KR100915923B1

KR100915923B1 - 유리 기판용 연마 테이블

Info

Publication number: KR100915923B1
Application number: KR1020070093638A
Authority: KR
Inventors: 이정규
Original assignee: (주)에스비즈
Priority date: 2007-09-14
Filing date: 2007-09-14
Publication date: 2009-09-07
Also published as: KR20090028210A

Abstract

본 발명은 LCD, PDP 및 유리 기판들을 연마 휠로서 연마하기 위하여 흡착 고정하는 유리 기판용 연마 테이블에 관한 것이다.

본 발명의 유리 기판용 연마 테이블은 상면에 다수의 구멍이 형성되고 수평방향으로 이동통로가 형성된 상판; 상면이 상기 상판의 상면과 동일 높이의 면을 이루거나 평행한 면을 이루도록 상기 이동통로의 내측에 이동 가능하게 설치되고 상면에 다수의 구멍이 형성된 회전지지대 및 이 회전지지대를 회전시키는 회전 모터가 구비된 회전 부; 상기 회전지지대가 상기 상판의 이동통로를 따라 이동되도록 상기 회전 부를 X축 및 Y 축 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 상판 및 회전지지대에 형성된 구멍과 배관을 통해 연결된 진공펌프를 구비하여 상기 상판과 회전지지대 중 적어도 일측의 구멍에 유리기판의 흡착을 위한 진공압력을 제공하는 진공 형성 부; 및 상기 상판 및 회전지지대에 형성된 구멍과 배관을 통해 연결된 브로워를 구비하여 상기 회전지지대의 구멍에 유리기판의 흡착 해제를 위한 공기압력을 제공하거나 상기 상판의 구멍에 유리기판을 상향 이격시키는 공기압력을 제공하는 진공 해제 부를 포함하여 구성된다.

LCD, PDP, 유리 기판, 연마 테이블, 연마 장치, 유리 기판 연마

Description

유리 기판용 연마 테이블{A Grinding Table For Glass Panel}

본 발명은 LCD, PDP 및 유리 기판들을 연마 휠로서 연마하기 위하여 흡착 고정하는 연마 테이블에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테이블 상에서 유리 기판을 이동시키고, 회전시켜서 흡착 가공할 수 있음으로써 하나의 테이블로서 다양한 크기의 유리 기판들을 연마 가공할 수 있도록 한 유리 기판용 연마 테이블에 관한 것이다.

일반적으로 LCD, PDP 및 유리 기판을 제조하는 공장에서는 유리 기판의 날카로운 모서리를 연마 휠로서 연마하여 모따기를 하는 연마 장치를 갖추고 있다.

종래의 연마 장치(200)는 도 1에 도시되어 있으며, 연마 테이블(210)에 장착된 유리 기판(G)의 모서리를 따라서 연마 휠(220)이 이동하여 유리 기판(G)의 상 하부 모서리들을 연마시키도록 되어 있다.

상기 연마 장치(200)에서 연마 휠(220)들은 회전 모터(230)에 의해서 고속 회전되며, 상기 회전 모터(230)와 연마 휠(220)은 별도의 이동 대(미 도시)에 의해 서 상기 유리 기판(G)의 모서리를 따라서 이동하면서 모서리의 연마작업을 이루도록 되어 있다. 이와 같은 유리 기판(G)의 모서리 연마 품질의 확인은 작업자가 유리 기판(G)의 연마면 모서리를 목시 검사하거나, 또는 자동 확대경(Auto Vision)을 통하여 측정하고, 연마량, 눈 메움, 무딤, 치핑(chipping), 버(burr), 스크래치(scratch) 등을 측정하고 확인한다.

상기와 같은 연마장치(200)에서 사용되는 종래의 기술에 따른 유리 기판용 연마 테이블(210)의 경우, 유리 기판(G)과 접촉하는 면에 복수의 흡착 부(미 도시)가 형성되어 있고, 흡착 부는 상기 연마 테이블(210)에 결합되어 있는 진공밸브(미 도시)와 기류적으로 연결되어 있다. 따라서, 상기 연마 테이블(210)에 유리 기판(G)이 놓이게 되면, 진공밸브를 작동시켜 흡착 부가 유리 기판(G)을 흡착함으로써 유리 기판(G)이 상기 연마 테이블(210)에 고정된다.

그러나 상기와 같은 종래기술에 따른 연마 테이블(210)의 경우 다음과 같은 문제점이 존재한다.

종래의 연마 테이블(210)은 유리 기판(G)의 규격에 따른 칫수에 맞추어 다양한 크기의 유리 기판(G)을 연마해야 하므로, 연마 대상이 되는 유리 기판(G)의 칫수가 변경될 때마다, 연마 테이블(210)도 그에 상응하는 칫수의 것으로 교체해야 한다. 즉, 연마작업을 수행하기 전에 유리 기판(G)의 크기에 맞는 적절한 크기의 연마 테이블(210)로 일일이 교체해 주어야 하는 불편함이 따르게 되며, 만일 연마 테이블(210)이 유리 기판(G)보다 현저히 작을 경우, 연마 테이블(210)에 의해 지지되지 않는 유리 기판(G)의 단부에서는 처짐 현상 또는 연마공정 중 떨림 현상이 발생하여 연마품질이 저하되는 문제가 있다.

이와 같이 종래에는 유리 기판(G)의 크기에 대응하여 상기 연마 테이블(210)을 교체해야 하는 문제점이 있으며, 특히 대형 유리 기판(G)의 경우 작업시간 및 소요되는 노력의 손실이 더욱 심각해지며, 또한 다양한 유리 기판(G)의 규격에 따라 그에 상응하는 개수의 연마 테이블(210)들을 미리 준비해 놓아야 하므로 이러한 연마 테이블(210)의 제조, 운송, 보관 등에 불필요한 비용이 소모되게 된다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 그 목적은 하나의 테이블로서 다양한 크기의 유리 기판들을 흡착 고정하여 연마 가공할 수 있도록 함으로써 경제적인 유리 기판의 연마 가공 작업을 이룰 수 있는 유리 기판용 연마 테이블을 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, LCD, PDP 및 유리 기판들을 연마 휠로서 연마하기 위하여 흡착 고정하는 연마 테이블에 있어서, 상면에 다수의 구멍이 형성되고 수평방향으로 이동통로가 형성된 상판; 상면이 상기 상판의 상면과 동일 높이의 면을 이루거나 평행한 면을 이루도록 상기 이동통로의 내측에 이동 가능하게 설치되고 상면에 다수의 구멍이 형성된 회전지지대 및 이 회전지지대를 회전시키는 회전 모터가 구비된 회전 부; 상기 회전지지대가 상기 상판의 이동통로를 따라 이동되도록 상기 회전 부를 X축 및 Y 축 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 상판 및 회전지지대에 형성된 구멍과 배관을 통해 연결된 진공펌프를 구비하여 상기 상판과 회전지지대 중 적어도 일측의 구멍에 유리기판의 흡착을 위한 진공압력을 제공하는 진공 형성 부; 및 상기 상판 및 회전지지대에 형성된 구멍과 배관을 통해 연결된 브로워를 구비하여 상기 회전지지대의 구멍에 유리기판의 흡착 해제를 위한 공기압력을 제공하거나 상기 상판의 구멍에 유리기판을 상향 이격시키는 공기압력을 제공하는 진공 해제 부를 포함하며, 상기 회전지지대가 상기 진공 형성 부에 의해 제공되는 진공압력에 의해 유리 기판의 일측을 흡착 고정하고, 상기 상판이 상기 진공 해제 부에 의해 제공되는 공기압력에 의해 유리기판을 상판과 이격되도록 상향 지지한 상태로 상기 회전 모터에 의해 회전지지대가 회전되어 유리기판의 배치 방향이 전환되는 것을 특징으로 하는 유리 기판용 연마 테이블을 제공한다.

삭제

상기한 본 발명의 유리 기판용 연마 테이블은, 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 회전 부를 상판의 X축 방향으로 이동시키는 X축 이송부 및 상기 X축 이송부의 하부에서 상기 회전 부와 X축 이송부를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이송부를 포함하며, 상기 X축 이송부와 Y축 이송부는 각각 별도의 구동 수단에 의해서 작동되는 구조로 이루어질 수 있다.

이러한 경우, 상기 X축 이송부와 Y축 이송부는 각각 구동 수단이 스크류 축과 상기 스크류 축을 회전시키는 구동모터로 이루어질 수도 있고, 리니어 실린더로 이루어질 수도 있다.

삭제

그리고, 본 발명의 유리 기판용 연마 테이블은 상기 회전 부가 회전지지대가 상기 이동 통로의 내부에 2개 장착되어 각각 별도의 구동부에 의해 이동되는 구조로 이루어질 수도 있다.

본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블에 의하면 하나의 테이블로서 다양한 크기의 유리 기판들을 이동시키고 회전시키며, 흡착 고정하여 연마 가공할 수 있도록 함으로써 하나의 연마 테이블로서 다양한 크기의 유리 기판들을 가공할 수 있고 그에 따라서 경제적인 유리 기판의 연마 가공 작업을 이룰 수 있는 효과가 얻어진다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.

본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블(1)은 LCD, PDP 및 유리 기판(G)들을 연마 휠(220)로서 연마하기 위하여 흡착 고정하는 것이다.

본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블(1)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 기판(G)이 올려져서 고정되는 상판(5)을 구비한다. 상기 상판(5)에는 다수의 구멍(5a)들이 형성되고, 이러한 구멍(5a)들은 이후에 설명되는 진공 형성 부(60) 또는 진공 해제 부(70)에 배관(62)(72)을 통하여 연결된다.

그리고 본 발명은 상판(5) 상에서 유리 기판(G)을 회전시키는 회전 부(15)를 구비하는데 상기 회전 부(15)는 상판(5)에 형성된 이동통로(10)를 따라서 이동하는 회전지지대(20)를 구비하고, 회전지지대(20)의 하부에는 회전 모터(22)를 구비하여 상기 회전지지대(20)를 정역회전시킨다.

이와 같은 회전 부(15)는 상기 회전지지대(20)가 유리 기판(G)의 중앙을 고정하고, 그 하단이 회전 모터(22)에 연결되어 유리 기판(G)을 360°회전시킬 수 있는 구조이다.

또한 상기 상판(5)에 형성된 이동통로(10)는 도7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 다양한 방향으로 형성될 수 있다.

예를 들면 도 7에 도시된 바와 같이, 이동통로(10)가 상판(5)의 대각선 방향으로 형성되거나, 도 8에 도시된 바와 같이, 상판(5)에 ㄱ형 또는 ㄴ형으로 형성될 수 있다.

그리고 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 이동통로(10)가 상판(5)의 중앙으로부터 일측 모서리 부분으로 향하여 대각방향으로 형성될 수도 있다.

또한 본 발명은 상기 회전지지대(20)가 도 7에 도시된 바와 같이, 이동 통로(10)의 내부에 2개, 또는 그 이상의 복수개가 장착되어 이후에 설명되는 구동부(30)에 의해서 각각 별도로 구동되는 구조로 이루어질 수 있다.

그리고 본 발명은 상기 회전 부(15)를 상기 상판(5)의 이동통로(10)를 따라서 이동시키는 구동부(30)를 구비하는데, 상기 구동부(30)는 상판(5)의 X-Y 축 방향으로 이동시키는 구동 수단(32a)(32b)을 구비하여 상기 회전 부(15)를 이동시킨다. 상기 구동부(30)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 회전 부(15)를 상판(5)의 X축 방향으로 이동시키는 X축 이송부(40)를 구비하고, 상기 X축 이송부(40)의 하부에서 상기 회전 부(15)와 X축 이송부(40)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이송부(50)를 포함한다. 그리고 상기 X축 이송부(40)와 Y축 이송부(50)는 각각 별도의 구동 수단(32a)(32b)에 의해서 작동되는 구조이다.

그리고 본 발명은 상기 X축 이송부(40)와 Y축 이송부(50)들을 동작시키는 구동 수단(32a)(32b)이 스크류 축(36)과 상기 스크류 축(36)을 회전시키는 구동모터(38)로 이루어진 것이다. 이와 같은 구동 수단(32a)(32b)은 X축 이송부(40)의 경우, 상기 회전 부(15)의 하단에 이송 너트(34a)가 장착되고, 상기 이송 너트(34a)는 X 방향으로 연장된 스크류 축(36a)에 나사 결합되며, 상기 스크류 축(36a)은 X축 구동모터(미 도시)에 의해서 정역회전이 이루어지도록 되어 있다. 그리고 이송 너트(34a)는 X축 가이드(39a)에 의해서 안내되는 구조를 갖춤으로써 상기 구동모터의 작동은 스크류 축(36a)과 이송 너트(34a)를 통하여 상기 회전 부(15)를 상판(5)의 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.

또한 Y축 이송부(50)의 경우, 상기 X축 이송부(40)의 X축 가이드(39a) 하단에 이송 너트(34b)가 장착되고, 상기 이송 너트(34b)는 Y 방향으로 연장된 스크류 축(36b)에 나사 결합되며, 상기 스크류 축(36b)은 Y축 구동모터(38b)에 의해서 정역회전이 이루어지도록 되어 있다.

그리고 상기 이송 너트(34b)는 Y축 가이드(39b)에 의해서 안내되는 구조를 갖춤으로써 상기 구동모터(38b)의 작동은 스크류 축(36b)과 이송 너트(34b)를 통하여 상기 회전 부(15)를 상판(5)의 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.

따라서 상기 회전 부(15)는 X축과 Y축 방향으로 이동가능함으로써 상판(5)에 마련된 이동 통로(10)를 따라서 전후로 이동가능한 것이다.

또한 본 발명은 바람직하게는 상기 X축 이송부(40)와 Y축 이송부(50) 들에 구비된 각각의 구동 수단(32a)(32b)이 스크류 축(36a)(36b)과 구동모터(38b) 대신에 리니어 실린더(미 도시)로 이루어질 수 있다. 이와 같은 구성은 상기 스크류 축(36a)(36b)과 구동모터(38b)를 리니어 실린더, 예를 들면 공압 실린더나 전기식 액튜에이터로 이루어진 것으로 쉽게 대체할 수 있으므로 이에 대한 보다 상세한 설명은 생략한다.

그리고 본 발명은 상기 상판(5) 및 회전 부(15)에 형성된 구멍(5a)들에 배관(62)을 통하여 선택적으로 진공압력을 부여하고 흡착시키는 진공 형성 부(60) 를 구비한다. 상기 진공 형성 부(60)는 진공 펌프(미 도시)와 진공 탱크(64)를 구비하고, 상기 진공 탱크(64)에 배관(62)이 연결되어 상기 상판(5) 및 회전 부(15)에 선택적으로 진공압력을 부여하고 유리 기판(G)을 흡착시키는 구조이다.

이와 같은 진공 형성 부(60)의 구조가 도 4 및 도 5에 도시되어 있다.

상기 진공 형성 부(60)는 진공 탱크(64)를 구비하여 상기 진공 탱크(64)에는 항상 일정 크기의 진공압이 유지된다. 그리고 상기 진공 탱크(64)는 배관(62)과 자동 밸브(66)를 통하여 상기 상판(5) 및 회전 부(15)에 형성된 구멍(5a)들에 연결되는데, 상기 자동 밸브(66)의 선택적 개폐에 따라서 상기 상판(5) 및 회전 부(15)의 구멍(5a)에는 진공압력이 미치게 되고, 이러한 진공 압력은 유리 기판(G)을 상판(5) 및 회전부(15)에 흡착하여 고정한다.

한편 상기 회전 부(15)는 도 5에 도시된 바와 같이 회전지지대(20)의 중앙을 관통하여 구멍(5a)이 형성되고, 상기 구멍(5a)은 회전지지대(20)의 상부 면까지 이어지며, 그 하단은 배관(62)에 연결된다.

그리고 본 발명은 상기 상판(5) 및 회전 부(15)에 형성된 구멍(5a)들에 배관(72)을 통하여 공기를 부여하고 선택적으로 흡착 해제시키는 진공 해제 부(70)를 포함하는데, 상기 진공 해제 부(70)는 공기를 공급하기 위한 브로워(blower)(74)를 구비한다.

상기 진공 해제 부(70)는 상기 브로워(74)에 배관(72)과 자동 밸브(76)가 연결되어 상기 상판(5) 및 회전 부(15)에 선택적으로 공기를 제공하여 유리 기판(G)을 흡착 해제시키는 것으로서, 브로워(74)가 작동되면 상기 배관(72)으로 공기가 공급되고, 상기 배관(72)에 마련된 자동 밸브(76)를 개폐시킴으로써 상기 상판(5)과 회전부(15)에는 공기가 자동 공급되어 그 위에 흡착된 유리 기판(G)을 상승 분리시킨다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블(1)은 도 6에 도시된 바와 같이, 유리 기판(G)을 상부 면에 고정하여 연마작업을 하고자 하는 경우, 상판(5)과 회전지지대(20)의 구멍(5a)에 진공 압을 부여하여 유리 기판(G)을 견고히 흡착 고정한다. 그리고 이 상태에서 유리 기판(G)의 모서리를 연마 휠(220)로서 가공한다.

그리고 이와는 다르게 상기 유리 기판(G)을 상판(5) 상에서 이동시킨다던가 회전시키고자 하는 경우에는, 도 6b)에 도시된 바와 같이, 회전 부(15)의 상부 면에는 진공 압력을 제공하여 유리 기판(G)이 고정되도록 하고, 상판(5)에는 브로워(74)에 의해서 공기를 제공하여 상판(5)으로부터 유리 기판(G)이 분리되도록 한다. 이와 같은 상태에서 회전 부(15)를 이동시키게 되면, 유리 기판(G)은 상판(5)의 이동 통로(10)를 따라서 쉽게 이동가능하고, 제자리에서 360°회전할 수도 있는 것이다.

이와 같이 유리 기판(G)을 이동시키거나 회전시키는 구조가 도 7 내지 도 10에 걸쳐서 도시되어 있다. 먼저 도 7에 도시된 구조에서는 이동 통로(10)의 내부에 회전지지대(20)가 각각 2개 마련되고, 그 각각에는 작은 크기의 유리 기판(G)이 2장 적재된다. 그리고 진공 형성 부(60)를 이용하여 2장의 유리 기판(G)을 각각의 회전 부(15)에 고정하여 배치한 다음, 연마 휠(220)로서 가공하고, 가공작업이 완료되면 이들 2장의 유리 기판(G)을 회전 부(15)를 통하여 회전시켜서 나머지 모서리들을 연마가공하는 것이다. 이와 같은 경우 하나의 연마 테이블(1)을 이용하여 2장의 유리 기판(G)을 동시에 가공하게 되므로 작업 생산성은 배가된다.

그리고 도 8에 도시된 바와 같이, 상판(5)에 ㄱ형 또는 ㄴ형으로 형성된 이동 통로(10)를 따라가면서 가공이 이루어질 수 있다.

예를 들면 상판(5)의 일측 모서리 부분에서 진공 형성 부(60)를 통하여 회전 부(15)에 유리 기판(G)을 흡착 고정하며, 유리 기판(G)의 2 모서리를 연마 휠(220)로서 가공하고, 가공작업이 완료되면 구동부(30)를 통하여 상기 회전 부(15)를 상판(5)의 이동 통로(10)를 따라서 이동시킨다. 그리고, 상기 유리 기판(G)의 다른 한 모서리, 즉 아직 연마 가공이 되지 않은 모서리 중의 하나를 연마한 다음, 연마 작업이 완료되면, 다시 이동시켜서 나머지 미 가공된 유리 기판(G)의 모서리를 연마 가공한다.

또한 도 9에 도시된 바와 같이, 이동 통로(10)가 상판(5)의 중앙으로부터 일측 모서리 부분으로 향하여 대각방향으로 형성되고, 작은 크기의 유리 기판(G)을 연마하고자 하는 경우, 먼저 상판(5)의 일측 모서리 부분에 작은 크기의 유리 기판(G)을 회전 부(15)에 적재하고 진공 형성 부(60)를 통하여 흡착 고정하며, 그 다음으로는 유리 기판(G)의 2 모서리를 연마 휠(220)로서 가공한다.

그리고 가공작업이 완료되면, 회전 부(15)를 통하여 상기 유리 기판(G)을 회전시킨 다음 상기 유리 기판(G)의 다른 2 모서리, 즉 아직 연마 가공이 되지 않은 방향의 2 모서리를 연마 가공한다. 이와 같이 연마 가공이 이루어진 유리 기판(G)은 진공 해제 부(70)를 통하여 회전 부(15)로부터 분리하고 회수한다.

또한 도 10에 도시된 바와 같이, 이동 통로(10)가 상판(5)의 중앙으로부터 일측 모서리 부분으로 향하여 대각방향으로 형성되고 큰 크기의 유리 기판(G)을 연마하고자 하는 경우, 먼저 도 10a)에 도시된 바와 같이 상판(5)에 큰 크기의 유리 기판(G)을 회전 부(15)에 적재하고, 도 10b)에 도시된 바와 같이 진공 형성 부(60)를 통하여 흡착 고정하며, 유리 기판(G)의 2 모서리를 연마 휠(220)로서 가공한다.

그리고 가공작업이 완료되면, 도 10c)에 도시된 바와 같이, 회전 부(15)를 통하여 상기 유리 기판(G)을 회전시킨 다음, 도 10d)에 도시된 바와 같이 상기 유리 기판(G)의 다른 2 모서리, 즉 아직 연마 가공이 되지 않은 방향의 2 모서리를 연마 가공한다. 이와 같이 연마 가공이 이루어진 큰 크기의 유리 기판(G)은 도 10e)에 도시된 바와 같이, 진공 해제 부(70)를 통하여 회전 부(15)로부터 분리하고 회수한다.

상기와 같이 본 발명은 하나의 테이블(1)로서 다양한 크기의 유리 기판(G)들을 이동 통로(10)를 따라서 이동시키고 회전 부(15)를 통하여 회전시키며, 진공 형성 부(60)와 진공 해제 부(70)를 통하여 흡착 고정하여 연마 가공할 수 있도록 함으로써 하나의 연마 테이블(1)로서 다양한 크기의 유리 기판(G)들을 가공할 수 있고, 그에 따라서 경제적인 유리 기판(G)의 연마 가공 작업을 이룰 수 있다.

뿐만 아니라 이동 통로(10) 내에 2개의 회전지지대(20)를 장착하는 경우, 2장의 유리 기판(G)을 동시 연마 가공할 수 있음으로써 한번에 2장의 유리 기판(G)의 작업이 가능함으로써 작업 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 것이다.

본 발명은 상기에서 도면을 참조하여 특정 실시 예에 관련하여 상세히 설명하였지만 본 발명은 이와 같은 특정 구조에 한정되는 것은 아니다. 당 업계의 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술 사상 및 권리범위를 벗어나지 않고서도 본 발명의 실시 예를 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있을 것이다. 그렇지만 그와 같은 단순한 실시 예의 수정 또는 설계변형 구조들은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속하게 됨을 미리 밝혀 두고자 한다.

도 1의 a),b)는 종래의 기술에 따라서 유리 기판의 모서리를 연마 휠이 가공하는 상태를 도시한 도면;

도 2는 본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블의 일부분을 절개하여 후면에서 도시한 외관 사시도;

도 3은 본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블을 정면에서 도시한 사시도;

도 4는 본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블에 구비된 진공 형성 부와 진공 해제 부의 배관 구성을 도시한 계통도;

도 5는 본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블에 구비된 회전지지대의 내부로 진공 형성 부의 구멍이 형성된 구조를 도시한 단면도;

도 6은 본 발명에 따른 유리 기판용 연마 테이블에 구비된 진공 형성 부의 작동 상태를 도시한 설명도로서,

a)도는 연마시 흡착 공정을 도시한 도면,

b)도는 유리 기판의 이동 또는 회전시 흡착 해제 공정을 도시한 도면;

도 7의 a),b)는 본 발명에 따라서, 2개의 회전 부를 구비하고 작은 크기의 유리 기판을 동시에 가공하는 상태를 도시한 설명도;

도 8의 a),b),c)는 본 발명에 따라서 ㄱ형 또는 ㄴ형의 이동 통로를 구비하고, 유리 기판을 이동시키면서 연마 작업을 하는 상태를 도시한 설명도;

도 9의 a),b),c),d),e)는 본 발명에 따라서 작은 크기의 유리 기판을 회전시키면서 연마 작업을 하는 상태를 도시한 설명도;

도 10의 a),b),c),d),e)는 본 발명에 따라서 큰 크기의 유리 기판을 회전시키면서 연마 작업을 하는 상태를 도시한 설명도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1..... 유리 기판용 연마 테이블 5.... 상판

5a.... 구멍 10.... 이동 통로

15.... 회전 부 20.... 회전지지대

22.... 회전 모터 30.... 구동부

32a,32b.... 구동 수단 34a,34b.... 이송 너트

36a,36b.... 스크류 축 38b.... 구동 모터

39a.... X축 가이드 39b.... Y축 가이드

40.... X축 이송부 50.... Y축 이송부

60.... 진공 형성 부 62,72.... 배관

64.... 진공 탱크 66,76.... 자동 밸브

70.... 진공 해제 부 74.... 브로워(blower)

200.... 종래의 연마 장치 210.... 연마 테이블

220.... 연마 휠 230.... 회전 모터

G.... 유리 기판

Claims

LCD, PDP 및 유리 기판들을 연마 휠로서 연마하기 위하여 흡착 고정하는 연마 테이블에 있어서,

상면에 다수의 구멍이 형성되고 수평방향으로 이동통로가 형성된 상판;

상면이 상기 상판의 상면과 동일 높이의 면을 이루거나 평행한 면을 이루도록 상기 이동통로의 내측에 이동 가능하게 설치되고 상면에 다수의 구멍이 형성된 회전지지대 및 이 회전지지대를 회전시키는 회전 모터가 구비된 회전 부;

상기 회전지지대가 상기 상판의 이동통로를 따라 이동되도록 상기 회전 부를 X축 및 Y 축 방향으로 이동시키는 구동부;

상기 상판 및 회전지지대에 형성된 구멍과 배관을 통해 연결된 진공펌프를 구비하여 상기 상판과 회전지지대 중 적어도 일측의 구멍에 유리기판의 흡착을 위한 진공압력을 제공하는 진공 형성 부; 및

상기 상판 및 회전지지대에 형성된 구멍과 배관을 통해 연결된 브로워를 구비하여 상기 회전지지대의 구멍에 유리기판의 흡착 해제를 위한 공기압력을 제공하거나 상기 상판의 구멍에 유리기판을 상향 이격시키는 공기압력을 제공하는 진공 해제 부를 포함하며,

상기 회전지지대가 상기 진공 형성 부에 의해 제공되는 진공압력에 의해 유리 기판의 일측을 흡착 고정하고, 상기 상판이 상기 진공 해제 부에 의해 제공되는 공기압력에 의해 유리기판을 상판과 이격되도록 상향 지지한 상태로 상기 회전 모터에 의해 회전지지대가 회전되어 유리기판의 배치 방향이 전환되는 것을 특징으로 하는 유리기판용 연마 테이블.
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제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 회전 부를 상판의 X축 방향으로 이동시키는 X축 이송부 및 상기 X축 이송부의 하부에서 상기 회전 부와 X축 이송부를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이송부를 포함하며, 상기 X축 이송부와 Y축 이송부는 각각 별도의 구동 수단에 의해서 작동되는 것을 특징으로 하는 유리 기판용 연마 테이블.
제3항에 있어서, 상기 X축 이송부와 Y축 이송부는 각각 구동 수단이 스크류 축과 상기 스크류 축을 회전시키는 구동모터로 이루어진 것을 특징으로 하는 유리 기판용 연마 테이블.
제3항에 있어서, 상기 X축 이송부와 Y축 이송부는 각각 구동 수단이 리니어 실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 유리 기판용 연마 테이블.
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제1항에 있어서, 상기 회전 부는 회전지지대가 상기 이동 통로의 내부에 2개 장착되어 각각 별도의 구동부에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 유리 기판용 연마 테이블.