CN218004814U - 一种偏心θ轴晶圆补正平台 - Google Patents

Abstract

公开了一种偏心θ轴晶圆补正平台，包括底板、悬臂座、多个XYθ轴导向机构、驱动机构、旋转组件和载具组件，悬臂座、XYθ轴导向机构和驱动机构固定设置在底板上，载具组件可旋转地设置在悬臂座的悬臂上，驱动机构与其中一个XYθ轴导向机构连接以推动载具组件转动，载具组件沿着旋转组件的圆心旋转从而实现了对晶圆位置的补正，其余XYθ轴导向机构能跟着旋转作微量位移，保证了载具组件的平滑转动，旋转组件作为旋转中心，使得旋转中心与载具中心偏心设置，调节范围广，提高了补正的精确性，载具组件下方可以设置晶圆拾取机构，使得定位平台便于嵌入生产设备，选用伺服电机降低了成本，本平台具有成本低，便于嵌入生产设备的特点，适应了实际生产的需求。

Description

一种偏心θ轴晶圆补正平台

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测装置的技术领域，具体是一种偏心θ轴晶圆补正平台。

背景技术

晶圆切割后，分离的晶粒需精准有序地放置到载具上，以便进行下道工序，正常情况下晶粒取放装置均在固定点取放，通过接收载具进行三轴补偿，即X、 Y、θ三轴补正，目前行业做法为θ轴采用直驱电机或者伺服电机+超高精度减速机方式，均能满足精度与速度要求，但存在成本高昂的问题，传统的θ轴补正平台采用载具中心与旋转中心相同的设置方式，使得载具中心下方机构占用空间过大，不利于放置拾取平台，因此设计一款能够降低成本同时能够减小载具中心下方机构占用空间，便于嵌入生产设备的θ轴晶圆补正平台，成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提出了一种偏心θ轴晶圆补正平台，以解决上述背景技术中提出的问题，为实现上述目的，本实用新型提供如下方案:

根据本实用新型实施例的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，包括底板、驱动机构、多个XYθ轴导向机构、悬臂座、旋转组件和载具组件，悬臂座、驱动机构和多个XYθ轴导向机构固定设置在底板上，载具组件通过旋转组件可旋转地设置在悬臂座的悬臂上，载具组件与多个XYθ轴导向机构的θ轴旋转模块连接，驱动机构与其中一个XYθ轴导向机构的X或Y轴导向模块固定连接以推动载具组件转动。

多个XYθ轴导向机构的θ轴旋转模块与载具组件固定连接，驱动机构与其中一个XYθ轴导向机构的X或Y轴导向模块固定连接，驱动机构工作时，带动其中一个XYθ轴导向机构沿着X或Y轴方向运动，从而推动载具组件转动，底板设置有悬臂座，载具组件通过旋转组件固定设置在悬臂座的悬臂上，载具组件被推动时沿着旋转组件的中心进行旋转，由于XYθ轴导向机构能够在X轴、 Y轴和θ轴三个方向进行位移，此时其余的XYθ轴导向机构能够跟着载具组件的旋转作微量位移使得载具组件平滑转动，使得载具组件能够顺利完成旋转，赋予了载具组件超高的刚性，载具组件的中心与旋转组件的中心偏离设置，使得载具组件下方的机构占用空间小，方便嵌入其它机构，能够放入晶圆拾取平台，从而减小搬运行程，降低生产节拍。

在具体的实施例中，悬臂座的底座固定设置在所述底板的一侧，悬臂座的悬臂伸出底板。

悬臂座的底座固定设置在底板一侧，悬臂伸出底板，使得固定在悬臂上的载具组件下方空间不为底板和底板上固定设置的其他机构所占有，方便嵌入其它机构。

在具体的实施例中，XYθ轴导向机构包括X轴导向模块、Y轴导向模块和θ轴旋转模块，X轴导向模块设置在底板上，Y轴导向模块设置在X轴导向模块上，θ轴旋转模块设置在Y轴导向模块上。

X轴导向模块带动Y轴导向模块在X轴方向上进行直线位移，Y轴导向模块带动θ轴旋转模块在Y轴方向上进行直线位移，XYθ轴导向机构具有X、Y和θ轴三个方向上的自由度，能够在载具组件旋转的情况下进行微量位移，θ轴方向的可旋转特性，使得XYθ轴导向机构在与载具组件固定连接的情况下，和载具组件进行同步旋转，避免了刚性连接，使得载具组件能够平滑的进行转动。

在具体的实施例中，驱动机构包括电机、滚珠丝杆和滚珠丝杆螺母座，电机与滚珠丝杆固定连接，滚珠丝杆螺母座装配于滚珠丝杆的螺母上，滚珠丝杆螺母座与一个XYθ轴导向机构中的所述X轴导向模块固定连接。

电机工作时驱动滚珠丝杆进旋转，带动滚珠丝杆上的螺母和滚珠丝杆螺母座在直线方向上进行位移，滚珠丝杆螺母座与其中一个XYθ轴导向机构中的X轴导向模块固定连接，从而带动了这个XYθ轴导向机构在X轴方向上进行位移，进一步推动了与这个XYθ轴导向机构固定连接的载具组件进行转动。

在具体的实施例中，电机为伺服电机。

伺服电机的性能优于步进电机，能够实现精准定位的需求，但是为了减小电机抖动对于晶圆补正产生的误差，伺服电机一般需要配合超高精度减速机使用，或者在补正平台中选用直驱电机，使得成本大大增加，采用伺服电机+研磨级滚珠丝杆保证了刚性和精度，通过这种直线运动推动载具组件绕旋转中心做旋转运动，底板上的电机抖动对载具组件产生的影响较为微小，因此选用伺服电机而不需要配合超高精度减速机，一方面减少了成本，另一方面也满足了精准定位的需求。

在具体的实施例中，载具组件包括载具板和微孔陶瓷真空吸附平台，载具板可旋转地设置在悬臂座的悬臂上，载具板与XYθ轴导向机构固定连接，微孔陶瓷真空吸附平台固定设置在载具板上。

载具板通过旋转组件可旋转地设置在悬臂座的悬臂上，驱动机构带动一个 XYθ轴导向机构运动从而推动载具板进行转动，从而带动载具板上的微孔陶瓷真空吸附平台进行旋转，从而对晶圆的位置进行补正，载具板转动时，与之固定连接的XYθ轴导向机构进行微量位移和旋转，使得载具板能够平滑的进行转动，微孔陶瓷真空吸附平台是具有高孔隙率、高强度、高平整度,及吸附能力非常强等特点，能够用于吸附吸收晶粒的蓝膜，使得载具组件在进行转动的时候，蓝膜能够紧密的吸附在微孔陶瓷真空吸附平台上，使得定位补正更加准确。

在具体的实施例中，旋转组件包括中心转轴和薄壁轴承，薄壁轴承设置在悬臂座的悬臂上，薄壁轴承上固定设置中心转轴，中心转轴与载具板的下端面连接。

薄壁轴承结构简单,使用方便,主要功能是支撑机械旋转体,降低其运动过程中的摩擦系数,并保证其回转精度，在中心转轴和悬臂座之间固定设置薄壁轴承，使得载具组件的旋转更加顺畅和精准，并且使得旋转组件使用寿命更长，更符合实际生产中的使用需求，中心转轴的设置使得载具组件能够在水平面上进行旋转。

在具体的实施例中，X轴导向模块包括X轴线性滑轨、X轴滑块和X轴滑块安装板；所述Y轴导向模块包括Y轴线性滑轨、Y轴滑块和Y轴滑块安装板；一个所述XYθ轴导向机构的X轴滑块安装板与所述丝杆螺母座固定连接。

滚珠丝杆螺母座与X轴导向模块的固定连接是通过与X轴滑块安装板进行固定连接实现的，线性导轨、滑块和滑块安装板的设置使得XYθ轴导向机构在X 轴和Y轴方向上的定位精度高，摩擦力较小，能够适应载具组件平滑转动的需求。

在具体的实施例中，θ轴旋转模块包括薄壁轴承、转轴、轴承盖板和浮动板，转轴与Y轴导向模块固定连接，转轴固定连接一个薄壁轴承，薄壁轴承上设置有一个轴承盖板，载具板通过浮动板与薄壁轴承连接。

薄壁轴承的设置使得转轴进行旋转运动的摩擦较小，能够保证θ轴旋转模块的平滑旋转，轴承盖板的设置能够阻止灰尘等异物侵入滚道，从而保证θ轴旋转模块能够平滑的进行转动，一定程度上能够保证转轴不被损坏，浮动板的设置使得薄壁轴承的滑转具有较高的稳定性。

在具体的实施例中，底板上设置有调整螺丝。调整螺丝能够调整底板水平度，使得底板上的XYθ轴导向机构能稳定地在X轴、Y轴和θ轴三个方向上进行位移，使得晶圆移动平台对于晶圆位置的补正更加准确。

本实用新型的一种偏心θ轴晶圆补正平台包括底板、悬臂座、多个XYθ轴导向机构、驱动机构、旋转组件和载具组件，驱动机构工作时带动其中一个XY θ轴导向机构在X轴方向上进行位移，从而推动与XYθ轴固定连接的载具组件转动，载具组件通过旋转组件可旋转地设置在悬臂座的悬臂上，载具组件沿着旋转组件作为中心进行旋转，载具组件的转动也带动了与载具组件连接的XYθ轴导向机构在X轴、Y轴和θ轴进行微量位移，保证了载具组件的平滑转动。本实用新型的一种偏心θ轴晶圆补正平台，利用悬臂座使得载具组件下方悬空，便于嵌入生产设备，能够在下方放置晶圆拾取机构，降低了生产节拍，采用载具中心和旋转中心偏心的设置提高了晶圆定位补正的精确性，驱动机构选用伺服电机而无需其它的减速装置，降低了成本。

附图说明

包括附图以提供对实施例的进一步理解并且附图被并入本说明书中并且构成本说明书的一部分。附图图示了实施例并且与描述一起用于解释本实用新型的原理。将容易认识到其它实施例和实施例的很多预期优点，因为通过引用以下详细描述，它们变得被更好地理解。附图的元件不一定是相互按照比例的。同样的附图标记指代对应的类似部件。

图1a为本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的立体图；

图1b为本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的俯视图

图2为本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的仰视图；

图3为本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的结构示意图；

图4为本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的左视图；

图5为本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的XYθ轴导向机构的爆炸图；

图6为本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的驱动机构的结构示意图。

具体实施方式

在以下详细描述中，参考附图，该附图形成详细描述的一部分，并且通过其中可实践本实用新型的说明性具体实施例来示出。对此，参考描述的图的取向来使用方向术语，例如“顶”、“底”、“左”、“右”、“上”、“下”等。因为实施例的部件可被定位于若干不同取向中，为了图示的目的使用方向术语并且方向术语绝非限制。应当理解的是，可以利用其他实施例或可以做出逻辑改变，而不背离本实用新型的范围。因此以下详细描述不应当在限制的意义上被采用，并且本实用新型的范围由所附权利要求来限定。

如图1a-b所示，本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台，包括底板1、驱动机构2、XYθ轴导向机构3和载具组件4，驱动机构2和多个XYθ轴导向机构3固定设置在底板1上，载具组件4可旋转地设置在底板1上方，载具组件4下方处于悬空的状态，载具组件4与多个XYθ轴导向机构3固定连接，驱动机构2与其中一个XYθ轴导向机构3固定连接，驱动机构2工作时，带动一个XYθ轴导向机构3做位移运动，从而推动与XYθ轴导向机构3固定连接的载具组件4转动，载具组件4转动时，其余的XYθ轴导向机构3进行适应性的微量位移，适应了载具组件4的转动需求，使得载具组件4能够进行平滑转动。

在具体的实施例中，底板1上设置有2个XYθ轴导向机构3，一个XYθ轴导向机构3与驱动机构2固定连接，在驱动机构2的带动下进行位移从而推动载具组件4转动，载具组件4以旋转组件为中心进行转动时，与载具组件4固定连接的另一个XYθ轴导向机构进行适应性的微量位移。

在具体的实施例中，XYθ轴导向机构3能够适应载具组件4的转动需求在X 轴、Y轴和θ轴三个方向进行位移或者旋转。

图2示出了本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的仰视图，偏心θ轴晶圆补正平台还包括悬臂座5和旋转组件6，旋转组件6设置在悬臂座5 的悬臂上，悬臂座5通过旋转组件6与载具组件4固定连接，载具组件4被推动时能够沿着旋转组件6的中心进行转动。

在具体的实施例中，悬臂座5与载具组件4的接触面为水平平面，使得载具组件4被推动后能够沿着旋转组件6进行水平方向上的转动，悬臂座5也起到了固定支撑载具组件4的作用，使得晶圆的补正过程能够更加精准、稳定。

在具体的实施例中，旋转组件6(旋转组件6的具体结构在附图中未具体示出)包括中心转轴和薄壁轴承，薄壁轴承设置在悬臂座的悬臂上，薄壁轴承上固定设置中心转轴，中心转轴与载具组件4的下端面连接。

薄壁轴承结构简单,使用方便,主要功能是支撑机械旋转体,降低其运动过程中的摩擦系数,并保证其回转精度，在中心转轴和悬臂座之间固定设置薄壁轴承，使得载具组件4的旋转更加顺畅和精准，并且使得旋转组件6使用寿命更长，更符合实际生产中的使用需求，中心转轴的设置使得载具组件4能够在水平方向上进行旋转。

在具体的实施例中，悬臂座5的底座固定设置在底板1远离中心的一侧，悬臂座5的悬臂伸出底板1。

悬臂座5的底座固定设置在底板1一侧，悬臂伸出底板1，使得固定在悬臂上的载具组件4下方空间不为底板1和底板1上固定设置的其他机构所占有，方便嵌入其它机构。

图3示出了本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的结构示意图，如图3所示，驱动机构2和悬臂座5的底座分别设置在底板1上的两侧，两个XYθ轴导向机构3设置在驱动机构2和悬臂座5之间，两个XYθ轴导向机构 3固定在底板1上，驱动机构2工作时带动其中一个XYθ轴导向机构3位移，这个XYθ轴导向机构3作为主动端，带动上方的载具组件4沿着旋转组件6转动，另一个XYθ轴导向机构3作为从动端，在载具组件4旋转时根据自由度在X、Y 和θ三个方向上进行位移或者旋转。

在具体的实施例中，载具组件4和底板1并无直接的连接关系，载具组件4 通过悬臂座5进行固定，使得载具组件4下方悬空且能够在水平方向上进行旋转。

在具体的实施例中，载具组件4包括载具板41和微孔陶瓷真空吸附平台42，载具板41可旋转地设置在悬臂座5的悬臂上，载具板41与两个XYθ轴导向机构3固定连接，微孔陶瓷真空吸附平台42固定设置在载具板41上。

微孔陶瓷真空吸附平台42是具有高孔隙率、高强度、高平整度,及吸附能力非常强等特点，能够用于吸附吸收晶粒的蓝膜，使得载具组件4在进行转动的时候，蓝膜能够紧密的吸附在微孔陶瓷真空吸附平台42上，使得定位补正更加准确。

在具体的实施例中，根据晶圆的尺寸更换为不同尺寸大小的微孔陶瓷真空吸附平台42，能够适应实际生产中的需求。

图4示出了本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的左视图，如图4所示，载具组件4下方悬空便于嵌入其他机构，载具组件4中心与旋转组件 6中心偏离，偏心的设置使得调节的范围更广，提高了晶圆定位补正的精确性。

在具体的实施例中，驱动机构2推动其中一个XYθ轴导向机构3在X轴方向上进行位移，作为主动端推动了载具组件4绕着旋转组件6转动，载具组件4 的转动反过来又带动了其余的XYθ轴导向机构3在X、Y和θ轴方向上进行位移或旋转。

在具体的实施例中，本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台还包括调整螺丝7，调整螺丝7能够调整底板1水平度，从而保持底板1上的各个机构能够在水平面上稳定工作，使得底板上的XYθ轴导向机构3能稳定地在X轴、 Y轴和θ轴三个方向上进行位移或旋转，使得晶圆补正平台对于晶圆位置的补正更加准确。

图5示出了本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的XYθ轴导向机构的爆炸图，XYθ轴导向机构3包括X轴导向模块31、Y轴导向模块32和θ轴旋转模块33，X轴导向模块31设置在底板1(底板1在图1a-b至图4中已示出)上，Y轴导向模块32设置在X轴导向模块31上，θ轴旋转模块33设置在Y轴导向模块32上，θ轴旋转模块33与载具组件4固定连接。

X轴导向模块31带动Y轴导向模块32在X轴方向上进行直线位移，Y轴导向模块32带动θ轴旋转模块33在Y轴方向上进行直线位移，XYθ轴导向机构3 具有X、Y和θ轴三个方向上的自由度，能够在载具组件4旋转的情况下进行微量位移，θ轴方向的可旋转特性，使得XYθ轴导向机构3在与载具组件4固定连接的情况下，和载具组件4进行同步旋转，避免了刚性连接，使得载具组件4 能够平滑的进行转动。

在具体的实施例中，X轴导向模块31包括X轴线性滑轨311、X轴滑块312 和X轴滑块安装板313；

Y轴导向模块32包括Y轴线性滑轨321、Y轴滑块322和Y轴滑块安装板 323；

θ轴旋转模块33包括薄壁轴承332、转轴333、轴承盖板334和浮动板331，转轴333与Y轴导向模块32固定连接，转轴333固定连接一个薄壁轴承332，薄壁轴承332上设置有一个轴承盖板334，载具板41(载具板41在图3中示出) 通过浮动板331与薄壁轴承332连接。

线性导轨、滑块和滑块安装板的设置使得XYθ轴导向机构3在X轴和Y轴方向上的定位精度高，摩擦力较小，能够适应载具组件平滑转动的需求，薄壁轴承332的设置使得转轴333进行旋转运动的摩擦较小，能够保证θ轴旋转模块的平滑旋转，轴承盖板334的设置能够阻止灰尘等异物侵入滚道，从而保证θ轴旋转模块能够平滑的进行转动，一定程度上能够保证转轴333不被损坏，浮动板 331的设置使得薄壁轴承332的滑转具有较高的稳定性。

图6示出了本实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的驱动机构结构示意图，驱动机构2(驱动机构2在图1a-b中示出)包括电机21、滚珠丝杆23和滚珠丝杆螺母座24，电机21与滚珠丝杆23固定连接，滚珠丝杆螺母座 24装配于滚珠丝杆23的螺母上，滚珠丝杆螺母座24与一个XYθ轴导向机构3 中的X轴导向模块31固定连接。

电机21工作时驱动滚珠丝杆23进旋转，带动滚珠丝杆23上的螺母和滚珠丝杆螺母座24在直线方向上进行位移，滚珠丝杆螺母座24与一个XYθ轴导向机构3中的X轴导向模块31固定连接，从而带动了这个XYθ轴导向机构3在X 轴方向上进行位移，进一步推动了与这个XYθ轴导向机构3固定连接的载具组件4进行转动。

在具体的实施例中，驱动机构2还包括电机固定座25、丝杆固定座26和联轴器22，电机固定座25和丝杆固定座26起到固定连接的效果，将电机21和滚珠丝杆23固定在底板上，联轴器22用于连接滚珠丝杆23和电机21，具有传动稳定、高效、使用寿命长、传动扭矩大且成本低的优点。

在具体的实施例中电机21为伺服电机，伺服电机的性能优于步进电机，能够实现精准定位的需求，但是为了减小电机抖动对于晶圆补正产生的误差，伺服电机一般需要配合超高精度减速机使用，或者在补正平台中选用直驱电机，使得成本大大增加，采用伺服电机+研磨级滚珠丝杆保证了刚性和精度，通过这种直线运动推动载具组件绕旋转中心做旋转运动，底板上的电机抖动对载具组件产生的影响非常微小，因此选用伺服电机而不需要配合超高精度减速机，一方面减少了成本，另一方面也满足了精准定位的需求。

本申请实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台的工作流程为：驱动机构带动其中一个XYθ轴导向机构的X轴导向模块在X轴方向上做位移运动，从而推动了一端与XYθ轴导向机构固定连接且通过旋转组件固定在悬臂座上的载具组件转动，载具组件的转动从而带动了其余的XYθ轴导向机构在X轴、Y 轴和θ轴方向上位移或者旋转，避免了刚性连接，使得载具组件能够平滑的进行转动。

本申请实用新型技术方案的一种偏心θ轴晶圆补正平台，将旋转中心设置在悬臂座的悬臂上，使得载具组件下方空间下方悬空，便于嵌入生产设备，能够在下方放置晶圆拾取机构，降低了生产节拍，采用载具中心和旋转中心偏心的设置提高了晶圆定位补正的精确性，驱动机构选用伺服电机而无需其它的减速装置，降低了成本。

显然，本领域技术人员在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下可以作出对本实用新型的实施例的各种修改和改变。以该方式，如果这些修改和改变处于本实用新型的权利要求及其等同形式的范围内，则本实用新型还旨在涵盖这些修改和改变。词语“包括”不排除未在权利要求中列出的其它元件或步骤的存在。某些措施记载在相互不同的从属权利要求中的简单事实不表明这些措施的组合不能被用于获利。权利要求中的任何附图标记不应当被认为限制范围。

Claims (10)

1.一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，包括底板、驱动机构、多个XYθ轴导向机构、悬臂座、旋转组件和载具组件，所述悬臂座、驱动机构和多个所述XYθ轴导向机构固定设置在所述底板上，所述载具组件通过所述旋转组件可旋转地设置在所述悬臂座的悬臂上，所述载具组件与多个所述XYθ轴导向机构的θ轴旋转模块连接，所述驱动机构与其中一个所述XYθ轴导向机构的X或Y轴导向模块固定连接，以推动所述载具组件转动。

2.根据权利要求1所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述悬臂座的底座固定设置在所述底板的一侧，所述悬臂座的悬臂伸出所述底板。

3.根据权利要求1所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述XYθ轴导向机构包括X轴导向模块、Y轴导向模块和θ轴旋转模块，所述X轴导向模块设置在所述底板上，所述Y轴导向模块设置在所述X轴导向模块上，所述θ轴旋转模块设置在所述Y轴导向模块上。

4.根据权利要求3所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述驱动机构包括电机、滚珠丝杆和滚珠丝杆螺母座，所述电机与所述滚珠丝杆固定连接，所述滚珠丝杆螺母座装配于所述滚珠丝杆的螺母上，所述滚珠丝杆螺母座与其中一个所述XYθ轴导向机构中的X轴导向模块固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述电机为伺服电机。

6.根据权利要求1所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述载具组件包括载具板和微孔陶瓷真空吸附平台，所述载具板可旋转地设置在所述悬臂座的悬臂上，所述载具板与所述XYθ轴导向机构固定连接，所述微孔陶瓷真空吸附平台固定设置在所述载具板上。

7.根据权利要求6所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述旋转组件包括中心转轴和薄壁轴承，所述薄壁轴承设置在所述悬臂座的悬臂上，所述薄壁轴承上固定设置中心转轴，所述中心转轴与所述载具板的下端面连接。

8.根据权利要求4所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述X轴导向模块包括X轴线性滑轨、X轴滑块和X轴滑块安装板；

所述Y轴导向模块包括Y轴线性滑轨、Y轴滑块和Y轴滑块安装板；

其中一个所述XYθ轴导向机构的X轴滑块安装板与所述滚珠丝杆螺母座固定连接。

9.根据权利要求6所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述θ轴旋转模块包括薄壁轴承、转轴、轴承盖板和浮动板，所述转轴与Y轴导向模块固定连接，所述转轴固定连接一个所述薄壁轴承，所述薄壁轴承上设置有一个轴承盖板，所述载具板通过所述浮动板与所述薄壁轴承连接。

10.根据权利要求1所述的一种偏心θ轴晶圆补正平台，其特征在于，所述底板上设置有调整螺丝。

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