CN1654289A - 基板运送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种结构简单、可以小型化的运送装置，其不改变中心位置而可以调整保持基板的一对保持臂的间隔，使一对保持臂在保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间可以旋转。一对保持臂分别被可旋转地支撑于在运送方向上可移动地架装在底座上的一对臂支撑体上，在各保持臂在与运送方向大致为直角的水平方向上突出而保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间通过旋转装置使其旋转。通过臂支撑体接离装置使各臂支撑体在运送方向上向互为相反的方向连动地移动相等距离。通过运送移动装置使保持基板的一对臂支撑体在运送方向上一体移动。

Description

基板运送装置

技术领域

本发明涉及一种在装置之间运送基板的运送装置。

背景技术

在专利文献1中，公开了一种运送装置14，其用一对负载臂26(在背景技术及发明的问题的部分中，赋予了专利文献1中示出的参考标记)保持LCD用基板S的下面，把以水平状态保持在臂26上的基板S吸附于在臂26的上面开口并与负压装置连接的孔38，运入、运出于检查装置10。运送装置40在基座32上沿X方向可移动地架装有X载物台31，在X载物台31上可驱动旋转地架装有旋转体30，在旋转体30上可升降地架装着的支撑板28上可沿Y方向移动地支撑着固定有一对臂26的连接部件39。检查装置10能沿互成直角的X、Y方向直线移动，使在可绕垂直的θ轴转动的基板放置台44上放置的基板S的电极垫与探针接触而进行电检查。容纳基板S的箱C沿着X工作台31的移动方向放置。运送装置40把基板S放置在一对臂26上，在箱C和检查装置的基板放置台44之间运送基板S。

专利文献1为特开平8-264619号公报(第5、6页，图3、4)。

专利文献1所述的运送装置中，由于是把LCD用基板S放置在一对臂26上进行运送，所以可把基板S的挠曲量抑制得较小，但由于不改变中心位置就不能改变一对臂26的间隔，所以当根据大小不同的基板S调整臂26的间隔时，一对臂26之间的中心位置就发生变化，因该中心位置偏移而必须修正运送装置的位置。

另外，由于通过使连接部件39沿Y方向移动，使一对臂26在臂26向检查装置10突出的保持位置、和臂26从检查装置10后退的后退位置之间进退移动，故存在着装置大型化的问题。

发明内容

本发明是为了消除以前的不合适处而提出的，其目的在于提供一种结构简单、可以小型化的运送装置，其可以不改变中心位置而调整保持基板的一对保持臂的间隔，能使一对保持臂在保持基板的保持位置和从保持位置大致旋转90度的退避位置之间转动。

为了解决上述课题，本发明的第一方面是一种基板运送装置，通过一对保持臂保持基板的下面，在水平状态下运送基板，其中包括：一对臂支撑体，其分别可旋转地支撑着所述一对保持臂，在运送方向上可移动地架装在底座上；旋转装置，其使所述一对保持臂在各保持臂在与所述运送方向成大致直角的水平方向上突出而保持所述基板的保持位置和从所述保持位置旋转大致90度的退避位置之间旋转；臂支撑体接离装置，其使各臂支撑体在所述运送方向上向互为相反的方向连动地移动相等距离；运送移动装置，其使一对臂支撑体在所述运送方向上一体移动。

本发明的第二方面是在发明的第一方面中，在所述底座上设置有在所述运送方向上延伸的导轨，在该导轨上可滑动地架装有所述一对臂支撑体，在所述一对臂支撑体之间，在所述导轨上可滑动地架装有滑动件，通过所述臂支撑体接离装置连接所述滑动件和各臂支撑体，所述运送移动装置通过使所述滑动件在运送方向上移动，使所述一对臂支撑体通过所述臂支撑体接离装置而在运送方向上移动。

本发明的第三方面的结构，所述旋转装置，将各保持臂在水平面内可围绕垂直轴线旋转地支撑在各臂支撑体上，具有转动驱动装置，其使各保持臂在各保持臂与运送方向大致为直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置、和各保持臂向相互相反的方向打开直到与运送方向平行的退避位置之间通过马氏间歇机构旋转。

本发明的第四方面的结构是在第一至第三方面的任一方面中，在所述各保持臂的上面开口有多个与负压装置连接而吸附基板的吸附部件，设置有对应于基板的大小而开闭各吸附部件的开关阀。

在如上述那样构成的发明的第一方面中，由于可以使支撑保持臂的臂支撑体通过臂支撑体接离装置而向互相相反的方向连动地移动相等距离，故通过调整到适当间隔的一对保持臂能够以下面两处部位保持基板而将挠曲量抑制得较小。另外，当运送的基板改变时，不改变中心位置就可以对应于基板的大小调整一对保持臂的间隔，不必改变运出、运入基板的装置的运入位置和运出位置，可以很容易地进行生产安排的变更。另外，可以提供一种结构简单、能小型化的运送装置，能使一对保持臂在保持臂与运送方向成大致直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置和从该保持位置旋转大致90度的退避位置之间旋转。

在如上述那样构成的发明的第二方面中，在底座上沿运送方向延伸的导轨上架装有一对臂支撑体，把通过臂支撑体接离装置而在两侧连接在各臂支撑体上的滑动件架装在导轨上，通过运送移动装置使滑动件移动，沿运送方向移动一对臂支撑体，运送保持在保持臂上的基板。这样，由于把一对臂支撑体和配置在臂支撑体之间的滑动件可滑动地架装在同一导轨上，可以使装置作得简单、小型化，并能降低成本。

在如上述那样构成的发明的第三方面中，由于在各臂支撑体上可绕垂直轴线旋转地支撑各保持臂，通过马氏间歇机构旋转驱动各保持臂，所以能使一对保持臂在各保持臂与运送方向成大致直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置和向互为相反的方向打开直到与运送方向平行的退避位置之间降低启动时及停止时的冲击，能以高速旋转。

在如上述那样构成的发明的第四方面中，基板通过连接负压装置并在各保持臂的上面开口的多个吸附部件吸附下面，可以确实地保持一对保持臂。在运送小的基板时，由于通过开闭阀关闭不与基板相对的吸附部件，故可以防止空气从不面对基板的吸附部件流入而降低负压。

附图说明

图1是表示装有本实施方式的基板运送装置的液晶显示装置的生产线的视图；

图2是从上方观察基板运送装置的主要部分的平面图；

图3是沿图2的A-A线的视图；

图4是沿图2的B-B线的视图；

图5是剖开保持臂的吸附垫部分的放大剖视图。

具体实施方式

下面根据附图说明本发明的基板运送装置。在图1中，1是在液晶显示板(以下称为基板)上安装芯片或薄膜而生产液晶显示装置的生产线，其是由清洗基板P的端子的清洗装置2、把各向异性导电膜(ACF)贴附在基板P上的ACF贴附装置3、装载印刷芯片或电路的膜(FPC)的装载装置4和按压所装载的芯片或FPC而压接在基板P上的压接装置5构成，为了把基板从清洗装置2顺次运送到压接装置5，跨过邻接的装置而配置基板运送装置6。各装置2至5在基座7上分别架装有载物台8，各载物台8沿互成直角的X、Y、Z方向直线移动，同时可以绕垂直轴θ旋转而进行分度。以水平状态从基板运送装置6运入到载物台8上的基板P被在载物台8上面开口并与负压装置连通的吸附孔的负压吸引而被吸附在载物台8上。在各装置2至5的载物台8的上方分别装有作业部，对被载物台8吸附而被分度于规定位置的基板P进行端子的清洗、ACF的贴附等各种作业。

如图1、图3所示，在装置2至5的前方正面侧，基板运送装置6的底座10跨过邻接的两台装置而在X方向上延伸，通过支撑架11而固定在地面上。在底座10的上面，沿X方向固定有导轨12，在滑动件13的下面固定的滑动卡合部13a可滑动地与导轨12卡合。在滑动件13的后方端面上垂下的支撑部13b上，使滑动件13沿X方向运送移动的线性电动机14的一对线性电动机磁铁线圈14a被沿X轴方向水平固定，在底座10的下面，线性电动机14的一对线性电动机磁铁14b使磁极面分别与各线性电动机磁铁线圈14a相对而沿X方向水平固定。

如图2、图4所示，在导轨12上，在滑动件13的两侧可滑动地架装有一对臂支撑体15、16，沿X方向延伸的齿条17、18相互面对而固定在臂支撑体15、16上。齿条17、18与小齿轮19啮合，小齿轮19可围绕垂直轴转动地被支撑在滑动件13上。当对应于基板P的大小而调整臂支撑体15、16的间隔时，设置在滑动件13上的卡紧装置20进行锁紧动作，齿条17、18分别向着小齿轮19被锁紧，限制臂支撑体15、16的相对移动。为了表示臂支撑体15、16的间隔，标尺21沿X方向延伸而固定在后侧的臂支撑体15上，指针22向着标尺21而安装在滑动件13上。

这样，由安装在滑动件13和各臂支撑体15、16之间的小齿轮19、齿条17、18、卡紧装置20等构成使臂支撑体15、16在作为运送方向的X方向上向相互相反的方向连动地移动相等距离的臂支撑体接离装置50。而由线性电动机14、滑动件13、小齿轮19、齿条17、18和卡紧装置20等构成使一对臂支撑体15、16沿运送方向一体移动的运送移动装置51，运送移动装置51通过用线性电动机14使滑动件13沿运送方向移动，使一对臂支撑体15、16通过臂支撑体接离装置50而沿运送方向移动。

在臂支撑体15、16上垂直固定有旋转中心轴23、24，保持臂25、26可旋转地支撑在各旋转中心轴23、24上，而在与X方向大致成直角并向水平方向突出而保持基板P的保持位置和向相互相反的方向打开、直到与X方向平行的退避位置之间旋转。从支撑在保持臂25、26的旋转中心轴23、24上的基端部起，相对保持臂25、26成直角而水平突设有从动杆部25a、26a，当保持臂25、26位于保持位置时，从动杆部25a、26a就向着外侧而向互为相反的方向突出，在从动杆部25a、26a的下面，从端面向基端部设置的长槽25b、26b沿X方向延伸。驱动臂29、30可围绕垂直轴转动地支撑在比旋转中心轴23、24更靠前方而垂直固定于臂支撑体15、16上的支撑轴27、28上，当保持臂25、26及驱动臂29、30和X轴成直角而向后方突出时，与长槽25b、26b的开口端部嵌合的辊子31、32可转动自由地支撑在驱动臂29、30的前端。在驱动臂29、30的前端部形成的扇形齿轮33、34与沿X方向固定在可动体35、36上的齿条37、38啮合，可动体35、36沿X方向可滑动地架装在臂支撑体15、16上，并通过气缸39、40而沿X方向往复运动。

由驱动臂29、30、辊子31、32、长槽25b、26b、从动杆部25a、26a等构成马氏间歇机构(ゼネバ機槽)52。由气缸39、40、齿条37、38、扇形齿轮33、34、支撑轴27、28、马氏间歇机构52等构成使一对保持臂25、26在保持位置和退避位置之间通过马氏间歇机构52而旋转的转动驱动装置53。而使一对保持臂25、26在保持臂25、26向与运送方向成大致直角的水平方向突出而保持基板P的保持位置和从保持位置旋转大约90度的退避位置之间旋转的旋转装置54是将各保持臂25、26在水平面内可围绕垂直轴旋转地支撑在各臂支撑体15、16上，具有转动驱动装置53，其使各保持臂25、26通过马氏间歇机构52而在各保持臂与运送方向成大致直角并在水平方向突出而保持基板P的保持位置和各保持臂沿互为相反方向打开直到与运送方向平行的退避位置之间旋转。

另外，旋转装置54在保持臂25、26的基端部与旋转中心轴23、24同心形成齿轮，可以使该齿轮与支撑在支撑轴27、28上的齿轮啮合连接，或者也可以使在保持臂25、26的基端部形成的齿轮通过利用气缸进行往复运动的齿条而直接转动。

如图5所示，在一对保持臂25、26上，在上面开口而设置多个吸附垫41(吸附部件)，各吸附垫41通过穿设于保持臂25、26上的共用通道42与负压装置43连接。在连通共用通道42和各吸附垫41的各分支路44中分别设有开闭阀45。开闭阀45的阀体46可转动地支撑在保持臂25、26上，而与分支路44交叉，阀体46的操作部46a从保持臂25、26的外侧面向侧方突出。当使操作部46a转动，在阀体46的与分支路44交叉的部分沿直径方向贯通穿设的阀孔46b和分支路44成连通状态时，开闭阀45被打开，向吸附垫41供给负压，当成为不连通状态时，开闭阀45被关闭，吸附垫41与负压装置43被切断。

下面，以把基板P从端子清洗装置2运出、而运入到ACF贴附装置3中的情况为例说明本实施方式的动作。基板运送装置6的滑动件13及在滑动件13上通过齿条17、18、小齿轮19而连接的臂支撑体15、16通过线性电动机14而移动到与清洗装置2的运出位置相对的位置上。此时，保持臂25、26位于沿互为相反的方向打开直到与X方向平行的退避位置。当端子的清洗结束后，清洗装置2的载物台8沿Z方向上升到吸附在载物台8上的基板P与保持臂25、26上面不干涉的上升位置，接着，沿X、Y方向移动，被分度到运出位置。

当载物台8停到运出位置后，通过气缸39、40使固定在可动体35、36上的齿条37、38前进，通过与齿条37、38啮合的扇形齿轮33、34而使驱动臂29、30转动，通过辊子31、32和长槽25b、26b的卡合，保持臂25、26支撑在旋转中心轴23、24上，在与X方向大致成直角的保持位置上旋转。由于驱动臂29、30的转动，通过构成马氏间歇机构52的辊子31、32和长槽25b、26b的卡合而传递给保持臂25、26，故可以减低启动时和停止时的冲击而使保持臂25、26以高速旋转。当保持臂25、26旋转到保持位置时，载物台8沿Z方向下降到交接基板P的高度的位置，并暂时停止在该高度位置上。之后在保持臂25、26上面开口的吸附垫41与负压装置43连通，基板P被吸附在保持臂25、26上。当向保持臂25、26的吸附结束时，在载物台8的上面开口的吸附孔就与大气连通，基板P被松开。这时，由于基板P通过调整到适当间隔的一对保持臂25、26而以下面的两处部位被保持，故可以将基板P的挠曲量抑制得很小。另外，由于不与基板P相对的吸附垫41通过开闭阀45而关闭分支路44，从而预先封闭了与负压装置43的连通，故不会由于从不与基板P相对的吸附垫41产生空气泄漏而导致负压下降。当松开基板时，清洗装置2的载物台8就沿Z方向下降到与保持臂25、26的下面不干涉的下降位置后，待机到基板P从清洗装置2的运出位置运出完成。

滑动件13及在滑动件13上通过齿条17、18、小齿轮19而连接的臂支撑体15、16通过线性电动机14而被移动到与ACF贴附装置3的运入位置相对的位置。ACF贴附装置3的载物台8在沿Z方向下降到下降位置的状态下沿X、Y方向移动，在运入位置停止。在确认滑动件13及臂支撑体15、16在运入位置停止后，载物台8沿Z方向上升到基板P交接高度位置，在该高度位置上暂时停止。而在载物台8上面开口的吸附孔与负压装置连通，基板P被吸附保持在载物台8上，在保持臂25、26上面开口的吸附垫41与大气连通，基板P从保持臂25、26被解放。在运入位置的基板P的交接作业结束后，ACF贴附装置3的载物台8从基板P交接高度位置沿Z方向上升到在保持臂25、26上面开口的吸附垫41和基板P的下面不干涉的位置。之后，通过气缸39、40而使齿条37、38后退，通过齿条37、38、扇形齿轮33、34而使驱动臂29、30反转，通过辊子31、32和长槽25b、26b的卡合而使保持臂25、26旋转到在互为相反的方向上打开直到与X方向平行的退避位置。

当保持臂25、26旋转到退避位置时，ACF贴附装置3的载物台8被移动到动作位置，滑动件13及在滑动件13上借助齿条17、18、小齿轮19而连接的臂支撑体15、16通过线性电动机14被移动到与清洗装置2的运出位置相对的位置，待机到清洗装置2的动作完成为止。这时，由于一对保持臂25、26旋转到沿相互相反方向打开而直到与X方向平行的退避位置，故与清洗装置2的载物台8不发生干涉。由此，不必为避免与保持臂25、26的干涉而加长清洗装置2等的载物台8的Y方向的行程，可以使各装置2到5小型化。

在运送基板P的大小改变的情况下，卡紧装置20松开而解除齿条17、18的向着小齿轮19锁紧，使臂支撑体15、16中的一个移动，对应于基板P的长度而适当调整一对保持臂25、26的间隔，使挠曲量变小。这时，由于齿条17、18通过小齿轮19而连动，臂支撑体15、16在运送方向上向互为相反的方向移动相等距离，一对保持臂25、26之间的中心位置不变，故当基板P的大小改变时，不必改变各装置2到5的运入位置、运出位置，容易变更生产安排。当保持臂25、26的间隔调整完成后，就能锁紧卡紧装置20，使齿条17、18向着小齿轮19锁紧，限制臂支撑体15、16的相对移动。

上述实施方式中，在臂支撑体接离装置50中使支撑在滑动件13上的小齿轮19和固定在臂支撑体15、16上的齿条17、18啮合，连接滑动件13和臂支撑体15、16，但也可以把滑动件13和臂支撑体15、16通过连杆机构连接，使臂支撑体15、16在运送方向上沿相互相反的方向连动移动相等距离。

另外，上述实施方式中，各保持臂围绕垂线可旋转地支撑在各臂支撑体上，但也可以把各保持臂围绕着沿X方向延伸的水平轴线可旋转地支撑在各臂支撑体上，使一对保持臂在各保持臂与运送方向成大致直角并在水平方向上突出的保持位置和各保持臂向下方旋转到与Y方向平行的退避位置之间旋转。

上述实施方式中，虽是对运送液晶板的情况进行了说明，但在场致发光板、等离子显示板等的运送中也可以使用。

Claims (4)

1、一种基板运送装置，通过一对保持臂保持基板的下面，在水平状态下运送基板，其特征在于，包括：

一对臂支撑体，其分别可旋转地支撑着所述一对保持臂，在运送方向上可移动地架装在底座上；

旋转装置，其使所述一对保持臂在各保持臂在与所述运送方向成大致直角的水平方向上突出而保持所述基板的保持位置和从所述保持位置旋转大致90度的退避位置之间旋转；

臂支撑体接离装置，其使各臂支撑体在所述运送方向上向互为相反的方向连动地移动相等距离；

运送移动装置，其使一对臂支撑体在所述运送方向上一体移动。

2、如权利要求1所述的基板运送装置，其特征在于，在所述底座上设置有在所述运送方向上延伸的导轨，

在该导轨上可滑动地架装有所述一对臂支撑体，

在所述一对臂支撑体之间，在所述导轨上可滑动地架装有滑动件，

通过所述臂支撑体接离装置连接所述滑动件和各臂支撑体，

所述运送移动装置通过使所述滑动件在运送方向上移动，使所述一对臂支撑体通过所述臂支撑体接离装置而在运送方向上移动。

3、如权利要求1或2所述的基板运送装置，其特征在于，所述旋转装置，将各保持臂在水平面内可围绕垂直轴线旋转地支撑在各臂支撑体上，

具有转动驱动装置，其使各保持臂在各保持臂与运送方向大致为直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置、和各保持臂向相互相反的方向打开直到与运送方向平行的退避位置之间通过马氏间歇机构旋转。

4、如权利要求1至3中任一项所述的基板运送装置，其特征在于，在所述各保持臂的上面开口有多个与负压装置连接而吸附基板的吸附部件，

设置有对应于基板的大小而开闭各吸附部件的开关阀。

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