KR102492779B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 챔버 외부에 배치되는 동력발생부와 챔버 내부에 배치되는 이송부를 연결하는 와이어부재를 이용하여 챔버와 와이어부재 간의 축소된 마찰면적으로 인하여 실링면적을 최소화하고, 챔버 내부에서의 파티클 발생을 크게 줄일 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 기판이 처리되는 처리공간과 연통되는 관통공이 형성된 측벽을 가지는 챔버; 상기 처리공간에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 이송샤프트를 가지는 이송부; 상기 측벽을 기준으로 상기 처리공간의 반대편에 배치되며, 상기 기판을 이송시키기 위한 구동력을 발생시키는 동력발생부; 상기 관통공을 관통하여 상기 동력발생부와 상기 이송부를 연결하며, 상기 동력발생부의 구동력을 상기 이송부로 전달하는 동력전달부;를 포함하고, 상기 동력전달부는, 상기 동력발생부의 구동력에 의해 회전하는 제1연결부재와, 상기 이송샤프트의 단부에 축 결합되는 제2연결부재와, 상기 관통공을 관통하여 배치되며, 일단부는 상기 제1연결부재에 축 결합되고, 타단부는 상기 제2연결부재에 축 결합되는 와이어부재를 포함하되, 상기 관통공을 관통하는 상기 와이어부재의 적어도 일부는 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 직경보다 작은 직경을 가지는 특징을 개시한다.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로, 상세하게는 챔버 외부에 배치되는 동력발생부와 챔버 내부에 배치되는 이송부를 연결하는 와이어부재를 이용하여 챔버와 와이어부재 간의 축소된 마찰면적으로 인하여 실링면적을 최소화하고, 챔버 내부에서의 파티클 발생을 크게 줄일 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이, 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 다양한 처리공정을 거치면저 제조된다. 예를 들면, 식각, 스트립, 세정, 건조 등의 처리공정들이 수행된다.
이러한 기판 처리공정은 대개 오염방지를 위해 청정한 공정챔버 내부에서 수행되고, 각 공정챔버 내부의 기판은 이송장치에 의해 공정챔버 내부에서 일방향으로 이동되면서 일련의 처리공정이 수행된다.
복수의 기판 처리공정 간에 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치가 사용된다. 기판 이송장치는 대개 공정챔버의 외측에 배치되어 동력을 발생시키는 엑추에이터와, 공정챔버의 내측에 배치되어 회전함에 따라 상면에 놓인 기판을 일방향으로 이송시키는 이송샤프트와, 공정챔버를 관통하여 상기 엑추에이터의 동력을 상기 이송샤프트로 전달하기 위한 동력전달부를 포함하게 된다.
이처럼 공정챔버를 관통하여 엑추에이터 및 이송샤프트를 직접 연결하는 동력전달 방식에는 다음과 같은 문제가 발생된다.
즉, 이송샤프트의 회전 구동 시 베어링 등 기계적 마찰 영역에서 다량의 파티클이 발생되는 문제가 있고, 이러한 파티클은 설비를 오염시킬 뿐 아니라 공정챔버 내부에서 처리되는 기판을 오염시켜 기판 처리공정의 수율을 저하시키는 문제가 있다.
또한, 공정챔버를 관통하는 동력전달부의 설치를 위해 공정챔버의 측벽에 형성되는 관통홀에 의해 공정챔버 내부의 기밀성이 낮아지는 문제가 있고, 이에 따라 공정챔버 내부에서 사용되는 처리액으로부터 발생되는 파티클이나 흄(Fume) 등이 공정챔버 외부로 누출될 수 있고, 누출된 파티클이나 흄에 의해 설비가 오염 및 부식되고 작업 환경의 안정성이 저하되는 문제가 있다.
대한민국 등록특허공보 제1048825호 (2011.07.12.공고)
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 과제는 챔버 외부에 배치되는 동력발생부와 챔버 내부에 배치되는 이송부를 연결하는 와이어부재를 이용하여 챔버와 와이어부재 간의 축소된 마찰면적으로 인하여 실링면적을 최소화하고, 챔버 내부에서의 파티클 발생을 크게 줄일 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치는, 기판이 처리되는 처리공간과 연통되는 관통공이 형성된 측벽을 가지는 챔버; 상기 처리공간에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 이송샤프트를 가지는 이송부; 상기 측벽을 기준으로 상기 처리공간의 반대편에 배치되며, 상기 기판을 이송시키기 위한 구동력을 발생시키는 동력발생부; 상기 관통공을 관통하여 상기 동력발생부와 상기 이송부를 연결하며, 상기 동력발생부의 구동력을 상기 이송부로 전달하는 동력전달부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 동력전달부는, 상기 동력발생부의 구동력에 의해 회전하는 제1연결부재와, 상기 이송샤프트의 단부에 축 결합되는 제2연결부재와, 상기 관통공을 관통하여 배치되며, 일단부는 상기 제1연결부재에 축 결합되고, 타단부는 상기 제2연결부재에 축 결합되는 와이어부재를 포함할 수 있으며, 이 경우 상기 관통공을 관통하는 상기 와이어부재의 적어도 일부는 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
또한, 상기 와이어부재는, 상기 관통공을 관통하여 배치되는 와이어본체와, 상기 와이어본체의 일단부에 결합되며, 상기 제1연결부재에 축 결합되는 제1축부재와, 상기 와이어본체의 타단부에 결합되며, 상기 제2연결부재에 축 결합되는 제2축부재를 포함할 수 있다.
또한, 상기 와이어본체는, 플렉시블한 재질로 이루어지며, 상기 제1연결부재의 회전축과 상기 제2연결부재의 회전축 간에 편심이 발생될 시, 편심 정도에 따라 휘어지면서 상기 제1연결부재의 회전력을 상기 제2연결부재 측으로 전달할 수 있다.
또한, 상기 제1축부재는 상기 제1연결부재를 관통한 상태에서 이동클램프를 매개로 상기 제1연결부재에 축 결합될 수 있고, 상기 제2축부재는 상기 제2연결부재에 형성된 축홈과 상응하는 형상의 삽입부가 상기 축홈에 삽입되면서 상기 제2연결부재에 축 결합될 수 있다.
또한, 상기 동력전달부는, 상기 측벽의 관통공과 상기 와이어부재 사이에 배치되어, 상기 관통공과 상기 와이어부재 사이의 기밀을 확보하기 위한 실링부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 동력전달부는, 상기 동력발생부의 출력단에 결합되는 구동기어와, 상기 구동기어와 기어 결합되며, 상기 이송샤프트의 수량과 상응하는 수량으로 마련되는 상기 제1연결부재에 각각 축 결합되는 복수의 피동기어를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 와이어부재는 상기 제1연결부재를 관통한 상태에서 상기 제1연결부재에 축 결합될 수 있고, 이 경우 상기 동력전달부는, 상기 제1연결부재의 내면과 상기 와이어부재의 외면 간의 면압력을 높여, 상기 제1연결부재의 회전력을 상기 와이어부재 측으로 전달하는 동력전달증가부를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 동력전달증가부는, 적어도 일부분이 상기 제1연결부재의 전방측 내면과 상기 와이어부재의 외면 사이에 삽입되는 고정클램프와, 적어도 일부분이 상기 제1연결부재의 후방측 내면과 상기 와이어부재의 외면 사이에 삽입되는 이동클램프와, 상기 고정클램프 및 상기 이동클램프에 의해 형성되는 상기 제1연결부재의 내면과 상기 와이어부재의 외면 사이에 배치되며, 상기 이동클램프의 체결 위치에 따라 상기 이동클램프에 의해 축방향으로 압축되고 반경방향으로 팽창되면서 상기 제1연결부재의 내면과 상기 와이어부재의 외면에 밀착되는 탄성슬리브를 포함할 수 있다.
또한, 상기 동력전달증가부는, 상기 탄성슬리브와 상기 이동클램프 사이에 배치되며, 상기 이동클램프의 체결 위치에 따라 상기 이동클램프에 의해 축방향으로 이동되면서 상기 탄성슬리브를 가압하는 가압링을 더 포함할 수도 있다.
또한, 상기 측벽을 기준으로 상기 처리공간의 반대편에 배치되며, 상기 제1연결부재를 회전 가능하게 지지하는 외측프레임을 더 포함할 수 있고, 이 경우 상기 동력전달부는, 상기 외측프레임으로부터 상기 제1연결부재를 회전 가능하게 지지하는 제1베어링부재와, 상기 측벽으로부터 상기 와이어부재를 회전 가능하게 지지하는 제2베어링부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 챔버를 관통하는 상대적으로 작은 직경의 와이어부재를 포함한 동력전달부를 통하여, 마그넷 방식이 아닌 직접 연결 방식을 채택하여 동력발생부에서 발생된 동력을 이송부 측으로 효과적으로 전달할 수 있고, 동력전달부의 설치 공간을 최소화하여 장치의 소형화가 가능하다.
또한, 챔버를 관통하는 상대적으로 작은 직경의 와이어부재를 포함한 동력전달부를 통하여, 챔버와 와이어부재 간의 축소된 마찰면적으로 인하여 실링면적을 최소화할 수 있고, 파티클에 의하여 기판이 처리되는 처리공간의 청정도가 저하되거나 처리공간 내의 처리액이나 흄 등이 챔버 외부로 누출되는 문제를 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 예시도이다.
도 2는 도 1의 부분 단면 예시도이다.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대하여 나타낸 단면 예시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 동력전달부를 나타낸 분리 사시도이다.
도 5는 도 4의 동력전달부를 반대방향에서 바라본 분리 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 동력전달증가부를 나타낸 단면 예시도이다.
도 7은 본 발명의 실시에에 따른 동력발생부와 동력전달부의 연결 구조를 설명하기 위한 예시도이다.
이하 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용될 수 있으며 이에 따른 부가적인 설명은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치의 예시도이고, 도 2는 도 1의 부분 단면 예시도이며, 도 3은 도 2의 A 부분을 확대하여 나타낸 단면 예시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치는 챔버(100), 이송부(200), 동력발생부(300), 동력전달부(400)를 포함할 수 있다.
챔버(100)는 기판이 처리되는 처리공간(S)을 가질 수 있으며, 처리공간(S)은 복수의 측벽(110)에 의해 마련될 수 있다.
복수의 측벽(110) 중 적어도 하나의 측벽(110)에는 관통공(111)이 형성될 수 있으며, 관통공(111)에 의해 처리공간(S)은 외부와 연통될 수 있다.
관통공(111)은 제1관통공(111a) 및 제2관통공(111b)을 포함할 수 있다.
제1관통공(111a)은 측벽(110)의 외면에 형성될 수 있으며 제1직경을 가질 수 있다. 그리고 제2관통공(111b)은 제1관통공(111a)과 연통하게 측벽(110)의 내면에 형성될 수 있으며 제1직경보다 작은 제2직경을 가질 수 있다.
이송부(200)는 처리공간(S)에 배치되며 처리공간(S)의 기판을 이송시킬 수 있다.
이송부(200)는 이송샤프트(210) 및 이송롤러(211)를 가질 수 있다. 기판은 이송샤프트(210)와 연동하는 이송롤러(211)의 상면에 놓인 상태에서 이송롤러(211)의 구름 동작에 의해 이송샤프트(210)의 축방향에 교차하는 방향으로 이송될 수 있다.
이때, 이송샤프트(210)는 회전축이 제2관통공(111b)의 중심을 향하도록 배치될 수 있다.
실시예에 따른 이송부(200)는 기판의 하면을 지지하는 하부 이송샤프트(210) 및 하부 이송롤러(211)와, 기판의 상면을 지지하는 상부 이송샤프트(220) 및 상부 이송롤러(221)를 포함할 수 있다.
동력발생부(300)는 기판을 이송시키기 위한 구동력을 발생시키는 것으로, 챔버(100)의 외측에 배치될 수 있다. 즉, 동력발생부(300)는 측벽(110)을 기준으로 처리공간(S)의 반대편에 배치될 수 있다.
실시에에 따른 동력발생부(300)는 측벽(110)으로부터 이격하여 배치되는 외측프레임(401) 상에 설치될 수 있다.
이러한 동력발생부(300)로는 모터가 사용될 수 있다.
동력전달부(400)는 동력발생부(300)과 이송부(200)를 연결하여 동력을 전달하는 것으로, 측벽(110)의 관통공(111)을 통하여 동력발생부(300)에서 발생된 구동력을 이송부(200)의 이송샤프트(210) 측으로 전달할 수 있다.
본 발명에 따른 동력전달부(400)는 마그넷 방식이 아닌 직접 연결 방식을 채택하여 동력발생부(300)에서 발생된 구동력을 이송부(200) 측으로 효과적으로 전달할 수 있고, 동력 전달 유닛의 설치 공간을 최소화하여 소형화가 가능하며, 특히 직접 연결 방식에서 발생되는 파티클에 의하여 처리공간(S)의 청정도가 저하되는 문제를 예방할 수 있고, 처리공간(S) 내부의 처리액이나 흄(Fume) 등이 챔버(100) 외부로 누출되는 문제를 예방할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 동력전달부를 나타낸 분리 사시도이고, 도 5는 도 4의 동력전달부를 반대방향에서 바라본 분리 사시도이다.
도 4 및 도 5를 추가 참조하면, 본 실시예에 따른 동력전달부(400)는 제1연결부재(410), 제2연결부재(420) 및 와이어부재(430)를 포함할 수 있다.
제1연결부재(410)는 측벽(110)의 외측에 배치되어 동력발생부(300)와 결합될 수 있으며, 동력발생부(300)에서 발생된 구동력에 의해 회전될 수 있다.
실시예에 따른 제1연결부재(410)는 외측프레임(401)의 설치공(401a)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
구체적으로, 제1연결부재(410)는 일단부가 외측프레임(401)의 설치공(401a)에 회전 가능하게 결합되고, 외측프레임(401)의 설치공(401a)으로부터 외부로 노출된 타단부에는 키(413)를 매개로 피동기어(473)가 축 결합될 수 있다. 이에 따라, 동력발생부(300)에서 발생된 구동력이 피동기어(473)로 전달되면, 제1연결부재(410)는 연동하여 외측프레임(401)의 설치공(401a) 상에서 회전될 수 있다.
또한, 제1연결부재(410)의 중심에는 와이어부재(430)가 관통하는 축공(411)이 구비될 수 있으며, 축공(411)에는 와이어부재(430)가 여유 틈새를 가지면서 관통하여 배치될 수 있다.
제2연결부재(420)는 측벽(110)의 내측 즉, 처리공간(S)에 배치되어 이송샤프트(210)의 단부에 축 결합될 수 있다.
구체적으로, 제2연결부재(420)는 일단부가 이송샤프트(210)의 단부에 축 결합되고, 타단부는 측벽(110)의 제2관통공(111b)을 향하여 돌출 형성될 수 있다.
이때, 제2관통공(111b)를 향하는 제2연결부재(420)의 타단부는 이송샤프트(210)의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
또한, 제2관통공(111b)를 향하는 제2연결부재(420)의 타단부 중심부에는 축방향을 따라 축홈(421)이 형성될 수 있다. 축홈(421)에는 와이어부재(430)의 삽입부(433a)가 축 결합될 수 있다.
또한, 축홈(421)이 형성되는 제2연결부재(420)의 타단부는 제2베어링부재(B2)를 매개로 제2관통공(111b)에 지지될 수 있다.
와이어부재(430)는 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420)를 연결하는 것으로, 측벽(110)의 관통공(111)을 관통하여 배치될 수 있으며, 일단부는 제1연결부재(410)에 축 결합되고, 타단부는 제2연결부재(420)에 축 결합될 수 있다.
이러한 와이어부재(430)는 관통공(111)을 관통하는 적어도 일부분이 제1연결부재(410)의 직경 및 제2연결부재(420)의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
이에 따라, 동력발생부(300)와 동력전달부(400)의 대부분의 유닛들을 처리공간(S)의 외부에 배치한 채, 관통공(111) 및 와이어부재(430) 사이에 발생된 미세 유격에 대해서만 기밀 확보를 고려하면 되기 때문에, 요구되는 기밀 확보 공간을 크게 줄일 수 있고, 동력전달부(400)로 인하여 처리공간(S)의 청정도가 변화되거나 주변 설비가 쉽게 오염되는 문제를 예방할 수 있다.
또한, 와이어부재(430)를 통한 직접 연결 방식을 이용함으로써, 마그넷을 이용한 간접 연결 방식에 비해 동력 전달 성능을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 와이어부재(430)를 포함한 동력전달부의 소형화가 가능한 이점도 있다.
실시예에 따른 와이어부재(430)는 와이어본체(431), 제1축부재(432) 및 제2축부재(433)를 가질 수 있다.
와이어본체(431)는 축방향을 따라 연장 형성되며, 관통공(111)을 관통하여 배치될 수 있다.
구체적으로, 와이어본체(431)는 일단부에 제1축부재(432)가 축 결합되는 제1홈부(431a)가 구비되고, 타단부에는 제2축부재(433)가 축 결합되는 제2홈부(431b)가 구비될 수 있다.
또한, 와이어본체(431)는 내부가 비어 있는 중공 구조로 형성될 수 있다. 물론 와이어본체(431)는 내부가 찬 솔리드 구조로 형성될 수도 있다.
이러한 와이어본체(431)로는 뒤틀림 강성이 우수하여 회전력이 효과적으로 전달될 수 있고, 이와 동시에 길이 대비 직경이 상대적으로 작아 외력에 휘어지더라도 쉽게 복원될 수 있는 소재가 사용될 수 있다. 예를 들면 강선이나 튜브 등이 사용될 수 있다.
이처럼 길이 대비 상대적으로 작은 직경을 가지면서 복원력을 가지는 플렉시블한 와이어본체(431)를 이용함으로써, 사용 중 제1연결부재(410) 및 제2연결부재(420) 간의 회전축이 일직선에서 틀어져 편심이 발생하더라도, 플렉시블한 와이어본체(431)는 편심 정도에 따라 휘어지면서 제1연결부재(410)의 회전력을 제2연결부재(420) 측으로 안정적으로 전달할 수 있다. 또한 플렉시블한 와이어본체(431)는 휘어진 상태에서도 마찰에 의한 파티클 생성이 억제될 수 있다.
제1축부재(432)는 일단부가 제1홈부(431a)에 삽입되어 와이어본체(431)에 축 결합될 수 있고, 축방향으로 연장된 타단부는 제1연결부재(410)의 축공(411)을 관통하여 후술되는 이동클램프(450)를 매개로 제1연결부재(410)에 축 결합될 수 있다.
제2축부재(433)는 일단부가 제2홈부(431b)에 삽입되어 와이어본체(431)에 축 결합될 수 있고, 축방향으로 연장된 타단부는 제2연결부재(420)의 축홈(421)에 삽입되어 제2연결부재(420)에 축 결합될 수 있다.
이때, 축홈(421)에 축 결합되는 제2축부재(433)의 삽입부(433a)는 축홈(421)의 단면 형상에 상응하는 단면 형상을 가질 수 있는데, 예를 들어, D형이나 다각형, 또는 스플라인 형상을 가질 수 있다.
또한, 제2축부재(433)의 삽입부(433a)는 축홈(421)을 향하는 단부가 첨예부를 가지도록 테이퍼지게 형성될 수 있다. 이에 따라 축홈(421)에 제2축부재(433)를 일치시키는 축 조립 작업을 용이하게 수행할 수 있다.
한편, 동력전달부(400)는 실링부재(440)를 더 가질 수 있다.
실링부재(440)는 측벽(110)의 관통공(111)과 와이어본체(431) 사이에 배치될 수 있다.
이처럼 본 발명은 관통공(111) 및 와이어부재(430) 사이에 발생된 미세 유격에만 실링부재(440)를 배치하면 되기 때문에, 사용되는 실링부재(440)의 수량 및 크기를 줄일 수 있고, 상대적으로 적은 수량 및 크기에도 불구하고 기밀성이 보장될 수 있다.
표시번호 441은 실링부재(440)의 축방향 위치를 고정시키기 위한 실링부재 안착구이다.
또한, 동력전달부(400)는 제1베어링부재(B1) 및 제2베어링부재(B2)를 더 가질 수 있다.
제1베어링부재(B1)는 외측프레임(401)의 설치공(401a)과 제1연결부재(410) 외면 사이에 배치되어 외측프레임(401)으로부터 제1연결부재(410)를 회전 가능하게 지지할 수 있다.
제2베어링부재(B2)는 측벽(110)의 제2관통공(111b)과 와이어부재(430)의 외면 사이에 배치되어 측벽(110)으로부터 와이어부재(430)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 이때 제2베어링부재(B2)는 와이어부재(430)의 단부가 축 결합되는 제2연결부재(420)를 회전 가능하게 지지할 수도 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 동력전달증가부를 나타낸 단면 예시도이다.
도 6을 추가 참조하면, 동력전달부(400)는 동력전달증가부를 더 포함할 수 있다.
동력전달증가부는 제1연결부재(410)의 내면과 와이어부재(430)의 외면 간의 면압력을 높여, 제1연결부재(410)의 회전력을 와이어부재(430) 측으로 효과적으로 전달할 수 있다.
구체적으로, 동력전달증가부는 고정클램프(451), 이동클램프(450) 및 탄성슬리브(461)를 가질 수 있다.
고정클램프(451)는 적어도 일부분이 제1연결부재(410)의 전방측 내면과 와이어부재(430)의 외면 사이에 삽입될 수 있다.
고정클램프(451)는 외측프레임(401)의 일면에 결합되어 일부분이 제1연결부재(410)의 전방측 내면과 와이어부재(430)의 외면 사이의 공간으로 삽입될 수 있다.
또한, 고정클램프(451)는 외측프레임(401)에 결합된 상태에서 회전하는 와이어부재(430)를 슬립시키면서 와이어부재(430)의 회전축을 안정적으로 지지할 수도 있다.
또한, 고정클램프(451)는 외측프레임(401)에 나사 결합될 수 있고, 고정링에 의해 외측프레임(401)에 결합될 수도 있다.
이동클램프(450)는 적어도 일부분이 제1연결부재(410)의 후방측 내면과 와이어부재(430)의 외면 사이에 삽입될 수 있다.
이동클램프(450)는 제1연결부재(410)의 일면에 결합되어 일부분이 제1연결부재(410)의 후방측 내면과 와이어부재(430)의 외면 사이의 공간으로 삽입될 수 있다.
또한, 이동클램프(450)는 와이어부재(430)와 축 결합되는 동시에, 피동기어(473)가 축 결합된 제1연결부재(410)의 일면에 축 결합될 수 있다. 이에 따라, 이동클램프(450)를 통하여 피동기어(473), 제1연결부재(410) 및 와이어부재(430)는 축 결합 상태가 유지될 수 있다.
또한, 이동클램프(450)는 제1연결부재(410)에 대해 다양한 축 체결 방식으로 결합될 수 있으며, 예컨대 이동클램프(450)는 제1연결부재(410)에 나사 결합될 수도 있다.
탄성슬리브(461)는 탄성 소재로 이루어질 수 있으며, 고정클램프(451) 및 이동클램프(450)에 의해 형성되는 제1연결부재(410)의 내면과 와이어부재(430)의 외면 사이에 배치될 수 있다.
이러한 탄성슬리브(461)는 축방향에 대한 이동클램프(450)의 체결 위치에 따라 이동클램프(450)에 의해 축방향으로 압축되면서 반경방향으로 팽창될 수 있다. 이에 따라, 탄성슬리브(461)는 제1연결부재(410)의 내면과 와이어부재(430)의 외면에 밀착될 수 있다.
또한, 동력전달증가부는 가압링(462)을 더 가질 수 있다.
가압링(462)은 탄성슬리브(461)와 이동클램프(450) 사이에 배치될 수 있으며, 축방향에 대한 이동클램프(450)의 체결 위치에 따라 축방향으로 이동되면서 탄성슬리브(461)를 축방향으로 가압할 수 있다.
이처럼 동력전달증가부는 제1연결부재(410)의 내면과 와이어부재(430)의 외면 사이에 면압력을 높여서, 제1연결부재(410)의 회전력을 와이어부재(430) 측으로 보다 효과적으로 전달할 수 있다.
또한, 동력전달증가부는 제1연결부재(410)의 내면과 와이어부재(430)의 외면 사이에 면압력을 높여, 제1연결부재(410)와 와이어부재(430)의 회전력을 동기화함으로써, 축 체결력을 높이고 백래쉬(유격)의 발생을 억제할 수 있기 때문에, 보다 정밀한 제어가 가능하다.
도 7은 본 발명의 실시에에 따른 동력발생부와 동력전달부의 연결 구조를 설명하기 위한 예시도이다.
도 7을 추가 참조하면, 동력전달부(400)는 구동기어(471), 피동기어(473) 및 중간기어(472)를 더 포함할 수 있다.
구동기어(471)는 동력발생부(300)의 출력단에 결합되며, 스퍼기어(Spur gear)가 사용될 수 있다. 또한 구동기어(471)는 외측프레임(401)이 일면에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
피동기어(473)는 구동기어(471)와 기어 결합되며, 구동기어(471)와 마찬가지 스퍼기어가 사용될 수 있다. 또한 피동기어(473)는 외측프레임(401)이 일면에 회전 가능하게 결합되되, 이송샤프트(210)의 수량과 상응한 수량으로 마련되는 제1연결부재(410) 각각에 축 결합될 수 있다.
중간기어(472)는 구동기어(471) 또는 피동기어(473)와 기어 결합되며, 구동기어(471)와 마찬가지 스퍼기어가 사용될 수 있다. 또한 중간기어(472)는 외측프레임(401)의 일면에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
이처럼 구동기어(471), 피동기어(473) 및 중간기어(472)를 스퍼기어로 적용하면, 동력전달부(400)의 설치 공간 및 부피를 줄여 소형화가 가능하다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 챔버 110: 측벽
111: 관통공 200: 이송부
210: 이송샤프트 300: 동력발생부
400: 동력전달부 410: 제1연결부재
420: 제2연결부재 430: 와이어부재

Claims (10)

  1. 기판이 처리되는 처리공간과 연통되는 관통공이 형성된 측벽을 가지는 챔버;
    상기 처리공간에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 이송샤프트를 가지는 이송부;
    상기 측벽을 기준으로 상기 처리공간의 반대편에 배치되며, 상기 기판을 이송시키기 위한 구동력을 발생시키는 동력발생부;
    상기 관통공을 관통하여 상기 동력발생부와 상기 이송부를 연결하며, 상기 동력발생부의 구동력을 상기 이송부로 전달하는 동력전달부;를 포함하고,
    상기 동력전달부는,
    상기 동력발생부의 구동력에 의해 회전하는 제1연결부재와,
    상기 이송샤프트의 단부에 축 결합되는 제2연결부재와,
    상기 관통공을 관통하여 배치되며, 일단부는 상기 제1연결부재에 축 결합되고, 타단부는 상기 제2연결부재에 축 결합되는 와이어부재를 포함하고,
    상기 관통공을 관통하는 상기 와이어부재의 적어도 일부는 상기 제1연결부재 및 상기 제2연결부재의 직경보다 작은 직경을 가지며,
    상기 와이어부재는,
    상기 관통공을 관통하여 배치되는 와이어본체와,
    상기 와이어본체의 일단부에 결합되며, 상기 제1연결부재에 축 결합되는 제1축부재와,
    상기 와이어본체의 타단부에 결합되며, 상기 제2연결부재에 축 결합되는 제2축부재를 포함하고,
    상기 와이어본체는,
    플렉시블한 재질로 이루어지며, 상기 제1연결부재의 회전축과 상기 제2연결부재의 회전축 간에 편심이 발생될 시, 편심 정도에 따라 휘어지면서 상기 제1연결부재의 회전력을 상기 제2연결부재 측으로 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1축부재는 상기 제1연결부재를 관통한 상태에서 이동클램프를 매개로 상기 제1연결부재에 축 결합되고,
    상기 제2축부재는 상기 제2연결부재에 형성된 축홈과 상응하는 형상의 삽입부가 상기 축홈에 삽입되면서 상기 제2연결부재에 축 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 동력전달부는,
    상기 측벽의 관통공과 상기 와이어부재 사이에 배치되어, 상기 관통공과 상기 와이어부재 사이의 기밀을 확보하기 위한 실링부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 동력전달부는,
    상기 동력발생부의 출력단에 결합되는 구동기어와,
    상기 구동기어와 기어 결합되며, 상기 이송샤프트의 수량과 상응하는 수량으로 마련되는 상기 제1연결부재에 각각 축 결합되는 복수의 피동기어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 와이어부재는 상기 제1연결부재를 관통한 상태에서 상기 제1연결부재에 축 결합되고,
    상기 동력전달부는,
    상기 제1연결부재의 내면과 상기 와이어부재의 외면 간의 면압력을 높여, 상기 제1연결부재의 회전력을 상기 와이어부재 측으로 전달하는 동력전달증가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 동력전달증가부는,
    적어도 일부분이 상기 제1연결부재의 전방측 내면과 상기 와이어부재의 외면 사이에 삽입되는 고정클램프와,
    적어도 일부분이 상기 제1연결부재의 후방측 내면과 상기 와이어부재의 외면 사이에 삽입되는 이동클램프와,
    상기 고정클램프 및 상기 이동클램프에 의해 형성되는 상기 제1연결부재의 내면과 상기 와이어부재의 외면 사이에 배치되며, 상기 이동클램프의 체결 위치에 따라 상기 이동클램프에 의해 축방향으로 압축되고 반경방향으로 팽창되면서 상기 제1연결부재의 내면과 상기 와이어부재의 외면에 밀착되는 탄성슬리브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 동력전달증가부는,
    상기 탄성슬리브와 상기 이동클램프 사이에 배치되며, 상기 이동클램프의 체결 위치에 따라 상기 이동클램프에 의해 축방향으로 이동되면서 상기 탄성슬리브를 가압하는 가압링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 측벽을 기준으로 상기 처리공간의 반대편에 배치되며, 상기 제1연결부재를 회전 가능하게 지지하는 외측프레임;을 더 포함하고,
    상기 동력전달부는,
    상기 외측프레임으로부터 상기 제1연결부재를 회전 가능하게 지지하는 제1베어링부재와,
    상기 측벽으로부터 상기 와이어부재를 회전 가능하게 지지하는 제2베어링부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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