CN106469669A - 基板移送系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种基板移送系统，根据本发明的一实施例的基板移送系统包括：第一移送轨道，形成闭环；多个工序单元，连接于所述第一移送轨道；以及基板移送单元，沿着所述第一移送轨道移动，将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元，其中，所述基板移送单元可以抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将基板以直立的状态进行移送。

Description

基板移送系统

技术领域

本发明涉及一种基板移送系统。

背景技术

半导体或者平板显示装置的制造工艺包括彼此不同的多个单位工序，其中各个单位工序通常在彼此不同的空间内进行。因此，在利用基板制造半导体或者显示装置的情况下，基板被移动至彼此隔离的各个空间而进行单位工序，此时，需要一种用于移动基板的移送装置。

在移送基板时，需要利用专门的基板搬运用盒，将基板和基板搬运用盒移动至各个单位工序。

据此，基板移送装置需要一起移送基板和搬运用盒，从而存在以下缺点：基板移送装置所移送的重量大幅增加，从而移送速度降低，且电力消耗增加。

发明内容

基于上述技术背景，本发明的目的在于提供一种在移送基板时，不使用专门的基板搬运用盒的基板移送系统。

根据本发明的一实施例的基板移送系统包括：第一移送轨道，形成闭环；多个工序单元，连接于所述第一移送轨道；以及基板移送单元，沿着所述第一移送轨道移动，将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元，其中，所述基板移送单元可以抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将基板以直立的状态移送。

所述基板移送单元可以包括：主体；辊子部，结合于所述主体的一侧，能够沿着所述第一移送轨道移动；以及夹紧部，结合于所述主体的另一侧，抓持所述基板的所述抓持用虚拟区域。

所述夹紧部可以包括：第一紧固板，固定结合于所述主体；第二紧固板，与所述第一紧固板相向；贯通销，贯穿所述第一紧固板，并固定结合于所述第二紧固板；弹性部件，与所述贯通销结合，使所述第一紧固板和所述第二紧固板彼此紧贴；以及汽缸，结合于所述第一紧固板或者第二紧固板，以调节所述第一紧固板和第二紧固板之间的间距；其中，所述抓持用虚拟区域被抓持在所述第一紧固板和第二紧固板之间得到。

所述基板移送单元还可以包括：电源供应部，从沿着第一移送轨道布置的电源电缆得到电源供应。

还可以包括：第一保管单元，连接于所述第一移送轨道，能够保管被所述基板移送单元移送的所述基板。

所述第一保管单元可以包括：多个盒，将所述基板以直立的状态保管；以及第一装载机，使所述基板从所述基板移送单元移动至所述多个盒。

所述多个盒可以分别包括：吸附部，结合到所述基板的所述抓持用虚拟区域；以及支撑部，支撑所述基板的下侧。

所述第一装载机可以包括：第一板；以及第一吸附盘，位于所述第一板的一侧，与所述基板接触。

所述多个工序单元还可以分别包括：第二装载机，从所述基板移送单元分离所述基板。

所述第二装载机可以包括：第二板；第二吸附盘，位于所述第二板的一侧，与所述基板接触；基板弯曲防止板，以所述基板为中心，位于所述第二吸附盘的相反侧，并在所述第二吸附盘和所述基板接触时，支撑所述基板。

所述第二装载机还可以包括：空气排出部，结合于所述基板弯曲防止板，向所述基板排出空气。

还可以包括：气流控制单元，对应于所述第一移送轨道而布置，所述基板移送单元在所述气流控制单元的内部移动。

所述气流控制单元可以包括：壳体，所述基板移送单元在所述壳体内部移动；风扇-过滤器部，布置在所述壳体的上侧；以及气流排出部，布置在所述壳体的下侧，将所述壳体内部的气流排出到所述壳体的外部。

还可以包括：第二移送轨道，位于所述第一移送轨道的外侧或者内侧，与所述第一移送轨道连接，并且形成闭环。

还可以包括：第二保管单元，连接于所述第二移送轨道，能够保管被所述基板移送单元移送的所述基板。

根据上述基板移送系统，因为不需要专门的基板搬运用盒，因此可以增加基板的移送速度，从而缩短整个工艺时间，并且可以减少电力的消耗。

附图说明

图1是根据本发明的第一实施例的基板移送系统的概略图。

图2是基板移送单元的正视图。

图3是基板移送单元的侧视图。

图4是示出基板从图3的基板移送单元分离的过程的图。

图5以及图6是详细示出基板移送单元的夹紧部的操作的图。

图7以及图8是位于工序单元内的第二装载机的概略图。

图9是保管单元的概略图。

图10是根据本发明的第二实施例的基板移送系统的概略图。

图11是图10的气流控制单元的概略的剖视图。

图12是根据本发明的第一实施例的基板移送系统的第一变形例的概略图。

图13是根据本发明的第一实施例的基板移送系统的第二变形例的概略图。

符号说明

R1：第一移送轨道 R2：第二移送轨道

CR1-CR5：基板移送单元 P1、P2：工序单元

E1、E2：第一保管单元 E3、E4：第二保管单元

900：气流控制单元

具体实施方式

以下，为了使本发明的所属技术领域中具有一般知识的人员可以容易地实施，参考附图对本发明的一实施例进行详细的说明。本发明可以以多种不同的形态实现，而不限于本说明书中说明的实施例。附图中，为了对本发明进行明确的说明，省略了与说明无关的部分，并且在说明书全文中，给相同或者类似的构成要素赋予了相同的附图符号。

并且，为了说明的便利，任意地示出了附图中的各个构成要素的大小以及厚度，所以本发明无须受限于附图中所示出的内容。

并且，在说明书全文中，当提到某个部分“包括”某个构成要素时，在没有特殊相反记载的情况下，不排除其他构成要素，而意味着还可以包括其他构成要素。并且，说明书全文中，“在……上”意味着在对象部分的上侧或者下侧，而不意味着必须要位于以重力方向为基准的上侧。

以下，参照图1至图9对根据本发明的第一实施例的基板移送系统进行说明。

图1是根据本发明的第一实施例的基板移送系统的概略图，图2是基板移送单元的正视图，图3是基板移送单元的侧视图，图4是示出基板从图3的基板移送单元分离的过程的图，图5以及图6是详细示出基板移送单元的夹紧部的操作的图，图7以及图8是位于工序单元内的第二装载机的概略图，图9是保管单元的概略图。

参照图1，根据本发明的第一实施例的基板移送系统包括：第一移送轨道R1、第二移送轨道R2、基板移送单元CR1-CR5、多个工序单元P1、P2、第一保管单元E1、E2以及第二保管单元E3、E4。

根据本实施例的基板移送单元中，沿着第一移送轨道R1移动的基板移送单元CR1-CR5将基板移送至各个工序单元P1、P2。此时，基板移送单元CR1-CR5将基板维持为直立的状态下进行移送。并且，基板移送单元CR1-CR5可以移动至与第一移送轨道R1连接的第二移送轨道R2，从而将基板保管在第二保管单元E3、E4。在下文中对各个构成进行详细的说明。

首先，第一移送轨道R1形成闭环(Closed Loop)。即，第一移送轨道R1可以以首端和尾端彼此连接的形态形成。据此，沿着第一移送轨道R1移动的基板移送单元CR1-CR5可以从特定位置出发而经过各个工序单元P1、P2、第一保管单元E1、E2等后再次回到原位。最终，当载有基板的基板移送单元CR1-CR5出发后回到原位时，就可以完成制造显示装置的整个工艺。

参照图2至图4，基板移送单元CR1-CR5可以抓持基板SV并沿着第一移送轨道R1移动。此时，基板移送单元CR1-CR5可以使基板SV移动至各个工序单元P1、P2、第一保管单元E1、E2。

基板移送单元CR1-CR5包括：主体100、辊子部300、夹紧部600以及电源供应部200。

参照图3，辊子部300结合于主体100的上侧且可以沿着第一移送轨道R1移动。辊子部300可以沿着布置在上侧，例如天花板的第一移送轨道R1移动。

此时，辊子部300中可以结合有能够使辊子部300旋转的驱动部(未图示)。例如，辊子部300可以结合有电机，从而使基板移送单元CR1-CR5沿着第一移送轨道R1移动至所期望的位置。

另外，在主体100的一侧可以布置有滑动部件500，所述滑动部件500与第一移送轨道R1接触。滑动部件500可以防止第一移送轨道R1和主体100之间的因接触产生的摩擦。此时，滑动部件500可以是与第一移送轨道R1接触并能够旋转的圆筒形的部件。例如，滑动部件500可以是辊子形态。

夹紧部600可以结合于主体100的下侧。夹紧部600可以抓持形成于基板SV的一侧的抓持用虚拟区域CD。

参照图2，基板SV由主区域GM和抓持用虚拟区域CD构成，所述主区域GM中层叠有构成显示装置的多种层(Layer)。

现有的基板SV中没有配备抓持用虚拟区域，所以将基板SV夹在搬运用盒后利用基板移送装置进行了移送。据此，基板移送装置将基板与搬运用盒一同移送，因此导致基板移送装置所移送的重量大幅增加，从而使移送速度降低，且电力消耗增加。

根据本实施例，基板移送单元CR1-CR5抓持形成于基板SV的抓持用虚拟区域CD，从而可以在使基板SV维持直立状态的情况下移送基板SV。此后，若完成所有工序，则分离主区域GM和抓持用虚拟区域CD，从而从基板SV去除抓持用虚拟区域CD。

据此，基板移送单元CR1-CR5相比以往，可以仅搬运重量轻的基板SV，从而增加借助于基板移送单元CR1-CR5的基板SV移送速度，因此可以缩短整个工艺时间，并减少电力消耗。

参照图3以及图4，夹紧部600包括：第一紧固板610、第二紧固板630、贯通销670、弹性部件690以及汽缸650。

第一紧固板610以及第二紧固板630是相向的一对板状部件，并且在第一紧固板610以及第二紧固板630之间可以夹有基板SV的抓持用虚拟区域CD。可以通过调节第一紧固板610以及第二紧固板630之间的间距，抓持或者分离基板SV的抓持用虚拟区域CD。

此时，第一紧固板610固定结合于主体100，第二紧固板630可以以第一紧固板610为中心沿水平方向移动。

另外，贯通销670贯穿第一紧固板610，并且贯通销670的一侧端部固定结合于第二紧固板630。即，贯通销670可以在结合于第二紧固板630的状态下，贯穿第一紧固板610。

所述贯通销670的另一侧端部可以结合有弹性部件690。弹性部件690可以是压缩弹簧。所述弹性部件690的一侧端部结合到所述贯通销670的另一侧端部，所述弹性部件690的另一侧端部结合到所述第一紧固板610。

如图3所示，第二紧固板630将借助于作为压缩弹簧的弹性部件690而紧贴到第一紧固板610侧。即，如果不受其他外力的作用，则第一紧固板610和第二紧固板630可以维持彼此紧贴的状态。据此，在第一紧固板610和第二紧固板630之间夹有基板SV的抓持用虚拟区域CD时，可以防止基板SV从夹紧部600脱离。最终，即使发生供应到基板移送系统的电源意外地中断等状况，也可以防止基板SV从移动单元CR1-CR5掉落而破损。

夹紧部600中可以结合有用于调节第一紧固板610和第二紧固板630之间的间距的汽缸650。汽缸650结合于贯通销670而可以使贯通销670沿水平方向移动。当贯通销670沿水平方向移动时，第二紧固板630将会发生移动，从而可调节第一紧固板610和第二紧固板630之间的间距。

参照图5，第一紧固板610和第二紧固板630之间的间距借助于弹性部件690而维持在W1。此时，借助于作为压缩弹簧的弹性部件690，可以在第一紧固板610和第二紧固板630之间抓持基板SV。

参照图6，当汽缸650运行时，则贯通销670沿水平方形进行移动。在图6中，如果贯通销670向右侧方向移动，则第一紧固板610和第二紧固板630之间的间距增加到W2。据此，基板SV可以从夹紧部600分离。

另外，如图3所示，基板移送单元CR1-CR5中可以布置有电源供应部200，所述电源供应部200从外部得到电源供应而将电源供应至移送单元CR1-CR5内。

电源供应部200可以从沿着第一移送轨道R1布置的电源电缆PC得到电源供应。此时，电源供应部200可以从电源电缆PC通过无线的方式得到电源供应。

另外，基板移送单元CR1-CR5内可以布置有位置读取部(未图示)，位置读取部能够实时确认基板移送单元CR1-CR5的位置。

再次参照图1，第一移送轨道R1的周围可以布置有多个工序单元P1、P2。多个工序单元P1、P2连接于第一移送轨道R1。据此，基板移送单元CR1-CR5可以沿着第一移送轨道R1移动至各个工序单元P1、P2。

在多个工序单元P1、P2中可以进行制造显示装置的多种工序。例如，在多个工序单元P1、P2中可以对移送的基板SV进行沉积工序、清洗工序、光刻工序等。或者，在多个工序单元P1、P2中，可以重新提供工序中所需要的基板SV或者将完成工序的基板SV排出到外部。

另外，在多个工序单元P1、P2和第一移送轨道R1之间可以布置有第一连接轨道以及第二连接轨道。具体地，如图1所示，在工序单元P1和第一移送轨道R1之间布置有第一连接轨道RI1和第二连接轨道RO1。

第一连接轨道RI1用于使基板移送单元CR3从第一移送轨道R1进入工序单元P1。相反，第二连接轨道RO1用于使基板移送单元CR3从工序单元P1进入第一移送轨道R1。

即，本实施例中，在第一移送轨道R1和工序单元P1之间专门配备第一连接轨道RI1和第二连接轨道RO1，以分别使基板移送单元CR3流入以及流出。

另外，根据本发明的第一实施例的基板移送系统的变形例中，第一移送轨道R1和工序单元P1通过第三连接轨道RI1’连接，从而基板移送单元CR3可以通过第三连接轨道RI1’流入以及流出。

参照图12，图12为图1的第一变形例，与图1不同地，一个第三连接轨道RI1’位于第一移送轨道R1和工序单元P1之间。即，基板移送单元CR3可以通过一个第三连接轨道RI1’进出。

参照图7以及图8，多个工序单元P1、P2可以分别布置有第二装载机700。当基板移送单元CR1-CR5进入工序单元P1、P2时，为了利用基板SV进行各个工序而需要从基板移送单元CR1-CR5分离基板SV。此时，第二装载机700可以从基板移送单元CR1-CR5分离基板SV。

第二装载机700为多关节机械手，并且包括：第二板710、多个第二吸附盘730以及基板弯曲防止板750。

第二板710可以是具有与基板SV对应的大小的板状部件。所述第二板710上结合有多个第二吸附盘730，以抓持从基板移送单元CR1-CR5分离的基板SV。所述多个第二吸附盘730可以将空气吸入内部而将基板SV固定在第二板710。

另外，如图7所示，以基板SV为中心，在第二吸附盘730的相反侧可以布置有基板弯曲防止板750。当基板SV结合于第二吸附盘730时，基板弯曲防止板750可以防止基板SV弯曲。在第二吸附盘730吸附基板SV的过程中，如果基板SV向与第二吸附盘730相反方向弯曲，则基板SV可能会破损。其中，相反方向意味着图7中以基板SV为中心的右侧方向。

此时，基板弯曲防止板750可以是具有与基板SV对应的大小的板状部件。基板弯曲防止板750上可以布置有保护板(未图示)。当基板SV和基板弯曲防止板750彼此接触时，保护板可以防止基板SV的表面受损。

并且，参照图8，基板弯曲防止板750上可以布置有空气排出部751。空气排出部751从基板弯曲防止板750向基板SV侧排出空气。据此，即使基板弯曲防止板750和基板SV没有直接接触，也可以防止基板SV弯曲。

再次参照图1，在第一移送轨道R1的周围可以布置有第一保管单元E1、E2。第一保管单元E1、E2连接于第一移送轨道R1。据此，基板移送单元CR1-CR5可以沿着第一移送轨道R1移动至第一保管单元E1、E2。

第一保管单元E1、E2可以从基板移送单元CR1-CR5分离基板SV之后将其临时保管。在制造显示装置的工序中，如果在多个工序单元P1、P2中的某个工序单元中发生故障等问题，则基板移送单元CR1-CR5无法进入所述工序单元。如果出现这种情况，则基板移送单元CR1-CR5可能积压在第一移送轨道R1上。

例如，如果在工序单元P2中出现问题，则经过工序单元P1后出来的基板移送单元CR1-CR5无法进入工序单元P2。如此地，如果基板移送单元CR1-CR5积压在第一移送轨道R1上，则基板移送单元CR1-CR5无法从正常工作的工序单元P1出来。如果出现这种情况，则发生因一个工序单元P2而导致整个系统中止运转的情形。

为了解决上述问题，本实施例中，可以在第一移送轨道R1上布置能够临时储存多个基板SV的第一保管单元E1、E2。即，借助于第一保管单元E1、E2，即使在特定工序单元中无法进行工序，也可以防止整个系统中止。

参照图9，第一保管单元E1、E2包括：第一装载机800以及多个盒。

当基板移送单元CR2进入第一保管单元E1、E2时，需要从基板移送单元CR2分离基板SV以临时保管基板SV。此时，第一装载机800从基板移送单元CR2分离基板SV，并且多个盒可以将分离的基板SV以直立的状态进行保管。

第一装载机800为多关节机械手，并且包括：第一板810、多个第一吸附盘830以及基板弯曲防止板750。

第一板810可以是具有与基板SV对应的大小的板状部件。所述第一板810上结合有多个第一吸附盘830，以抓持从基板移送单元CR2分离的基板SV。所述多个第一吸附盘830可以将空气吸入内部而将基板SV固定在第一板810。

另外，多个盒将基板SV以直立的状态保管，并且可以包括吸附部SP1、SP2以及支撑部SM1、SM2。

吸附部SP1、SP2与分离的基板SV的抓持用虚拟区域CD结合而抓持基板SV。吸附部SP1、SP2可以以与前述的第一吸附盘730以及第二吸附盘830相同的工作原理运行。此时，吸附部SP1、SP2在使基板SV维持直立的状态下抓持基板SV。

并且，支撑基板SV的支撑部SM1、SM2可以位于基板SV的下部。支撑部SM1、SM2可以形成为可旋转的圆筒形部件。此时，支撑部SM1、SM2可以由橡胶材料形成以防止基板SV的损伤。

再次参照图1，第二移送轨道R2可以位于第一移送轨道R1的内侧或者外侧。此时，第二移送轨道R2可以与第一移送轨道R1相同地形成闭环。即，第二移送轨道R2可以以首端和尾端彼此连接的形态形成。

本实施例中，第二移送轨道R2与第一移送轨道R1连接。据此，基板移送单元CR1-CR5可以从第一移送轨道R1移动至第二移送轨道R2。

此时，第一移送轨道R1以及第二移送轨道R2可以通过第一转换轨道SR1和第二转换轨道SR2连接。如图1所示，位于第一移送轨道R1的基板移送单元CR1-CR5可以通过第一转换轨道SR1进入第二移送轨道R2。并且，位于第二移送轨道R2的基板移送单元CR1-CR5可以通过第二转换轨道SR2进入第一移送轨道R1。

另外，第二移送轨道R2的周围可以布置有第二保管单元E3、E4。第二保管单元E3、E4连接于第二移送轨道R2。据此，基板移送单元CR1-CR5可以沿着第二移送轨道R2移动至第二保管单元E3、E4。

与上述的第一保管单元E1、E2相同地，第二保管单元E3、E4可以从基板移送单元CR1-CR5分离基板SV之后将其临时保管。此时，第二保管单元E3、E4可以与第一保管单元E1、E2相同地，包括第一装载机800以及多个盒。

参照图13，图13为图1的第二变形例，与图1不同地，第二移送轨道R2可以被去除。即，在位于第一移送轨道R1内侧的第二移送轨道R2不存在的情况下，可以仅由第一移送轨道R1构成基板移送系统。例如，在将制造显示装置的工程形成为较小规模的情况下，如图13所示，可以仅构成第一移送轨道R1而简化结构。

下文中，对根据本发明的第二实施例的基板移送系统进行说明。在对本发明的第二实施例进行说明时，省略与上述第一实施例相同的构成。

图10是根据本发明的第二实施例的基板移送系统的概略图，图11是图10的气流控制单元的概略剖视图。

参照图10，根据第一实施例的基板移送系统中，额外地还可以包括气流控制单元900。气流控制单元900可以通过控制基板移送系统内产生的气流而防止基板移送系统内的异物等附着在基板SV而造成污染。

气流控制单元900沿着第一移送轨道R1布置。即，沿着基板移送单元CR1-CR5移动的所有路径形成。最终，如上所述，气流控制单元900内布置有上述的第一移送轨道R1、基板移送单元CR1-CR5等。

另外，在除了第一移送轨道R1之外还布置有第二移送轨道R2的情况下，第二移送轨道R2可布置于气流控制单元900内。

参照图11，气流控制单元900可以包括：壳体910、风扇-过滤器部950以及气流排出部970。

壳体910围绕上述基板移送单元CR1-CR5、第一移送轨道R1、第二移送轨道R2。即，基板移送单元CR1-CR5、第一移送轨道R1、第二移送轨道R2位于壳体910内。

风扇-过滤器部950可以布置在壳体910的上侧而产生风。即，风扇-过滤器部950可以在壳体910的上侧产生风而使壳体910内的气流向下侧移动。据此，壳体910内的异物等会向下侧移动。通过使异物随着气流向下侧移动，可以防止异物附着在基板SV上。

另外，气流排出部970可以布置在壳体910的下侧而借助于风扇-过滤器部950将移动到下侧的气流排出到外部。

并且，基板移送单元CR1-CR5中可以额外布置有离子发生器(Ionizer，未图示)等，该离子发生器可以抑制基板SV在移动中产生静电。

根据本发明的一实施例的基板移送系统中，沿着第一移送轨道R1移动的基板移送单元CR1-CR5将基板移送至各个工序单元P1、P2，并且在移送时基板移送单元CR1-CR5使基板维持直立的状态下被移送。本实施例中，不需要现有的基板搬运用盒，因此可以使借助于基板移送单元CR1-CR5的基板SV的移送速度增加，从而缩短整个工艺时间，并减少电力的消耗。

如上所述，通过限定的实施例和附图对本发明进行了说明，但是本发明不限于此，并且在本发明的所属技术领域具有一般知识的人可以在本发明的技术思想和权利要求书的等同范围内加以多种修改以及变形。

Claims (15)

1.一种基板移送系统，包括：

第一移送轨道，形成闭环；

多个工序单元，连接于所述第一移送轨道；以及

基板移送单元，沿着所述第一移送轨道移动，将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元，

其中，所述基板移送单元抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将所述基板以直立的状态移送。

2.如权利要求1所述的基板移送系统，其中，

所述基板移送单元包括：

主体；

辊子部，结合于所述主体的一侧，能够沿着所述第一移送轨道移动；以及

夹紧部，结合于所述主体的另一侧，抓持所述基板的所述抓持用虚拟区域。

3.如权利要求2所述的基板移送系统，其中，

所述夹紧部包括：

第一紧固板，固定结合于所述主体；

第二紧固板，与所述第一紧固板相向；

贯通销，贯穿所述第一紧固板，并固定结合于所述第二紧固板；

弹性部件，与所述贯通销结合，使所述第一紧固板和所述第二紧固板彼此紧贴；以及

汽缸，结合于所述第一紧固板或者第二紧固板，以调节所述第一紧固板和第二紧固板之间的间距；

其中，所述抓持用虚拟区域被抓持在所述第一紧固板和第二紧固板之间。

4.如权利要求2所述的基板移送系统，其中，

所述基板移送单元还包括：

电源供应部，从沿着第一移送轨道布置的电源电缆得到电源供应。

5.如权利要求1所述的基板移送系统，其中，还包括：

第一保管单元，连接于所述第一移送轨道，能够保管被所述基板移送单元移送的所述基板。

6.如权利要求5所述的基板移送系统，其中，

所述第一保管单元包括：

多个盒，将所述基板以直立的状态保管；以及

第一装载机，使所述基板从所述基板移送单元移动至所述多个盒。

7.如权利要求6所述的基板移送系统，其中，

所述多个盒分别包括：

吸附部，结合到所述基板的所述抓持用虚拟区域；以及

支撑部，支撑所述基板的下侧。

8.如权利要求6所述的基板移送系统，其中，

所述第一装载机包括：

第一板；以及

第一吸附盘，位于所述第一板的一侧，与所述基板接触。

9.如权利要求1所述的基板移送系统，其中，

所述多个工序单元还分别包括：

第二装载机，从所述基板移送单元分离所述基板。

10.如权利要求9所述的基板移送系统，其中，

所述第二装载机包括：

第二板；

第二吸附盘，位于所述第二板的一侧，与所述基板接触；

基板弯曲防止板，以所述基板为中心，位于所述第二吸附盘的相反侧，并在所述第二吸附盘和所述基板接触时，支撑所述基板。

11.如权利要求10所述的基板移送系统，其中，

所述第二装载机还包括：空气排出部，结合于所述基板弯曲防止板，向所述基板排出空气。

12.如权利要求1所述的基板移送系统，其中，还包括：

气流控制单元，对应于所述第一移送轨道而布置，所述基板移送单元在所述气流控制单元的内部移动。

13.如权利要求12所述的基板移送系统，其中，

所述气流控制单元包括：

壳体，所述基板移送单元在所述壳体内部移动；

风扇-过滤器部，布置在所述壳体的上侧；以及

气流排出部，布置在所述壳体的下侧，将所述壳体内部的气流排出到所述壳体的外部。

14.如权利要求1所述的基板移送系统，其中，还包括：

第二移送轨道，位于所述第一移送轨道的外侧或者内侧，与所述第一移送轨道连接，并且形成闭环。

15.如权利要求14所述的基板移送系统，其中，还包括：

第二保管单元，连接于所述第二移送轨道，能够保管被所述基板移送单元移送的所述基板。