KR100725750B1 - 유리기판 지지용 테이블 - Google Patents

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KR100725750B1 KR1020060053230A KR20060053230A KR100725750B1 KR 100725750 B1 KR100725750 B1 KR 100725750B1 KR 1020060053230 A KR1020060053230 A KR 1020060053230A KR 20060053230 A KR20060053230 A KR 20060053230A KR 100725750 B1 KR100725750 B1 KR 100725750B1
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임상덕
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Abstract

유리기판 지지용 테이블이 개시된다. 유리기판을 지지하는 테이블로서, 구동부와, 구동부에 회동가능하게 결합되며, 유리기판의 중심부를 지지하는 지지부와, 유리기판의 단부에 상응하여 지지부로부터 방사상으로 연장되는 복수의 지지암을 포함하는 유리기판 지지용 테이블은, 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 사이즈가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있으며, 또한 연마장치를 이용하여 유리기판의 단부를 연마하는 경우, 유리기판의 장변과 단변을 연속적으로 연마할 수 있다.
유리기판, 테이블, 지지암, 진공흡착

Description

유리기판 지지용 테이블{Table for supporting glass panel}
도 1은 종래기술에 따른 유리기판 지지용 테이블의 정면도.
도 2는 종래기술에 따른 유리기판 지지용 테이블의 평면도.
도 3는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사시도.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 정면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 평면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 보조테이블의 사시도.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사용상태도.
도 8은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사시도.
도 9는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 평면도.
도 10은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 보조테이블의 사시도.
도 11은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사용상태도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
12 : 구동부 14 : 지지부
16 : 지지암 18, 24, 46, 50 : 흡착부
20a, 20b, 48a, 48b : 보조테이블 22 : 수용홈
26a, 26b : 연마장치 52 : 분사부
본 발명은 유리기판 지지용 테이블에 관한 것이다.
최근 액정디스플레이(LCD) 패널 등 평판 디스플레이에는 평판 형태의 유리기판이 사용되고 있으며, 이를 위해 디스플레이 패널을 제조하는 과정에서 유리기판을 절단하고 유리기판의 에지(edge)를 연마하는 공정이 수행된다. 통상 디스플레이 패널은 액정이 봉입된 상하 유리기판으로 구성되고, 이 유리기판의 측부에 인쇄회로기판이 설치되어 있다. 이 인쇄회로기판과 액정패널의 단자부를 전기적으로 연결시켜 액정표시소자가 구동하게 되는데, 이때 사용되는 것이 플렉서블 커넥터이다. 유리기판을 절단한 후 곧바로 디스플레이 패널에 사용할 경우에는 유리기판 에지의 모서리에 의해 인쇄회로기판과 유리기판의 단자부를 연결하는 플렉서블 커넥터가 절단될 우려가 있다. 따라서, 이러한 유리기판의 에지는 절단공정에 후행하는 연마공정을 통해 재가공하게 되는데, 통상의 연마공정은 절단에 의해 날카롭게 형성된 유리기판의 에지를 고속으로 회전하는 연마휠의 외주면에 접하도록 함으로써 날카로운 모서리를 매끄럽게 성형하게 된다.
도 1은 종래기술에 따른 유리기판 지지용 테이블의 정면도이고, 도 2는 종래기술에 따른 유리기판 지지용 테이블의 평면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 유리기판 지지용 테이블은 테이블(103)과, 테이블(103)과 유리기판(102)의 접촉면 상에 복수의 흡착부(104)로 이루어진다. 따라서, 유리기판(102)이 테이블(103) 위에 안착되면 복수의 흡착부(104)에 의해 유리기판을 흡착함으로써 유리기판(102)이 고정된다.
종래기술에 따른 유리기판 지지용 테이블은 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되는 경우 그에 상응하는 크기의 유리기판 테이블로 교체해야 하는 문제점이 있었다. 따라서, 유리기판의 크기에 상응하는 유리기판 테이블을 다수 준비해야 하고 테이블의 준비에 따른 유리기판 테이블의 제작비용의 증가와 테이블의 교체시간이 소요되고 이에 따라 공정시간이 길어지는 문제점이 있었다.
또한, 유리기판이 대형화되고 있고, 그에 수반한 테이블이 대형화됨에 따라 테이블 제작의 어려움과 더불어 테이블의 중량도 무거워지고 있어서, 유리기판과 테이블의 하중을 베이스 프레임으로 전달하고 테이블의 하부에서 테이블을 이동시키는 이동수단의 보강도 문제가 된다. 이러한 유리기판의 대형화에 의해 대형 유리 기판의 이송시 지지수단이 충분하지 않은 경우 유리기판의 단부에 처짐이 발생하게 되고, 이러한 처짐으로 인한 떨림현상으로 유리기판의 에지 연마시 연마품질의 저하를 초래하게 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 사용할 수 있으며, 유리기판의 장변과 단변을 연속적으로 연마할 수 있는 유리기판 지지용 테이블을 제공하는 것이다.
또한, 연마과정에서 유리기판의 단부의 처짐을 방지할 수 있고, 공정을 단순화할 수 있는 유리기판 지지용 테이블을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 유리기판을 지지하는 테이블로서, 구동부와, 구동부에 회동가능하게 결합되며, 유리기판의 중심부를 지지하는 지지부와, 유리기판의 단부에 상응하여 지지부로부터 방사상으로 연장되는 복수의 지지암을 포함하는 유리기판 지지용 테이블이 제공된다.
지지부는 구동부를 중심으로 회전가능하고, 구동부로부터의 거리가 조절가능하도록 구동부에 결합되도록 구성할 수 있다. 또한, 지지부의 표면에는 공기를 흡입하는 흡착부를 형성할 수 있다.
지지암은 유리기판의 에지(edge) 연마시 연마장치에 방해가 되지 않도록 지지부로부터 유리기판의 에지까지의 거리보다 소정 거리 짧게 되도록 연장되어, 지 지부 및 지지암에 유리기판을 적재한 상태에서 지지암이 유리기판에 의해 커버되고 유리기판의 에지 부근은 지지암에 의해 지지되지 않아 연마장치가 적용될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 지지암은 지지부로부터 십자형(+)의 네 방향으로 연장된 형태로 할 수 있다.
유리기판의 양 단부를 지지하는 한 쌍의 보조테이블을 더 포함하되, 한 쌍의 보조테이블 간의 거리가 조절가능하도록 할 수 있다. 보조테이블에는, 지지암이 탈착가능하게 결합되도록 지지암의 형상에 상응하는 수용홈이 형성될 수 있다. 또한, 보조테이블의 표면에 형성되며, 공기를 흡입하는 흡착부를 둘 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 유리기판을 지지하는 테이블로서, 구동부와, 구동부에 회동가능하게 결합되며, 유리기판의 중심부를 지지하는 지지부와, 지지부의 표면에 형성되며 공기를 흡입하는 흡착부와, 유리기판의 양 단부를 지지하며, 상호 간의 거리가 조절가능한 한 쌍의 보조테이블과, 보조테이블의 표면에 형성되며 공기를 흡입하는 흡착부와, 보조테이블의 표면에 형성되며 공기를 분사하는 분사부를 포함하는 유리기판 지지용 테이블이 제공된다.
지지부는 구동부를 중심으로 회전가능하고, 구동부로부터의 거리가 조절가능하도록 구동부에 결합되도록 구성할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 유리기판 지지용 테이블의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 3는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 정면도이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 평면도이다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 구동부(12), 지지부(14), 지지암(16), 흡착부(18, 24), 한 쌍의 보조테이블(20), 수용홈(22)이 도시되어 있다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블(10)은 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있으며, 또한 연마장치를 이용하여 유리기판의 에지를 연마하는 경우, 유리기판(11)의 장변과 단변의 양 에지를 순차적으로 연마하기 위한 테이블의 승강(V) 및 회전(R)시 유리기판(11)의 단부의 처짐을 방지하기 위해, 유리기판(41)의 중심부를 지지하는 지지부(44), 지지부(14)를 승강 및 회전시키는 구동부(12), 지지부(14)의 승강(V) 및 회전(R)시 유리기판(11)의 단부의 처짐을 방지하는 지지암(16), 유리기판(11)을 고정하는 흡착부(18), 큰 사이즈의 유리기판에 대응 가능하도록 한 쌍의 보조테이블(20)로 구성하였다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블(10)을 이용하여 유리기판(11)의 에지를 연마하는 방법을 간략히 설명하면, 먼저 유리기판(11)을 지지암(16)이 구비된 지지부(14)상에 안착시킨다. 이때 유리기판(11)의 크기에 대응하여 한 쌍의 보조테이블(20)을 이용하여 유리기판(11)의 양 단부를 지지할 수 있다.
유리기판(11)을 안착한 후 지지부(14)의 표면에 형성된 공기를 흡입하는 흡 착부(18)로 유리기판(11)을 흡착하여 유리기판(11)을 고정시킨다. 흡착부(18)에 의해 고정된 유리기판(11)을 유리기판(11)의 장변쪽에 유리기판(11)의 단부에 상응하게 배치된 연마장치(26a, 26b)로 테이블(10)을 가로지르면서 이동시켜 유리기판(11)의 장변의 양 에지를 연마하게 된다.
유리기판(11)의 장변의 양 에지의 연마가 완료되면 유리기판(11)을 지지하고 있는 지지부(14)를 구동부(12)에 의해 상승(V)시키고, 90˚회전(R)함과 동시에 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b) 각각을 수평이동수단(미도시)을 이용하여 유리기판(41)의 장변의 길이에 상응하도록 적절한 위치로 이동시킨다.
이동이 완료되면 지지부(14)를 다시 하강(V)시킨 후, 테이블(10)을 이동시켜 유리기판(11)의 단변의 양 에지를 연마하게 된다. 물론, 유리기판(11)의 단변의 양 에지를 먼저 연마하고 상술한 바와 같이 장변의 양 에지를 연마하는 것도 가능하다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블(10)의 구동부(12)는 지지부(14)와 결합되어, 유리기판(11)의 장변 또는 단변 중 어는 한 변의 양 에지의 연마공정이 마무리 되면 유리기판(11)을 지지하고 있는 지지부(14)를 상승(V)시키고, 90˚회전(R)시키고 다시 하강(V)시킨 후 다른 한 변의 양 에지를 연마할 수 있도록 지지부(14)의 승강(V)을 위한 승강장치 및 회전(R)을 위한 회전장치로 구성된다. 구동부(12)에 사용되는 승강장치와 회전장치는 유압기, LM(Linear Motion)시스템, 기어, 모터 등 당업자에게 자명한 장치들이 사용될 수 있다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블(10)의 지지부(14)는 판의 형태로서 판 하면의 중심에는 구동부(12)와 연결될 수 있는 축부(13)가 있고, 지지부(14)의 표면에는 공기를 흡입하는 흡착부(18)가 형성된다. 본 실시예에서 지지부(14)의 형태가 원형의 판형으로 되어있으나, 원형뿐만 아니라 사각형 등 유리기판을 효과적으로 지지할 수 있는 다양한 형태의 지지부가 가능하다.
흡착부(18)는 각각 그에 대응하는 진공밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어 지지부(14)상에 유리기판(11)이 안착되면 진공밸브를 통해 공기를 흡입하여 흡착부(18)와 유리기판(11)이 형성하는 공간을 진공상태로 만듦으로써 유리기판을 고정하게 된다. 흡착부(18)는 원형의 홈 형태로 지지부(14)의 표면상에 다수 형성할 수 있다. 흡착부(18)의 형상으로서 다수의 원형의 홈으로 구성하는 것 이외에 선형으로 홈을 형성하여 사각형의 라인형태로 하는 것도 가능하다. 다만, 본 실시예의 흡착부(18)의 형상으로서 다수의 원형의 홈과 라인형태에 한정되는 것은 아니며, 당업자에게 자명한 범위 내에서 진공흡착에 의한 유리기판을 고정할 수 있는 모든 형상의 흡착부가 본 발명의 범위에 포함됨은 물론이다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블(10)의 지지암(16)은 대형의 유리기판을지지해야 하는 경우 상술한 지지부(14)만으로 충분히 지지할 수 없어 유리기판의 단부에 처짐이 일어나는 경우, 지지부(14)을 보충하여 유리기판(11)의 단부 처짐을 방지하게 된다.
지지암(16)은 유리기판(11)의 단부에 상응하여 지지부(14)로부터 방사상으로 연장되는 복수의 암의 형태를 가진다. 지지암(16)은 유리기판(11)의 에지 연마시 연마장치에 방해가 되지 않도록 유리기판의 에지로부터 소정 거리 안쪽까지만 연장 되어 유리기판(11)이 지지부(14)와 지지암(16)을 커버할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
예를 들어, 직사각형의 유리기판을 지지하는 경우, 지지암(16)은 유리기판의 형상에 상응하여 지지부(14)로부터 유리기판의 장변방향으로는 긴 암을, 단변방향으로는 짧은 암을 배치하여 십자형(+)의 네 방향으로 연장하는 것이 좋다. 또한, 지지암의 연장길이는 지지부로부터 유리기판(11)의 단변 또는 장변까지의 거리보다 짧게 되도록 연장함으로써 유리기판의 에지 연마시 연마장치에 방해가 되지 않도록 하는 것이 좋다. 이를 위해, 지지암(16)의 길이가 변할 수 있도록 가변형으로 구성하는 것도 바람직하다.
한편, 본 실시예 이외에, 지지암(16)을 사각형의 유리기판(11)의 각 대각방향으로 엑스자형(X)의 네 방향으로 연장하여 형성할 수 있다. 다만, 지지암(16)의 형상으로서 상술한 실시예의 형상에 한정하는 것은 아니며, 당업자의 자명한 범위 내에서 유리기판의 단부 처짐을 방지할 수 있는 모든 형상의 지지암이 본 발명의 범위에 포함된다.
또한, 유리기판(11)의 고정을 보다 확고히 하기 위해 지지암(16)상에 흡착부(미도시)를 둘 수 있다. 흡착부는 각각 그에 대응하는 진공밸브와 기류적으로 연결되어 유리기판이 안착되면 진공밸브를 통해 공기를 흡입하여 흡착부와 유리기판이 형성하는 공간을 진공상태로 만듦으로써 유리기판을 고정할 수 있게 된다. 흡착부는 원형의 홈을 지지암(16)의 표면상에 다수 형성할 수 있다. 흡착부의 형상으로서 다수의 원형의 홈으로 구성하는 것 이외에 선형으로 홈을 형성하여 라인형태 등 으로 할 수 있음은 전술한 바와 같다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블(10)의 보조테이블(20a)의 사시도이다. 도 6을 참조하면, 흡착부(24), 수용홈(22)이 도시되어 있다.
유리기판의 양 단부를 지지하기 위해 한 쌍의 보조테이블(20a, 20b)이 필요하다. 한 쌍의 보조테이블(20a, 20b)은 지지부(14)을 중심으로 좌우측에 각각 배치하고 상호간의 거리가 조절가능하도록 수평이동수단(미도시)을 둘 수 있다. 전술한 실시예와 중복되는 부분에 대한 설명은 생략하고, 이하 보조테이블(20a)에 대해서 설명하기로 한다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블의 보조테이블(20a)은 전술한 지지부(14)와 지지암(16)으로 유리기판(11)을 지지하는 것에서 나아가, 유리기판의 규격에 따라 유리기판의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있도록 한 것이다.
또한 연마장치(26a, 26b)를 이용하여 유리기판(11)의 에지를 연마하는 경우, 유리기판(11)의 장변과 단변에 대해 연속적으로 연마가 가능하도록 유리기판(11)의 양 단부를 지지하는 한 쌍의 보조테이블로 구성할 수 있다. 보조테이블(20a, 20b)은 최소한 유리기판의 장변보다는 길어야 하며 바람직하게는 소형의 유리기판부터 대형의 유리기판까지 모두 수용할 수 있도록 충분한 길이를 가지도록 한다.
유리기판(11)의 장변의 양 에지를 연마한 후 유리기판(11)을 지지하고 있는 지지부(14)를 구동부(12)에 의해 상승(V)시키고, 90˚회전(R)함과 동시에 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b) 각각을 수평이동수단(미도시)을 이용하여 유리기판(41)의 장변의 길이에 상응하도록 적절한 위치로 이동시킨다. 이동이 완료되면 지지부(14)를 다시 하강(V)시킨 후 유리기판(11)의 단변의 양 에지를 연마하게 되는데, 보조테이블(20a, 20b)에는 지지부(14)로부터 연장된 각 지지암(16)이 지지부(14)의 상승 및 하강시 보조테이블(20a, 20b)에 탈착가능하게 결합되도록 지지암(16)의 형상에 상응하는 수용홈(22)을 형성할 수 있다. 즉, 지지암(16)이 유리기판(11)의 에지 근처까지 연장되어 있는 경우에는 지지암(16)이 보조테이블(20a, 20b)과 간섭을 일으킬 수 있으며, 따라서 보조테이블(20a, 20b)에 수용홈(22)을 형성하여 지지암(16)이 안착될 수 있도록 하는 것이다.
유리기판(11)의 고정을 보다 확고히 하기 위해 보조테이블(20a, 20b)의 표면에는 공기를 흡입하는 흡착부(24)를 형성할 수 있고, 흡착부(24)는 각각 그에 대응하는 진공밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어, 보조테이블(20a, 20b)상에 유리기판(11)이 안착되면 진공밸브를 통해 공기를 흡입하여 흡착부(24)와 유리기판(11)이 형성하는 공간을 진공상태로 만듦으로써 유리기판(11)을 고정하게 된다. 흡착부(24)의 형상에 관하여는 전술한 바와 같으며, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사용상태도이다. 도 7a 및 도 7b를 참조하면, 지지부(14), 지지암(16), 흡착부(18, 24), 한 쌍의 보조테이블(20a, 20b), 수용홈(22), 연마장치(26a, 26b)가 도시되어 있다.
도 7a를 참조하면, 유리기판(11)을 지지암(16)이 구비된 지지부(14)상에 안착시킨다. 이때 유리기판(11)의 크기에 대응하여 한 쌍의 보조테이블(20a, 20b)을 이용하여 유리기판(11)의 양 단부를 지지할 수 있다. 유리기판(11)의 안착 후 지지부(14) 표면에 형성된 공기를 흡입하는 흡착부(18)로 유리기판(11)을 흡착하여 유리기판(11)을 고정시킨다.
유리기판(11)의 고정을 보다 확고히 하기 위해 보조테이블(20a, 20b) 표면의 흡착부(24)로 유리기판(11)을 흡착하여 유리기판(11)을 고정할 수 있다. 흡착부(24)는 각각 그에 대응하는 진공밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어 유리기판이 안착되면 진공밸브를 통해 공기를 흡입하여 흡착부(24)와 유리기판(11)이 형성하는 공간을 진공상태로 만듦으로써 유리기판(11)을 고정할 수 있게 된다.
흡착부(18, 24)에 의해 고정된 유리기판(11)을 유리기판(11)의 장변 쪽에 양 단부에 상응하게 배치된 연마장치(26a, 26b)로 테이블(10)을 가로지르면서 이동시켜 유리기판(11)의 장변의 양 에지의 연마를 완료한다. 유리기판(11)의 장변의 양 에지의 연마가 완료되면 보조테이블(20a, 20b)의 흡착부(24)의 진공을 해제한 후 유리기판(11)을 지지하고 있는 지지부(14)를 구동부(12)에 의해 상승시키고, 90˚회전함과 동시에 한 쌍의 보조테이블(20a, 20b)을 수평이동수단(미도시)을 이용하여 유리기판(11)의 장변의 길이에 상응하도록 적절한 위치로 이동시킨다. 이때 지지암(16)은 한 쌍의 보조테이블(20a, 20b)의 이탈과 동시에 유리기판(11)의 단부의 처짐을 방지하여 안정적으로 유리기판(11)의 지지할 수 있게 된다.
도 7b를 참조하면, 보조테이블(20a, 20b)이 각각 유리기판(11)의 장변의 길 이에 상응하여 적절한 위치로 이동된 후, 상승하여 90˚회전된 지지부(14)을 다시 하강시켜 유리기판(11)의 양 단부가 보조테이블(20a, 20b)에 안착되도록 한다. 이때, 지지암(16)이 유리기판(11)의 에지 근처까지 연장되어 있는 경우에는 지지암(16)이 보조테이블(20a, 20b)에 형성된 수용홈(22)에 안착되도록 수용홈(22)을 형성하는 것이 좋다.
다시 보조테이블(20a, 20b) 표면의 흡착부(24)로 유리기판(11)을 흡착하여 유리기판(11)을 고정한 후 유리기판(11)의 단변의 양 에지를 연마하게 된다. 물론, 유리기판(11)의 단변의 에지를 먼저 연마하고 상술한 바와 같이 장변의 에지를 연마하는 것도 가능하다.
도 8은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사시도이고, 도 9는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 평면도이다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 구동부(42), 지지부(44), 흡착부(46, 50), 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b), 분사부(52)가 도시되어 있다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블(40)은 지지부(44)의 상승 및 하강없이 바로 회전시킴으로써 지지부(44)의 승강시간을 절감하여 공정을 단순화할 수 있도록, 구동부(42)와, 구동부(42)에 회동가능하도록 결합되고 유리기판(41)의 중심부를 지지하는 지지부(44)와, 지지부(44)표면에 형성된 공기를 흡입하는 흡착부(46), 유리기판(41)의 양 단부를 지지하며 상호 간의 거리가 조절가능한 한 쌍의 보조 테이블(20a, 20b)과, 보조 테이블(20a, 20b)의 표면에 형성되는 공기를 흡입하는 흡착부(50)와, 보조 테이블(20a, 20b)의 표면에 형성되는 공기를 분사하는 분사 부(52)로 구성된다.
구동부(42)는 지지부(44)와 결합되어 유리기판(41)의 장변 또는 단변 중 어느 한 변의 양 에지의 연마공정이 마무리되면 유리기판(41)을 지지하고 있는 지지부(44)를 90˚회전시킨 후 다른 한 변의 양 에지를 연마할 수 있도록 지지부(44)를 회전시키는 회전장치를 포함한다. 회전장치는 당업자에게 자명한 장치들이 사용될 수 있다. 한편, 구동부(42)에 지지부(44)의 승강을 위한 승강장치를 더 결합할 수 있음은 물론이다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블의 지지부(44)는 판의 형태로서 판 하면의 중심에는 구동부(42)와 연결되는 축부(43)가 결합되고, 지지부(44)의 표면에는 공기를 흡입하는 흡착부(46)가 형성된다. 본 실시예에서 지지부(44)의 형태는 원형의 판형으로 되어있으나, 원형뿐만 아니라 사각형 등 유리기판을 효과적으로 지지할 수 있는 다양한 형태의 지지부가 가능하다.
흡착부(46)는 각각 그에 대응하는 진공밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어 지지부(44)상에 유리기판(41)이 안착되면 진공밸브를 통해 공기를 흡입하여 흡착부(46)와 유리기판(41)이 형성하는 공간을 진공상태로 만듦으로써 유리기판(41)의 중앙부를 고정하게 된다.
도 10은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블(40)의 보조테이블(48a, 48b)의 사시도이다. 도 6을 참조하면, 흡착부(50), 분사부(52)가 도시되어 있다.
유리기판(41)의 양 단부를 지지하기 위해 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b)이 설치된다. 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b)은 지지부(44)을 중심으로 좌우측에 각각 배치하고 상호간의 거리가 조절가능하도록 수평이동수단(미도시)이 결합된다. 전술한 것과 중복되는 부분에 대한 설명은 생략하고, 이하 보조테이블(48a, 48b)에 대해서 설명하기로 한다.
본 실시예의 유리기판 지지용 테이블(40)의 보조테이블(48a, 48b)은 유리기판(41)의 규격에 따라 유리기판(41)의 크기가 변경되더라도 테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있으며, 또한 연마장치(54a, 54b)를 이용하여 유리기판(41)의 에지를 연마하는 경우, 유리기판(41)의 장변과 단변을 연속적으로 연마할 수 있도록 유리기판(41)의 양 단부를 지지하는 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b)로 구성된다. 보조테이블(48a, 48b)은 최소한 유리기판(41)의 장변보다는 길어야 하며 바람직하게는 소형의 유리기판부터 대형의 유리기판까지 모두 수용할 수 있도록 충분한 길이를 가지도록 형성한다.
유리기판(41)의 장변의 양 에지를 연마한 후 유리기판(41)을 지지하고 있는 지지부(44)를 구동부(42)에 의해 90˚회전시키고 유리기판(41)의 단변의 양 에지를 연마하게 되는데, 보조테이블(48a, 48b)에는 유리기판(41)의 고정을 위해 표면에 공기를 흡입하는 흡착부(50)를 형성할 수 있다. 흡착부(50)는 각각 그에 대응하는 진공밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어 보조테이블(48a, 48b)상에 유리기판(41)이 안착되면 진공밸브를 통해 공기를 흡입하여 흡착부(50)와 유리기판(41)이 형성하는 공간을 진공상태로 만듦으로써 유리기판(41)을 고정하게 된다.
또한, 보조테이블(48a, 48b)의 표면에는 유리기판(41)의 장변의 양 에지를 연마한 후 유리기판(41)의 흡착부(50)의 진공을 해제한 후 단변의 양 에지를 연마하기 위해 유리기판(41)을 지지하고 있는 지지부(44)를 구동부(42)에 의해 90˚회전하게 된다.
이 때, 보조테이블(48a, 48b)로부터 유리기판면이 쉽게 분리되도록 하고 유리기판의 단부의 처짐을 방지하기 위해 보조테이블(48a, 48b)의 표면에는 공기를 분사하는 분사부(52)를 형성하는 것이 좋다. 즉, 유리기판(41)의 장변 또는 단변 중 어느 한 변의 양 에지에 대한 연마공정이 마무리되면 나머지 한 변의 양 에지를 연마하기 위해 유리기판(41)을 지지하고 있는 지지부(44)를 90˚회전시켜야 한다.
이 과정에서, 지지부(44)의 표면에 형성된 흡착부(46)를 통해 유리기판(41)의 중앙부를 흡착하여 고정한 상태에서 유리기판(41)의 양 단부를 지지하는 보조테이블(48a, 48b)의 표면에 형성된 분사부(52)를 통해 공기를 분사함으로써 유리기판(41)의 단부를 들어올리고 지지부(44)의 상승 및 하강없이 바로 회전시킬 수 있게 된다.
분사부(52)는 각각 그에 대응하는 에어밸브(미도시)와 기류적으로 연결되어 공기를 분사하도록 에어라인과 연결될 수 있다. 분사부(52)는 원형의 홈을 보조테이블의 표면상에 다수 형성하게 되는데, 본 실시예의 분사부(52)는 선형으로 홈을 형성한 다수의 사각형의 라인의 내측에 다수의 원형의 홈으로 형성하였다.
도 11은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 유리기판 지지용 테이블의 사용상태도이다. 도 11을 참조하면, 구동부(42), 지지부(44), 흡착부(46, 50), 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b), 분사부(52)가 도시되어 있다.
유리기판(41)의 중앙부는 지지부(44)상에 안착시키고 유리기판(41)의 단부는 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b)을 이용하여 지지하게 된다. 유리기판(41)의 안착 후 지지부(44) 및 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b)의 표면에 형성된 흡착부(46, 50)로 유리기판(41)을 흡착하여 고정시킨다.
지지부(44) 및 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b)의 표면의 흡착부(46, 50)에 의해 고정된 유리기판(41)을 유리기판(41)의 양 단부에 상응하게 배치된 연마장치(54a, 54b)로 테이블(40)을 가로지르면서 이동시켜 유리기판(41)의 장변의 양 에지를 연마한다. 유리기판(41)의 장변의 양 에지의 연마가 완료되면 보조테이블(48a, 48b)의 흡착부(50)의 진공을 해제한 후 분사부(52)를 통해 공기를 분사하여 유리기판면을 쉽게 분리가능하도록 하고 유리기판(41)의 단부의 처짐을 방지한다.
따라서 유리기판(41)의 단부는 분사된 공기에 의해 들어올려지게 되고 유리기판(41)의 중앙부는 지지부(44)의 흡착부(46)에 의해 흡착상태가 여전히 유지되어 고정되므로 지지부(44)의 상승 및 하강없이 바로 지지부(44)를 회전시킬 수 있게 된다. 도 11에는 이와 같이 유리기판(41)의 단부가 들어올려진 상태를 과장하여 도시하였다.
지지부(44)의 회전과 동시에 한 쌍의 보조테이블(48a, 48b)을 수평이동수단(미도시)을 이용하여 유리기판(41)의 장변의 길이에 상응하도록 적절한 위치로 이동시킨다.
이 때 분사된 공기가 유리기판(41)의 단부를 들어올릴 수 있기 위해서는 분 사되는 공기가 유리기판의 면에 부딪히는 면적이 일정값 이상이 되어야 하므로 보조테이블(48a, 48b)의 이동속도를 너무 빠르지 않도록 적절히 조정하는 것이 좋다. 보조테이블(48a, 48b)이 각각 유리기판(41)의 장변의 길이에 상응하여 적절한 위치로 이동된 후, 보조테이블(48a, 48b)의 분사부(52)의 공기 분사를 해제하고 유리기판(41)의 양 단부가 보조테이블(48a, 48b)에 안착되도록 한다.
다시 보조테이블(48a, 48b) 표면의 흡착부(52)로 유리기판(41)을 흡착하여 고정한 후 유리기판(41)의 단변의 양 에지를 연마하게 된다. 물론, 유리기판(41)의 단변의 에지를 먼저 연마하고 상술한 바와 같이 장변의 에지를 연마하는 것도 가능하다.
한편, 유리기판(41)의 단부의 처짐없이 지지부(44)만으로 지지가 가능하다면 구동부(42)에 의해 지지부(44)을 상승시키고, 90˚회전시킨 후 다시 하강시켜 유리기판(41)의 에지를 연마할 수 있음은 물론이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 유리기판의 크기가 변경되더라도 연마테이블을 교체하지 않고 범용적으로 사용할 수 있으며, 또한 연마장치를 이용하여 유리기판의 에지를 연마하는 경우, 유리기판의 장변과 단변을 연속적으로 연마할 수 있다.
또한, 유기기판의 장변과 단변의 에지를 순차적으로 연마할 경우에 테이블의 회전시에 유리기판의 단부의 처짐을 방지할 수 있다.
또한, 테이블의 승강없이 바로 회전시킴으로써 테이블의 승강시간의 배제를 통해 공정을 단순화할 수 있다.

Claims (10)

  1. 유리기판을 지지하는 테이블로서,
    구동부와;
    상기 구동부에 회동가능하게 결합되며, 상기 유리기판의 중심부를 지지하는 지지부와;
    상기 유리기판의 단부에 상응하여 상기 지지부로부터 방사상으로 연장되는 복수의 지지암을 포함하는 유리기판 지지용 테이블.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지암은 상기 지지부로부터 상기 유리기판의 에지(edge)까지의 거리보다 소정 거리 짧게 연장되며, 상기 유리기판에 의해 커버되는 것을 특징으로 하는 유리기판 지지용 테이블.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지암은 상기 지지부로부터 십자형의 4 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 유리기판 지지용 테이블.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 구동부를 중심으로 회전가능하고, 상기 구동부로부터의 거리가 조절가능하도록 상기 구동부에 결합되는 것을 특징으로 하는 유리기판 지지용 테이블.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지부의 표면에 형성되며, 공기를 흡입하는 흡착부를 더 포함하는 유리기판 지지용 테이블.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 유리기판의 양 단부를 지지하는 한 쌍의 보조 테이블을 더 포함하되, 상기 한 쌍의 보조테이블 간의 거리는 조절가능한 것을 특징으로 하는 유리기판 지지용 테이블.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 보조테이블에는, 상기 지지암이 탈착가능하게 결합되도록 상기 지지암 의 형상에 상응하는 수용홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 지지용 테이블.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 보조테이블의 표면에 형성되며, 공기를 흡입하는 흡착부를 더 포함하는 유리기판 지지용 테이블.
  9. 유리기판을 지지하는 테이블로서,
    구동부와;
    상기 구동부에 회동가능하게 결합되며, 상기 유리기판의 중심부를 지지하는 지지부와;
    상기 지지부의 표면에 형성되며 공기를 흡입하는 흡착부와;
    상기 유리기판의 양 단부를 지지하며, 상호 간의 거리가 조절가능한 한 쌍의 보조테이블과;
    상기 보조테이블의 표면에 형성되며 공기를 흡입하는 흡착부와;
    상기 보조테이블의 표면에 형성되며 공기를 분사하는 분사부를 포함하는 유리기판 지지용 테이블.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 구동부를 중심으로 회전가능하고, 상기 구동부로부터의 거리가 조절가능하도록 상기 구동부에 결합되는 것을 특징으로 하는 유리기판 지지용 테이블.
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