CN2480870Y - 基板气浮式载台 - Google Patents

Abstract

本实用新型是关于一种基板气浮式载台,其主要是于台体顶面凹设形成有一凹部,并设置有多数个连通至凹部的真空抽孔及注气孔,另设置有一与凹部连通的气压感测器,借此,可减少工作件与载台间的接触面积,以防止工作件与载台间静电的产生,同时亦可透过气压感测器来检测及控制,载台抽真空及破真空作业时气压的稳定性,而可借此达到提高气浮式载台整体使用效能的效果。

Description

基板气浮式载台

本实用新型主要是关于一种基板气浮式载台，尤指一种可避免于工作件脱离时，产生静电的气浮式载台。

一般如步进式曝光机、显微镜、光学式检测设备、加热板、冷板等装置，大都会设置一用以承载工作件的载台，请配合参看图5，由图中可看到，现有的载台50主要是为一顶面呈光滑平面的台体，于载台50上设置有多数个真空抽孔52，并设置一与各真空抽孔52连通的真空泵60及一注气泵62，另设有多数个贯穿载台50的顶针30，并且以一升降机构32来带动各顶针30相对载台50升降移动。

在操作时，请配合参看图5、图6，各顶针30是预先伸出载台50，将工作件40置放于各顶针30上后，以升降机构32带动各顶针30下降，让工作件40与载台50顶面接触，而被承托于载台50上，然后启动真空泵60，并关闭注气泵62，使载台50上的各真空抽孔52呈现真空状态，而对工作件40产生一份真空吸附的效果，使工作件40得以稳固地附著于载台50上，以进行预定的工作。

待工作完成后，则关闭真空泵60，并开启注气泵62，以便将微量的特定气体，一般为氮气(N2)，注入各真空抽孔52以解除载台50的真空吸附状态，然后再启动升机构32，而透过各顶针30将工作件40托离载台50。

此种现有的载台50，因载台50与工作件40间是呈完整面积的接触，并且工作件40因真空吸附而与载台50紧密贴合，故当以顶针30将工作件40托离载台50时，瞬间的脱离，很容易会于载台50与工作件40间产生大量的静电，如图7所示，如此工作件40很容易会因静电的产生而遭到破坏，尤其是此种真空吸附载台50大都是用于承载如LCD基板、玻璃基板、彩色滤光片、晶圆、PCB内层板等对电敏感度高的工作件40，在操作过程中所产生的静电，很容易导致工作件40的破坏、受损，而导致厂商的损失，并提高整体的制造成本。

又为避免静电产生，有人会以照射离子风或软X射线的方式来中和电荷，以避免在工作件40离开载台50时静电的产生，然而如此虽可避免工作件40的损坏，但却会增加所需的设备成本。

另外，当注入氮气来解附载台50的真空吸附状态时，若氮气注入的速度过快，很容易会导致气压的不平衡及不稳定，使工作件40因快速脱离载台50而碎裂。

因此，本创作人有监于现有气浮式载台结构及使用上的缺点，特经过不断的试验与改良，终于发展出一种能改进现有缺点的本实用新型。

本实用新型的主要目的，在于提供一种基板气浮式载台，其主要是于载台中央凹设有一凹部，而于载台周缘凸设形成有一承托缘，于载台上设置有多数个贯穿凹部及承托缘的真空抽孔，并设置有多数个贯穿至凹部的注气孔，又各真空抽孔是连接至一真空泵，而各注气孔则是连接至一注气泵，如此可由凹部的形成，来缩减载台与工作件间的接触面积，来达到减少工作件脱离载台时静电产生的目的。

本实用新型的另一目的，在于提供一种基板气浮式载台，其主要是于载台上设置有一与凹部连通的气压感测装置，由该气压感测装置，可侦测氮气注入时凹部中气压的平衡性及稳定性，以控制氮气注入的速度，避免氮气注入的速度过快或过慢，而防止工作件因气压不平衡而碎裂。

本实用新型一种基板气浮式载台，其特征在于，其主要是设置有一台体，于台体顶面中央凹设形成有一凹部，而于台体顶面周缘形成有一承托缘，又于台体上设置有多数个与凹部连通的真空抽孔及注气孔，并设置有一与各真空抽孔连通的一真空泵，以及一与各注气孔连接的注气泵，另外于台体底部设置有一可相对台体升降移动的升降机构，于升降机构上设置有多数个贯穿台体的顶针，而于台体上则设置有多数个贯穿承托缘，供各顶针由其中贯穿的顶针孔。

其中于台体上设置有多数个贯穿至承托缘顶面的真空抽孔，并且各位于承托缘上的真空抽孔是与真空泵及注气泵同时连接。

其载台另包含有一与台体上凹部连通的气压感测器。

其中载台上的凹部是贯穿台体，而于载台底部固设有一用以封闭凹部的透光板，并于载台的承托缘与透光板上分别设置有多数个可供顶针贯穿其中的顶针孔。

其中于载台的承托缘顶面周缘凸设形成有一护缘。

其中与凹部连通的真空抽孔及注气孔是于台体横向贯穿承托缘而与凹部连通。

其中于台体上另设置有数个贯穿至承托缘顶面的真空抽孔，并各贯穿承托缘顶面的真空抽孔是同时与真空泵与注气浦相连通。

其中凹部是未贯穿台体，而各真空抽孔及注气孔是由载台底缘纵向延伸而与凹部连通。

为使审查员能进一步了解本实用新型的结构、特征及其他目的，以下结合附图及实施例详细说明如后，其中：

图1是本实用新型的上视示意图。

图2是本实用新型的剖面示意图。

图3是本实用新型操作时的剖面示意图。

图4是本实用新型另一实施例的剖面示意图。

图5是习用气浮式载台的剖面示意图。

图6是习用载台操作实施的剖面示意图。

图7是工作件脱离习用载台时产生静电的剖面示意图。

本实用新型主要是提供一种基板气浮式载台，请配合参看图1、图2，由图中可看到，本实用新型的载台10主要是于一台体顶面中央凹设形成有一凹部12，而于载台10顶面周缘形成有一承托缘14，又于载台10上设置有多数个与凹部12连通的真空抽孔122及注气孔124，并且各真空抽孔122是连接至一真空泵20，而各注气孔124则连接至一注气泵22，其中凹部12是未贯穿载台10，而各真空抽孔122及注气孔124是由载台10底缘纵向延伸而与凹部12连通。

另于载台10上亦可设置有多数个贯穿至承托缘14顶面的真空抽孔142，并且各位于承托缘14上的真空抽孔142是与真空泵20及注气泵22同时连接，另外配合顶针30的设置，亦可于载台10上设置有多数个贯穿承托缘14的顶针孔144，供顶针30由顶针孔144穿过；另设置有一与载台10上凹部12连通的气压感测器16(已有技术)。

在操作时，请配合参看图2、图3，将以夹具抓取工作件40而将工作件40置放于各穿出顶针孔144的顶针30上，然后启动升降机构32，使各顶针30相对载台10下降，并让工作件40与载台10接触，此时因于载台10顶面凹设有一凹部12而形成有一承托缘14，故工作件40仅会以其周缘部位与载台10的承托缘14接触，而为承托缘14所支撑。

然后启动真空泵20，透过各与凹部12连通的真空抽孔122，使载台10的凹部12内形成一真空室，并让各贯穿承托缘14的真空抽孔142亦呈真空状态，而将工作件40吸附于载台10上，在此同时启动注气泵22，将微量的气体(一般为氮气)由注气孔124注入凹部12，使载台10凹部12内仍存在有一定的气压而能稳固地撑托工作件40，使工作件40能保持良好的水平状态，避免工作作40因真空的凹部12而产生下陷等不良的现象。

其中载台10凹部12中气压的控制，可透过气压感测器16来加以测量，来控制气体注入的量及速度，另外亦可由气体的注入时间、真空抽取时间或工作件40距离侦测等方式来达成，以便让工作件40能保持在一定的水平状态，以利工作件40的加工作业。

待工作件40加工完成后，则关闭真空泵20，并开启注气泵22，以便将气体由注气孔124注入凹部12，并同时注入真空吸孔142，来解除载台10的真空吸附状态，此时亦可透过气压感测器16来控制气体注入的速度，避免气体注入速度过快或过慢，而发生气压不平衡及不稳定的状况，以防止工作件40因此而发生碎裂等不良现象；同时因工作件40与载台10间仅于工作件40周缘相对于承托缘14的部位与载台10接触，因此可缩小工作件40与载台40间的接触面积，避免载台10在破真空作业，而工作件40为顶针30顶离载台40时，于载台10与工作件40间产生静电，而导致工作件40的损坏。

又当为配合需进行显微镜检查等透光性作业的工作件40时，请配合参看图4，载台10上的凹部12是贯穿台体的穿槽，并于载台10底部固设有一具透光性的透光板18，以封闭载台10呈穿透状的凹部12，于载台10的承托缘14与透光板18上则分别设置有多数个可供顶针30贯穿其中的顶针孔144、182，另于载台10的承托缘14周缘再凸设形成有一护缘15，使工作件40能被限制于护缘15的范围之内。

又于载台10上设置有多数个横向贯穿承托缘14而与凹部12连通的真空抽孔122及注气孔124，各真空抽孔122及注气孔124分别连通至一真空泵20及一注气泵22，另外于载台10上亦可设置有贯穿至承托缘14顶面的真空抽孔142，而各真空抽孔142则是同时与真空泵20与注气泵22相连通，以此提供一种可减少与工作件40间接触面积，且具透光性的载台20，来配合需进行透光性加工程序工作件40的承载，以扩大载台10的适用范围。

本实用新型主要是于载台10顶面凹设形成有一凹部12，并设置有多数个连通至凹部12的真空抽孔122及注气孔124，借此可减少工作件40与载台10间的接触面积，避免工作件40在脱离载台10时产生静电，来防止工作件40因此而损坏，而不需另行设置离子风装置或软X射线装置等其他习用消除静电的结构，可节省所需的设备成本。

另外本实用新型于载台10上设置有一与凹部12连通的气压感测器16，借此可控制载台10抽真空及破真空作业时，气压的稳定性及平衡性，避免工作件40因气压的不稳定而发生破裂等不良现象，而能提高气浮式载台10的整体使用效能。

综上所述，本实用新型确可改进现有载台结构及使用上的不足与缺点，实为一极具进步性的创作，且本实用新型未见于刊物或公开使用，符合新型专利的申请条件，故依法提出申请。

Claims (8)

1.一种基板气浮式载台，其特征在于，其主要是设置有一台体，于台体顶面中央凹设形成有一凹部，而于台体顶面周缘形成有一承托缘，又于台体上设置有多数个与凹部连通的真空抽孔及注气孔，并设置有一与各真空抽孔连通的一真空泵，以及一与各注气孔连接的注气泵，另外于台体底部设置有一可相对台体升降移动的升降机构，于升降机构上设置有多数个贯穿台体的顶针，而于台体上则设置有多数个贯穿承托缘，供各顶针由其中贯穿的顶针孔。

2.根据权利要求1所述的基板气浮式载台，其特征在于，其中于台体上设置有多数个贯穿至承托缘顶面的真空抽孔，并且各位于承托缘上的真空抽孔是与真空泵及注气泵同时连接。

3.根据权利要求1所述的基板气浮式载台，其特征在于，其载台另包含有一与台体上凹部连通的气压感测器。

4.根据权利要求1所述的基板气浮式载台，其特征在于，其中载台上的凹部是贯穿台体，而于载台底部固设有一用以封闭凹部的透光板，并于载台的承托缘与透光板上分别设置有多数个可供顶针贯穿其中的顶针孔。

5.根据权利要求4所述的基板气浮式载台，其特征在于，其中于载台的承托缘顶面周缘凸设形成有一护缘。

6.根据权利要求4所述的基板气浮式载台，其特征在于，其中与凹部连通的真空抽孔及注气孔是于台体横向贯穿承托缘而与凹部连通。

7.根据权利要求6所述的基板气浮式载台，其特征在于，其中于台体上另设置有数个贯穿至承托缘顶面的真空抽孔，并各贯穿承托缘顶面的真空抽孔是同时与真空泵与注气泵相连通。

8.根据权利要求1所述的基板气浮式载台，其特征在于，其中凹部是未贯穿台体，而各真空抽孔及注气孔是由载台底缘纵向延伸而与凹部连通。

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