KR101258225B1 - 기판 면취장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 면취장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 정렬에 오차가 있는 경우나 에지라인이 굴곡이 있어도 일정하게 면취할 수 있는 기판 면취장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 면취장치는 상기 기판을 기구적으로 정렬하는 프리얼라인수단; 이송되는 상기 기판의 에지를 면취하는 면취수단; 상기 면취수단의 전방에 위치하여 상기 기판의 에지라인을 실시간으로 검사하는 제1비전수단; 및 상기 제1비전수단에 의해 획득된 상기 기판의 에지라인정보에 따라 상기 면취수단의 위치를 실시간으로 정렬하는 제어부;를 포함한다.

Description

기판 면취장치 및 방법{CHAMFERING DEVICE AND CHAMFERING METHOD FOR SUBSTRATE}
본 발명은 기판 면취장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 정렬에 오차가 있는 경우나 에지라인이 굴곡이 있어도 일정하게 면취할 수 있는 기판 면취장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 패널은 원판유리에서 필요로 크기로 절단하여 사용한다. 이와 같이 절단하게 되면 날카롭기 때문에 깨지기 쉬워 에지를 둥글게 면취하여 깨짐이나 크랙을 방지한다.
도 1은 종래의 기판 면취장치(100)를 나타낸 것이다. 이를 참조하면, 기판(S)이 안착되는 테이블(120)과, 상기 기판을 수평방향으로 이송하는 이송수단(110)과, 상기 테이블(120)에 안착된 기판을 기구적으로 정렬하는 프리얼라인수단(130)과, 수평방향으로 이송하는 기판의 양측 에지를 면취하는 면취수단(140)을 포함한다.
상기 프리얼라인수단(130)은 상기 기판의 양측에 구비되는 한 쌍의 롤러이다. 이 중 어느 하나의 회전 롤러를 밀어 타측의 회전롤러에 기판을 맞닿게 하여 기구적으로 정렬하는 것이다.
도 2를 참조하면, 상기 면취수단(140)은 스핀들(141)과, 연마지석(142)을 포함한다. 상기 연마지석(142)은 상기 기판의 에지를 둥글게 면취하기 위하여 단면이 반원형태인 홈(142a)이 형성되어 있다. 따라서 상기 기판(S)의 에지는 설정된 면취량(St)으로 면취되어 반원형태의 연마면(Sa)이 형성된다.
도 3 및 도 4를 참조하여 종래의 면취장치의 작동상태 및 방법을 설명한다. 먼저 기판(S0)을 로딩한 다음(S110), 프리얼라인수단(130)을 이용하여 기판을 정렬하고(S120), 상기 기판을 수평방향으로 이동하면서(S130) 기판의 양측 에지를 설정된 면취량(St)으로 면취하는 것이다(S140). 이와 같이 면취된 기판(S1)을 언로딩하여 완료된다(S150).
그러나 종래의 면취장치는 프리얼라인수단으로 정렬된 상태에서 고정설치된 연마지석으로 면취를 하기 때문에, 기판의 에지라인에 능동적으로 대응할 수 없다는 문제점이 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 기구적 정렬이나 원판유리를 절단할 때의 오차 등으로 인해 커팅라인(에지라인)이 일직선이 아닌 경우가 있을 수 있는데, 이 경우, 도 3과 같이 구간에 따라 과면취량(St2)과 미면취량(St1)이 나타나게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 정렬에 오차가 있는 경우나 에지라인이 굴곡이 있어도 일정하게 면취할 수 있는 기판 면취장치 및 방법을 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 면취장치는 기판을 기구적으로 정렬하는 프리얼라인수단; 상기 기판과 상대이동하면서 상기 기판의 에지를 면취하는 면취수단; 상기 면취수단의 전방에 위치하여 상기 기판의 에지라인을 실시간으로 검사하는 제1비전수단; 상기 제1비전수단에 의해 획득된 상기 기판의 에지라인정보에 따라 상기 면취수단의 위치를 실시간으로 보정하는 제어부; 및 상기 면취수단의 후방에 위치하여 면취량을 실시간으로 검사하는 제2비전수단;을 포함하며, 상기 제어부는 상기 기판의 에지라인정보에 따라 실시간으로 상기 면취수단을 상기 기판의 중심방향으로 접근시키거나 이격시킨다.
삭제
또한 상기 제1비전수단 또는 제2비전수단은 라인CCD카메라인 것이 바람직하다.
또한 상기 면취수단은 상기 기판의 에지를 둥글게 연마하기 위하여 단면이 반원형태인 홈이 형성된 연마지석인 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 기판 면취방법은 1) 기판을 기구적으로 정렬하는 단계; 2) 상기 기판을 수평이동하면서 에지라인을 실시간으로 검사하는 단계; 3) 상기 기판의 에지라인에 따라 면취수단의 위치를 실시간으로 위치보정하는 단계; 4) 실시간으로 위치보정된 상기 면취수단에 의해 상기 기판의 에지를 면취하는 단계; 및 5) 상기 기판의 면취량을 실시간으로 검사하는 단계;를 포함하며, 상기 3) 단계는, 상기 기판의 에지라인에 따라 실시간으로 상기 면취수단을 상기 기판의 중심방향으로 접근시키거나 이격시킨다.
삭제
또한 상기 기판의 마주보는 양측 에지를 동시에 면취하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 기판의 정렬에 오차가 있는 경우나 에지라인이 굴곡이 있어도 일정하게 면취할 수 있는 효과가 있다.
또한, 면취후 실시간으로 면취량을 검사할 수 있는 효과가 있다.
도 1 내지 도 3은 종래 기판 면취장치를 나타낸 것이다.
도 4는 종래 기판 면취방법을 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 기판 면취장치를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명에 의한 기판 면취방법을 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 실시예는 기판이 안착되는 테이블과, 기판을 수평방향으로 이송하는 이송수단과, 프리얼라인(pre-align)수단과 면취수단을 포함한다. 그러나 본 실시예에서 이들 구성요소는 앞서 설명한 종래 면취장치와 비교하여 특이점이 없으므로 반복설명은 피하기로 한다. 따라서 상기 면취수단은 상기 기판의 에지를 둥글게 연마하기 위하여 단면이 반원형태인 홈이 형성된 연마지석을 포함하고, 또한 상기 면취수단은 기판의 마주보는 양측에 구비된다.
특히, 본 발명에 의한 실시예는 제1비전수단, 제어부 및 제2비전수단을 포함한다.
상기 제1비전수단은 면취수단의 전방에 위치하여 상기 기판의 에지라인을 실시간으로 검사하는 구성요소이고, 상기 제어부는 상기 제1비전수단에 의해 획득된 상기 기판의 에지라인정보에 따라 상기 면취수단의 위치를 실시간으로 정렬하는 구성요소이다.
다시 말하면, 프리얼라인수단에 의해 정렬된 기판의 에지라인을 실시간으로 검사하여 에지라인의 형태에 따라 능동적으로 면취수단의 위치를 실시간으로 정렬하여 일정한 면취량으로 면취되도록 하는 것이다.
또한 상기 제2비전수단은 상기 면취수단의 후방에 면취량을 실시간으로 검사하는 구성요소이다. 따라서 제1비전수단 및 제어부에 의해 에지라인의 형태에 따라 능동적으로 면취수단을 위치보정하면서 면취한 후, 면취량을 모니터링하는 것이다.
또한 상기 기판이 고속으로 이동할 때, 에지라인을 실시간으로 검사할 수 있도록 제1비전수단과 제2비전수단은 라인CCD카메라인 것이 바람직하다.
도 6 및 도 7를 참조하여 면취장치(1)의 작동상태 및 방법을 설명한다. 먼저 기판(S)을 로딩한 다음(S10), 프리얼라인수단(30)을 이용하여 기판을 정렬하고(S11), 상기 기판을 수평방향으로 이동하면서(S12) 제1비전수단(50)을 이용하여 기판의 에지라인을 실시간으로 검사한다(S13).
이와 같이 획득된 상기 기판의 에지라인정보에 따라 상기 면취수단(40)의 위치를 실시간으로 보정하면서(S14) 기판의 양측 에지를 설정된 면취량(St)으로 에지를 면취한다(S15).
또한 제2비전수단(60)을 이용하여 상기 기판의 면취량(St)을 검사하고(S16), 기판을 언로딩한다(S17).
이와 같이 면취함으로써 기구적 정렬이나 원판유리를 절단할 때의 오차 등으로 인해 커팅라인(에지라인)이 일직선이 아닌 경우에도 도 6과 같이 과면취량이나 미면취량 구간없이 일정하게 면취할 수 있는 것이다.
1: 면취장치 10: 이송수단
20: 테이블 30: 프리얼라인수단
40: 면취수단 50: 제1비전수단
60: 제2비전수단

Claims (7)

  1. 기판을 기구적으로 정렬하는 프리얼라인수단;
    상기 기판과 상대이동하면서 상기 기판의 에지를 면취하는 면취수단;
    상기 면취수단의 전방에 위치하여 상기 기판의 에지라인을 실시간으로 검사하는 제1비전수단;
    상기 제1비전수단에 의해 획득된 상기 기판의 에지라인정보에 따라 상기 면취수단의 위치를 실시간으로 보정하는 제어부; 및
    상기 면취수단의 후방에 위치하여 면취량을 실시간으로 검사하는 제2비전수단;을 포함하며,
    상기 제어부는 상기 기판의 에지라인정보에 따라 실시간으로 상기 면취수단을 상기 기판의 중심방향으로 접근시키거나 이격시키는 것을 특징으로 하는 기판 면취장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1비전수단 또는 제2비전수단은 라인CCD카메라인 것을 특징으로 하는 기판 면취장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 면취수단은 상기 기판의 에지를 둥글게 연마하기 위하여 단면이 반원형태인 홈이 형성된 연마지석인 것을 특징으로 하는 기판 면취장치.
  5. 1) 기판을 기구적으로 정렬하는 단계;
    2) 상기 기판을 수평이동하면서 에지라인을 실시간으로 검사하는 단계;
    3) 상기 기판의 에지라인에 따라 면취수단의 위치를 실시간으로 위치보정하는 단계;
    4) 실시간으로 위치보정된 상기 면취수단에 의해 상기 기판의 에지를 면취하는 단계; 및
    5) 상기 기판의 면취량을 실시간으로 검사하는 단계;를 포함하며,
    상기 3) 단계는, 상기 기판의 에지라인에 따라 실시간으로 상기 면취수단을 상기 기판의 중심방향으로 접근시키거나 이격시키는 것을 특징으로 하는 기판 면취장치.


  6. 삭제
  7. 제5항에 있어서,
    상기 기판의 마주보는 양측 에지를 동시에 면취하는 것을 특징으로 하는 기판 면취방법.
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