CN217434292U - 一种吸附式载台系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种本申请的吸附式载台系统，用于承载与固定基板，所述基板包括表面平整部分和表面不平整部分，所述吸附式载台系统包括：固定载台，用于承载基板的表面平整部分；可移动载台，用于承载所述基板的表面不平整部分；缓冲部件，位于所述可移动载台上方，用于保护基板的表面不平整部分；以及升降装置，用于使所述可移动载台上升或下降。升降装置控制可移动载台上升或下降，以将可移动载体抬升至合适高度，使可移动载台承载、固定基板的表面不平整部分，从而可以采用吸附方式吸附固定表面粗糙不平整的基板，通过对基板进行分区吸附固定，提高显示面板加工处理的可控性。

Description

一种吸附式载台系统

技术领域

本申请属于显示面板加工装置技术领域，具体涉及一种吸附式载台系统。

背景技术

在显示面板加工业中，无论是制作显示器面板，还是喷墨打印基板，吸附式载台被广泛应用于基板的承载与固定。现有的吸附式载台一般为完整的平面载台或由若干块小的平面组成，平面载台内留有真空吸附孔位，真空吸附孔位与真空管路连接，通过真空吸附孔位将面板或其它表面平整的基板吸附在平面载台上，使其相对于载台的位置固定，进而达到固定显示面板的目的。

目前的吸附式载台对表面平整的基板吸附效果好，对于表面粗糙不平整的基板吸附效果较差、无法固定，亟需提供一种吸附式载台，以解决现有吸附式载台无法吸附表面粗糙不平整的基板的问题。

实用新型内容

针对上述技术问题，本申请提供一种吸附式载台系统，用于承载与固定基板，所述基板包括表面平整部分和表面不平整部分，所述吸附式载台系统包括：

固定载台，用于承载所述基板的表面平整部分；

可移动载台，用于承载所述基板的表面不平整部分；

缓冲部件，位于所述可移动载台上方，用于保护所述基板的表面不平整部分；以及

升降装置，用于使所述可移动载台上升或下降。

进一步地，所述缓冲部件可拆卸设置于可移动载台朝向所述基板一侧面上。

进一步地，所述缓冲部件可拆卸设置于所述基板朝向可移动载台的一侧面上。

进一步地，所述缓冲部件为UV减粘胶。

进一步地，所述可移动载台的侧面与所述固定载台的侧面可拆卸连接。

进一步地，还包括位于所述可移动载台下方的滑动轨道，所述升降装置底部设置滑块，所述滑块带动所述升降装置在所述滑动规定中进行水平方向移动，以使所述升降装置分别对多个所述可移动载台进行升降操作。

进一步地，包括多个可移动载台、多个升降装置，所述可移动载台与所述升降装置一一对应设置。

进一步地，所述升降装置包括支架、驱动单元，所述驱动单元驱动所述支架上升或下降，所述支架承载所述可移动载台。

进一步地，所述固定载台与所述可移动载台在竖直方向上的投影紧挨且不重叠。

进一步地，还包括真空吸附装置，所述固定载台内设置有第一吸附孔，所述可移动载台内设置有第二吸附孔，所述第一吸附孔、所述第二吸附孔分别连接至所述真空吸附装置。

技术效果：本申请的吸附式载台系统，用于承载与固定基板，所述基板包括表面平整部分和表面不平整部分，所述吸附式载台系统包括：固定载台，用于承载基板的表面平整部分；可移动载台，用于承载所述基板的表面不平整部分；缓冲部件，位于所述基板的表面不平整部分与所述可移动载台之间，用于保护基板的表面不平整部分；以及升降装置，用于使所述可移动载台上升或下降。升降装置控制可移动载台上升或下降，以将可移动载体抬升至合适高度，使可移动载台承载、固定基板的表面不平整部分，从而可以采用吸附方式吸附固定表面粗糙不平整的基板，通过对基板进行分区吸附固定，提高显示面板加工处理的可控性。

附图说明

图1为本申请中一种实施方式的吸附式载台系统的结构示意图；

图2为本申请中一种实施方式的吸附式载台系统的结构示意图；

图3为本申请中一种实施方式的吸附式载台系统的结构示意图；

图4为本申请中一种实施方式的吸附式载台系统的结构示意图；

图5为本申请中一种实施方式的固定载台、可移动载台的纵截面示意图。

其中，图中：1-固定载台；11-第一吸附孔；2-可移动载台；21-第二吸附孔；31-基板的表面平整部分；32-基板的表面不平整部分；4-缓冲部件；5-升降装置；61-滑动轨道；62-滑块。

在附图中相同的部件使用了相同的附图标记，附图仅示意性地显示了本申请的实施方案。

具体实施方式

下面将结合本申请实施方式，对本申请实施例中的技术方案进行详细地描述。应注意的是，所描述的实施方式仅仅是本申请一部分实施方式，而不是全部实施方式。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“连通”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上，以上包含本数。

正如背景技术所述，现有的吸附式载台系统对于表面粗糙不平整的基板，吸附效果差、无法固定，基于此，本申请提供一种吸附式载台系统，用于承载与固定基板，基板包括表面平整部分和表面不平整部分，吸附式载台系统如图1所示，吸附式载台系统100包括固定载台1，用于承载基板的表面平整部分31；可移动载台2，用于承载所述基板的表面不平整部分32；缓冲部件4，位于所述可移动载台2上方，用于设置于可移动载台与基板的表面不平整部分32之间，以保护所述基板的表面不平整部分32；以及升降装置5，用于使所述可移动载台2上升或下降。升降装置5控制可移动载台2上升或下降，以将可移动载体2抬升至合适高度，使可移动载台2承载、固定基板的表面不平整部分32，从而可以采用吸附方式吸附固定表面粗糙不平整的基板，通过对基板实行分区承载、吸附及固定，使基板的各部分均得到有效吸附与固定。

在本申请第一种具体实施方式中，请参考图2，本实施方式揭示了缓冲部件4可拆卸设置于基板的表面不平整部分32朝向可移动载台2一侧面上，从而使得可移动载台2上升至软性缓冲部件4时，可有效避免因可移动载台5直接碰触基板的表面不平整部分32而引起的损坏后果，同时缓冲部件4可以有效贴合基板的表面不平整部分32，使得可移动载台2接触缓冲部件4后可以有效吸附固定该基板的表面不平整部分32。

在本申请的第二种具体实施方式中，请参考图3，本实施方式揭示的缓冲部件4可拆卸设置于可移动载台2朝向表面不平整部分32的一侧面上，升降装置5带动可移动载台2、缓冲部件4上升至接触贴合基板的表面不平整部分32，使得可移动载台2有效吸附固定该基板的表面不平整部分32。

在本申请的第三种具体实施方式中，缓冲部件4为UV减粘胶，UV减粘胶由市售的UV减粘膜而来，UV减粘膜通常由PET保护膜，UV减粘胶层，PET基材三层组成，在使用过程中，揭开PET保护膜，将UV减粘胶固定在被粘体上，UV减粘胶在正常情况下的粘性非常的强，但是经过UV光照后其粘性会下降，具体到本申请，当基板为表面平整部分连接有表面不平的集成电路或其它不平整部分，将表面平整部分置于固定载台1，将集成电路或其他不平整部分置于可移动载台2上的UV减粘胶上，UV减粘胶表面贴附有离型膜，使用UV减粘胶时，先将UV减粘胶吸附于可移动载台2靠近基板的表面不平整部分32的一侧面上，再将UV减粘胶另一侧面的离型膜揭掉，最后将基板的表面不平整部分32贴附于UV减粘胶中固定，调节升降装置5使可移动载台2与固定载台1处于高度合适的位置，此时基板的表面平整部分31与表面不平整部分32都能被承载固定，待将表面不平衡基板处理好后，先将基板连同UV减粘胶取走，再将该UV减粘胶曝光在紫外灯下，固化减粘后取下UV减粘胶后即可。

可以理解的是，若基板为整体表面平整，则可以将整体表面平整基板放置于固定载台1上使用即可，若基板为整体表面不平整，可将缓冲部件4贴附于该基板，再将可移动载台2上升贴合至缓冲部件4即可，也可将缓冲部件4贴附于可移动载台2朝向基板的表面，通过升降装置5将可移动载台2提升贴合至缓冲部件4处，固定载台1、可移动载台2的数量和位置可以根据使用场所、基板大小等灵活进行调整。

在本申请的第四种具体实施方式中，可移动载台2的侧面与固定载台1的侧面可拆卸连接。可拆卸连接方式包括但不限于卡扣连接、螺纹连接、铰链连接，以使得当可移动载台2抬升到合适高度时，可以与边上的固定载台1连接固定，待基板处理结束后，可将可移动载台2与固定载台1拆除连接。

在本申请的第五种具体实施方式中，参考附图4，吸附式载台系统还包括滑动轨道61，所述升降装置5底部设置滑块62，滑块62在滑动轨道61内移动，以带动升降装置4在水平方向移动，使得同一升降装置可分别对多个可移动载台2进行升降操作，从而通过设置一个升降装置4对多个可移动载台2进行升降操作，有效简化吸附式载台系统的结构。

在本申请的第六种具体实施方式中，吸附式载台系统包括多个可移动载台、多个升降装置，可移动载台与升降装置一一对应设置，例如可以有2个可移动载台、2个升降装置，3个可移动载台、3个升降装置，4个可移动载台、4个升降装置，5个可移动载台、5个升降装置，6个可移动载台、6个升降装置，每个升降装置对应控制一个可移动载台进行上升或下降，从而可以根据需要灵活控制升降装置5对相应可移动载台2进行升降操作，以应对具有多个表面不平整部分的基板。

在本申请的第七种具体实施方式中，升降装置包括支架、驱动单元，所述驱动单元驱动所述支架上升或下降，支架承载所述可移动载台，驱动单元与支架既可以直接连接控制支架，也可以通过遥控形式控制支架。

在本申请的第八种具体实施方式中，吸附式载台系统中的固定载台1与可移动载台2在竖直方向上的投影紧挨且不重叠，从而可以对基板的整体进行吸附固定，以利于后续更好进行基板处理。

在本申请的第九种具体实施方式中，如附图5所示的固定载台、可移动载台的纵截面示意图，吸附式载台系统中的固定载台1内设置有第一吸附孔11，可移动载台2内设置有第二吸附孔21，第一吸附孔11、第二吸附孔21分别连接至真空吸附装置，当基板的表面平整部分31置于固定载台1上，表面不平整部分32置于可移动载台2上时，启动真空吸附装置，将第一吸附11孔、第二吸附孔21进行抽真空操作，从而使得基板可以很好固定在固定载台1、可移动载台2上。

发明人发现，本申请的吸附式载台系统特别适用于显示面板制备领域，其中升降装置5使可移动载台2上升到合适高度、缓冲部件4有效保护及固定基板的表面不平整部分32，该吸附式载台系统在使用前后可有效保护基板整体状态，不损伤基板，提高显示面板良率，是一种经济便捷的基板处理系统。

尽管发明人已经对本申请的技术方案做了较详细的阐述和列举，应当理解，对于本领域技术人员来说，对上述实施例作出修改和/或变通或者采用等同的替代方案是显然的，都不能脱离本申请精神的实质，本申请中出现的术语用于对本申请技术方案的阐述和理解，并不能构成对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种吸附式载台系统，其特征在于，所述吸附式载台系统用于承载与固定基板，所述基板包括表面平整部分和表面不平整部分，所述吸附式载台系统包括：

固定载台，用于承载所述基板的表面平整部分；

可移动载台，用于承载所述基板的表面不平整部分；

缓冲部件，位于所述可移动载台上方，用于保护所述基板的表面不平整部分；以及

升降装置，用于使所述可移动载台上升或下降。

2.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，所述缓冲部件可拆卸设置于可移动载台朝向所述基板一侧面上。

3.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，所述缓冲部件可拆卸设置于所述基板朝向可移动载台的一侧面上。

4.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，所述缓冲部件为UV减粘胶。

5.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，所述可移动载台的侧面与所述固定载台的侧面可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的吸附式载台系统，其特征在于，还包括位于所述可移动载台下方的滑动轨道，所述升降装置底部设置滑块，所述滑块带动所述升降装置在所述滑动轨道中进行水平方向移动，以使所述升降装置分别对多个所述可移动载台进行升降操作。

7.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，包括多个可移动载台、多个升降装置，所述可移动载台与所述升降装置一一对应设置。

8.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，所述升降装置包括支架、驱动单元，所述驱动单元驱动所述支架上升或下降，所述支架承载所述可移动载台。

9.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，所述固定载台与所述可移动载台在竖直方向上的投影紧挨且不重叠。

10.根据权利要求1所述的吸附式载台系统，其特征在于，还包括真空吸附装置，所述固定载台内设置有第一吸附孔，所述可移动载台内设置有第二吸附孔，所述第一吸附孔、所述第二吸附孔分别连接至所述真空吸附装置。

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