CN105905615A - 一种用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,该玻璃基板浮起装置包括调整结构、线性传感器和控制模块。所述调整结构用于与气浮条连接,以调整所述气浮条的升降高度;所述线性传感器位于所述气浮条的端部,用于采集所述气浮条的位置信息;所述控制模块分别与所述调整结构和所述线性传感器电连接,用于根据所述线性传感器采集的位置信息,控制所述调整结构调整所述气浮条的升降高度。本申请实现了自动监测气浮条高度以及自动调节气浮条高度,减少了现有技术通过人工调节造成的误差,提高了效率。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃制造设备技术领域,尤其涉及一种用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置。
背景技术
在玻璃基板的生产过程中,对于尺寸较大的玻璃基板在进行搬运时更为脆弱而容易损伤。因此,在玻璃基板运送方式中,传统的搬运技术已无法符合需求。在运行搬运的同时,必须避免缺角、破裂、锁上、污染、剥离带电等问题。因而出现了非接触式搬运技术。
而所谓“非接触式搬运技术”顾名思义就是通过高压空气让倾斜的玻璃能够漂浮。也就是说,玻璃面板在滚轮的带动下,在水平方向进行移动,同时通过高压空气使玻璃几乎呈现平面状态,减缓玻璃所要承受的应力。因此,在非接触式搬运技术中,气浮条就属于其中比较重要的组成部分。
为了保证气浮条对玻璃基板施加的浮力均匀,需要时长对气浮条高度进行检查与调节。现有技术中,气浮条高度的日常检查与调节主要通过人工的方式,难免在检查与调节的过程中产生误差,降低了检查与调节的成功效率。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种新型结构的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,所要解决的技术问题是提供一种对气浮条高度监测与调节精度高效率高的玻璃基板浮起装置。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的:
本发明提供一种用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,该玻璃基板浮起装置包括:
调整结构,所述调整结构用于与气浮条连接,以调整所述气浮条的升降高度;
线性传感器,所述线性传感器位于所述气浮条的端部,用于采集所述气浮条的位置信息;
控制模块,所述控制模块分别与所述调整结构和所述线性传感器电连接,用于根据所述线性传感器采集的位置信息,控制所述调整结构调整所述气浮条的升降高度。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,所述调整结构包括:
驱动模块,所述驱动模块与所述控制模块电连接,所述驱动模块用于提供第一方向的驱动力;
转换模块,所述转换模块分别与所述气浮条和所述驱动模块的动力输出端连接,用于将所述第一方向的驱动力转换成第二方向的驱动力,以调整所述气浮条的升降高度。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,所述驱动模块为伺服电机,相应的,所述转换模块包括:
丝杠,所述丝杠的一端通过联轴器与所述伺服电机的转轴连接,所述丝杠随着所述伺服电机转动;
转动件,所述转动件的一端与所述丝杠活动连接,另一端与所述气浮条固定连接;
当所述丝杠随着所述伺服电机转动时,所述丝杠相对转动件转动,使丝杠螺纹驱动转动件做直线运动,进而使转动件带动所述气浮条做直线运动。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,还包括:
支撑架,所述支撑架包括底座和连接在所述底座上的第一支架;
所述驱动模块设置在所述底座上,所述线性传感器设置在所述第一支架上。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,所述支撑架还包括:
至少一个导向结构,所述导向结构包括第一导向件和与所述第一导向件活动连接的第二导向件;
所述第一导向件设置在所述气浮条上,所述第二导向件设置在所述底座上。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,
所述第一导向件为导向槽,所述第二导向件为导向辊;或者,所述第一导向件为导向辊,所述第二导向件为导向槽。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,所述第一导向件为导向辊,所述第二导向件为导向槽;
所述支撑架还包括第二支架,所述第二支架穿过所述驱动模块的动力输出端与所述导向槽连接。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,还包括:
输入模块,所述输入模块与所述控制模块电连接,用于供用户输入操作信息;
所述控制模块还用于接收所述输入模块输入的操作信息,并根据所述操作信息控制所述调整结构调整所述气浮条的升降高度。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,还包括:
显示模块,所述显示模块分别与所述输入模块和所述线性传感器电连接,用于显示所述操作信息和所述位置信息。
如前所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其中,所述输入模块和所述显示模块组成显示输入装置,所述显示输入装置为触控显示屏。
借由上述技术方案,本发明结构至少具有下列优点:
本发明提供的技术方案通过在气浮条的端部设置线性传感器,通过线性传感器采集气浮条的位置信息;通过控制模块与调整结构和线性传感器电连接,以将线性传感器采集的位置信息进行处理后,控制调整结构调整气浮条的升降高度,从而实现了自动监测气浮条高度以及自动调节气浮条高度,减少了现有技术通过人工调节造成的误差,提高了精度和效率。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
图1为本发明实施例提供的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置的侧视图;
图3为本发明实施例提供的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置的原理图;
图中,1调整结构、2线性传感器、3控制模块、4支撑架、5输入模块、6显示模块、7气浮条、11驱动模块、12转换模块、121丝杠、122转动件、123联轴器、41底座、42第一支架、43导向结构、431第一导向件、432第二导向件、44第二支架。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的技术方案的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
图1为本发明实施例提供的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置的结构示意图;图3为本发明实施例提供的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置的原理图。结合图1、图2和图3所示,本实施例的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置包括:调整结构1,线性传感器2和控制模块3。调整结构1用于与气浮条7连接,以调整气浮条7的升降高度。线性传感器2位于气浮条7的端部,用于采集气浮条7的位置信息。优选的,线性传感器2设置在与气浮条7的端面对应的位置处,可精密的监测出气浮条7的高度信息。控制模块3分别与调整结构1和线性传感器2电连接,用于根据线性传感器2采集的位置信息,控制调整结构1调整气浮条7的升降高度,从而实现了自动监测气浮条7高度以及自动调节气浮条7高度,减少了现有技术通过人工调节造成的误差,提高了精度和效率。其中,控制模块3采用现有技术的处理器、处理电路、控制器或控制电路。
在本实施例中,调整结构1用于与气浮条7连接,以调整气浮条7的升降高度,具体为:调整结构1与气浮条7的几何中心连接,调整结构1作用在气浮条7上的第一作用力与气浮条7的垂直,调整结构1调整气浮条7在第一作用力的方向上升降。当然,调整结构1也可以与气浮条7的端部连接,以调整气浮条7端部的升降高度。
在本实施例中,线性传感器2又称位移传感器,是一种属于金属感应的线性器件,传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中,位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同,位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。位移传感器以模拟式结构型居多,包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。
进一步的,上述实施例中所述的调整结构1可以包括:驱动模块11和转换模块12。驱动模块11与控制模块3电连接,驱动模块11用于提供第一方向(如图1中a方向)的驱动力。转换模块12分别与气浮条7和驱动模块11的动力输出端连接,用于将第一方向的驱动力转换成第二方向(如图1中b方向)的驱动力,以调整气浮条7的升降高度。具体实施时,所述驱动模块11为伺服电机,相应的,转换模块12包括:丝杠121和转动件122。丝杠121的一端通过联轴器123与伺服电机的转轴连接,丝杠121随着伺服电机转动。转动件122的一端与丝杠121活动连接,另一端与气浮条7固定连接。在本实施例中,转动件122与丝杠121接触的内壁上设有螺纹,转动件122与丝杠121螺纹连接。当丝杠121随着伺服电机转动时,转动件122相对丝杠121转动,以带动气浮条7沿着丝杠121的轴线做直线运动。换句话说,转动件122将丝杆121的旋转运动转换成直线运动。在实际应用中,伺服电机采用高分辨率码盘的电机。
进一步的,为了提高玻璃基板浮起装置的整体性,上述实施例中所述的玻璃基板浮起装置还可以包括:支撑架4。支撑架4包括底座41和连接在底座41上的第一支架42。驱动模块11设置在底座41上,线性传感器2设置在第一支架42上,且位于与气浮条7端面对应的位置处。
进一步的,为了使得气浮条7平稳升降,上述实施例中所述的支撑架4还可以包括:至少一个导向结构43。导向结构43包括第一导向件431和与第一导向件431活动连接的第二导向件432。第一导向件431设置在气浮条7上,第二导向件432设置在底座41上。具体实施时,第一导向件431为辊筒,第二导向件432为导向辊;或者,第一导向件431为导向辊,第二导向件432为辊筒。为了避免导向结构43导向偏移,导向辊的辊与辊筒紧密配合。在实际应用中,第一导向件431为导向辊,第二导向件432为辊筒。为了稳固导向结构43,上述所述的支撑架4还可以包括第二支架44,第二支架44穿过驱动模块11的动力输出端与辊筒连接。如图1所示,支撑架4具有两个导向结构43,两个导向结构43分别位于调整结构1的相对两侧。
进一步的,上述实施例中所述的玻璃基板浮起装置还可以包括:输入模块5。输入模块5与控制模块3电连接,用于供用户输入操作信息。控制模块3还用于接收输入模块5输入的操作信息,并根据操作信息控制调整结构1调整气浮条7的升降高度。在本发明实施例中输入模块5的设置,可以通过人为在输入模块5上设定气浮条7的高度信息,控制模块3根据输入模块5输入的高度信息控制调整机构对气浮条7进行调整,调整精度可精确到微米级。其中,输入模块5可以为输入按键或触摸屏。
进一步的,为了使操作人员能够直观掌握气浮条7的位置信息,上述实施例中所述的玻璃基板浮起装置还可以包括:显示模块6。显示模块6分别与输入模块5和线性传感器2电连接,用于显示操作信息和气浮条7的位置信息。具体实施时,输入模块5和显示模块6组成显示输入装置,显示输入装置为触控显示屏。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,包括:
调整结构,所述调整结构用于与气浮条连接,以调整所述气浮条的升降高度;
线性传感器,所述线性传感器位于所述气浮条的端部,用于采集所述气浮条的位置信息;
控制模块,所述控制模块分别与所述调整结构和所述线性传感器电连接,用于根据所述线性传感器采集的位置信息,控制所述调整结构调整所述气浮条的升降高度。
2.根据权利要求1所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,所述调整结构包括:
驱动模块,所述驱动模块与所述控制模块电连接,所述驱动模块用于提供第一方向的驱动力;
转换模块,所述转换模块分别与所述气浮条和所述驱动模块的动力输出端连接,用于将所述第一方向的驱动力转换成第二方向的驱动力,以调整所述气浮条的升降高度。
3.根据权利要求2所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,所述驱动模块为伺服电机,相应的,所述转换模块包括:
丝杠,所述丝杠的一端通过联轴器与所述伺服电机的转轴连接,所述丝杠随着所述伺服电机转动;
转动件,所述转动件的一端与所述丝杠活动连接,另一端与所述气浮条固定连接;
当所述丝杠随着所述伺服电机转动时,所述丝杠相对转动件转动,使丝杠螺纹驱动转动件做直线运动,进而使转动件带动所述气浮条做直线运动。
4.根据权利要求2所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,还包括:
支撑架,所述支撑架包括底座和连接在所述底座上的第一支架;
所述驱动模块设置在所述底座上,所述线性传感器设置在所述第一支架上。
5.根据权利要求4所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,所述支撑架还包括:
至少一个导向结构,所述导向结构包括第一导向件和与所述第一导向件活动连接的第二导向件;
所述第一导向件设置在所述气浮条上,所述第二导向件设置在所述底座上。
6.根据权利要求5所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,
所述第一导向件为导向槽,所述第二导向件为导向辊;或者,所述第一导向件为导向辊,所述第二导向件为导向槽。
7.根据权利要求6所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,所述第一导向件为导向辊,所述第二导向件为导向槽;
所述支撑架还包括第二支架,所述第二支架穿过所述驱动模块的动力输出端与所述导向槽连接。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,还包括:
输入模块,所述输入模块与所述控制模块电连接,用于供用户输入操作信息;
所述控制模块还用于接收所述输入模块输入的操作信息,并根据所述操作信息控制所述调整结构调整所述气浮条的升降高度。
9.根据权利要求8所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,还包括:
显示模块,所述显示模块分别与所述输入模块和所述线性传感器电连接,用于显示所述操作信息和所述位置信息。
10.根据权利要求9所述的用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置,其特征在于,所述输入模块和所述显示模块组成显示输入装置,所述显示输入装置为触控显示屏。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108502543A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种基板传输装置及方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008132422A (ja) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Tokyo Electron Ltd | 塗布方法及び塗布装置 |
JP2012023104A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Olympus Corp | 基板載置装置 |
JP2012204500A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Tokyo Electron Ltd | 浮上式塗布装置 |
CN105084000A (zh) * | 2015-06-23 | 2015-11-25 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种玻璃放置和取出方法 |
CN205257483U (zh) * | 2015-12-31 | 2016-05-25 | 芜湖东旭光电装备技术有限公司 | 气浮装置及玻璃基板传送装置 |
CN205906715U (zh) * | 2016-06-30 | 2017-01-25 | 芜湖东旭光电科技有限公司 | 一种用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置 |
-
2016
- 2016-06-30 CN CN201610505391.1A patent/CN105905615A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008132422A (ja) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Tokyo Electron Ltd | 塗布方法及び塗布装置 |
JP2012023104A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Olympus Corp | 基板載置装置 |
JP2012204500A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Tokyo Electron Ltd | 浮上式塗布装置 |
CN105084000A (zh) * | 2015-06-23 | 2015-11-25 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种玻璃放置和取出方法 |
CN205257483U (zh) * | 2015-12-31 | 2016-05-25 | 芜湖东旭光电装备技术有限公司 | 气浮装置及玻璃基板传送装置 |
CN205906715U (zh) * | 2016-06-30 | 2017-01-25 | 芜湖东旭光电科技有限公司 | 一种用于气浮条高度监测的玻璃基板浮起装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108502543A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种基板传输装置及方法 |
US10529610B2 (en) | 2017-02-28 | 2020-01-07 | Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | Apparatus and method for transferring a substrate |
CN108502543B (zh) * | 2017-02-28 | 2020-01-24 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种基板传输装置及方法 |
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