JPH074439U - 基板移載用調整治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 短時間に２つの保持装置間の相対位置の調整
を行えるようにする。 【構成】 調整治具１は、複数枚の基板を所定の間隔で
保持する基板挟持アーム２９と、基板を基板挟持アーム
２９から受けて所定間隔で保持する基板保持具３１との
間の相対位置を調整するための治具である。この治具
は、第１位置決め部材２と第２位置決め部材３と十字マ
ーク７及びインジケータ１３とを備えている。第１位置
決め部材２は、基板挟持アーム２９での基板の保持姿勢
に対応して基板挟持アーム２９に配置保持される。第２
位置決め部材３は、基板保持具３１での基板の保持姿勢
に対応して基板挟持アーム２９に配置保持される。十字
マーク７は第１位置決め部材２に設けられ、インジケー
タ１３は第２位置決め部材３に設けられ、それらの相対
位置関係を表示可能である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、調整治具、特に、基板を保持する２つの保持装置間の相対位置を調 整するための基板移載用調整治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体基板や液晶用ガラス基板等の薄板状の被処理基板（以下、単に基板と記 す）を表面処理する場合には、基板を処理槽内に浸漬して処理する浸漬型の基板 処理装置が一般に用いられる。 この種の基板処理装置は、基板の表面処理を行うための基板処理槽を有する基 板処理部と、濡れた基板を乾燥させるための基板乾燥部と、キャリアに収納され た基板を取り出すとともに、処理が終了した基板をキャリア内に収納するための 基板移載部と、基板移載部、基板処理部及び基板乾燥部との間で基板を搬送する 基板搬送ロボットとを備えている。

【０００３】 基板搬送ロボットは、１対の開閉する基板挟持アームを備えており、各処理部 は、基板挟持アームとの間で基板を授受するための基板保持具を備えている。こ れらのアーム及び保持具には基板を保持するための保持溝が形成されており、通 常、基板挟持アームは基板の両側を保持溝により挟持し、基板保持具は基板の下 部を保持溝により保持している。

【０００４】 この種の基板処理装置においては、基板挟持アームと基板保持具との間の相対 位置の調整（取り合い調整）を以下のようにして行っている。 まず、ダミーの基板を基板保持具に２〜４枚程度保持させる。そして、この基 板保持具に対向する位置に基板挟持アームを移動させ、アームを開いた状態で移 載位置まで下降させる。この状態で基板挟持アームに形成された保持溝とダミー の基板との前後方向（基板の並設方向）のずれを目視により確認し、基板保持具 に保持されたダミーの基板に対して保持溝が対向するように基板保持アームの前 後方向の位置を調整してずれを解消する。続いて、基板保持アームの開閉の繰り 返しと、基板保持アームを閉じた状態での基板の上下移動とを行い、基板に対す る引っ掛かりや基板に対して負荷が作用しているか否かを確認する。最後に、基 板保持アームで基板を掴み、上下移動させて基板の回転を抑えながら基板保持ア ームの中心と基板保持具の中心とを合わせる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来の調整方法では、作業者の経験や感覚に頼るところが多く、作業者の 技量差等により取り合い誤差が発生する。また、基板挟持アームの中心と基板保 持具の中心とが正確に合致しているか否かを確認できない。これに加え、取り合 いの調整に際して、目視による確認作業に頼っているので、調整値を数値的に表 すことができない。このため、基板挟持アームと基板保持具との間の取り合い調 整に長時間を要する。

【０００６】 本考案の目的は、２つの保持装置間の相対位置の調整を短時間に行えるように することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る基板移載用調整治具は、複数枚の基板を所定の間隔で保持する第 １保持装置と、前記基板を第１保持装置から受けて前記所定間隔で保持する第２ 保持装置との間の相対位置を調整するための基板移載用調整治具である。この治 具は、第１位置決め部と第２位置決め部と表示部とを備えている。

【０００８】 第１位置決め部は、第１保持装置での基板の保持姿勢に対応して第１保持装置 に配置保持され得るものである。第１位置決め部は、第２保持装置での基板の保 持姿勢に対応して第１保持装置に配置保持され得るものである。表示部は、第１ 位置決め部と第２位置決め部とに設けられ、それらの相対位置関係を表示可能な ものである。

【０００９】

【作用】

本考案に係る基板移載用調整治具では、第１保持装置に第１位置決め部を保持 させる。また、第２保持装置に第２位置決め部を保持させる。このとき、それぞ れの位置決め部は、基板の保持姿勢に対応して各保持装置に保持される。この状 態で第１保持装置と第２保持装置とをそれぞれの移載位置に配置させる。そして 表示部によりそれらの相対位置関係を確認する。

【００１０】 ここでは、移載位置において第１位置決め部と第２位置決め部との相対位置関 係が表示部に表示されるので、第１保持装置と第２保持装置とを移載位置に移動 させるだけで簡単に相対位置関係を確認できる。このため、この相対位置関係を 参考にして両保持装置の移載の際の相対位置を容易に調整でき、取り合い調整を 短時間で行える。

【００１１】

【実施例】

図１において、本考案の一実施例による調整治具１は、基板搬送ロボットの基 板挟持アームでの基板の保持姿勢に対応して基板挟持アームに配置保持され得る 第１位置決め部材２と、洗浄槽内や基板乾燥部で用いられる基板保持具での基板 の保持姿勢に対応して基板保持具に配置保持され得る第２位置決め部材３とを有 している。これらの位置決め部材２，３の合計重量は最大枚数移載時の基板の重 量に合致させている。

【００１２】 第１位置決め部材２は、ポリ塩化ビニル樹脂製であり、円柱の両側の一部を平 行に切り取った形状であり、上下に平行な面を有している。第１位置決め部材２ の両側面には、外方に張り出した４対のダミー部４が間隔を隔てて配置されてい る。このダミー部４の外形は基板保持アームで保持され得る基板の保持部分と同 形状である。また、第１位置決め部材２の軸方向の両端部には、外方と上方とに 開口する切欠き部５が形成されている。切欠き部５の底部中央には、十字マーク ７が形成された透明ガラス板６が設けられている。この両端の切欠き部５に隣接 して、両側方にダミー部４と平行に張り出した角棒状の支持部材８が配置されて いる。支持部材８は、基板挟持アームの保持溝が形成されたつなぎ部材に第１位 置決め部材２を支持させかつ位置決めするためのものである。さらに第１位置決 め部材２の上面には、軸方向及びそれと直交する方向の水平度を確認するための 水準器９，１０が配置されている。

【００１３】 第２位置決め部材３は、ポリ塩化ビニル樹脂製であり、第１位置決め部材２と ともに円柱の一部を形成する形状である。また、上下には平行な面が形成されて おり、上面は第１位置決め部材２の下面に密着可能であり、これらの面は同面積 である。第２位置決め部材３には、第１位置決め部材２のダミー部４と重ね合わ せることにより基板の略半分の大きさになる形状のダミー部１１がダミー部４と 同間隔で設けられている。また、第２位置決め部材３の軸方向の両端部の十字マ ーク７に対向する位置には、軸方向とそれと交差する方向のインジケータ１３が 形成されている。インジケータ１３には、例えば両方向に１ｍｍ単位で２０ｍｍ の目盛りが刻まれている。また、インジケータ１３より内側には、基板保持具の 保持溝が形成されたつなぎ部材に第２位置決め部材３を支持させかつ位置決めす るための角棒状の支持部材１２が配置されている。さらに第２位置決め部材３の 上面には、２方向の水平度を確認するための水準器１４，１５が配置されている 。

【００１４】 図２に、この調整治具１により調整される浸漬型基板洗浄装置２１を示す。 基板洗浄装置２１は、多数の基板を収容したキャリアＣの搬入・搬出部２２と 、キャリアＣからの基板を取り出しまたはキャリアＣへの基板の装填を行う基板 移載部２３と、キャリアＣを洗浄するためのキャリア洗浄器３ａと、搬入・搬出 部と基板移載部３とキャリア洗浄器３ａとの間でキャリアＣを移載するキャリア 移載ロボット２４と、複数の基板を一括して洗浄する洗浄処理部２５と、基板の 液切り及び乾燥を行うための基板乾燥部２６と、基板移載部２３でキャリアＣか ら取り出した複数の基板を一括保持して洗浄処理部２５及び基板乾燥部２６に搬 送する基板搬送ロボット２７とから構成されている。

【００１５】 基板移載部２３は、キャリアＣを載置する回転可能な２つのテーブル２８を有 している。テーブル２８は、キャリアＣを必要に応じて９０°回転させる。テー ブル２８の中心には、矩形の開口部が形成されており、この開口の下方には、キ ャリアＣから基板Ｗを一括して取り出すとともに、キャリアＣに基板を一括して 装填するための昇降可能な基板保持具（図示せず）が配置されている。

【００１６】 キャリア移載ロボット２４は、昇降及び回転自在でありかつ図２の矢印Ａ方向 に移動可能に構成されている。キャリア移載ロボット２４は、搬入・搬出部２２ に搬入されたキャリアＣをテーブル２８上に移載し、基板洗浄中においてキャリ ア洗浄器２３ａとテーブル２８との間でキャリアＣを出し入れし、また洗浄済み の基板を収容したキャリアをテーブル２８から搬入・搬出部２２へ移載する。

【００１７】 基板搬送ロボット２７は、移動部３０内を矢印Ｂ方向に移動可能であり、基板 移載部２３の基板保持具から受け取った複数の基板を挟持する基板挟持アーム２ ９を有している。このロボット２７は、基板挟持アーム２９が挟持した複数の基 板を移動部３０に沿って洗浄処理部２５及び基板乾燥部２６へ順次搬送する。 洗浄処理部２５は、オーバーフロー型のものであり、３つの洗浄槽３２と、洗 浄槽３２に昇降自在に設けられた基板保持具３１とを有している。また、基板乾 燥部２６には、基板を保持するための基板保持具（図示せず）が設けられている 。

【００１８】 基板挟持アーム２９は基板を両側から挟持するものであり、図３に示すように 、前後１対の側板３３，３３と、側板３３の下端をつなぐ上下１対の下つなぎ部 材３４ａ，３４ｂと、上端をつなぐ上つなぎ部材３５ａ，３５ｂとを有している 。側板３３及び両つなぎ部材３４，３５は、それぞれ石英ガラス製である。下つ なぎ部材３４ａ，３４ｂの内側の周面の一部には、軸方向に並設された多数の基 板保持溝３６が形成されている。上つなぎ部材３５ａ，３５ｂには、２つのブラ ケット３７が摺動可能に固定されている。ブラケット３７は、前後方向に間隔を 隔てて配置されており、開閉軸３８に固定されている。この１対の開閉軸３８は 、基板搬送ロボット２７の本体３９に開閉可能に支持されている。

【００１９】 基板保持具３１は、基板を下側から保持するものであり、前後１対の保持板４ ０と、保持板４０の下部をつなぐ３本のつなぎ部材４１とを有している。保持板 ４０及びつなぎ部材４１は、それぞれ石英ガラス製である。保持板４０は略倒立 Ｔ字状であり、その上端には外方に突出する支持軸４２が固定されている。支持 軸４２は、軸受４３に支持されており、軸受４３は図示しない昇降機構に支持さ れている。つなぎ部材４１には、軸方向に並設された多数の基板保持溝４５が基 板保持溝３６と同間隔で形成されている。

【００２０】 次に、調整治具１による基板挟持アーム２９と基板保持具３１との相対位置の 調整手順について説明する。 まず、図４に示すように、第１位置決め部材２を基板挟持アーム２９に保持さ せる。ここでは、ダミー部４をアーム２９の保持溝３６に差し込み、かつ基板挟 持アーム２９の上側の下つなぎ部材３４ａに第１位置決め部材２の支持部材８を 載置する。また、第２位置決め部材３のダミー部１１を基板保持具３１の保持溝 ４５に差し込こみ、かつつなぎ部材４１に第２位置決め部材３の支持部材１２を 載置する。このように、第１及び第２位置決め部材２，３の支持部材８，１２を それぞれつなぎ部材３４ａ，４１に載置することにより、各位置決め部材２，３ の特に回転方向の位置決めを行うことができ、アーム２９及び保持具３１に対す る各位置決め部材２，３の面の傾きを防止できる。

【００２１】 続いて水準器９，１０及び１４，１５により水平度を確認する。そして水平度 がずれている場合には、基板挟持アーム２９や基板保持具３１の取り付け部分を 調整して各位置決め部材２，３が水平になるようにする。これにより、基板挟持 アーム２９及び基板保持具３１の水平度の調整を行える。 水平度の調整が終了すると、基板挟持アーム２９と基板保持具３１とを移載位 置に昇降させ、図５に示すように、第１位置決め部材２と第２位置決め部材３と を接触させる。この接触時において、十字マーク７がインジケータ１３の中心に 位置していない場合には、図６に示すように、十字マーク７がインジケータ１３ の中心位置になるように基板挟持アーム２９の前後及び左右方向の位置調整を取 り付け部分で行う。例えば前後方向の位置調整をブラケット３７の取り付け位置 の変更により、左右方向の位置調整をロボット本体３９の取り付け位置の変更に より行う。

【００２２】 このように、十字マーク７とインジケータ１３とにより基板挟持アーム２９と 基板保持具３１との水平面内のずれを数値的に簡単に確認できる。このため、こ のずれの数値分だけ基板挟持アーム２９の取り付け位置を調整するだけよく、短 時間で相対位置の調整が行える。 この調整を、各洗浄槽１２と基板乾燥部６とテーブル８とで行い、基板挟持ア ーム２９と各部の基板保持具との取り合いを調整する。続いて、ダミーのウエハ を用いて、１枚から最大枚数まで段階的に基板の枚数を変化させてランニング確 認を行い、調整を終了する。

【００２３】 〔他の実施例〕 （ａ） 位置決め部材の合計重量を最大枚数搬送時の重量に合わせる代わりに、 位置決め部材を１〜数枚単位の重量に変更できるようにすることにより、基板挟 持アームの撓み変化による基板保持具との取り合いの変化を確認できる。 （ｂ） 本考案は、浸漬型の基板処理装置に限定されるものではなく、その他、 スピンドライヤーやＩＰＡベーパー等の基板の処理時において基板の移載が必要 な装置にも適用できる。

【００２４】

【考案の効果】

本考案に係る調整治具では、第１位置決め部材と第２位置決め部材との相対位 置関係が表示部により表示されるので、相対位置のずれを簡単に調整できる。こ のため調整時間が短縮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例による調整治具の斜視図。

【図２】調整治具が適用される基板処理装置の斜視概略
図。

【図３】基板挟持アーム及び基板保持具の斜視図。

【図４】調整手順を示す説明図。

【図５】調整手順を示す説明図。

【図６】インジケータ及び十字マークの平面拡大図。

【符号の説明】

１ 調整治具 ２ 第１位置決め部材 ３ 第２位置決め部材 ４，１１ ダミー部 ７ 十字マーク １３ インジケータ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】複数枚の基板を所定の間隔で保持する第１
   保持装置と、前記基板を前記第１保持装置から受けて前
   記所定間隔で保持する第２保持装置との間の相対位置を
   調整するための基板移載用調整治具であって、 前記第１保持装置での前記基板の保持姿勢に対応して前
   記第１保持装置に配置保持され得る第１位置決め部と、 前記第２保持装置での前記基板の保持姿勢に対応して前
   記第２保持装置に配置保持され得る第２位置決め部と、 前記第１位置決め部と前記第２位置決め部とに設けら
   れ、それらの相対位置関係を表示可能な表示部と、 を備えた基板移載用調整治具。