결합되는 제1,제2너트부; 및 상기 제1,제2너트부중의 적어도 어느 하나는 회전하지 않도록 상기 본체에 의하여 지지되며, 기판이 소정 위치로 정렬되도록 상기 기판을 향하여 상기 제1,제2너트부가 이동한다.
또한, 상기 제1,제2외주홈과 제1,제2내주홈 사이에 각각 볼을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 본체에 마련된 가이드부와, 일측은 상기 제1,제2너트부와 각각 연결되고 타측은 상기 가이드부에 진퇴가능하도록 결합된 제1,제2프레임을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판을 밀도록 상기 제1,제2프레임에는 푸시부가 마련될 수 있 다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판정렬장치는, 본체; 상기 본체에 마련되고 일측에 제1외주홈이 마련되며, 타측에는 상기 제1외주홈과 반대방향의 제2외주홈이 마련된 제1스크류; 상기 본체에 마련되고 일측에 제3외주홈이 마련되며, 타측에는 상기 제3외주홈과 반대방향의 제4외주홈이 마련되고, 상기 제1스크류와 직교방향으로 마련된 제2스크류; 및 상기 제1외주홈 내지 제4외주홈에 각각 결합되는 제1너트부 내지 제4너트부;를 포함하고, 상기 제1,제2너트부중의 적어도 어느 하나와 상기 제3,제4너트부중의 적어도 어느 하나는 회전하지 않도록 상기 본체에 의하여 지지되며, 기판이 소정 위치로 정렬되도록 상기 기판을 향하여 상기 제1너트부 내지 제4너트부가 이동한다.
또한, 상기 제1외주홈 내지 제4외주홈과 상기 제1내주홈 내지 제4내주홈 사이에 각각 볼을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 본체에 마련된 가이드부와, 일측은 상기 제1,제2너트부와 연결되고 타측은 상기 가이드부에 진퇴가능하도록 결합된 제1,제2프레임과, 일측은 상기 제3,제4너트부와 연결되고 타측은 상기 가이드부에 진퇴가능하도록 결합된 제3,제4프레임을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판을 밀도록 상기 제1프레임 내지 제4프레임에는 푸시부가 마련될 수 있다.
벨트를 적용한 구성에 비하여 볼스크류와 너트부를 적용한 본 발명에 따른 구성에 의하여 부품의 마모에 의한 분진의 발생가능성이 감소하여 분진에 의한 기판불량률의 감소효과가 있다.
또한, 벨트를 적용한 구성의 경우에는 벨트의 신축에 의한 정렬오차가 있으나 본 발명의 경우에는 그러한 신축에 의한 정렬오차가 현저하게 줄어드는 효과가 있다.
본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1프레임(160)은 몸체부(163)와, 몸체부(163)의 하부 양측방향으로 연장된 수평지지부(162)를 포함한다. 수평지지부(162) 양측하단에 가이드롤러부(161)가 결합될 수 있다. 가이드롤러부(161)는 가이드레일(140)과 진퇴가능하게 결합될 수 있다. 가이드레일(140)은 베이스(101) 상면의 양측에 고정 될 수 있다.
제1프레임(160)의 수평지지부(162)의 중앙 하단에 제1너트부(120)가 마련된다. 제1볼스크류(110)가 제1너트부(120)를 관통하며 모터(170)에 의하여 회전할 수 있다. 볼스크류(110)가 회전하더라도 가이드롤러부(161)가 가이드레일(140)과 결합되어 있으므로 제1프레임(160)은 회전하지 않게 된다. 제1프레임(160)은 회전운동이 제한되지만 볼스크류(110)에 의하여 가이드레일(140)을 따라서 진퇴운동을 할 수 있다.
몸체부(163)의 상단에는 수평암부(164)가 마련되고, 수평암부(164)의 양측단에는 푸시부(165)가 마련된다. 푸시부(165)는 기판(S)과 접촉하여 밀어내는 부분이다. 푸시부(165)의 상측에는 푸시롤러(166)가 마련되며 자유회전이 가능한 롤러이다. 제1프레임(160)과 제2프레임(360) 사이에 컨베이어가 위치할 수 있다.
이 경우에 기판이 컨베이어 위에 놓인 상태에 이동하면서 푸시롤러(181)가 기판을 측방향으로 밀더라도 푸시롤러(166)는 자유회전이 가능하므로 기판과 큰 마찰력이 작용하지 않으므로 기판을 이동시키면서도 정렬할 수 있다. 테이블(T)의 하부에 본체(100)가 위치할 수도 있고, 컨베이어의 하부에 본체(100)가 위치할 수도 있다.
도 2는 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 일부분에 대한 측면도이다.
도 2에서 보듯이, 모터(170)에 의하여 볼스크류(110)가 회전하게 되면 제1프레임(160)과 제2프레임(360) 사이의 거리가 멀어지거나 좁아지게 된다.
도 3은 도 2에서 A로 표시한 부분에 대한 확대단면도이다.
도 3에서 보듯이, 볼스크류(110)의 외주에는 제1외주홈(111)이 마련되어 있다. 제1너트부(120)의 내주면에는 제1내주홈(121)이 마련된다. 볼(140)은 제1외주홈(111)과 제1내주홈(121) 사이에 게재될 수 있다. 도 3에서 X방향을 바라보았을 때 볼스크류(110)가 시계방향으로 회전하면 제1너트부(120)는 X방향의 반대방향으로 이동하게 된다.
도 4은 도 2에서 B로 표시한 부분에 대한 확대단면도이다.
도 4에서 보듯이, 볼스크류(110)의 외주에는 제2외주홈(112)이 마련되어 있다. 제2너트부(320)의 내주면에는 제2내주홈(321)이 마련된다. 볼(140)은 제2외주홈(112)과 제2내주홈(321) 사이에 게재될 수 있다. 도 4에서 X방향을 바라보았을 때 볼스크류(110)가 시계방향으로 회전하면 제2너트부(320)는 X방향으로 이동하게 된다. 즉, 제1너트부(120)와 반대방향으로 진행되므로 제1너트부(120)와 제2너트부(320) 사이의 거리가 멀어지게 된다.
벨트를 적용한 종래의 구성에 비하여 볼스크류와 너트부를 적용한 본 발명에 따른 구성에 의하여 부품의 마모에 의한 분진의 발생가능성이 감소하여 분진에 의한 기판불량률의 감소효과가 있다.
또한, 벨트를 적용한 구성의 경우에는 벨트의 신축에 의한 정렬오차가 있으나 본 발명의 경우에는 그러한 신축에 의한 정렬오차가 현저하게 줄어드는 효과가 있다.
도 5는 다른 실시예에 따른 기판정렬장치에 대한 사시도이다.
설명의 편의상 도 1 내지 도 4에서의 구성요소와 동일한 구성은 동일한 도면번호를 사용한다.
도 5에서 보듯이, 모터(170), 볼스크류(110), 제1너트부(120), 제1프레임(160), 가이드레일(140), 제2너트부(320), 제2프레임(360) 등을 포함하는 X방향 기판정렬장치와 모터(570), 볼스크류(510), 제3너트부(520), 제3프레임(560), 가이드레일(540), 제4너트부(720), 제4프레임(760) 등을 포함하고 X방향에 직교하는 Y방향 기판정렬장치가 결합된 구성을 개시하고 있다. 이러한 구성을 통하여 X방향으로의 정렬 뿐만 아니라 Y방향으로의 정렬도 가능하다.
도 6 내지 도 8은 다른 실시예에 따른 기판정렬장치의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6에서 보듯이, S'는 기판(S)이 정렬되어야 목표위치를 나타낸다. 현재 기판(S)이 일측으로 치우쳐진 상태로 이재기(미도시)에 의하여 기판정렬장치로 옮겨진 상태를 나타낸다.
도 7에서 보듯이, 모터(170)의 회전에 의하여 볼스크류(110)가 회전하게 되고, 볼스크류(110)가 X방향으로 바라보았을 때 반시계방향으로 회전함에 따라 제1너트부(120)와 제2너트부(320)사이의 거리가 좁아지게 된다. 이에 따라 기판(S)을 X축방향으로 원하는 위치로 정렬하게 된다.
도 8에서 보듯이, 모터(570)의 회전에 의하여 볼스크류(510)가 회전하게 되고, 볼스크류(110)가 Y방향으로 바라보았을 때 반시계방향으로 회전함에 따라 제3너트부(520)와 제2너트부(720)사이의 거리가 좁아지게 된다. 이에 따라 기판(S)을 Y축방향으로 원하는 위치로 정렬하게 된다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 사시도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 기판정렬장치의 일부분에 대한 측면도이다.
도 3은 도 2에서 A로 표시한 부분에 대한 확대단면도이다.
도 4은 도 2에서 B로 표시한 부분에 대한 확대단면도이다.
도 5는 다른 실시예에 따른 기판정렬장치에 대한 사시도이다.
도 6 내지 도 8은 다른 실시예에 따른 기판정렬장치의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.

Claims (8)

  1. 본체;
    상기 본체에 마련되고 일측에 제1외주홈이 마련되며, 타측에는 상기 제1외주홈과 반대방향의 제2외주홈이 마련된 스크류;
    상기 제1,제2외주홈에 각각 결합되는 제1,제2너트부; 및
    상기 제1,제2너트부중의 적어도 어느 하나는 회전하지 않도록 상기 본체에 의하여 지지되며, 기판이 소정 위치로 정렬되도록 상기 기판을 향하여 상기 제1,제2너트부가 이동하는 기판정렬장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1,제2외주홈과 제1,제2내주홈 사이에 각각 볼을 더 포함하는 기판정렬장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 본체에 마련된 가이드부와, 일측은 상기 제1,제2너트부와 각각 연결되고 타측은 상기 가이드부에 진퇴가능하도록 결합된 제1,제2프레임을 더 포함하는 기판정렬장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판을 밀도록 상기 제1,제2프레임에는 푸시부가 마련된 기판정렬장치.
  5. 본체;
    상기 본체에 마련되고 일측에 제1외주홈이 마련되며, 타측에는 상기 제1외주홈과 반대방향의 제2외주홈이 마련된 제1스크류;
    상기 본체에 마련되고 일측에 제3외주홈이 마련되며, 타측에는 상기 제3외주홈과 반대방향의 제4외주홈이 마련되고, 상기 제1스크류와 직교방향으로 마련된 제2스크류; 및
    상기 제1외주홈 내지 제4외주홈에 각각 결합되는 제1너트부 내지 제4너트부;를 포함하고,
    상기 제1,제2너트부중의 적어도 어느 하나와 상기 제3,제4너트부중의 적어도 어느 하나는 회전하지 않도록 상기 본체에 의하여 지지되며, 기판이 소정 위치로 정렬되도록 상기 기판을 향하여 상기 제1너트부 내지 제4너트부가 이동하는 기판정렬장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1외주홈 내지 제4외주홈과 상기 제1내주홈 내지 제4내주홈 사이에 각각 볼을 더 포함하는 기판정렬장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 본체에 마련된 가이드부와, 일측은 상기 제1,제2너트부와 연결되고 타측은 상기 가이드부에 진퇴가능하도록 결합된 제1,제2프레임과, 일측은 상기 제3,제4너트부와 연결되고 타측은 상기 가이드부에 진퇴가능하도록 결합된 제3,제4프레임을 더 포함하는 기판정렬장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판을 밀도록 상기 제1프레임 내지 제4프레임에는 푸시부가 마련된 기판정렬장치.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101110333B1 (ko) * 2010-05-27 2012-02-16 주식회사 져스텍 물품의 정렬장치.
KR101281698B1 (ko) * 2011-12-05 2013-07-03 (주)프리맥 반도체 제조용 툴 자동교체장치
KR101358502B1 (ko) * 2011-12-30 2014-02-17 한호 복수개의 피가공물 각각의 중심 위치를 정렬시키기 위한 위치정렬장치 및 이를 이용한 가공장치의 테이블장치
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CN109928196A (zh) * 2018-05-04 2019-06-25 上海翼人机器人有限公司 一种钙热金属锭转入坩埚的装置
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101110333B1 (ko) * 2010-05-27 2012-02-16 주식회사 져스텍 물품의 정렬장치.
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KR101358502B1 (ko) * 2011-12-30 2014-02-17 한호 복수개의 피가공물 각각의 중심 위치를 정렬시키기 위한 위치정렬장치 및 이를 이용한 가공장치의 테이블장치
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