KR101576546B1 - 캐리어글라스 박리장치 - Google Patents

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Abstract

캐리어글라스 박리장치가 개시된다. 본 발명에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판이 흡착되는 진공 척을 구비하는 흡착유닛과, 흡착유닛을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛과, 흡착유닛에 연결되며 글라스합착기판의 모서리 영역에서 플렉서블 기판을 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛과, 플렉서블 기판을 파지하며 외주면에 플렉서블 기판을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈을 구비하는 박리유닛을 포함한다.

Description

캐리어글라스 박리장치{CARRIER GLASS REMOVER}
본 발명은, 캐리어글라스 박리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 플렉서블 기판의 손상 없이 플렉서블 기판으로부터 캐리어글라스를 효율적으로 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이러한 평면디스플레이(FPD) 중 OLED는, 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히, AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.
이러한 OLED의 제조 공정은, 크게 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정이 있다.
한편 AMOLED는, 유리기판이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 필름(Film) 또는 윌로우 글라스(휘어질수 있는 유리)등에 적용되면, 플렉서블 디스플레이(Flexible Display) 기술을 구현할 수 있다.
그런데 이러한 필름 또는 윌로우 글라스와 같은 플렉서블 기판은, 두께가 매우 얇기 때문에 처짐이 발생되기 쉽고 충격에 취약하여 평면디스플레이(FPD) 제조과정에서 단독으로 사용되지 않고 캐리어글라스(carrier glass)에 합착된 상태로 사용된다.
따라서 소정의 공정이 완료된 후 플렉서블 기판에 합착된 캐리어글라스를 플렉서블 기판의 손상 없이 빠르고 간편하게 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치의 개발이 필요한 실정이다.
한국특허공개공보 제10-2013-00003997호 (주식회사 엘지디스플레이), 2013.01.09
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 플렉서블 기판에 합착된 캐리어글라스를 플렉서블 기판의 손상 없이 빠르고 간편하게 박리할 수 있는 캐리어글라스 박리장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판이 흡착되는 진공 척을 구비하는 흡착유닛; 상기 흡착유닛을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛; 상기 흡착유닛에 연결되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛; 및 상기 플렉서블 기판을 파지하며 외주면에 상기 플렉서블 기판을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈을 구비하는 박리유닛을 포함하는 캐리어글라스 박리장치가 제공될 수 있다.
상기 모서리 영역 분리유닛은, 상기 플렉서블 기판과 상기 캐리어글라스의 사이로 삽입되는 나이프를 구비하는 나이프부; 상기 나이프부에 연결되며, 상기 나이프부를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부; 상기 나이프부용 제1축 이동부에 연결되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부; 및 상기 나이프부용 제2축 이동부에 연결되고 상기 흡착유닛에 결합되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부용 제1축 이동부는, 상기 나이프부가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부용 제2축 이동부는, 상기 나이프부용 제1축 이동부가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부용 제3축 이동부는, 상기 나이프부용 제2축 이동부가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록; 상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드; 및 상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 나이프부는, 상기 글라스합착기판에 대한 상기 나이프의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부를 포함할 수 있다.
상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈은, 외주면에 다수개의 진공홀이 마련되는 드럼 몸체부; 및 상기 드럼 몸체부에 지지되며, 모서리 영역 분리유닛에 의해 분리된 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 파지하는 기판 파지부를 포함할 수 있다.
상기 기판 파지부는, 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역에 접촉되며, 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 상기 드럼 몸체부의 외주면으로 가압하는 그립퍼부; 상기 그립퍼부에 연결되며, 상기 그립퍼부를 제1축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제1축 이동부; 및 상기 그립퍼부용 제1축 이동부에 연결되고 상기 드럼 몸체부에 결합되며, 상기 그립퍼부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제2축 이동부를 포함할 수 있다.
상기 그립퍼부용 제1축 이동부는, 상기 그립퍼부가 결합되는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록; 상기 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드; 및 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 그립퍼부용 제2축 이동부는, 상기 그립퍼부용 제1축 이동부가 결합되는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록; 상기 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드; 및 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 박리유닛은, 상기 드럼 몸체부를 회전시키는 드럼 회전부를 포함할 수 있다.
상기 드럼 회전부는, 상기 드럼 몸체부에 결합되는 회전축; 및 상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 회전축용 모터를 포함할 수 있다.
상기 흡착유닛은, 상기 진공 척을 상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 진공 척 이동부를 포함할 수 있다.
상기 진공 척 이동부는, 상기 진공 척이 결합되는 진공 척용 엘엠 블록; 상기 진공 척용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 진공 척용 엘엠 가이드; 및 상기 진공 척용 엘엠 블록을 이동시키는 진공 척용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 이송유닛은, 상기 흡착유닛이 결합되는 흡착유닛용 엘엠 블록; 상기 흡착유닛용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 흡착유닛용 엘엠 가이드; 및 상기 흡착유닛용 엘엠 블록을 이동시키는 흡착유닛용 엘엠 블록 구동부를 포함할 수 있다.
상기 박리유닛에 마련되며, 상기 글라스합착기판의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 모서리 영역 분리유닛이 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하며, 파지 겸용 흡착 드럼모듈이 모서리 영역이 분리된 플렉서블 기판을 파지한 후 외주면에 플렉서블 기판을 진공 흡착함으로써, 플렉서블 기판의 손상 없이 플렉서블 기판에서 캐리어글라스를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 진공 척 이동부가 도시된 도면이다.
도 3은 도 1의 모서리 영역 분리유닛이 도시된 도면이다.
도 4는 도 3을 다른 방향에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 1의 박리유닛이 도시된 도면이다.
도 6은 도 5의 2의 기판 파지부가 도시된 도면이다.
도 7 내지 도 10은 도 1의 캐리어글라스 박리장치의 동작상태도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 플렉서블 기판이란, 얇고 유연한 필름 또는 윌로우 글라스(willow glass)를 말한다.
또한 이하의 도면에서 제1축 방향은 X로, 제2축은 Z로, 제3축은 Y로 표시한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치가 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1의 진공 척 이동부가 도시된 도면이며, 도 3은 도 1의 모서리 영역 분리유닛이 도시된 도면이고, 도 4는 도 3을 다른 방향에서 바라본 도면이며, 도 5는 도 1의 박리유닛이 도시된 도면이고, 도 6은 도 5의 2의 기판 파지부가 도시된 도면이며, 도 7 내지 도 10은 도 1의 캐리어글라스 박리장치의 동작상태도이다.
도 1 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(S)의 일면에 캐리어글라스(T)가 합착된 글라스합착기판(ST)이 흡착되는 진공 척(110)을 구비하는 흡착유닛(100)과, 흡착유닛(100)을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛(200)과, 흡착유닛(100)에 연결되며 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛(300)과, 플렉서블 기판(S)을 파지하며 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)을 구비하는 박리유닛(400)을 포함한다.
이러한 본 시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 모서리 영역 분리유닛(300)에 의해 분리된 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)이 파지 한 후 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착함으로써, 플렉서블 기판(S)의 손상 없이 플렉서블 기판(S)에서 캐리어글라스(T)를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.
글라스합착기판(ST)은 플렉서블 기판(S)의 상면 또는 하면에 캐리어글라스(T)가 합착된 것을 말하며, 본 실시예에서 글라스합착기판(ST)은 사각 형상으로 마련된다.
흡착유닛(100)은 글라스합착기판(ST)이 흡착되는 진공 척(110)을 구비한다. 본 실시예에서 진공 척(110)은 캐리어글라스(T)에 직접 접촉되어 글라스합착기판(ST)을 진공 흡착한다.
또한 흡착유닛(100)은, 진공 척(110)을 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)에 대하여 접근 및 이격되는 방향(제2축 방향)으로 이동시키는 진공 척 이동부(120)를 포함한다.
이러한 진공 척 이동부(120)는, 진공 척(110)이 결합되는 진공 척용 엘엠 블록(121)과, 진공 척용 엘엠 블록(121)의 이동을 가이드하는 진공 척용 엘엠 가이드(122)와, 진공 척용 엘엠 블록(121)을 이동시키는 진공 척용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
또한 흡착유닛(100)에는, 진공 척 이동부(120) 및 흡착유닛용 이송유닛(200)이 연결되는 흡착유닛 프레임(130)이 마련된다.
한편 흡착유닛용 이송유닛(200)은, 흡착유닛(100)을 제1축 방향으로 이송한다. 이러한 흡착유닛용 이송유닛(200)은, 흡착유닛(100)이 결합되는 흡착유닛용 엘엠 블록(210)과, 흡착유닛용 엘엠 블록(210)의 이동을 가이드하는 흡착유닛용 엘엠 가이드(220)와, 흡착유닛용 엘엠 블록(210)을 이동시키는 흡착유닛용 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
한편, 모서리 영역 분리유닛(300)은, 흡착유닛(100)에 연결되며, 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리한다.
이러한 모서리 영역 분리유닛(300)은, 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입되는 나이프(311)를 구비하는 나이프부(310)와, 나이프부(310)에 연결되며 나이프부(310)를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부(320)와, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며 나이프부(310)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부(330)와, 나이프부용 제2축 이동부(330)에 연결되고 흡착유닛(100)에 결합되며 나이프부(310)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부(340)를 포함한다.
나이프부(310)는 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입되는 나이프(311)를 구비한다. 또한 나이프부(310)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며, 글라스합착기판(ST)에 대한 나이프(311)의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부(350)를 포함한다.
이러한 나이프 자세제어부(350)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 결합되는 고정블록(351)과, 고정블록(351)에 대하여 제1축 방향 및 제3축 방향으로 미세 이동 가능하게 결합되는 이동블록(352)과, 이동블록(352)에 결합되는 회전 가이드 블록(353)과, 회전 가이드 블록(353)에 제2축 방향을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 연결되며 회전 가이드 블록(353)에 제2축 방향으로 미소 이동가능하게 결합되는 회전블록(354)을 포함한다.
또한 나이프 자세제어부(350)는, 이동블록(352)에 연결되어 이동블록(352)을 제1축 방향 및 제3축 방향으로 미세 이동시키는 제1축 미소이동용 조절나사(355) 및 제3축 미소이동용 조절나사(356)와, 회전블록(354)의 제2축 방향 미세이동을 조절하는 제2축 미소이동용 조절나사(357)와, 회전블록(354)의 회전 각도를 조절하는 회전용 조절핸들(358)을 더 포함한다.
나이프부용 제1축 이동부(320)는, 나이프부(310)에 연결되며, 나이프부(310)를 제1축 방향으로 이동시킨다.
이러한 나이프부용 제1축 이동부(320)는, 나이프부(310)가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)과, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드(미도시)와, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부(323)를 포함한다.
나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부(323)는, 나이프부용 제1축 엘엠 블록(321)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
나이프부용 제2축 이동부(330)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)에 연결되며, 나이프부(310)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시킨다.
이러한 나이프부용 제2축 이동부(330)는, 나이프부용 제1축 이동부(320)가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)과, 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드(332)와, 나이프부용 제2축 엘엠 블록(331)을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부(333)를 포함한다.
나이프부용 제3축 이동부(340)는, 나이프부용 제2축 이동부(330)에 연결되고, 흡착유닛(100)에 결합되며, 나이프부(310)를 제1축 방향 및 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시킨다.
이러한 나이프부용 제3축 이동부(340)는, 나이프부용 제2축 이동부(330)가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)과, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드(342)와, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부(미도시)를 포함한다.
나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부(미도시)는, 나이프부용 제3축 엘엠 블록(341)에 결합되는 이동 너트(미도시)와, 이동 너트(미도시)에 치합되는 볼 스크류(미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(미도시)를 포함한다.
한편, 박리유닛(400)은, 플렉서블 기판(S)을 파지하며 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)을 구비한다.
이러한 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)은, 외주면에 다수개의 진공홀(미도시)이 마련되는 드럼 몸체부(420)와, 드럼 몸체부(420)에 지지되며 모서리 영역 분리유닛(300)에 의해 분리된 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 파지하는 기판 파지부(430)를 포함한다.
기판 파지부(430)는, 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역에 접촉되며 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 드럼 몸체부(420)의 외주면으로 가압하는 그립퍼부(440)와, 그립퍼부(440)에 연결되며 그립퍼부(440)를 제1축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제1축 이동부(450)와, 그립퍼부용 제1축 이동부(450)에 연결되고 드럼 몸체부(420)에 결합되며 그립퍼부(440)를 제2축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제2축 이동부(460)를 포함한다.
그립퍼부용 제1축 이동부(450)는, 그립퍼부(440)에 연결되며, 그립퍼부(440)를 제1축 방향으로 이동시킨다. 이러한 그립퍼부용 제1축 이동부(450)는, 그립퍼부(440)가 결합되는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록(451)과, 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록(451)의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드(452)와, 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록(451)을 이동시키는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부(453)를 포함한다.
그립퍼부용 제2축 이동부(460)는, 그립퍼부용 제1축 이동부(450)에 연결되고, 드럼 몸체부(420)에 결합되며, 그립퍼부(440)를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시킨다.
이러한 그립퍼부용 제2축 이동부(460)는, 그립퍼부용 제1축 이동부(450)가 결합되는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록(461)과, 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록(461)의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드(462)와, 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록(461)을 이동시키는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부(463)를 포함한다.
또한 박리유닛(400)은, 드럼 몸체부(420)를 회전시키는 드럼 회전부(470)를 포함한다.
이러한 드럼 회전부(470)는, 드럼 몸체부(420)에 결합되는 회전축(471)과, 회전축(471)에 연결되며, 회전축(471)을 회전시키는 회전축용 모터(472)를 포함한다.
또한 박리유닛(400)은, 드럼 몸체부(420)에 연결되며 드럼 몸체부(420)에 진공 흡착력을 제공하는 진공펌프(미도시)를 더 포함한다. 이러한 진공펌프는 후술할 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)에 플렉서블 기판(S)을 전달할 때에는 에어를 흡입하지 않고 오히려 드럼 몸체부(420)의 진공홀(H)을 통해 에어를 분사하여 플렉서블 기판(S)의 전달을 용이하게 한다.
또한 박리유닛(400)에는, 글라스합착기판(ST)의 정전기를 제거하는 이오나이저(미도시)가 마련된다.
또한 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 박리유닛(400)에 이웃하게 배치되며 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)에 흡착된 플렉서블 기판(S)을 전달받는 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)과, 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)를 이송하는 스테이지유닛용 이송유닛(미도시)을 더 포함한다.
본 실시예에서 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)은 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)의 하측에 배치된다.
이러한 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)은, 플렉서블 기판(S)을 지지하며 복수의 진공홀(미도시)이 마련되는 지지 플레이트(미도시)와, 진공홀(H)에 연결되는 진공펌프(미도시)를 포함한다.
이하에서 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치의 동작을 도 1 내지 도 10에 따라 설명한다. 여기서 도 8은 도 7의 'A' 부분의 확대도이다.
먼저 흡착유닛용 이송유닛(200)이 흡착유닛(100)을 이송하여 글라스합착기판(ST)을 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)의 상측에 정위치시킨다.
이후 진공 척(110)은 진공 척 이동부(120)에 의해 하강하고, 그에 따라 글라스합착기판(ST)의 플렉서블 기판(S)이 드럼 몸체부(420)의 외주면에 접촉된다.
다음 나이프(311)가 글라스합착기판(ST)의 코너 영역에서 플렉서블 기판(S)과 캐리어글라스(T)의 사이로 삽입된다. 이후 나이프(311)가 하강하여 글라스합착기판(ST)의 코너 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 이격시킨다.(도 8참조)
다음 나이프(311)가 글라스합착기판(ST)의 모서리를 따라 이동되고, 그에 따라 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)이 캐리어글라스(T)에서 분리된다.
다음 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)의 그립퍼부(440)가 그립퍼부용 제1축 이동부(450) 및 그립퍼부용 제2축 이동부(460)에 의해 이동되어 플렉서블 기판(S)의 모서리 영역을 파지한다.(도 9참조)
이후 드럼 몸체부(420)가 회전되며 플렉서블 기판(S)을 외주면에 순차적으로 흡착한다. 이때 흡착유닛용 이송유닛(200)은 드럼 몸체부(420)의 회전에 동기화되어 진공 척(110)을 제1축 방향으로 이동시킨다.
이러한 드럼 몸체부(420)의 회전과 진공 척(110)의 이동에 의해 플렉서블 기판(S)은 드럼 몸체부(420)의 외주면에 순차적으로 흡착되고, 최종적으로 캐리어글라스(T)는 플렉서블 기판(S)에서 완전히 박리된다.(도 10 참조)
이후 드럼 몸체부(420)가 반대방향으로 회전되어 플렉서블 기판용 스테이지유닛(미도시)에 플렉서블 기판(S)을 전달한다.
이와 같이 본 실시예에 따른 캐리어글라스 박리장치는, 모서리 영역 분리유닛(300)이 글라스합착기판(ST)의 모서리 영역에서 플렉서블 기판(S)을 캐리어글라스(T)에서 분리하며, 파지 겸용 흡착 드럼모듈(410)이 모서리 영역이 분리된 플렉서블 기판(S)을 파지한 후 외주면에 플렉서블 기판(S)을 진공 흡착함으로써, 플렉서블 기판(S)의 손상 없이 플렉서블 기판(S)에서 캐리어글라스(T)를 빠르고 간편하게 박리할 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 흡착유닛 110: 진공 척
120: 진공 척 이동부 121: 진공 척용 엘엠 블록
122: 진공 척용 엘엠 가이드 200: 흡착유닛용 이송유닛
210: 흡착유닛용 엘엠 블록 220: 흡착유닛용 엘엠 가이드
300: 모서리 영역 분리유닛 310: 나이프부
311: 나이프 320: 나이프부용 제1축 이동부
321: 나이프부용 제1축 엘엠 블록
323: 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부
330: 나이프부용 제2축 이동부
331: 나이프부용 제2축 엘엠 블록
332: 나이프부용 제2축 엘엠 가이드
333: 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부
340: 나이프부용 제3축 이동부
341: 나이프부용 제3축 엘엠 블록
342: 나이프부용 제3축 엘엠 가이드 350: 나이프 자세제어부
351: 고정블록 352: 이동블록
353: 회전 가이드 블록 354: 회전블록
355: 제1축 미소이동용 조절나사
356: 제3축 미소이동용 조절나사
357: 제2축 미소이동용 조절나사 358: 회전용 조절핸들
400: 박리유닛 410: 파지 겸용 흡착 드럼모듈
420: 드럼 몸체부 430: 기판 파지부
440: 그립퍼부 450: 그립퍼부용 제1축 이동부
451: 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록
452: 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드
453: 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부
460: 그립퍼부용 제2축 이동부
461: 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록
462: 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드
463: 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부
470: 드럼 회전부 471: 회전축
472: 회전축용 모터 S: 플렉서블 기판
T: 캐리어글라스 ST: 글라스합착기판

Claims (16)

  1. 플렉서블 기판의 일면에 캐리어글라스가 합착된 글라스합착기판이 흡착되는 진공 척을 구비하는 흡착유닛;
    상기 흡착유닛을 이송하는 흡착유닛용 이송유닛;
    상기 흡착유닛에 연결되며, 상기 글라스합착기판의 모서리 영역에서 상기 플렉서블 기판을 상기 캐리어글라스에서 분리하는 모서리 영역 분리유닛; 및
    상기 플렉서블 기판을 파지하며 외주면에 상기 플렉서블 기판을 진공 흡착하는 파지 겸용 흡착 드럼모듈을 구비하는 박리유닛을 포함하며,
    상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈은,
    외주면에 다수개의 진공홀이 마련되는 드럼 몸체부; 및
    상기 드럼 몸체부에 지지되며, 모서리 영역 분리유닛에 의해 분리된 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 파지하는 기판 파지부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 모서리 영역 분리유닛은,
    상기 플렉서블 기판과 상기 캐리어글라스의 사이로 삽입되는 나이프를 구비하는 나이프부;
    상기 나이프부에 연결되며, 상기 나이프부를 제1축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제1축 이동부;
    상기 나이프부용 제1축 이동부에 연결되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제2축 이동부; 및
    상기 나이프부용 제2축 이동부에 연결되고 상기 흡착유닛에 결합되며, 상기 나이프부를 상기 제1축 방향 및 상기 제2축 방향에 교차하는 제3축 방향으로 이동시키는 나이프부용 제3축 이동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 나이프부용 제1축 이동부는,
    상기 나이프부가 결합되는 나이프부용 제1축 엘엠 블록;
    상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제1축 엘엠 가이드; 및
    상기 나이프부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 나이프부용 제2축 이동부는,
    상기 나이프부용 제1축 이동부가 결합되는 나이프부용 제2축 엘엠 블록;
    상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제2축 엘엠 가이드; 및
    상기 나이프부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 나이프부용 제3축 이동부는,
    상기 나이프부용 제2축 이동부가 결합되는 나이프부용 제3축 엘엠 블록;
    상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 나이프부용 제3축 엘엠 가이드; 및
    상기 나이프부용 제3축 엘엠 블록을 이동시키는 나이프부용 제3축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 나이프부는, 상기 글라스합착기판에 대한 상기 나이프의 자세를 제어하는 나이프 자세제어부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판 파지부는,
    상기 플렉서블 기판의 모서리 영역에 접촉되며, 상기 플렉서블 기판의 모서리 영역을 상기 드럼 몸체부의 외주면으로 가압하는 그립퍼부;
    상기 그립퍼부에 연결되며, 상기 그립퍼부를 제1축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제1축 이동부; 및
    상기 그립퍼부용 제1축 이동부에 연결되고 상기 드럼 몸체부에 결합되며, 상기 그립퍼부를 상기 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이동시키는 그립퍼부용 제2축 이동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 그립퍼부용 제1축 이동부는,
    상기 그립퍼부가 결합되는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록;
    상기 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제1축 엘엠 가이드; 및
    그립퍼부용 제1축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제1축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 그립퍼부용 제2축 이동부는,
    상기 그립퍼부용 제1축 이동부가 결합되는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록;
    상기 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 그립퍼부용 제2축 엘엠 가이드; 및
    그립퍼부용 제2축 엘엠 블록을 이동시키는 그립퍼부용 제2축 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 박리유닛은, 상기 드럼 몸체부를 회전시키는 드럼 회전부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 드럼 회전부는,
    상기 드럼 몸체부에 결합되는 회전축; 및
    상기 회전축에 연결되며, 상기 회전축을 회전시키는 회전축용 모터를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 흡착유닛은,
    상기 진공 척을 상기 파지 겸용 흡착 드럼모듈에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시키는 진공 척 이동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 진공 척 이동부는,
    상기 진공 척이 결합되는 진공 척용 엘엠 블록;
    상기 진공 척용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 진공 척용 엘엠 가이드; 및
    상기 진공 척용 엘엠 블록을 이동시키는 진공 척용 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 이송유닛은,
    상기 흡착유닛이 결합되는 흡착유닛용 엘엠 블록;
    상기 흡착유닛용 엘엠 블록의 이동을 가이드하는 흡착유닛용 엘엠 가이드; 및
    상기 흡착유닛용 엘엠 블록을 이동시키는 흡착유닛용 엘엠 블록 구동부를 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 박리유닛에 마련되며, 상기 글라스합착기판의 정전기를 제거하는 이오나이저를 더 포함하는 캐리어글라스 박리장치.
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