CN203275819U - 一种基板承载装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种基板承载装置，包括具有承载面的载台，位于载台背离其承载面的一侧、沿承载面垂线方向相对于载台往复运动的底座，穿过载台、且一端固定于底座的多根顶针；还包括定位机构，定位机构包括至少两个支撑杆，每一个支撑杆的一端固定于底座，另一端位于载台背离底座的一侧、且设置有限位单元；各限位单元确定多个垂直于承载面的限位面。由于顶针和支撑杆均固定在底座上，支撑杆上的限位单元可以随顶针同步移动，因此在顶针将基板自载台的承载面顶起的过程中，限位单元可以一直处于夹紧基板的状态，所以，本实用新型提供的基板承载装置可以降低基板在被顶针完全顶起至机械手夹取基板位置的过程中因抖动而发生偏移的可能性。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示面板制造设备技术领域，特别涉及一种基板承载装置。
背景技术
随着九十年代薄膜场效应晶体管-液晶显示器(TFT-LCD，Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display)技术的成熟，液晶显示面板由于其平板、轻薄、低功耗、多样化、环保性等优点得到迅速发展。随着玻璃基板向大型化、轻薄化方向的发展，玻璃基板破裂的发生率也在逐步升高，严重影响了TFT-LCD行业的产能和良率。玻璃基板破裂的发生不仅会损失玻璃基板，而且会导致设备停机，影响设备稼动率，同时破裂的玻璃碎屑还会造成诸如污染其他正常玻璃基板，污染设备工作舱，划伤设备部件以及对处理人员造成伤害等危险。严重影响了设备稳定、产品良率和人员安全。
如图1所示，图1为现有技术中基板承载装置的结构示意图。
现有的基板承载装置包括支架，固定于支架（图中未示出）的具有承载面的载台01，安装于支架的底座02，固定于载台01背离底座02一侧的定位夹03，一端固定于底座02朝向载台01一侧的多根顶针04；顶针04的延伸方向垂直于载台01的承载面，各顶针04的另一端穿过载台01以支撑基板05，另外，底座02能够沿垂直于载台01承载面的方向相对于载台01往复运动，载台01还设置有供顶针04穿过的通孔。
当被检测基板05在载台01的承载面测试结束后，各顶针04将基板05顶起到定位夹03的对位位置（如图2所示），由定位夹03对玻璃基板05进行夹紧对位,对位完成之后定位夹03松开，各顶针04再将基板05完全顶起至机械手夹取基板05的位置，最后由机械手（图中未示出）将基板05夹取。
由于定位夹03固定在载台01上，而定位夹03对基板05的对位过程是在基板05被顶针04完全顶起至机械手夹取基板05的位置前进行的，所以不可避免基板05在被各顶针04完全顶起至机械手夹取基板05位置的过程中因抖动发生偏移，而这种偏移极易导致基板05在被机械手夹取时发生撞击而破裂。
实用新型内容
本实用新型提供了一种基板承载装置，该装置能够降低基板在被顶针完全顶起至机械手夹取基板位置的过程中因抖动而发生偏移的可能性。
为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
一种基板承载装置，包括具有承载面的载台，位于所述载台背离其承载面的一侧、且沿所述承载面垂线方向相对于所述载台往复运动的底座，穿过所述载台、且一端固定于所述底座的多根顶针；还包括：
定位机构，所述定位机构包括至少两个支撑杆，每一个所述支撑杆的一端固定于所述底座，另一端位于所述载台背离所述底座的一侧、且设置有限位单元；各所述限位单元确定多个垂直于所述承载面的限位面；
当所述定位机构对基板进行定位时，所述基板的每个侧面与至少一个所述限位面接触，每一个所述顶针的另一端低于所述限位面背离所述承载面的一边。
优选地，所述定位机构包括两个或四个支撑杆，每一个所述支撑杆的一端固定于所述底座，每一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为两个延伸方向相互垂直的定位杆，每一个所述定位杆具有一个所述限位面，且两个所述定位杆具有的限位面相互垂直。
优选地，所述定位机构还包括：
固定于每一个所述支撑杆另一端的驱动气缸，所述两个定位杆固定于所述驱动气缸活塞杆的外端，所述活塞杆的伸缩方向与两个所述定位杆的延伸方向之间的夹角相同。
优选地，所述定位机构还包括：
安装于每一个所述支撑杆另一端的驱动电机；
与所述驱动电机的输出轴同轴固定的齿轮；
与所述齿轮配合的齿条，所述两个定位杆固定于所述齿条靠近所述基板的一端，所述齿条滑动支撑于所述支撑杆，且平行于所述承载面；所述齿条的伸缩方向与两个所述定位杆的延伸方向之间的夹角相同。
优选地，每一所述定位杆具有防止所述定位杆与所述基板发生撞击的滚轮。
优选地，所述定位机构包括三个支撑杆，其中，
一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为两个延伸方向相互垂直的定位杆，每一个所述定位杆具有一个所述限位面，且两个所述定位杆的限位面相互垂直；
另外两个所述支撑杆中，每一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为一个定位板，每一个所述定位板具有一个所述限位面，且两个所述定位板的限位面相互垂直。
优选地，所述定位机构包括四个支撑杆，每一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为定位板，每一个所述定位板具有一个所述限位面，且相邻的两个所述定位板的限位面相互垂直。
优选地，所述顶针与所述底座之间螺纹连接；或
所述顶针与所述底座之间焊接。
优选地，所述顶针与所述底座一体成型。
优选地，所述载台具有供所述支撑杆穿过的通孔。
优选地，所述载台承载面的一侧间隔设置有多条具有气吸孔的凸棱。
本实用新型提供的基板承载装置包括具有承载面的载台，位于载台背离其承载面的一侧、沿承载面垂线方向相对于载台往复运动的底座，穿过载台、且一端固定于底座的多根顶针；还包括：
定位机构，定位机构包括至少两个支撑杆，每一个支撑杆的一端固定于底座，另一端位于载台背离底座的一侧、且设置有限位单元；各限位单元确定多个垂直于承载面的限位面；
当定位机构对基板进行定位时，基板的每个侧面与至少一个限位面接触，每一个顶针的另一端低于限位面背离承载面的一边。
当被检测基板在载台的承载面测试结束后，调节顶针向基板移动，直至顶针的另一端抵住基板朝向载台的一面后，调节定位机构的支撑杆上的各限位单元，使基板的每个侧面与至少一个限位面接触，从而将基板的各个侧面夹紧；由于上述基板承载装置中顶针和定位机构的支撑杆均固定于底座上，因此，在支撑杆上的限位单元将基板夹紧后，限位单元也可以随顶针移动，而且在各顶针将基板自载台的承载面顶起的过程中，限位单元一直对基板进行夹紧定位，当顶针将基板完全顶至机械手夹取基板的位置后，调节限位单元，使限位单元的限位面脱离基板的各个侧面，然后机械手夹取基板。
所以，本实用新型提供的基板承载装置可以降低基板在被顶针完全顶起至机械手夹取基板位置的过程中因抖动而发生偏移的可能性，进而降低了机械手夹取基板时，机械手与基板发生相互干涉的概率。
附图说明
图1为背景技术中基板承载装置的立体示意图；
图2为背景技术中基板承载装置的前视示意图；
图3为本实用新型提供的基板承载装置立体示意图；
图4为本实用新型提供的基板承载装置前视示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图3、图4所示，本实用新型提供的基板承载装置包括具有承载面的载台1，位于载台1背离其承载面的一侧、沿承载面垂线方向相对于载台1往复运动的底座2，穿过载台1、且一端固定于底座2的多根顶针3；还包括：
定位机构4，定位机构4包括至少两个支撑杆5，每一个支撑杆5的一端固定于底座2，另一端位于载台背离底座2的一侧、且设置有限位单元6；各限位单元6确定多个垂直于承载面的限位面；
当定位机构4对基板7进行定位时，基板7的每个侧面与至少一个限位面接触，且每一个顶针3的另一端低于限位面背离承载面的一边。
当被检测基板7在载台1的承载面测试结束后，调节顶针3向基板7移动，直至顶针3的另一端抵住基板7朝向载台1的一面后，调节定位机构4的支撑杆5上的各限位单元6，使基板7的每个侧面与至少一个限位面接触，从而将基板7的各个侧面夹紧；由于上述基板承载装置中顶针3和定位机构4的支撑杆5均固定于底座2上，因此，在支撑杆5上的限位单元6将基板7夹紧后，限位单元6也可以随顶针3移动，而且在各顶针3将基板7自载台1的承载面顶起的过程中，限位单元6一直对基板7进行夹紧定位，当顶针3将基板7完全顶至机械手夹取基板7的位置后，调节限位单元6，使限位单元6的限位面脱离基板7的各个侧面，然后机械手夹取基板7。
所以，本实用新型提供的基板承载装置可以降低基板7在被顶针3完全顶起至机械手夹取基板7位置的过程中因抖动而发生偏移的可能性，进而降低了机械手夹取基板7时，机械手与基板7发生相互干涉的概率。
具体地，上述实施例中提供的定位机构4可以有多种设置方式：
方式一：请继续参考图3，上述定位机构4可以包括：
两个或四个支撑杆5，每一个支撑杆5的一端固定于底座，每一个支撑杆5另一端具有的限位单元6为两个延伸方向相互垂直的定位杆51，每一个定位杆51具有一个限位面，且两个定位杆具有的限位面相互垂直。
当上述定位机构4包括两个支撑杆5时，每一个支撑杆5另一端的限位单元6为两个相互垂直的定位杆51，每一个定位杆51朝向基板7的一侧确定一个限位面，共具有四个限位面，在定位夹紧基板7时，其中一个支撑杆5具有的两个定位杆51的限位面与基板7中相邻的两个侧面接触，另一个支撑杆5的两个定位杆51的限位面与基板7中另外两个相邻的侧面接触，实现对基板7的定位。
当上述定位机构4包括四个支撑杆5时，每一个支撑杆5另一端的限位单元6为两个相互垂直的定位杆51，每一个定位杆51朝向基板7的一侧确定一个限位面，共具有八个限位面，每相邻的两个支撑杆5所具有的四个定位杆51中，延伸方向重合的两个定位杆51的限位面与基板7的一个侧面接触；因此，在定位夹紧基板7时，基板的每一个侧面均由两个定位杆51的限位面进行定位，可以提高限位单元6对基板7定位时的稳定性。
具体的，上述方式一中提供的每一个定位机构4还包括：
固定于每一个支撑杆5另一端的驱动气缸，两个定位杆51固定于驱动气缸活塞杆的外端，活塞杆的伸缩方向与两个定位杆51的延伸方向之间的夹角相同，具体均为45°。
需要定位夹紧基板7时，驱动气缸的活塞杆伸出，并推动两个定位杆51靠近基板7，直至每一个定位杆51的限位面抵住基板7的一个侧面，实现对基板7的定位夹紧；
需要松开基板7时，驱动气缸的活塞杆缩回，并带动两个定位杆51慢慢远离基板7，解除各定位杆51的限位面对基板7侧面的定位，便于机械手夹取基板7。
具体的，上述方式一中提供的每一个定位机构4还包括：
安装于支撑杆5的驱动电机；
与驱动电机的输出轴同轴固定的齿轮；
与齿轮配合的齿条，两个定位杆51固定于齿条靠近基板7的一端；齿条滑动支撑于支撑杆5，且平行于承载面；齿条的伸缩方向与两个定位杆51的延伸方向之间的夹角相同，具体均为45°。
需要定位夹紧基板7时，驱动电机的输出轴带动齿轮正转，该齿轮带动与其啮合的齿条伸出，进而推动齿条设置的两个定位杆51靠近基板7，直至每一个定位杆51的限位面抵住基板7的一个侧面，实现对基板7的定位夹紧；
需要松开基板7时，驱动电机的输出轴带动齿轮反转，该齿轮带动与其啮合的齿条缩回，进而带动齿条设置的两个定位杆51远离基板7，解除各定位杆51的限位面对基板7侧面的定位，便于机械手夹取基板7。
更具体的，上述方式一中每一个定位杆51具有防止定位杆51和基板7发生撞击的滚轮。
方式二，上述定位机构4可以包括：
三个支撑杆5，其中，
一个支撑杆5另一端具有的限位单元6为两个延伸方向相互垂直的定位杆51，每一个定位杆51具有一个限位面，且两个定位杆51的限位面相互垂直；
另外两个支撑杆5中，每一个支撑杆另一端具有的限位单元为一个定位板，每一个定位板具有一个限位面，且两个定位板的限位面相互垂直。
具体地，每一个支撑杆5的另一端具有一个驱动气缸，两个定位杆51固定于一个驱动气缸活塞杆的外端，每一个定位板固定于一个驱动气缸的活塞杆外端。
需要定位夹紧基板7时，具有两个定位杆51的支撑杆5中驱动气缸的活塞杆伸出，推动定位杆51靠近基板7，直至每一个定位杆51的限位面抵住基板7的一个侧面；同时，另外两个具有定位板的支撑杆5中，每一个支撑杆5的定位板在驱动气缸的活塞杆推动下向基板7靠近，直至每一个定位板的限位面与基板7的一个侧面接触，从而实现对基板7的定位夹紧；
需要松开基板7时，各驱动气缸的活塞杆缩回，并带动定位杆51或定位板远离基板7，解除各定位杆51以及定位板的限位面对基板7侧面的定位，便于机械手夹取基板7。
方式三，上述定位机构4可以包括：
四个支撑杆5，每一个支撑杆5另一端具有的限位单元为的定位板，每一个定位板具有一个限位面，且相邻的两个定位板的限位面相互垂直。
具体地，每一个支撑杆5的另一端具有一个驱动气缸，每一个定位板固定于一个驱动气缸的活塞杆外端。
需要定位夹紧基板7时，驱动气缸的活塞杆伸出，并推动定位板靠近基板7，直至每一个定位板的限位面与基板7的一个侧面接触，以实现对基板7的定位夹紧；
需要松开基板7时，驱动气缸的活塞杆缩回，并带动定位板远离基板7，解除各定位板的限位面对基板7侧面的定位，便于机械手夹取基板7。
具体地，上述顶针3与底座2之间螺纹连接；或
顶针3与底座2之间焊接。
具体地，上述顶针3与底座2一体成型。
请参考图3，具体地，上述载台1具有供支撑杆5穿过的通孔。
支撑杆5穿设在通孔内随底座2同步运动，可以防止支撑杆5与载台1发生摩擦或撞击而造成基板损坏。
请参考图4，具体地，载台1承载面的一侧间隔设置有多条具有气吸孔的凸棱11。
基板7被放置在凸棱11的顶面进行检测，从而能够防止破真空后基板7依然紧紧吸附于载台1的承载面。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (11)
1.一种基板承载装置，包括：具有承载面的载台，位于所述载台背离其承载面的一侧、且沿所述承载面垂线方向相对于所述载台往复运动的底座，穿过所述载台、且一端固定于所述底座的多根顶针；其特征在于，还包括：
定位机构，所述定位机构包括至少两个支撑杆，每一个所述支撑杆的一端固定于所述底座，另一端位于所述载台背离所述底座的一侧、且设置有限位单元；各所述限位单元确定多个垂直于所述承载面的限位面；
当所述定位机构对基板进行定位时，所述基板的每个侧面与至少一个所述限位面接触，每一个所述顶针的另一端低于所述限位面背离所述承载面的一边。
2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构包括两个或四个支撑杆，每一个所述支撑杆的一端固定于所述底座，每一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为两个延伸方向相互垂直的定位杆，每一个所述定位杆具有一个所述限位面，且两个所述定位杆具有的限位面相互垂直。
3.根据权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构还包括：
固定于每一个所述支撑杆另一端的驱动气缸，所述两个定位杆固定于所述驱动气缸活塞杆的外端，所述活塞杆的伸缩方向与两个所述定位杆的延伸方向之间的夹角相同。
4.根据权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构还包括：
安装于每一个所述支撑杆另一端的驱动电机；
与所述驱动电机的输出轴同轴固定的齿轮；
与所述齿轮配合的齿条，所述两个定位杆固定于所述齿条靠近所述基板的一端，所述齿条滑动支撑于所述支撑杆，且平行于所述承载面；所述齿条的伸缩方向与两个所述定位杆的延伸方向之间的夹角相同。
5.根据权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，每一所述定位杆具有防止所述定位杆与所述基板发生撞击的滚轮。
6.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构包括三个支撑杆，其中，
一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为两个延伸方向相互垂直的定位杆，每一个所述定位杆具有一个所述限位面，且两个所述定位杆的限位面相互垂直；
另外两个所述支撑杆中，每一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为一个定位板，每一个所述定位板具有一个所述限位面，且两个所述定位板的限位面相互垂直。
7.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述定位机构包括四个支撑杆，每一个所述支撑杆另一端具有的限位单元为定位板，每一个所述定位板具有一个所述限位面，且相邻的两个所述定位板的限位面相互垂直。
8.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述顶针与所述底座之间螺纹连接；或
所述顶针与所述底座之间焊接。
9.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述顶针与所述底座一体成型。
10.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述载台具有供所述支撑杆穿过的通孔。
11.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述载台承载面的一侧间隔设置有多条具有气吸孔的凸棱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320286674 CN203275819U (zh) | 2013-05-23 | 2013-05-23 | 一种基板承载装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320286674 CN203275819U (zh) | 2013-05-23 | 2013-05-23 | 一种基板承载装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203275819U true CN203275819U (zh) | 2013-11-06 |
Family
ID=49506194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201320286674 Expired - Lifetime CN203275819U (zh) | 2013-05-23 | 2013-05-23 | 一种基板承载装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN203275819U (zh) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20131106 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |