CN107530890A

CN107530890A - 机器人系统及机器人

Info

Publication number: CN107530890A
Application number: CN201680021426.2A
Authority: CN
Inventors: 横田雅人; 饭岛嗣久马
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2015-04-28
Filing date: 2016-04-14
Publication date: 2018-01-02
Also published as: EP3290168A4; TW201637797A; EP3290168A1; TWI688458B; WO2016174841A1; US20180154522A1; US10857674B2

Abstract

本发明提供了能够容易地确定对象物相对于机器人的位置的机器人系统及机器人。机器人系统(100)具备：第一机器人；第一单元，设置有第一机器人，能够移动；定位部，在第一单元的内部设置，对对象物进行定位。机器人系统(100)进一步具备将对象物输送到定位部的第一输送部，具备输送对象物的第二输送部，第二输送部与第一输送部在输送对象物的输送方向上不同。此外，机器人是在能够移动的单元中设置的机器人，对对象物进行定位的定位部位于单元的内部，对通过所述定位部定位的所述对象物进行作业。

Description

机器人系统及机器人

技术领域

本发明涉及机器人系统及机器人。

背景技术

目前，已知具有具备机械臂的机器人和支撑该机器人的单元的机器人系统。机器人具备的机械臂有多个臂(臂部件)通过关节部连接，在最前端侧(最下游侧)的臂上，作为末端执行器，例如安装有手。关节部由电机进行驱动，通过该关节部的驱动，臂转动。此外，例如机器人通过手把持对象物，将该对象物移动到规定的场所，进行组装等作业。

作为这种机器人系统的示例，专利文献1中公开了具有具备两个机械臂的机器人和支撑机器人的单元的机器人系统(生产装置)。

此外，在将这种机器人系统安装在例如位于传送带等单元的外部的外部装置，并使机器人对外部装置载置的工件(对象物)进行作业的情况下，外部装置中通常设置有定位部，确定工件相对于机器人的位置。

此外，专利文献2中公开了具有旋转台、与旋转台连接的臂的机器人(移载机器人)。此外，专利文献2所述的机器人设置在顶框上。

此外，专利文献2中公开了具有作业台、在作业台上设置的框体部、安装在作业台上的机械臂的机器人单元(生产装置)。此外，在专利文献2中，公开了排列有两个机器人单元的状态。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-187663号公报

专利文献2：日本特开2010-137321号公报

但是，专利文献1所述的机器人系统，如果位于单元的外部的外部装置中存在定位部，则每次移动单元时，都有必要进行设置用于确定工件相对于单元内的机器人的位置的定位部，或者以使机器人位于相对于该定位部的合适的位置的方式设置单元等作业。此外，如果定位部位于机器人的单元的外部，则机器人系统会大型化。

此外，由于专利文献2所述的机器人设置在顶框上，因此重心较高，存在与顶框一起倾倒的危险。

此外，在专利文献2中，虽然两个机器人单元接近地排列，但由于各个机器人单元是分别设置的，因此重心难以稳定。因此，驱动机械臂时的振动较大。结果，难以稳定地驱动机械臂。

发明内容

本发明为了解决上述问题的至少一部分而提出，能够作为以下方式或应用例实现。

应用例1

本发明的机器人系统，其特征在于，具备：第一机器人；第一单元，设置有所述第一机器人，能够移动；定位部，在所述第一单元的内部设置，对对象物进行定位。

由此，由于定位部相对于第一单元的相对位置已确定，因此能够省去以使第一机器人位于相对于定位部的合适的位置的方式设置单元的作业。因此，能够容易地移设具备第一机器人的第一单元。此外，由于定位部在第一单元的内部设置，因此相比定位部在第一单元的外部设置的情况，能够使机器人系统更小型。

应用例2

在本发明的机器人系统中，优选具备将所述对象物输送到所述定位部的第一输送部。

由此，相比没有第一输送部的情况，能够更迅速地将对象物输送到定位部。此外，通过具有第一输送部，在通过第一输送部将对象物输送到定位部的过程中，第一机器人能够进行其他作业。因此，能够缩短节拍时间。

应用例3

在本发明的机器人系统中，优选具备输送所述对象物的第二输送部，所述第二输送部与所述第一输送部在输送所述对象物的输送方向上不同。

由此，例如能够将第二输送部作为排出第一输送部输送的对象物中的不合格对象物的输送部灵活应用。

应用例4

在本发明的机器人系统中，优选具备驱动所述第一输送部和所述第二输送部的驱动部。

由此，能够通过一个驱动部驱动第一输送部和第二输送部，因此能够减少驱动部的数量。

应用例5

在本发明的机器人系统中，优选所述第一输送部和所述第二输送部分别具有在所述第一单元的内部设置的部分。

由此，能够进一步缩小机器人系统的设置空间。

应用例6

在本发明的机器人系统中，优选具备输送所述对象物的第三输送部，所述第三输送部与所述第二输送部在输送所述对象物的输送方向上不同。

由此，例如能够将第三输送部作为输送改善了第二输送部输送的对象物的不合格的对象物的输送部灵活应用。

应用例7

在本发明的机器人系统中，优选所述第一输送部、所述第二输送部以及所述第三输送部分别具有在所述第一单元的内部设置的部分，在所述第一单元内，所述第三输送部的设置高度高于所述第二输送部的设置高度，在所述第一单元内，所述第二输送部的设置高度高于所述第一输送部的设置高度。

由此，例如能够更容易地将对象物从第一输送部输送到第二输送部。此外，例如能够更容易地通过第一机器人将对象物从第三输送部输送到第一输送部。因此，能够缩短节拍时间。

应用例8

在本发明的机器人系统中，优选具备在所述第一输送部中载置所述对象物的第二机器人和设置有所述第二机器人的第二单元，所述第一机器人在所述第一单元内动作，所述第二机器人在所述第二单元内动作。

由此，例如如果第一机器人能够在第二单元内移动，则在第二单元内发生故障进行维护时，虽然有必要停止第一机器人及第二机器人，但也可不进行该停止而进行第二单元内的维护。因此，能够减轻机器人系统整体的生产能力的下降。

应用例9

在本发明的机器人系统中，优选所述第一机器人具有能够绕第n(n是1以上的整数)转动轴转动的第n臂、和在所述第n臂中以能够绕与所述第n转动轴的轴方向不同的轴方向，即第(n+1)转动轴转动的方式设置的第(n+1)臂。

由此，能够扩大第一机器人的可动范围，因此能够进一步提高第一机器人的作业性。

应用例10

在本发明的机器人系统中，优选所述第n臂的长度大于所述第(n+1)臂的长度，从所述第(n+1)转动轴的轴方向观察，所述第n臂与所述第(n+1)臂能够重叠。

由此，在使第(n+1)臂的前端绕第n转动轴向相差180°的位置移动的情况下，能够缩小用于使第一机器人不产生干扰的空间。由此，能够实现第一单元的小型化，因此能够进一步缩小设置机器人系统的设置空间。

应用例11

在本发明的机器人系统中，优选所述第一机器人具备在所述第一单元中设置的基台，所述第n臂在所述基台上设置。

由此，能够使第n臂及第(n+1)臂相对于基台转动。

应用例12

在本发明的机器人系统中，优选所述第一机器人具有：基台，在所述第一单元中设置；第n臂，在所述基台上设置，能够绕第n(n是1以上的整数)转动轴转动；第(n+1)臂，在所述第n臂中以能够绕与所述第n转动轴的轴方向平行的轴方向，即第(n+1)转动轴转动的方式设置。

由此，能够具备小型的第一机器人，该第一机器人具有绕第n转动轴转动的第n臂及第(n+1)臂，能够进一步缩小配置第一机器人的区域。

应用例13

在本发明的机器人系统中，优选所述第一机器人以所述基台与所述第n臂的连接部分位于所述第n臂与所述第(n+1)臂的连接部分的垂直上方的方式设置。

由此，能够以悬挂的方式设置第一机器人，因此能够进一步扩大第一机器人的垂直下方的第一机器人的作业范围。

应用例14

在本发明的机器人系统中，优选所述第一单元具有顶部，所述基台在所述顶部中设置。

由此，能够以悬挂在顶部的方式设置第一机器人，因此能够进一步扩大第一机器人的垂直下方的第一机器人的作业范围。

应用例15

在本发明的机器人系统中，优选具有能够变更所述第一机器人相对于所述第一单元的设置高度的变更机构。

由此，在希望根据第一机器人的动作范围等变更第一机器人的配置的情况下，不用重新设计第一单元整体的结构，就能够变更第一机器人的配置。

应用例16

在本发明的机器人系统中，优选所述第一机器人具有安装在所述第一单元的基台和与所述基台连接的第n(n为1)臂，所述变更机构具有变更所述基台和所述第一单元的分离距离的衬垫(spacer)。

由此，在希望将第一机器人的配置变更到与第一机器人的动作范围等相应的合适的位置的情况下，通过衬垫的装卸或变更，能够容易地在合适的位置配置第一机器人。

应用例17

在本发明的机器人系统中，优选设置气体供给部，在所述第一单元中设置，供给清洁的气体。

由此，能够提高第一单元内的清洁度(洁净度)。

应用例18

在本发明的机器人系统中，优选所述气体从所述气体供给部向垂直下方流动。

由此，能够有效地提高第一单元内的清洁度。

应用例19

在本发明的机器人系统中，优选所述气体供给部具有过滤器。

由此，能够进一步提高第一单元内的清洁度。

应用例20

本发明的机器人，其特征在于，是在能够移动的单元中设置的机器人，对对象物进行定位的定位部位于所述单元的内部，对通过所述定位部定位的所述对象物进行作业。

由此，由于定位部相对于单元的相对位置已确定，因此能够容易地确定对象物相对于机器人的位置。

应用例21

本发明的机器人系统，其特征在于，具备：机器人；单元，设置有所述机器人，能够移动；控制装置，控制所述机器人；电源装置，为所述机器人供给电源；作业面，所述机器人进行作业，所述控制装置及所述电源装置分别在作业面的垂直下方配置。

由此，由于能够降低单元的重心，因此能够减轻单元倾倒的危险。因此，能够通过单元稳定地支撑机器人，能够稳定地进行机器人的驱动。

应用例22

在本发明的机器人系统中，优选所述控制装置和所述电源装置分别在所述单元的内部设置。

由此，由于能够降低单元的重心，因此能够进一步减轻单元倾倒的危险。

应用例23

在本发明的机器人系统中，优选所述机器人在所述作业面的垂直上方设置。

由此，如前所述，由于能够将单元设置成低重心，因此能够更稳定地驱动在作业面的垂直上方设置的机器人。

应用例24

在本发明的机器人系统中，优选具备输送对象物的输送部，所述控制装置对所述输送部进行控制。

由此，在通过输送部输送对象物的过程中，能够通过机器人进行与输送对象物的作业不同的作业。因此，能够缩短生产节拍时间。此外，由于不用分别设置控制机器人的控制装置和控制输送部的驱动的装置，因此能够进一步缩小机器人系统。

应用例25

在本发明的机器人系统中，优选所述单元具有与设置所述单元的设置空间相对的底部，能够在所述底部上设置砝码。

由此，由于能够进一步降低单元的重心，因此能够进一步减轻单元倾倒的危险。

应用例26

在本发明的机器人系统中，优选具备输送对象物的输送部，所述单元具有第一侧面部和与所述第一侧面部不同的第二侧面部，所述输送部以贯通所述第一侧面部的方式设置，所述控制装置及所述电源装置分别能够从所述第二侧面部取出。

由此，例如在维护控制装置及电源装置时，由于能够更容易地取出控制装置及电源装置，因此能够更容易且更迅速地进行维护。

应用例27

在本发明的机器人系统中，优选所述机器人具有能够绕第n(n是1以上的整数)转动轴转动的第n臂和在所述第n臂中以能够绕与所述第n转动轴的轴方向不同的轴方向，即第(n+1)转动轴转动的方式设置的第(n+1)臂。

由此，由于能够扩大机器人的可动范围，因此能够进一步提高机器人的作业性。

应用例28

由此，在使第(n+1)臂的前端绕第n转动轴向相差180°的位置移动的情况下，能够缩小用于使机器人不产生干扰的空间。由此，能够实现单元的小型化，因此能够进一步缩小设置机器人系统的设置空间。

应用例29

在本发明的机器人系统中，优选所述机器人具备在所述单元中设置的基台，所述第n臂在所述基台上设置。

由此，能够使第n臂及第(n+1)臂相对于基台转动。

应用例30

在本发明的机器人系统中，优选所述机器人具有：基台，在所述单元中设置；第n臂，在所述基台上设置，能够绕第n(n是1以上的整数)转动轴转动；第(n+1)臂，在所述第n臂中以能够绕与所述第n转动轴的轴方向平行的轴方向，即第(n+1)转动轴转动的方式设置。

由此，能够具备小型的机器人，该机器人具有绕第n转动轴转动的第n臂及第(n+1)臂，能够进一步缩小配置机器人的区域。

应用例31

在本发明的机器人系统中，优选所述机器人以所述基台与所述第n臂的连接部分位于所述第n臂与所述第(n+1)臂的连接部分的垂直上方的方式设置。

由此，能够以悬挂的方式设置机器人，因此能够进一步扩大机器人的垂直下方的机器人的作业范围。

应用例32

在本发明的机器人系统中，优选所述单元具有顶部，所述基台在所述顶部中设置。

由此，能够以悬挂在顶部的方式设置机器人，因此能够扩大机器人的垂直下方的机器人的作业范围。

应用例33

本发明的机器人，其特征在于，是在能够移动的单元中设置的机器人，所述单元的内部空间具有在第一部件的垂直方向上侧的第一空间和在所述第一部件的垂直方向下侧的第二空间，控制所述机器人的控制装置和为所述机器人供给电源的电源装置分别在所述第二空间中配置，所述机器人在所述第一空间进行作业。

由此，由于机器人被设置在低重心的单元中，因此能够通过单元稳定地支撑机器人，能够提供稳定地进行驱动的机器人。

应用例34

本发明的机器人系统，其特征在于，具备：第一机器人；第一单元，设置有所述第一机器人，能够移动；第二机器人；第二单元，设置有所述第二机器人，能够移动；连接部，连接所述第一单元和所述第二单元。

由此，由于第一单元及第二单元的总设置面积变大，因此能够减小相对于第一单元及第二单元的各高度的总设置面积(纵横比)。因此，由于能够稳定地设置第一单元及第二单元，因此能够更稳定地驱动各个第一机器人及第二机器人。

应用例35

在本发明的机器人系统中，优选所述连接部将所述第一单元的上部和所述第二单元的上部连接。

由此，特别地，能够进一步减轻第一单元的上部和第二单元的上部中的振动。因此，特别地，在第一机器人在第一单元的上部设置，第二机器人在第二单元的上部设置的情况下，能够更稳定地驱动第一机器人及第二机器人。

应用例36

在本发明的机器人系统中，优选所述连接部具有输送对象物的第一输送部。

由此，能够连接第一单元和第二单元，同时能够通过第一输送部在第一单元及第二单元之间输送对象物。

应用例37

在本发明的机器人系统中，优选能够进行通过所述第一输送部输送的所述对象物的检查。

由此，在输送对象物期间，例如能够对对象物中是否正确地组装了部件等进行检查。如此，由于能够在输送的同时进行对象物的检查，因此能够缩短生产节拍时间。

应用例38

在本发明的机器人系统中，优选所述第一机器人的至少一部分能够向所述第一单元的外部移动。

由此，由于第一机器人的作业范围变大，因此能够通过第一机器人进行更多的作业。特别地，在第一单元比较小型的情况下，在第一单元的外部设置了作业台时，第一机器人能够在该作业台进行作业。

应用例39

在本发明的机器人系统中，优选具备位于所述第一单元的外部的第二输送部，所述第一机器人能够把持在所述第二输送部上载置的对象物。

由此，例如能够通过第一机器人把持第二输送部上的对象物，并使该对象物向第一输送部移动并载置。如此，能够扩大第一机器人的作业范围。

附图说明

图1是示出本发明的机器人系统的第一实施方式的立体图。

图2是图1所示的机器人系统的主视图。

图3是图1所示的机器人系统的后视图。

图4是图1所示的机器人系统的左视图。

图5是图1所示的机器人系统的右视图。

图6是示出图1所示的机器人的图。

图7是图6所示的机器人的概略图。

图8是图6所示的机器人的侧视图。

图9是图6所示的机器人的侧视图。

图10是用于说明图6所示的机器人的动作的图。

图11是示出图6所示的机器人具有的机械臂的前端部的移动路径的图。

图12是图1所示的输送单元的俯视图。

图13是图1所示的输送单元的立体图。

图14是示出图13所示的定位部的图。

图15是示出本发明的机器人系统的第二实施方式的图。

图16是示出本发明的机器人系统的第三实施方式的图。

图17是示出本发明的机器人系统的第四实施方式的图。

图18是示出图17所示的机器人系统具有的连接板(连接部)的图。

图19是用于说明图17所示的机器人系统具有的两个第一输送部的连接的图。

图20是示出图19所示的两个第一输送部的连接的其他示例的图。

符号说明

1、1a、1b 机器人 5、5a、5b 单元

7 控制单元 10 机械臂

11 基台 12 第一臂

13 第二臂 14 第三臂

15 第四臂 16 第五臂

17 第六臂 20 砝码

22 支撑部 3 输送单元

31 第一输送部(输送部) 32 第二输送部(输送部)

33 第三输送部(输送部) 34 部件供给部

35 驱动部 36 摄像部

40 变更机构 41 部件

42 部件 50、50a、50b 机器人单元

51 支柱 52 底部

53 顶部 54 足部

55 作业部 56 间隙

57 安装板 59 布线管道

60 气体供给部 61 轴承部

62 空气过滤器 63 风扇

65 气压配管 66、67、68 箭头

70 显示操作部 71 控制装置

72 电源装置 73 不间断电源装置

74 照明用电源装置 75 计算机

76 布线单元 80 支撑部

83 连接板 85 连接带(连接机构)

86 张紧轮 87 连接机构

90 定位部 91 手

100 机器人系统 105 区域

111 凸缘 121 第一部分

122 第二部分 123 第三部分

124 第四部分 151、152 支撑部

171、172、173、174、175、176 关节

301、302、303、304、305、306 电机驱动器

311 带 312、313 辊

315 旋转支撑件 321 带

322、323 辊 325 杆

331 带 332、333 辊

351 驱动源 352 动力传递机构

353 传动轴 354 第一动力传递部

355 第二动力传递部 361 电子照相机

362 棱镜 371 夹具

372 孔 401 第一驱动源

401M 电机 402 第二驱动源

402M 电机 403 第三驱动源

403M 电机 404 第四驱动源

404M 电机 405 第五驱动源

405M 电机 406 第六驱动源

406M 电机 411 衬垫

531 顶面 541 脚轮

542 调节器 543 固定件

551 作业面 581 第一侧面部(侧面部)

582 第二侧面部(侧面部) 583 第三侧面部(侧面部)

584 第四侧面部(侧面部) 611 中心线

621 直线 701 监视器

702 柔性臂 871、872、873 齿轮

901 台座 902 支撑部

903 定位销 A1、A2、A3 箭头

A31 中心线 D31 分离距离

D40 分离距离 L 高度

L1、L2、L3 长度 L31、L32、L33 设置高度

O1 第一转动轴 O2 第二转动轴

O3 第三转动轴 O4 第四转动轴

O5 第五转动轴 O6 第六转动轴

S 面积 S1 第一空间

S2 第二空间 W1、W2、WX 宽度。

具体实施方式

下面，基于附图所示的优选实施方式，对本发明的机器人系统及机器人进行详细说明

机器人系统

第一实施方式

图1是示出本发明的机器人系统的第一实施方式的立体图。图2是图1所示的机器人系统的主视图。图3是图1所示的机器人系统的后视图。图4是图1所示的机器人系统的左视图。图5是图1所示的机器人系统的右视图。图6是示出图1所示的机器人的图。图7是图6所示的机器人的概略图。图8及图9分别是图6所示的机器人的侧视图。图10是用于说明图6所示的机器人的动作的图。图11是示出图6所示的机器人具有的机械臂的前端部的移动路径的图。图12是图1所示的输送单元的俯视图。图13是图1所示的输送单元的立体图。图14是示出图13所示的定位部的图。

此外，为便于说明，以下将图1～图10、图14中的上侧称为“上”或者“上方”，将下侧称为“下”或者“下方”(后述的图15、图16的(a)、图17也是如此)。此外，将图1～图10中的基台侧称为“基端”或者“上游”，将其相反侧(手侧)称为“前端”或者“下游”(后述的图15、图17也是如此)。此外，将图2～图10中的上下方向作为“垂直方向”，将左右方向作为“水平方向”(后述的图15、图16的(a)、图17也是如此)。此外，在图1～图5、图11～图14中，为了便于说明，作为相互正交的三轴，示出了X轴、Y轴及Z轴(后述的图15～图20也是如此)。此外，以下也将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。此外，以下将图中示出的各箭头的前端侧称为“+(正)”，将基端侧称为“–(负)”。

图1～图5所示的机器人系统100具有：机器人单元50，具有单元(第一单元)5及机器人(第一机器人)1；输送单元3；定位部90；摄像部36；控制单元7；显示操作部70；气体供给部60。

该机器人系统100，例如能够用于制造手表等精密设备等的制造工序等中。

下面，对构成机器人系统100的各部件依次进行说明。

单元

图1～图5所示的单元5是包围机器人1的框体，能够容易地进行移设。

单元5具有：足部54，使单元5整体在例如地面(地板)等设置空间中设置；底部52，由足部54支撑；四个支柱51，在底部52上设置；顶部(安装部)53，在四个支柱51上竖立设置。此外，单元5具有作业部(第一部件)55，安装在底部52和顶部53之间设置的四个支柱51上。

底部52在俯视观察(从垂直方向观察)时呈四边形的板状，与设置空间相对。在该底部52上设置有控制单元7。

足部54具有在底部52的各角部设置的多个脚轮541、调节器(足)542以及固定件543。单元5能够通过脚轮541移动。此外，单元5通过调节器542在设置空间中被调平。此外，单元5通过固定件543固定在设置空间中。

四个支柱51各自的下端分别安装在底部52的角部。此外，在四个支柱51的长度方向上的各中央部安装有呈板状的作业部55。

作业部55的上表面与顶部53相对，成为机器人1进行部件的供料及卸料等作业的作业面551。此外，在作业部55上设置有输送单元3，作业面551也作为载置输送单元3的载置面发挥功能。

此外，在作业部55和各支柱51之间设置有间隙56。在该间隙56中，虽然图中没有示出，但有将后述的控制单元7和机器人1连接的电缆(布线)或配管等插入。此外，在支柱51中，沿支柱51的长度方向，安装有电缆或配管等插入的布线管道59。在该布线管道59中，有来自间隙56的电缆或配管等插入。通过设置这样的间隙56或布线管道59，能够防止电缆或配管等妨碍输送单元3及机器人1。此外，间隙56及布线管道59的数量或配置并不限于图中示出的情况，而是任意的。

顶部53在俯视观察时呈四边形的框状，其各角部与支柱51的上端部连接。该顶部53是支撑机器人1的部件，顶部53的上表面成为顶面(安装面)531。在该顶面531上，通过安装板57支撑后述的机器人1的基台11。由此，机器人1以悬挂的方式被单元5支撑。

这种单元5具有在相邻的两个支柱51之间设置的四个侧面部。此外，以下将–X轴侧的侧面部作为“第一侧面部581”，将–Y轴侧的侧面部作为“第二侧面部582”，将+X轴侧的侧面部作为“第三侧面部583”，将+Y轴侧的侧面部作为“第四侧面部584”。

此外，单元5具有由四个侧面部581、582、583、584和底部52、顶部53包围的内部空间。此外，以下将内部空间的顶部53和作业部55之间的空间作为“第一空间S1”，将底部52和作业部55之间的空间作为“第二空间S2”。

此外，虽然图中没有示出，但在第一侧面部581、第二侧面部582、第三侧面部583及第四侧面部584中面临第一空间S1的部分和顶部53中设置有安全板，以避免例如作业者(人类)或粉尘等异物侵入第一空间S1内。此外，虽然图中没有示出，但在第一侧面部581、第三侧面部583及第四侧面部584中面临第二空间S2的部分中设置有安全板，例如以保护控制单元7。此外，上述安全板也可以分别根据需要省略。

此外，如前所述，单元5通过脚轮541能够移动，但单元5也可以通过例如叉车(图中未示出)等输送装置进行输送。此外，单元5也可以具有通过电机等的驱动力使单元5移动的移动机构(图中未示出)或控制移动机构的驱动的移动控制部(图中未示出)，以自行的方式被构成。

此外，在上述说明中，顶部53和安装板57被分别构成，但这些顶部53和安装板57也可以是一体的。

机器人

图1所示的机器人1能够进行精密设备或构成它的部件(对象物)的供料、卸料、输送及组装等作业。

如图6所示，机器人1具有基台11和机械臂10。机械臂10具备第一臂(第n臂)12、第二臂(第(n+1)臂)13、第三臂14、第四臂15、第五臂16、第六臂17(六个臂)和第一驱动源401、第二驱动源402、第三驱动源403、第四驱动源404、第五驱动源405、第六驱动源406(六个驱动源)。此外，在第六臂17的前端，例如能够以可装卸的方式安装把持精密设备、部件等的手91等末端执行器。

该机器人1是基台11和第一臂12、第二臂13、第三臂14、第四臂15、第五臂16、第六臂17从基端侧向前端侧按该顺序连接的垂直多关节(六轴)机器人。此外，以下也将第一臂12、第二臂13、第三臂14、第四臂15、第五臂16、第六臂17分别称为“臂”。此外，也将第一驱动源401、第二驱动源402、第三驱动源403、第四驱动源404、第五驱动源405、第六驱动源406分别称为“驱动源(驱动部)”。

此外，基台11是固定在安装板57上的部分(安装的部件)。此外，在本实施方式中，在基台11的下部设置的板状的凸缘111固定在安装板57的背面(垂直下方侧的面)，但固定在安装板57上的部分并不限于此，例如也可以是基台11的上面。此外，作为该固定方法，并不特别限定，例如能够采用通过多根螺栓进行的固定方法等。

机械臂10以能够相对于基台11转动的方式被支撑，臂12～17分别以能够相对于基台11独立地位移的方式被支撑。

第一臂12呈弯曲的形状。第一臂12与基台11连接，具有从基台11向垂直方向下方延伸的第一部分121、从第一部分121的下端向水平方向延伸的第二部分122、在第二部分122的与第一部分121相反的端部设置并向垂直方向延伸的第三部分123、从第三部分123的前端向水平方向延伸的第四部分124。此外，这些第一部分121、第二部分122、第三部分123以及第四部分124被一体地形成。此外，从图6的纸面前侧观察(从与后述的第一转动轴O1及第二转动轴O2双方正交的正面观察)时，第二部分122和第三部分123几乎正交(交叉)。

第二臂13呈细长形状，与第一臂12的前端部(第四部分124的与第三部分123相反的端部)连接。

第三臂14呈细长形状，与第二臂13的与第一臂12连接的端部相反的端部连接。

第四臂15与第三臂14的与第二臂13连接的端部相反的端部连接。第四臂15具有彼此相对的一对支撑部151、152。支撑部151、152用于与第五臂16的连接。

第五臂16位于支撑部151、152之间，通过与支撑部151、152连接，与第四臂15连接。此外，第四臂15并不限于该结构，例如也可以具有一个支撑部(悬臂)。

第六臂17呈平板状，与第五臂16的前端部连接。此外，在第六臂17的前端部(第五臂16相反侧的端部)中以可装卸的方式安装有手91。作为手91，并不特别限定，例如可列举具有多根指部(手指)的结构。

此外，上述各臂12～17的外装既可以分别由一个部件构成，也可以由多个部件构成。

下面，参照图6及图7，对这些臂12～17的驱动和驱动源401～406同时进行说明。此外，图7示出了机器人1的概略图，示出了从图6的右侧观察的状态。此外，在图7中，示出了从图6所示的状态转动臂13～17时的状态。

如图7所示，基台11和第一臂12通过关节(连接部分)171连接。此外，关节171既可以被包括在基台11中，此外，也可以不被包括在其中。关节171具有支撑与基台11连接的第一臂12的机构，使其能够相对于基台11转动。由此，第一臂12能够相对于基台11以与垂直方向平行的第一转动轴(第n转动轴)O1为中心(绕第一转动轴O1)转动。此外，第一转动轴O1是位于机器人1的最上游侧的转动轴。绕该第一转动轴O1的转动通过具有电机401M的第一驱动源401的驱动进行。此外，第一驱动源401通过电机401M和电缆(图中未示出)进行驱动，该电机401M通过电连接的电机驱动器301被控制单元7(控制装置71)控制。此外，第一驱动源401既可以被构成为通过与电机401M一同设置的减速器(图中未示出)传递来自电机401M的驱动力，此外，也可以省略减速器。

此外，第一臂12和第二臂13通过关节(连接部分)172连接。此外，关节172具有支撑相互连接的第一臂12和第二臂13的机构，以使其中的一方能够相对于另一方转动。由此，第二臂13能够相对于第一臂12以与水平方向平行的第二转动轴(第(n+1)转动轴)O2为中心(绕第二转动轴O2)转动。此外，第二转动轴O2与第一转动轴O1正交。绕该第二转动轴O2的转动通过具有电机402M的第二驱动源402的驱动进行。此外，第二驱动源402通过电机402M和电缆(图中未示出)进行驱动，该电机402M通过电连接的电机驱动器302被控制单元7(控制装置71)控制。此外，第二驱动源402既可以被构成为通过与电机402M一同设置的减速器(图中未示出)传递来自电机402M的驱动力，此外，也可以省略减速器。此外，第二转动轴O2也可以平行于与第一转动轴O1正交的轴，此外，第二转动轴O2即使不与第一转动轴O1正交，只要轴方向不同即可。

此外，第二臂13和第三臂14通过关节(连接部分)173连接。此外，关节173具有支撑相互连接的第二臂13和第三臂14的机构，以使其中的一方能够相对于另一方转动。由此，第三臂14能够相对于第二臂13以与水平方向平行的第三转动轴O3为中心(绕第三转动轴O3)转动。第三转动轴O3与第二转动轴O2平行。绕该第三转动轴O3的转动通过第三驱动源403的驱动进行。此外，第三驱动源403通过电机403M和电缆(图中未示出)进行驱动，该电机403M通过电连接的电机驱动器303被控制单元7(控制装置71)控制。此外，第三驱动源403既可以被构成为通过与电机403M一同设置的减速器(图中未示出)传递来自电机403M的驱动力，此外，也可以省略减速器。

此外，第三臂14和第四臂15通过关节(连接部分)174连接。关节174具有支撑相互连接的第三臂14和第四臂15的机构，以使其中的一方能够相对于另一方转动。由此，第四臂15能够相对于第三臂14以与第三臂14的中心轴方向平行的第四转动轴O4为中心(绕第四转动轴O4)转动。第四转动轴O4与第三转动轴O3正交。绕该第四转动轴O4的转动通过第四驱动源404的驱动进行。此外，第四驱动源404通过电机404M和电缆(图中未示出)进行驱动，该电机404M通过电连接的电机驱动器304被控制单元7(控制装置71)控制。此外，第四驱动源404既可以被构成为通过与电机404M一同设置的减速器(图中未示出)传递来自电机404M的驱动力，此外，也可以省略减速器。此外，第四转动轴O4也可以平行于与第三转动轴O3正交的轴，此外，第四转动轴O4即使不与第三转动轴O3正交，只要轴方向不同即可。

此外，第四臂15和第五臂16通过关节(连接部分)175连接。关节175具有支撑相互连接的第四臂15和第五臂16的机构，以使其中的一方能够相对于另一方转动。由此，第五臂16能够相对于第四臂15以与第四臂15的中心轴方向正交的第五转动轴O5为中心(绕第五转动轴O5)转动。第五转动轴O5与第四转动轴O4正交。绕该第五转动轴O5的转动通过第五驱动源405的驱动进行。此外，第五驱动源405通过电机405M和电缆(图中未示出)进行驱动，该电机405M通过电连接的电机驱动器305被控制单元7(控制装置71)控制。此外，第五驱动源405既可以被构成为通过与电机405M一同设置的减速器(图中未示出)传递来自电机405M的驱动力，此外，也可以省略减速器。此外，第五转动轴O5也可以平行于与第四转动轴O4正交的轴，此外，第五转动轴O5即使不与第四转动轴O4正交，只要轴方向不同即可。

此外，第五臂16和第六臂17通过关节(连接部分)176连接。关节176具有支撑相互连接的第五臂16和第六臂17的机构，以使其中的一方能够相对于另一方转动。由此，第六臂17能够相对于第五臂16以第六转动轴O6为中心(绕第六转动轴O6)转动。第六转动轴O6与第五转动轴O5正交。绕该第六转动轴O6的转动通过第六驱动源406的驱动进行。此外，第六驱动源406的驱动通过电机406M和电缆(图中未示出)进行驱动，该电机406M通过电连接的电机驱动器306被控制单元7(控制装置71)控制。此外，第六驱动源406既可以被构成为通过与电机406M一同设置的减速器(图中未示出)传递来自电机406M的驱动力，此外，也可以省略减速器。此外，第五转动轴O5也可以平行于与第四转动轴O4正交的轴，此外，第六转动轴O6也可以平行于与第五转动轴O5正交的轴，此外，第六转动轴O6即使不与第五转动轴O5正交，只要轴方向不同即可。

此外，进行这种驱动的机器人1，在通过与第六臂17的前端部连接的手91把持精密设备、部件等的同时，通过控制臂12～17等的动作，能够进行输送该精密设备、部件等各作业。此外，手91的驱动通过控制单元7(控制装置71)进行控制。

这种机器人1是具有六个臂的垂直多关节(六轴)机器人，驱动范围广，具备高作业性。

此外，如前所述，该机器人1通过安装板57悬挂在顶部53上，作为基台11与第一臂12的连接部分的关节171，位于作为第一臂12与第二臂13的连接部分的关节172的垂直上方。因此，能够进一步扩大位于机器人1的垂直下方的作业面551上的机器人1的作业范围。因此，例如与在作业面551上安装机器人1的情况相比，能够有效地使用作业面551。

此外，在图中示出的结构中，电机驱动器301～306配置在基台11上，但并不限于此，例如也可以配置在机器人控制装置中。

以上，对机器人1的结构进行了简单的说明。

下面，参照图8、图9及图10，对臂12～17的关系进行说明，但会改变表现等，从各种观点进行说明。此外，关于第三臂14、第四臂15、第五臂16及第六臂17，以其笔直延伸的状态，换言之，如图8及图9所示，以第四转动轴O4和第六转动轴O6一致或平行的状态进行考虑。

首先，如图8所示，第一臂12的长度L1被设定为大于第二臂13的长度L2。

这里，第一臂12的长度L1是指，从第二转动轴O2的轴方向观察，第二转动轴O2和以能够转动的方式支撑第一臂12的轴承部61(关节171具有的部件)在图8中沿左右方向延伸的中心线611之间的距离。此外，第二臂13的长度L2是指，从第二转动轴O2的轴方向观察，第二转动轴O2和第三转动轴O3之间的距离。

此外，如图9所示，机器人1被构成为从第二转动轴O2的轴方向观察时能够将第一臂12和第二臂13所成的角度θ变为0°。即，机器人1被构成为从第二转动轴O2的轴方向观察时第一臂12和第二臂13能够重叠。此外，第二臂13被构成为在角度θ为0°的情况下，即从第二转动轴O2的轴方向观察时第一臂12和第二臂13重叠的情况下，第二臂13不干扰第一臂12的第二部分122、顶部53。

这里，上述第一臂12和第二臂13所成的角度θ是指，从第二转动轴O2的轴方向观察使，穿过第二转动轴O2和第三转动轴O3的直线(从第二转动轴O2的轴方向观察的情况下第二臂13的中心轴)621和第一转动轴O1所成的角度(参照图8)。

此外，如图9所示，机器人1被构成为从第二转动轴O2的轴方向观察时第二臂13和第三臂14能够重叠。即，机器人1被构成为从第二转动轴O2的轴方向观察时第一臂12、第二臂13和第三臂14能够同时重叠。

此外，第三臂14、第四臂15、第五臂16及第六臂17的合计长度L3被设定为大于第二臂13的长度L2。由此，从第二转动轴O2的轴方向观察，在第二臂13和第三臂14重叠时，能够使机械臂10的前端，即第六臂17的前端从第二臂13突出。由此，能够防止手91干扰第一臂12及第二臂13。

这里，第三臂14、第四臂15、第五臂16及第六臂17的合计长度L3是指，从第二转动轴O2的轴方向观察时第三转动轴O3和第六臂17的前端之间的距离(参照图9)。在这种情况下，第三臂14、第四臂15、第五臂16及第六臂17是如图9所示的第四转动轴O4和第六转动轴O6一致或平行的状态。

这种机器人1，如图10的(a)、(b)、(c)、(d)及(e)所示，通过使第二臂13转动，而不使第一臂12转动，能够经由从第二转动轴O2的轴方向观察时角度θ为0°的状态，使第二臂13的前端绕第一转动轴O1移动到相差180°的位置。因此，能够使机械臂10的前端(第六臂17的前端)从图10的(a)所示的位置(第一位置)，经由图10的(c)所示的第一臂12和第二臂13重叠的状态，使机械臂10的前端绕第一转动轴O1移动到与图10的(a)所示的位置相差180°的图10的(e)所示的位置(第二位置)。此外，在进行该移动时，使第三臂14、第四臂15、第五臂15及第六臂17分别根据需要转动。

通过上述机械臂10的驱动，如图11所示，机器人1不进行使手91如箭头67、68所示移动的动作，通过进行使手91如箭头66所示移动的动作，能够使手91绕第一转动轴O1移动到相差180°的位置。即，从第一转动轴O1的轴方向观察，机器人1通过进行使手91(机械臂10的前端)在直线上移动的动作，能够使手91绕第一转动轴O1移动到相差180°的位置。由此，由于能够缩小用于使机器人1不产生干扰的空间，因此能够实现单元5的小型化。因此，能够使用于设置单元5的设置空间的面积(设置面积)，即从单元5的垂直方向观察的俯视观察时的面积S小于目前的面积。

具体地，优选面积S小于637,500mm²，更优选在500,000mm²以下，进一步优选在400,000mm²以下，特别优选在360,000mm²以下。如前所述，由于机器人1能够进行上述动作，因此即使是上述的面积S，也能够驱动机械臂10使其不干扰单元5。

特别地，400,000mm²以下的面积S与人类(作业者)进行作业的作业区域的大小几乎相同或在其之下。因此，如果面积S小于上述上限值，例如能够容易地进行人类和机器人单元50的交换。此外，也能够容易地进行与上述相反的变更，即将机器人单元50变更为人类。因此，例如在交换人类和机器人单元50，变更生产线的情况下，能够容易地进行该变更。此外，也能够简单地进行与上述相反的变更，即将机器人单元50变更为人类。此外，优选面积S在10,000mm²以上。由此，能够容易地进行机器人单元50内部的维护。

此外，通过能够缩小面积S，如图11所示，能够将单元5在Y轴方向上的宽度W1设置为小于目前的宽度WX，具体地，例如能够设置为在目前的宽度WX的80％以下。

具体地，优选宽度W1小于850mm，更优选小于750mm，进一步优选小于650mm(参照图11)。由此，能够充分发挥与上述效果相同的效果。此外，宽度W1是单元5的平均宽度。此外，优选宽度W1在100mm以上。由此，能够容易地进行机器人单元50内部的维护。

此外，在本实施方式中，在俯视观察时单元5呈正方形。因此，在本实施方式中，Y轴方向(图11中的上下方向)上单元5的宽度(深度)W1和X轴方向(图11中的左右方向)上单元5的宽度(横向宽度)W2相同。此外，这些宽度W1及宽度W2也可以不同。

此外，如图10所示，由于机器人1能够不使第一臂12转动，而进行使第二臂13的前端绕第一转动轴O1移动到相差180°的位置的动作，因此能够在使机械臂10的前端的高度(垂直方向的位置)几乎不变(几乎保持一定)的状态下移动手91。因此，能够将单元5的高度(垂直方向的长度)L设置为低于目前的高度(参照图2)。具体地，例如能够将单元5的高度L设置为目前的高度的80％以下。由此，能够降低顶面531，因此能够降低机器人1的重心的位置。因此，能够减轻因机器人1的动作而产生的振动。

具体地，优选高度L在1,700mm以下，更优选在1,000mm以上1,650mm以下。如果在上述上限值以下，则能够进一步抑制单元5内机器人1动作时的振动的影响。此外，如果在上述下限值以上，则例如能够避免机器人1干扰作业面551。此外，上述高度L是指单元5(包括足部54)的平均高度。

此外，如果像目前的机器人那样，单纯地通过使第一臂12绕第一转动轴O1转动来执行使上述机器人1的手91(机械臂10的前端)绕第一转动轴O1移动到相差180°的位置的动作，则机器人1有可能干扰单元5或周边装置，因此有必要对机器人1示教用于避免该干扰的退避点。例如，在仅使第一臂12绕第一转动轴O1旋转90°时机器人1干扰单元5的支柱51等的情况下，有必要通过也使其他臂转动，示教退避点以不干扰支柱51等。同样地，在机器人1也干扰周边装置的情况下，有必要进一步向机器人1示教退避点以不干扰周边装置。在这种目前的机器人中，有必要示教多个退避点，特别地，在小型单元的情况下，需要大量的退避点，示教需要很多的精力和很长的时间。

与此相对，在机器人1中，在执行使手91绕第一转动轴O1移动到相差180°的位置的动作的情况下，由于有可能产生干扰的区域或部分变得非常少，因此能够减少示教的退避点的数量，能够减少示教所需的精力和时间。即，在机器人1中，例如，示教的退避点的数量变为目前的机器人的1/3左右，示教飞跃性地变得容易。

此外，在上述结构的机器人1中，第三臂14及第四臂15在图6中右侧的双点划线围起来的区域(部分)105是机器人1与机器人1自身及其他部件不产生干扰或难以产生干扰的区域(部分)。因此，在上述区域105中搭载规定的部件的情况下，该部件难以对机器人1及周边装置等产生干扰。因此，在机器人1中，能够在区域105中搭载规定的部件。特别地，在区域105中的第三臂14在图6中的右侧的区域搭载上述规定的部件的情况下，由于该部件对作业部55上配置的周边装置(图中未示出)产生干扰的概率进一步降低，因此更有效果。

作为能够在上述区域105中搭载的部件，例如能够列举控制手、手眼相机等的传感器的驱动的控制装置、吸附装置的电磁阀等。

作为具体例，例如在手上设置吸附机构的情况下，如果在区域105中设置电磁阀等，则在机器人1进行驱动时上述电磁阀不会造成妨碍。如此，区域105的便利性较高。

输送单元

如图1～图5、图12、图13及图14所示，输送单元3具有在X轴方向上延伸的第一输送部(输送部)31、在与第一输送部31延伸的方向正交的方向，即Y轴方向上延伸的第二输送部(输送部)32、在第二输送部32的上方设置的第三输送部(输送部)33、部件供给部34、和驱动输送部31、32、33的驱动部35。此外，在图1～图5、图12、图13及图14中，概略性地示出了输送单元3具有的各部分，省略了相对于各作业部55支撑第一输送部31、第二输送部32及第三输送部33的支撑脚等的图示。此外，在图12及图13中，省略了驱动部35的图示。

如图12所示，在俯视观察时，第一输送部31在机器人1的基台11靠第四侧面部584侧设置。此外，第一输送部31以贯通第一侧面部581及第三侧面部583的方式设置。即，第一输送部31的一部分位于单元5的内部(第一空间S1)，第一输送部31的剩余部分位于单元5的外部。

此外，第一输送部31由传送带等输送装置构成，具有平行的两根带311及两个辊312、313(参照图3、图12)。此外，如图13所示，在带311上部能够配置载置部件41的夹具371，通过带311进行驱动(行驶)，第一输送部31能够将夹具371沿图13中的箭头A1所示的+X轴方向输送。

此外，在第一输送部31的第二输送部32附近，设置有将夹具371在X-Y平面上旋转90°的旋转支撑件315。该旋转支撑件315在将第一输送部31上的夹具371向第二输送部32输送时使用。

如图12所示，在俯视观察时，第二输送部32在机器人1的基台11靠第三侧面部583侧设置。此外，第二输送部32以贯通第二侧面部582的方式设置。即，第二输送部32的一个端部位于单元5的内部(第一空间S1)，第二输送部32的另一个端部位于单元5的外部。此外，第二输送部32以位于单元5内的一个端部接近第一输送部31的方式进行设置。

此外，第二输送部32由传送带等输送装置构成，具有平行的两根带321及两个辊322、323(参照图4、图5及图12)。此外，如图13所示，在带321上部能够配置来自第一输送部31的夹具371，通过带321进行驱动(行驶)，夹具371沿图13中的箭头A2所示的–Y轴方向(从单元5的内部向单元5的外部的方向)被输送。

此外，如图14的(b)所示，第二输送部32相对于作业面551的设置高度L32高于第一输送部31相对于作业面551的设置高度L31。

此外，如图12及图13所示，在第二输送部32的第一输送部31侧的一个端部设置有具有沿X轴方向延伸的部分的杆325。杆325沿X轴方向延伸的部分能够在Y轴方向上移动，用于将第一输送部31上的部件41拉入第二输送部32。

如图12所示，第三输送部33在与第二输送部32延伸的方向相同的方向，即Y轴方向上延伸。该第三输送部33在延伸方向上的长度(Y轴方向的长度)小于第二输送部32在延伸方向上的长度。此外，第二输送部32位于单元5的内部(第一空间S1)。

此外，第三输送部33由传送带等输送装置构成，具有平行的两根带331及两个辊332、333(参照图4、图5及图12)。此外，在带331上部能够配置夹具371，通过带331进行驱动(行驶)，夹具371沿图13中的箭头A3所示的+Y轴方向(从单元5的外部向单元5的内部的方向)被输送。

此外，如图14的(b)所示，第三输送部33相对于作业面551的设置高度L33高于第二输送部32相对于作业面551的设置高度L32。因此，在本实施方式中，第一输送部31、第二输送部32及第三输送部33满足设置高度L31<设置高度L32<设置高度L33的关系。

如图12所示，在俯视观察时，部件供给部34在机器人1的基台11靠第一侧面部581侧设置。该部件供给部34，例如能够载置部件41中组装的部件42等。

如图1所示，驱动部35设置在单元5的第三侧面部583侧的外部。驱动部35，例如具有电机等驱动源351、将驱动源351的动力传递给输送部31、32、33的动力传递机构352。此外，驱动部35通过控制单元7(控制装置71)对其驱动进行控制。

如图1及图3所示，动力传递机构352具有通过驱动源351绕轴(绕Y轴)旋转的传动轴353、与传动轴353连接的第一动力传递部354及第二动力传递部355。

图3所示的第一动力传递部354将传递给传动轴353的动力传递给第一输送部31，使第一输送部31的带311向与传动轴353的旋转方向相同的方向驱动。此外，图1所示的第二动力传递部355将传递给传动轴353的动力传递给第二输送部32及第三输送部33。该第二动力传递部355相对于传动轴353的轴将旋转轴变换90°，对第二输送部32的带321及第三输送部33的带331进行驱动。

通过这样的一个驱动部35，能够对三个输送部31、32、33进行驱动。因此，相比分别为输送部31、32、33设置驱动部的情况，能够减少驱动部的数量，因此能够进一步缩小设置机器人系统100的空间。

此外，在上述输送单元3中，如前所述，输送部31、32、33分别具有在单元5的内部设置的部分。因此，相比输送部31、32、33在单元5的外部设置的情况，能够进一步缩小设置机器人系统100的空间。

此外，如图12所示，优选在俯视观察时沿第一输送部31的延伸方向的中心线A31和机器人1的第一转动轴O1之间的分离距离D31和单元5的宽度W1满足0.1≤D31/W1<0.5的关系，更优选满足0.15≤D31/W1≤0.4的关系，进一步优选满足0.2≤D31/W1≤0.3的关系。由此，能够将第一输送部31的大部分收容在单元5内，同时能够充分地确保单元5内用于设置除了第一输送部31之外的第二输送部32及第三输送部33的空间。

具体地，优选分离距离D31在0mm以上300mm以下，更优选在100mm以上200mm以下。由此，能够显著地发挥上述效果。

定位部

如图12及图13所示，定位部90在第一输送部31的X轴方向的中央部设置。该定位部90用于确定夹具371(部件41)相对于机器人1的位置。

如图14所示，定位部90具有在作业面551上固定的台座901、在台座901上设置的平板状的支撑部902、在支撑部902上设置的两个定位销903。

如图14的(a)所示，在俯视观察时，支撑部902被设置在位于第一输送部31的两根带311之间。此外，两个定位销903相互分离地在X轴方向上并排设置。该两个定位销903被构成为通过后述的控制单元7(控制装置71)向垂直上方突出，或者相反地向垂直下方退避(退避到支撑部902内)。另一方面，在夹具371中形成有与定位销903相对应的在垂直方向上贯通的孔372。此外，如图14的(b)所示，在通过第一输送部31使夹具371在定位部90上输送时，根据控制单元7(控制装置71)的指令，第一输送部31的输送停止，定位部90的定位销903突出以插入夹具371具有的孔372。由此，夹具371在定位部90上停止，相对于机器人1的位置被确定。

此外，也可以被构成为与定位销903同时，支撑部902向垂直上方(+Z轴方向)移动，也可以被构成为通过支撑部902向垂直上方移动，夹具371上升到第一输送部31的上方。

这里，例如在定位部90在单元5的外部设置的情况下，需要进行设置单元5以使机器人1位于相对于定位部90的合适的位置的作业。与此相对，在本实施方式中，由于通过定位部90在单元5的内部设置，定位部90和机器人1的相对位置被固定，因此能够省略上述作业。因此，能够容易地进行单元5的移设。

此外，由于定位部90在单元5的内部设置，因此相比定位部90在单元5的外部设置的情况，能够进一步缩小机器人系统100。

摄像部

如图13所示，在作业面551上设置有两个摄像部36。在俯视观察时，摄像部36在定位部90的+Y轴侧和–Y轴侧设置。此外，两个摄像部36相对于第一输送部31的输送方向分离设置。

两个摄像部36分别具有电子照相机361和棱镜362。电子照相机361面向上方进行配置。在该电子照相机361的上方，配置有棱镜362。此外，棱镜362对来自部件42的反射光进行折射，使反射光朝向电子照相机361的方向。

这里，在作为被摄体的部件41和摄像部36之间，有必要确保规定长度的光路长度，但如果是上述结构的摄像部36，即使在Y轴方向上的长度较小的情况下，也能够设置摄像部36。

这种摄像部36被用于确认(检查)定位部90上载置的夹具371上的部件41中是否正确地组装了部件42。此外，摄像部36也被用于检测夹具371相对于定位部90的位置，并基于该检测结果，通过控制装置71控制定位部90的驱动。此外，也被用于检测手91相对于定位部90的位置，并基于该检测结果，通过控制装置71控制手91的位置。

此外，由于将两个摄像部36设置在定位部90的附近，因此在通过第一输送部31输送部件41期间，能够进行上述检查。因此，能够进一步缩短节拍时间。

此外，在本实施方式中，摄像部36的数量是两个，但摄像部的数量也可以是一个，也可以是三个以上。

控制单元

如图2～图5所示，控制单元7具有控制机器人系统100具有的各部分的控制装置71、为单元5内设置的照明(图中未示出)供给电源的两个照明用电源装置74、为除了上述照明之外的机器人系统100的各部分供给电源的电源装置72、不间断电源装置(UPS)73、向控制装置71发出指令的计算机75、与控制单元7的各装置连接的布线单元(电气装置)76。

控制装置71在底部52上设置，位于第二空间S2中靠第一侧面部581侧。电源装置72在底部52上设置，位于第二空间S2中靠第三侧面部583侧。不间断电源装置73设置在底部52上，并且设置在控制装置71和电源装置72之间。两个照明用电源装置74在不间断电源装置73上设置。计算机75在控制装置71及照明用电源装置74的上方设置。此外，计算机75以能够收容在从作业部55的背面悬挂的箱状的支撑部80内的方式进行设置。此外，支撑部80的第二侧面部582侧开放，从该开放的第二侧面部582侧能够取出和放入计算机75。

此外，布线单元76安装在作业部55的背面。控制单元7的各装置与该布线单元76电连接，经由布线单元76与间隙56及布线管道59中插入的电缆(布线)连接。

这种控制单元7在作业部55的垂直下方的第二空间S2内设置。因此，由于能够降低单元5的重心，因此能够减轻单元5倾倒的危险。由此，由于能够稳定单元5的姿势，因此能够稳定地进行机器人1的驱动。此外，在本实施方式中，控制单元7具有的各装置收容在单元5的内部，但各装置的至少一部分也可以在单元5的外部设置。但是，通过将各装置收容在单元5的内部，能够更显著地发挥上述效果。

相对于该控制单元7，机器人1在作业面551的垂直上方的第一空间S1中设置。如上所述，通过控制单元7在作业部55的垂直下方设置，能够将单元5设置为低重心，因此能够更稳定地驱动在作业部55的垂直上方设置的机器人1。

在上述控制单元7中，通过控制装置71，除了进行机器人1的控制之外，也对输送部31、32、33、定位部90、驱动部35及两个摄像部36的各驱动进行控制。因此，相比单独设置控制该各部分的装置的情况，能够实现机器人系统100整体的小型化。

这里，如前所述，在第一侧面部581、第三侧面部583及第四侧面部584中面临第二空间S2的部分设置有安全板，与此相对，在第二侧面部582中面临第二空间S2的部分没有设置安全板。因此，控制装置71、电源装置72、不间断电源装置73以及两个照明用电源装置74能够分别从单元5的第二侧面部582侧取出和放入。如此，由于能够从与第一输送部31贯通的第一侧面部581及第三侧面部583不同的第二侧面部582进行各装置的取出和放入，因此，例如在维护各装置时，第一输送部31不会造成妨碍，能够更容易地取出和放入各装置。因此，能够更容易且更迅速地进行维护。

此外，控制单元7具备的各装置的数量并不限于图中示出的数量，而是任意的。例如，在本实施方式中具备两个照明用电源装置74，但照明用电源装置也可以是一个，也可以是三个以上。此外，各装置的配置也并不限于图中示出的配置。此外，连接各装置和机器人1的布线等的配置也并不限于上述说明的结构，而是任意的。

显示操作部

如图1所示，在单元5的第二侧面部582的上部，设置有显示操作部70。显示操作部70通过柔性臂702安装在单元5上。该显示操作部70具有监视器701，通过该监视器701，能够确认机器人系统100具有的各部分的驱动状态等。此外，监视器701为触摸面板，作业者(人类)能够通过显示操作部70对控制单元7进行指示。

此外，显示操作部70也可以在图中示出的地方之外的地方设置。此外，在本实施方式中，显示操作部70是一个，但显示操作部的数量并不限于此，也可以是多个。此外，显示操作部，例如也可以由确认各部分的驱动状态等的监视器以及操作监视器中显示的画面的鼠标等构成。

气体供给部

如图1所示，气体供给部60在顶部53的上部设置。此外，机器人系统100具有在机器人单元50之外设置的图中没有示出的气体供给装置、图3所示气压配管65、连接气体供给装置和气压配管65的配管(图中未示出)、从气压配管65插入间隙56及布线管道59且与气体供给部60连接的配管(图中未示出)。

气体供给部60具有从供给的气体中去除粉尘等，使其变为清洁度(洁净度)高的气体(清洁的气体)的空气过滤器62和在空气过滤器62的上游设置的风扇63。

在该气体供给部60中，从气体供给装置经由气压配管65供给的气体被风扇63送风，被风扇63送风的气体通过空气过滤器62，变成清洁度高的气体。此外，气体供给部60被构成为在顶部53中设置，将来自气体供给部60的清洁度高的气体向垂直下方送风。因此，由于第一空间S1内的空气中的尘埃等能够通过排出部(图中未示出)有效地排出到外部，因此能够进一步提高第一空间S1内的清洁度。

此外，作为第一空间S1内的清洁度，并不特别限定，但优选清洁度高于美国联邦标准(FED-STD-209)规定的等级10000。

此外，在上述说明中，气体供给部60在顶部53的上部设置，但气体供给部的配置并不限于此，例如也可以在第一空间S1内设置。

以上，对构成机器人系统100的各部分进行了说明。

下面，参照图13，对机器人系统100中作业的一例进行说明。

这里，对以下作业进行说明：通过机器人1在部件41中组装部件42，在确认(检查)是否正确地进行了该组装后，在没有正确地进行组装的情况下，再次进行部件42的组装。

首先，第一输送部31将夹具371上载置的部件41沿图13中的箭头A1方向(+X轴方向)输送，在定位部90上载置。

然后，机器人1使机械臂10转动，通过手91把持部件供给部34上载置的部件42，将该把持的部件42输送到部件41并进行配置。

然后，通过摄像部36检查部件41中是否正确地组装了部件42。然后，在判断为没有正确地组装(不合格)的情况下，第一输送部31将夹具371从定位部90输送到旋转支撑件315。然后，旋转支撑件315将夹具371在X-Y平面内旋转90°。然后，杆325将夹具371从第一输送部31拉入第二输送部32。由此，部件41被输送到第二输送部32。此外，在部件41中正确地组装了部件42(合格)的情况下，第一输送部31将部件41向图13中的箭头A1方向输送，输送到单元5的外部。

然后，第二输送部32将不合格的部件41向图13中的箭头A2方向(–Y轴方向)输送，排出到单元5的外部。如此，第二输送部32能够作为排出不合格的部件41的输送部灵活应用。

然后，对于排出的部件41，例如作业者(人类)再次组装部件42。之后，作业者将变为合格的部件41在第三输送部33上载置。如此，第三输送部33能够作为输送变为合格的部件41的输送部灵活应用。

然后，第三输送部33将部件41向图13中的箭头A3方向(+Y轴方向)输送，输送到第三输送部33的第一输送部31侧。然后，机器人1使机械臂10转动，通过手91把持第三输送部33上载置的部件41，将该把持的部件41输送到第一输送部31并进行配置。此外，第一输送部31将部件41向图13中的箭头A1方向输送，输送到单元5的外部。

以上，对使用机器人系统100的作业的一例进行了说明。

这里，如前所述，除了机器人1之外，机器人系统100还具有输送部31、32、33。因此，在上述作业中，在通过输送部31、32、33输送部件的过程中，机器人1能够进行其他作业。由此，相比没有输送部31、32、33的情况，能够缩短机器人系统100整体的生产节拍时间。

此外，通过具有输送方向与第一输送部31不同的第二输送部32及第三输送部33，能够将不合格的部件41向与合格的部件41不同的方向输送。因此，在产生不合格的部件41的情况下，无需停止第一输送部31的驱动，能够随时继续输送下一个部件41。因此，能够缩短机器人系统100整体的生产节拍时间。

此外，如前所述，输送部31、32、33满足设置高度L31<设置高度L32<设置高度L33的关系。因此，能够更容易地将部件41从第一输送部31输送到第二输送部32。此外，通过机器人1，能够更容易地将部件41从第三输送部33输送到第一输送部31。因此，能够进一步缩短节拍时间。

此外，上述机器人系统100的作业只是一例而已，机器人系统100能够进行除了上述作业之外的各种作业。此外，例如，在上述说明中，对于排出的部件41，作业者再次进行了组装部件42，将组装了部件42的部件41在第三输送部33上载置的作业，但该作业也可以不由作业者而由机器人1进行。即，例如机器人1也可以通过第三输送部33再次在不合格的部件41中组装部件42，将变为合格的部件41输送到第一输送部31。此外，之后也可以通过定位部90进行再次变为合格的部件41的检查。

第二实施方式

图15是示出本发明的机器人系统的第二实施方式的图。此外，在图15中，省略了气体供给部及显示操作部的图示。

下面，参照该图对第二实施方式进行说明，但会以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，省略对相同事项的说明。

在本实施方式的机器人系统中，具有变更机构这一点与上述第一实施方式不同。

图15所示的机器人系统100具有变更机器人1相对于单元5的设置高度的变更机构40。变更机构40具有在单元5的顶部53和安装板57之间设置的两个衬垫411。通过安装该衬垫411，能够变更基台11和单元5的分离距离D40。由此，例如在希望变更各输送部31、32、33的高度的情况下，能够通过安装与该变更的高度相应的衬垫411来应对。因此，可以不用重新设计单元5整体的结构。

此外，将衬垫411安装到顶部53的方法并不特别限定，例如可以采用通过多根螺栓进行的安装方法等。此外，衬垫411的数量、配置、形状并不限于图中示出的情况。例如，衬垫411的数量既可以是一个，也可以是三个以上。此外，例如衬垫411也可以沿垂直方向重叠多个。此外，例如在俯视观察时，衬垫411也可以是呈四边形的框体。此外，例如变更机构40并不限于具有衬垫411的结构，例如也可以是具备支撑安装板57的支撑件(图中未示出)和使支撑件沿垂直方向移动的移动机构(图中未示出)的结构。

根据这种第二实施方式，也可以取得与上述第一实施方式相同的效果。

第三实施方式

图16是示出本发明的机器人系统的第三实施方式的图。此外，图16的(a)是主视图，图16的(b)是仰视图。

下面，参照该图对第三实施方式进行说明，但会以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，省略对相同事项的说明。

在本实施方式的机器人系统中，以能够具备砝码的方式构成这一点与上述第一实施方式不同。

在图16的(a)所示的机器人系统100中，在单元5的底部52的下方，安装有从底部52的背面悬挂的箱状的支撑部22。此外，该支撑部22的第二侧面部582侧开放。此外，从该支撑部22的开放的第二侧面部582侧，能够在支撑部22内取出和放入砝码20。

通过能够在底部52的下方设置这种砝码20，在设置了砝码20的情况下，能够进一步降低单元5的重心。因此，能够进一步减轻单元5倾倒的危险。特别地，例如在机器人1以高速度进行驱动的情况下，由于单元5的上部更容易振动，因此优选设置砝码20。另一方面，例如在机器人1以低速度进行驱动的情况下，由于在支撑部22内不设置砝码20能够使单元5整体变轻，因此容易使单元5移动。

此外，根据支撑部22，砝码20也可以不安装在底部52的下方，例如也可以直接安装在底部52的背面。此外，设置砝码20的区域只要是图16的(b)的双点划线所示的区域即可。

根据这种第三实施方式，也能够取得与上述第一实施方式相同的效果。

第四实施方式

图17是示出本发明的机器人系统的第四实施方式的图。图18是示出图17所示的机器人系统具有的连接板(连接部)的图。图19是用于说明图17所示的机器人系统具有的两个第一输送部的连接的图。图20是示出图19所示的两个第一输送部的连接的其他示例的图。此外，在图18中，省略了气体供给部的图示。

下面，参照这些图对第四实施方式进行说明，但会以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，省略对相同事项的说明。

在本实施方式的机器人系统中，主要是具有两个机器人单元这一点与上述第一实施方式不同。

图17所示的机器人系统100具有：机器人(第一机器人)1a；机器人单元50a，设置有机器人1a，具有能够移动的单元(第一单元)5a；机器人(第二机器人)1b；机器人单元50b，设置有机器人1b，具有能够移动的单元(第二单元)5b。此外，机器人单元50a与第一实施方式中的机器人单元50是相同的结构。此外，机器人单元50b，除了没有驱动源这一点之外，与第一实施方式中的机器人单元50是相同的结构。此外，在机器人单元50a、50b中，与第一实施方式中的机器人单元50相同，分别设置有输送单元3、定位部90、摄像部36、控制单元7、显示操作部70、气体供给部60。

此外，如图18所示，单元5a和单元5b通过连接板(连接部)83连接。连接板83将单元5a的顶部53的上表面和单元5b的顶部53的上表面连接。此外，作为连接板83相对于单元5a、5b的安装方法，并不特别限定，例如能够采用通过多根螺栓进行的安装方法等。

这里，在分别单独设置机器人单元50a、50b时，单元5a的上部及单元5b的上部容易振动。因此，如前所述，通过使用连接板83连接单元5a及单元5b，将单元5a及单元5b一体化。由此，单元5a及单元5b的总设置面积，即俯视观察时单元5a及单元5b的面积变大。因此，能够减小相对于单元5a及单元5b的各高度(Z轴方向的长度)的总设置面积(纵横比)。因此，由于能够更稳定地设置单元5a及单元5b，因此能够更稳定地驱动各个机器人1a及机器人1b。

此外，如图19的(a)及图19的(b)所示，单元5a的第一输送部31具有的辊313和单元5b的第一输送部31具有的辊312通过连接带(连接机构)85连接。由此，两个第一输送部31被连接。此外，连接带85与张紧轮86圧接。

此外，单元5b中没有设置驱动源，单元5b的第一输送部31经由连接带85，通过单元5a中设置的驱动源351进行驱动。此外，与第一实施方式相同，单元5b中设置有动力传递机构352(参照图1)，传递给第一输送部31的动力，通过动力传递机构352传递给第二输送部32及第三输送部33。因此，通过单元5a中设置的驱动源351，单元5b中设置的第二输送部32及第三输送部33也被驱动。

如此，连接带85作为将单元5a中设置的驱动源351的动力传递给单元5b的输送部31、32、33的动力传递部发挥功能。因此，即使单元5b没有驱动源，也能够驱动单元5b中设置的输送部31、32、33，因此能够减少机器人系统100整体的驱动源的数量。因此，能够使机器人系统100整体更小型。

此外，在本实施方式中，如图19所示，各第一输送部31通过连接带85连接，例如也可以通过图的20(a)及图20的(b)所示的连接机构87连接两个第一输送部31。如图20所示，连接机构87具有：齿轮871，安装在单元5a的第一输送部31具有的辊313上；齿轮872，安装在单元5b的第一输送部31具有的辊312上；齿轮873，与两个齿轮871、872啮合。通过该连接机构87，两个第一输送部31被连接。此外，该连接机构87也作为将上述的单元5a中设置的驱动源351的动力传递给单元5b的输送部31、32、33的动力传递部发挥功能。

此外，通过两个第一输送部31被连接，例如能够将部件从单元5a输送到单元5b。此外，反之也可以将部件从单元5b输送到单元5a。如此，由于能够通过各第一输送部31输送部件，因此在该输送的过程中，机器人1a及机器人1b能够分别进行其他作业。因此，能够缩短生产节拍时间。

此外，机器人1a在单元5a内动作，并且机器人1b在单元5b内动作。这里，例如如果机器人1a能够在单元5b内移动，则在单元5b内发生故障进行维护时，有必要停止机器人1a及机器人1b。与此相对，通过机器人1a在单元5a内动作，并且机器人1b能够在单元5b内动作，能够在不停止机器人1a的驱动的情况下，进行单元5b内的维护。因此，能够减轻机器人系统100整体的生产能力的低下。

此外，在本实施方式中，如前所述，机器人1a在单元5a内动作，但也可以使机械臂10的前端向单元5a的外部移动。由此，例如机器人1a通过使机械臂10的前端向单元5b内移动，能够通过手91将部件输送到单元5b内。如此，由于能够使机器人1a具有的机械臂10的前端向单元5a的外部移动，因此机器人1a的作业范围变广，能够通过机器人1a进行更多的作业。此外，同样地，机器人1b也可以使机械臂10的前端向单元5b的外部移动，通过手91将部件输送到单元5a内。

此外，虽然图中没有示出，但通过与单元5a相邻地设置作业台，机器人1a能够把持作业台上的部件并输送到单元5a内。此外，对于机器人1b也同样。如此，在希望扩大机器人1a、1b的各作业范围的情况下，只要与单元5a、5b相邻地设置作业台等即可。

此外，在本实施方式中，单元5a和单元5b互相抵接，它们也可以不抵接，而以分离的状态连接。在这种情况下，例如也可以在单元5a和单元5b之间设置作业台(图中未示出)。

此外，在本实施方式中，机器人单元50b没有驱动源，但机器人单元50b也可以具有驱动源。在这种情况下，也可以通过连接两个第一输送部31，通过单元5a中设置的驱动源351对单元5a、5b内的各输送部31、32、33进行驱动。如此，即使机器人单元50b具有驱动源，通过连接两个第一输送部31，也能够提高连接带来的减振效果。

根据这种第四实施方式，也能够取得与上述第一实施方式相同的效果。

以上，基于图中示出的实施方式对本发明的机器人系统及机器人进行了说明，但本发明并不限于此，各部分的结构能够替换为具有相同功能的任意的结构。此外，也可以附加其他任意的构成物。此外，本发明也可以组合上述各实施方式中的任意两种以上的结构(特征)。

此外，在上述实施方式中，机器人具有的机械臂的转动轴的数量是六个，但在本发明中，并不限于此，机械臂的转动轴的数量，例如也可以是两个、三个、四个、五个或七个以上。此外，在上述实施方式中，机器人具有的臂的数量是六个，但在本发明中，并不限于此，机器人具有的臂的数量，例如也可以是两个、三个、四个、五个或七个以上。

此外，在上述实施方式中，机器人具有的机械臂的数量是一个，但在本发明中，并不限于此，机器人具有的机械臂的数量，例如也可以是两个以上。即，例如机器人也可以是双臂机器人等多臂机器人。

此外，在上述实施方式中，对一个单元内具有一个机器人的方式进行了说明，但在一个单元内配置的机器人的数量并不限于此，也可以是两个以上。

此外，在上述实施方式中，作为固定机器人的基台的地方的安装面，列举了上框的上表面，即顶面，但安装面并不限于此。例如，安装面也可以是上框的下表面、框体、柱部、作业面等。

此外，在上述实施方式中，单元具有足，但也可以没有足。在这种情况下，位于作业台的下端的底板也可以直接在设置空间中设置。

此外，在上述实施方式中，通过第一输送部将部件(对象物)输送到了定位部，例如也可以由机器人将部件(对象物)输送到定位部。

此外，在上述实施方式中，关于第n转动轴、第n臂、第(n+1)转动轴、第(n+1)臂的条件(关系)，对n为1的情况下，即第一转动轴、第一臂、第二转动轴、第二臂中满足该条件的情况进行了说明，但在本发明中，并不限于此，n是1以上的整数，在n是1以上的任意整数时，只要满足与上述n为1的情况下相同的条件即可。因此，例如在n为2的情况下，即第二转动轴、第二臂、第三转动轴、第三臂满足与上述n为1的情况下相同的条件也可以，此外，在n为3的情况下，即第三转动轴、第三臂、第四转动轴、第四臂满足与上述n为1的情况下相同的条件也可以，此外，在n为4的情况下，即第四转动轴、第四臂、第五转动轴、第五臂满足与上述n为1的情况下相同的条件也可以，此外，在n为5的情况下，即第五转动轴、第五臂、第六转动轴、第六臂满足与上述n为1的情况下相同的条件也可以。

此外，在上述实施方式中，以垂直多关节机器人为例进行了说明，但本发明的机器人系统具有的机器人并不限于此，例如也可以是水平多关节机器人等任意结构的机器人(第一机器人)。作为水平多关节机器人，例如可以列举具有基台、与基台连接，在水平方向上延伸的第一臂(第n臂)、与第一臂连接，具有在水平方向上延伸的部分的第二臂(第(n+1)臂)的结构。由于这种水平多关节机器人比较小型，能够进一步缩小配置机器人的区域，因此为优选。

此外，在上述实施方式中，第一输送部(输送部)31、第二输送部(输送部)32、第三输送部(输送部)33分别由具有两个辊和两个带的传送带构成，但各输送部的结构并不限于此。例如，带的数量既可以是一个，也可以是三个以上。此外，例如也可以是单轴模块。

此外，在上述实施方式中，作为定位部的一例，列举了具备销的结构，但定位部的结构并不限于此。例如，定位部也可以是具备卡盘机构，通过卡盘机构从两侧把持夹具或部件等的结构等。

Claims

1.一种机器人系统，具备：

第一机器人；

第一单元，设置有所述第一机器人，能够移动；

定位部，设置在所述第一单元的内部，对对象物进行定位。

2.根据权利要求1所述的机器人系统，其特征在于，

具备将所述对象物输送到所述定位部的第一输送部。

3.根据权利要求2所述的机器人系统，其特征在于，

具备输送所述对象物的第二输送部，

所述第二输送部与所述第一输送部在输送所述对象物的输送方向上不同。

4.根据权利要求3所述的机器人系统，其特征在于，

具备驱动所述第一输送部和所述第二输送部的驱动部。

5.根据权利要求3或4所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一输送部和所述第二输送部分别具有在所述第一单元的内部设置的部分。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

具备输送所述对象物的第三输送部，

所述第三输送部与所述第二输送部在输送所述对象物的输送方向上不同。

7.根据权利要求6所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一输送部、所述第二输送部及所述第三输送部分别具有在所述第一单元的内部设置的部分，

在所述第一单元内，所述第三输送部的设置高度高于所述第二输送部的设置高度，

在所述第一单元内，所述第二输送部的设置高度高于所述第一输送部的设置高度。

8.根据权利要求2至7中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

具备：

第二机器人，在所述第一输送部中载置所述对象物；

第二单元，设置有所述第二机器人，

所述第一机器人在所述第一单元内动作，

所述第二机器人在所述第二单元内动作。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一机器人具有：

第n臂，能够绕第n转动轴转动，其中n是1以上的整数；

第(n+1)臂，在所述第n臂中以能够绕具有与所述第n转动轴的轴方向不同的轴方向的轴，即第(n+1)转动轴转动的方式设置。

10.根据权利要求9所述的机器人系统，其特征在于，

所述第n臂的长度大于所述第(n+1)臂的长度，

从所述第(n+1)转动轴的轴方向观察，所述第n臂和所述第(n+1)臂能够重叠。

11.根据权利要求9或10所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一机器人具备在所述第一单元中设置的基台，

所述第n臂设置在所述基台上。

12.根据权利要求1至8中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一机器人具有：

基台，设置在所述第一单元中；

第n臂，在所述基台上设置，能够绕第n转动轴转动，其中，n是1以上的整数；

第(n+1)臂，以能够绕具有与所述第n转动轴的轴方向平行的轴方向的轴，即第(n+1)转动轴转动的方式设置。

13.根据权利要求11或12所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一机器人以所述基台与所述第n臂的连接部分位于所述第n臂与所述第(n+1)臂的连接部分的垂直上方的方式设置。

14.根据权利要求11至13中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一单元具有顶部，

所述基台设置在所述顶部。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

具有变更机构，能够变更所述第一机器人相对于所述第一单元的设置高度。

16.根据权利要求15所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一机器人具有安装在所述第一单元中的基台和与所述基台连接的第n臂，其中n为1，

所述变更机构具有变更所述基台与所述第一单元的分离距离的衬垫。

17.根据权利要求1至16中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

设置有气体供给部，设置在所述第一单元中，供给清洁的气体。

18.根据权利要求17所述的机器人系统，其特征在于，

所述气体从所述气体供给部向垂直下方流动。

19.根据权利要求17或18所述的机器人系统，其特征在于，

所述气体供给部具有过滤器。

20.一种机器人，其特征在于，

是在能够移动的单元中设置的机器人，

对对象物进行定位的定位部位于所述单元的内部，对通过所述定位部定位的所述对象物进行作业。