CN105084000A - 一种玻璃放置和取出方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种玻璃放置和取出方法。本发明的玻璃放置和取出方法均通过一种新的玻璃承载装置来实施的，该玻璃承载装置，包括：基座、气浮机构、可上下移动的玻璃承载台，所述玻璃承台具有一用于放置玻璃基板的放置面；所述气浮机构固定在所述基座上，所述气浮机构包括：内部镂空的气浮机构本体、设置在所述气浮机构本体内且用于产生气流的气流生成模块、以及设置在所述气浮机构本体上表面且与所述气浮机构本体连通的吹气管；所述玻璃承载台位于所述气浮机构上方，且设有与所述吹气管对应的吹气孔，所述吹气管通过对应的所述吹气孔；通过该玻璃承载装置取放玻璃基板可以避免玻璃基板材质劣化，提高产品良率，降低成本。

Description

一种玻璃放置和取出方法

【技术领域】

本发明涉及液晶显示器技术领域，特别是涉及一种玻璃放置和取出方法。

【背景技术】

TFT-LCD(薄膜电晶体液晶显示)面板生产过程中，玻璃基板在传送到制程腔室需要采用取放片动作，传统做法支撑杆上下移动，使得玻璃与承载台分离贴合。此种做法由于支撑杆与玻璃接触，在支撑杆与玻璃一起上下移动时会产生加速度，玻璃会受到比自身重力还大的作用力，导致受力点玻璃材质劣化，甚至损坏，进而在后续薄化过程中会产生不良，如dimple(浅凹)。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种玻璃放置和取出方法，以解决在现有玻璃取放过程中玻璃材质会出现劣化的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种玻璃放置方法，所述玻璃放置方法采用玻璃承载装置实施，其中，所述玻璃承载装置包括：基座、气浮机构、可上下移动的玻璃承载台，所述玻璃承台具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述气浮机构固定在所述基座上，所述气浮机构包括：内部镂空的气浮机构本体、设置在所述气浮机构本体内且用于产生气流的气流生成模块、以及设置在所述气浮机构本体上表面且与所述气浮机构本体连通的吹气管；

所述玻璃承载台位于所述气浮机构上方，且设有与所述吹气管对应的吹气孔，所述吹气管通过对应的所述吹气孔；

所述玻璃放置方法，包括如下步骤：

机械手臂抓取玻璃基板，并通过移动将所述玻璃基板送到所述吹气管上方；

所述气浮机构中气流生成模块开始产生气流，通过所述吹气管对所述玻璃吹气；

所述机械手臂松开所述玻璃基板，以使得所述玻璃基板处于悬浮状态；

所述玻璃承载台沿着所述吹气管向上移动直至与处于悬浮状态的所述玻璃基板接触；

在所述玻璃承载台接触到所述玻璃之后，所述气浮机构中气流生成模块停止产生气流，以使得所述玻璃基板放置在所述玻璃承载台的所述放置面上。

在本发明的玻璃放置方法中，所述基座的四周设有多个可移动的限位杆；

在所述机械手臂松开所述玻璃基板的同时或者之后，所述玻璃承载台向上移动之前，所述玻璃放置方法还包括：所述限位杆向内移动贴近所述玻璃基板，以限定所述玻璃基板的位置。

在本发明的玻璃放置方法中，所述玻璃承载台包括：玻璃承载台本体和用于控制所述玻璃承载台本体上下移动的驱动模块；；所述玻璃承载台本体具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述玻璃承载台沿着所述吹气管向上移动直至与处于悬浮状态的所述玻璃基板接触的步骤包括：

所述驱动模块控制所述玻璃承载台本体沿着所述吹气管向上移动直至所述放置面与处于悬浮状态的所述玻璃基板接触。

在本发明的玻璃放置方法中，所述玻璃承载台本体内部镂空，且所述玻璃承载台本体内部设有抽气模块；所述放置面上设有吸附孔；

在所述气流生成模块停止产生气流之后，所述玻璃放置方法还包括：

抽气模块对所述吸附孔抽气使吸附孔形成负压，进而使得所述玻璃基板紧贴所述放置面。

在本发明的玻璃放置方法中，所述驱动模块包括：电动马达和表面设有第一螺纹的旋转轴；所述电动马达一端与所述玻璃承载台本体下表面固定，所述电动马达的另一端与所述旋转轴连接，以带动所述旋转轴旋转；所述气浮机构本体上设有与所述旋转轴配合的旋转孔，所述旋转孔内侧设有与所述第一螺纹吻合的第二螺纹。

在本发明的玻璃放置方法中，所述玻璃承载台的下表面设有伸缩杆，所述气浮机构本体设有与所述伸缩杆连接的伸缩孔。

在本发明的玻璃放置方法中，所述吹气管的顶端设有保护层，以使所述玻璃基板不被所述顶端刮伤。

同样为了解决上述的技术问题，本发明还提供了一种玻璃取出方法，所述玻璃取出方法采用玻璃承载装置实施，其中，所述玻璃承载装置包括：基座、气浮机构、可上下移动的玻璃承载台，所述玻璃承台具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述气浮机构固定在所述基座上，所述气浮机构包括：内部镂空的气浮机构本体、设置在所述气浮机构本体内且用于产生气流的气流生成模块、以及设置在所述气浮机构本体上表面且与所述气浮机构本体连通的吹气管；

所述玻璃承载台位于所述气浮机构上方，且设有与所述吹气管对应的吹气孔，所述吹气管通过对应的所述吹气孔；

所述玻璃取出方法包括如下步骤：

在玻璃基板完成制程后，所述气流生成模块开始产生气流，并通过所述吹气管对所述放置面上的所述玻璃基板吹气，以使得所述玻璃基板处于悬浮状态；

所述玻璃承载台向下移动，以使得所述玻璃基板与所述放置面分离；

机械手臂移动至所述吹气管上方，并抓住所述玻璃基板；

在所述机械手臂抓取所述玻璃基板之后，所述气流生成模块停止产生气流，所述机械手臂通过移动将所述玻璃基板取出。

在本发明的玻璃取出方法中，所述基座的四周设有多个可移动的限位杆；

在所述机械手臂抓取所述玻璃基板之后，所述气流生成模块停止产生气流之前，所述玻璃取出方法，还包括：限位杆由内向外移动。

在本发明的玻璃取出方法中，所述玻璃承载台包括：玻璃承载台本体和用于控制所述玻璃承载台本体上下移动的驱动模块；所述玻璃承载台本体具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述玻璃承载台本体内部镂空，且所述玻璃承载台本体内部设有抽气模块；所述放置面上设有吸附孔；

所述玻璃承载台向下移动的步骤包括：

所述驱动模块控制所述玻璃承载台本体向下移动。

本发明提供了一种玻璃放置和取出方法；本发明的玻璃放置和取出方法均利用一种新的玻璃承载装置来实施的；采用该玻璃承载装置放置玻璃基板的过程为，在机械手臂将玻璃基板放置在气浮机构上后，气浮机构对玻璃基板吹气使其处于悬浮状态，然后再将玻璃承载台向上移动使其与玻璃基板接触；可见采用该玻璃承载装置放置玻璃基板时，吹气管与玻璃基板是不接触的，且玻璃承载台向上移动来放置玻璃基板；可以避免玻璃基板与吹气管(或者支撑杆)接触且一起向上移动导致的玻璃基板材质劣化的问题，同时由于玻璃承载台的放置面是主动向上移动与玻璃基板接触，可以使得整个玻璃基板面同时与放置面接触，即面与面同时接触，避免了玻璃面上的点先后与放置面接触导致玻璃基板损伤的问题；另外，由于在放置前需要对玻璃基板吹气使其处于悬浮状态，这样可以方便机械手臂对玻璃基板进行操作；本发明的玻璃放置方法与现有技术相比，可以避免玻璃基板材质的劣化，进而避免了在后续薄化过程中会产生不良。

本发明的玻璃取出方法也是利用上述的玻璃承载装置来实施的；采用该玻璃承载装置取出玻璃基板的过程为：在玻璃基板制程结束之后气浮机构对放置在玻璃承载平台上的玻璃基板吹气使其处于悬浮状态，然后玻璃承载平台向下移动与玻璃基板分离，最后机械臂将玻璃基板取出；可见采用该玻璃承载装置取玻璃基板时，吹气管与玻璃基板是不接触的，且玻璃承载台向下移动主动与玻璃基板分离；避免了玻璃基板与吹气管(或者支撑杆)接触且一起向下移动导致的玻璃基板材质劣化的问题；另外，玻璃承载台主动向下移动给机械手臂预留出了足够的操作空间，可以使得机械手臂方便地抓住并且取出玻璃基板；本发明的玻璃取出方法与现有技术相比，可以避免玻璃基板材质的劣化，进而避免了在后续薄化过程中会产生不良。

【附图说明】

图1为本发明实施例提供的一种玻璃承载装置的结构示意图；

图2为图1所示的玻璃承载装置的侧面示意图；

图3为本发明实施例提供的一种气浮机构的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种玻璃承载台的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种基座和限位杆的结构示意图；

图6为图5中A部分的局部放大示意图；

图7为本发明实施例提供的一种玻璃承载台的侧面示意图；

图8为本发明实施例提供的一种利用玻璃承载台放置玻璃基板的示意图；

图9为本发明实施例提供的另一种利用玻璃承载台放置玻璃基板的示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

参考图1-7，本实施例提供了一种玻璃承载装置，包括：基座101、气浮机构102、可上下移动的玻璃承载台103，所述玻璃承台具有一用于放置玻璃基板的放置面1031；

所述气浮机构102固定在所述基座101上，所述气浮机构102包括：内部镂空的气浮机构本体1021、设置在所述气浮机构本体1021内且用于产生气流的气流生成模块(图中未示出)、以及设置在所述气浮机构本体1021上表面且与所述气浮机构本体连通的吹气管1022，参考图2和3；

所述玻璃承载台103位于所述气浮机构102上方，且设有与所述吹气管1022对应的吹气孔1032，所述吹气管1022通过对应的所述吹气孔1032，参考图4；

为了能够控制玻璃基板在悬浮状态时的偏移或滑落，即限制玻璃基板悬浮的位置；本实施例中所述基座101的四周设有多个可移动的限位杆104(本实施例以四个限位杆为例)；在限位时限位杆104向内滑动贴近玻璃基板，不限位时限位杆104由内向外移动远离玻璃基板，参考图1和2；具体地，如图5所示，在基座101的四个边分别设有四个限位杆104，其中，参考图6，基座101设有滑动槽1011，限位杆104一端插在滑动槽1011内，且可在滑动槽1011内移动。

本实施例中限位杆的数量可以根据实际需求来设定，限位杆的数量越多限位效果越好。

本实施例中玻璃承载台103可上下移动的实现方式为：设置一个驱动模块来控制玻璃承载台103上下移动。优选地，本实施例中驱动模块可以由电动马达和旋转轴组成。应当理解的是：本实施例中驱动模块不仅限于由电动马达和旋转轴组成，还可以由其他可驱动玻璃承载台上下移动的组件。

如图1、2、3、7，本实施例中玻璃承载台103可以包括：玻璃承载台本体1033、电动马达1034和表面设有第一螺纹的旋转轴1035；所述玻璃承载台本体1033具有一用于放置玻璃基板的放置面1031；所述玻璃承载台本体1033设有与所述吹气管1022对应的吹气孔1032所述电动马达1034一端与所述玻璃承载台本体1033下表面固定，所述电动马达1034的另一端与所述旋转轴1035连接，以带动所述旋转轴1035旋转；

本实施例中所述气浮机构本体1021上设有与所述旋转轴1035配合的旋转孔1023，参考图3，所述旋转孔1023内侧设有与所述第一螺纹吻合的第二螺纹；玻璃承载台本体1033需要向上移动时，电动马达1034带动旋转轴1035旋转，旋转轴1035上的第一螺纹与旋转孔1023中第二螺纹配合使得旋转轴1035向上或向下运动，进而旋转轴1035带动玻璃承载台本体1033向上或向下移动。为了使得玻璃承载台向上或向下可以移动足够的距离，在本实施例中基座101的中间还可以设有螺纹孔1011，该螺纹孔1011与旋转轴1035吻合；旋转轴1035穿过旋转孔1023后，继续与螺纹孔1011配合向下移动。

为能够使玻璃基板紧贴在放置面1031上，本实施例可以采用对孔进行抽气形成的负压的方式来使玻璃基板紧贴在放置面1031上。参考图4，本实施例所述玻璃承载台本体1033内部镂空，且所述玻璃承载台本体1033内部设有抽气模块(图中未示出)；所述放置面1032上设有吸附孔1036；在玻璃承载台本体1033与玻璃基板接触后，抽气模块可以对吸附孔1036抽气，吸附孔1036形成负压，以使得玻璃基板紧贴在放置面1032上。

为了能够抵抗电动马达1034转动带来的旋转力矩，参考图1-4、7，本实施例的玻璃承载台本体1033的下表面设有伸缩杆1037，所述气浮机构本体1021设有与所述伸缩杆1037连接的伸缩孔1024；在马达1034转动时带动玻璃承载台本体133做上下移动。边角上伸缩杆1037用于抵抗马达1034转动带来的旋转力矩，参考图1、2、3和4。

为了防止吹气管1022意外刮伤玻璃基板，本实施例可以在吹气管1022顶端设置保护层，例如设置塑胶保护。

下面结合附图具体介绍利用本实施例玻璃承载装置放置玻璃基板的过程，包括如下步骤：

S101，机械手臂抓取玻璃基板105，并通过移动将所述玻璃基板105送到所述吹气管1022上方。

具体地，机械手臂可以通过吸附力来抓取玻璃基板105，然后机械手臂通过移动将玻璃基板105送到吹气管1022上方。

S102，气浮机构102中气流生产模块开始产生气流，通过吹气管1022对玻璃基板105吹气，且机械手臂松开玻璃基板105，以使得玻璃基板105处于悬浮状态，参考图8。

本实施例中气浮机构102可以通过吹气管1022对玻璃基板105吹气使其处于悬浮状态，为了保证玻璃基板不至于飘动，吹气管的气流量和压力需通过阀门调节，浮力等于玻璃基板重力最佳。

S103，限位杆104向内移动贴近玻璃基板105，以限制玻璃基板105的悬浮位置。

本实施例放置玻璃基板过程中，限位杆移动与机械手臂松开玻璃基板可以同时进行，例如在机械手臂松开吸附力的同时，限位杆向内移动贴近玻璃基板105。

S104，机械手臂退出，电动马达1034带动旋转轴1035转动，旋转轴转动的同时带动玻璃承载台本体1033沿着吹气管1022向上移动直至放置面1031与玻璃基板105接触，参考图9。

S105，在放置面1031与玻璃基板105接触后，气浮机构102中气流生成模块停止产生气流，以使得所述玻璃基板105放置在所述玻璃承载台的所述放置面1031上。

S106，玻璃承载台103中抽气模块对所述吸附孔抽气使吸附孔1036形成负压，进而使得所述玻璃基板105紧贴所述放置面1031。

在将玻璃基板105放置在玻璃承载平台103上之后，玻璃承载装置可以在制程腔室自由移动，以完成扫描或镀覆。

可见采用本实施例玻璃承载装置放置玻璃基板时，吹气管与玻璃基板是不接触的，且玻璃承载台向上移动来放置玻璃基板；可以避免玻璃基板与吹气管(或者支撑杆)接触且一起向上移动导致的玻璃基板材质劣化的问题；

同时由于玻璃承载台的放置面是主动向上移动与玻璃基板接触，可以使得整个玻璃基板面同时与放置面接触，即面与面同时接触，避免了玻璃基板面上的点先后与放置面接触导致玻璃基板损伤的问题；

另外，由于在放置前需要对玻璃基板吹气使其处于悬浮状态，这样可以方便机械手臂对玻璃基板进行操作；本发明的玻璃放置方法与现有技术相比，可以避免玻璃基板材质的劣化，进而避免了在后续薄化过程中会产生不良例如产生dimple，改善良率，降低成本，提高竞争力。

下面具体介绍利用本实施例玻璃承载装置取出玻璃基板的过程，包括如下步骤：

S201，在玻璃基板105完成制程后，气浮机构102中气流生产模块开始产生气流，并通过吹气管1022对放置面1031上的玻璃基板105吹气，破坏吸附孔1036的负压，且使得所述玻璃基板处于悬浮状态。

S202，电动马达1034带动旋转轴1035转动，旋转轴1035转动的同时带动玻璃承载台本体1033沿着吹气管1022向下移动，以使得玻璃承载台本体1033与玻璃基板105分离。

S203，机械手臂伸入值所述吹气管1022上方，并抓住玻璃基板105。具体地，可以通过吸附的方式抓住玻璃基板105。

S204，限位杆104向外移动，同时气浮机构102停止吹气，机械手臂通过移动将玻璃基板105移出。

可见采用本实施例玻璃承载装置取玻璃基板时，吹气管与玻璃基板是不接触的，且玻璃承载台向下移动主动与玻璃基板分离；避免了玻璃基板与吹气管(或者支撑杆)接触且一起向下移动导致的玻璃基板材质劣化的问题；

另外，本实施例中玻璃承载台主动向下移动给机械手臂预留出了足够的操作空间，可以使得机械手臂方便地抓住并且取出玻璃基板；本发明的玻璃基板取出方法与现有技术相比，可以避免玻璃基板材质的劣化，进而避免了在后续薄化过程中会产生不良。

应当理解的是：本实施例玻璃承载装置可以在不设置限位杆的情况下，放置和取出玻璃基板，当然设置限位杆会更方便放置玻璃基板。

应当理解的是：虽然本实施例仅仅介绍了采用带螺纹的旋转轴与带螺纹的旋转孔配合的方式来实现玻璃基板承载台上下移动，但是本实施例中玻璃基板承载台上下移动的实现方式还可以包括其他方式。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种玻璃放置方法，所述玻璃放置方法采用玻璃承载装置实施，其特征在于，所述玻璃承载装置包括：基座、气浮机构、可上下移动的玻璃承载台，所述玻璃承台具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述气浮机构固定在所述基座上，所述气浮机构包括：内部镂空的气浮机构本体、设置在所述气浮机构本体内且用于产生气流的气流生成模块、以及设置在所述气浮机构本体上表面且与所述气浮机构本体连通的吹气管；

所述玻璃承载台位于所述气浮机构上方，且设有与所述吹气管对应的吹气孔，所述吹气管通过对应的所述吹气孔；

所述玻璃放置方法，包括如下步骤：

机械手臂抓取玻璃基板，并通过移动将所述玻璃基板送到所述吹气管上方；

所述气浮机构中气流生成模块开始产生气流，通过所述吹气管对所述玻璃吹气；

所述机械手臂松开所述玻璃基板，以使得所述玻璃基板处于悬浮状态；

所述玻璃承载台沿着所述吹气管向上移动直至与处于悬浮状态的所述玻璃基板接触；

在所述玻璃承载台接触到所述玻璃之后，所述气浮机构中气流生成模块停止产生气流，以使得所述玻璃基板放置在所述玻璃承载台的所述放置面上。

2.如权利要求1所述的玻璃放置方法，其特征在于，所述基座的四周设有多个可移动的限位杆；

在所述机械手臂松开所述玻璃基板的同时或者之后，所述玻璃承载台向上移动之前，所述玻璃放置方法还包括：所述限位杆向内移动贴近所述玻璃基板，以限定所述玻璃基板的位置。

3.如权利要求1或2所述的玻璃放置方法，其特征在于，所述玻璃承载台包括：玻璃承载台本体和用于控制所述玻璃承载台本体上下移动的驱动模块；；所述玻璃承载台本体具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述玻璃承载台沿着所述吹气管向上移动直至与处于悬浮状态的所述玻璃基板接触的步骤包括：

所述驱动模块控制所述玻璃承载台本体沿着所述吹气管向上移动直至所述放置面与处于悬浮状态的所述玻璃基板接触。

4.如权利要求3所述的玻璃放置方法，其特征在于，所述玻璃承载台本体内部镂空，且所述玻璃承载台本体内部设有抽气模块；所述放置面上设有吸附孔；

在所述气流生成模块停止产生气流之后，所述玻璃放置方法还包括：

抽气模块对所述吸附孔抽气使吸附孔形成负压，进而使得所述玻璃基板紧贴所述放置面。

5.如权利要求3所述的玻璃放置方法，其特征在于，所述驱动模块包括：电动马达和表面设有第一螺纹的旋转轴；所述电动马达一端与所述玻璃承载台本体下表面固定，所述电动马达的另一端与所述旋转轴连接，以带动所述旋转轴旋转；所述气浮机构本体上设有与所述旋转轴配合的旋转孔，所述旋转孔内侧设有与所述第一螺纹吻合的第二螺纹。

6.如权利要求5所述的玻璃放置方法，其特征在于，所述玻璃承载台的下表面设有伸缩杆，所述气浮机构本体设有与所述伸缩杆连接的伸缩孔。

7.如权利要求1或2所述的玻璃放置方法，其特征在于，所述吹气管的顶端设有保护层，以使所述玻璃基板不被所述顶端刮伤。

8.一种玻璃取出方法，所述玻璃取出方法采用玻璃承载装置实施，其特征在于，所述玻璃承载装置包括：基座、气浮机构、可上下移动的玻璃承载台，所述玻璃承台具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述气浮机构固定在所述基座上，所述气浮机构包括：内部镂空的气浮机构本体、设置在所述气浮机构本体内且用于产生气流的气流生成模块、以及设置在所述气浮机构本体上表面且与所述气浮机构本体连通的吹气管；

所述玻璃承载台位于所述气浮机构上方，且设有与所述吹气管对应的吹气孔，所述吹气管通过对应的所述吹气孔；

所述玻璃取出方法包括如下步骤：

在玻璃基板完成制程后，所述气流生成模块开始产生气流，并通过所述吹气管对所述放置面上的所述玻璃基板吹气，以使得所述玻璃基板处于悬浮状态；

所述玻璃承载台向下移动，以使得所述玻璃基板与所述放置面分离；

机械手臂移动至所述吹气管上方，并抓住所述玻璃基板；

在所述机械手臂抓取所述玻璃基板之后，所述气流生成模块停止产生气流，所述机械手臂通过移动将所述玻璃基板取出。

9.如权利要求8所述的玻璃取出方法，其特征在于，所述基座的四周设有多个可移动的限位杆；

在所述机械手臂抓取所述玻璃基板之后，所述气流生成模块停止产生气流之前，所述玻璃取出方法，还包括：限位杆由内向外移动。

10.如权利要求8或9所述的玻璃取出方法，其特征在于，所述玻璃承载台包括：玻璃承载台本体和用于控制所述玻璃承载台本体上下移动的驱动模块；所述玻璃承载台本体具有一用于放置玻璃基板的放置面；

所述玻璃承载台本体内部镂空，且所述玻璃承载台本体内部设有抽气模块；所述放置面上设有吸附孔；

所述玻璃承载台向下移动的步骤包括：

所述驱动模块控制所述玻璃承载台本体向下移动。