KR102269762B1 - 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구 - Google Patents

기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정전기 제거 기능을 갖는 기판 이송용 롤러 기구에 관한 것이다. 이송 롤러들은 통전 가능한 수지 재질로 중공 구조로 각각 이루어진다. 회전 샤프트는 내식성 재질로 중공 구조로 이루어져 이송 롤러들을 바깥쪽 둘레에 결합하며, 이송 롤러들을 결합하는 부위들에 관통홀들이 각각 형성된다. 도전성 관체는 도전성 재질로 중공 구조로 이루어져 회전 샤프트 내에 결합된다. 탄성 접촉부재들은 도전성 재질로 이루어져 회전 샤프트의 관통홀들에 각각 삽입된 상태로 이송 롤러들과 도전성 관체에 탄성력으로 접촉되어 이송 롤러들을 도전성 관체와 통전시킨다. 도전성 블록은 도전성 재질로 이루어져 도전성 관체와 통전되게 도전성 관체의 한쪽 단부에 결합된다. 접지 모듈은 회전 샤프트의 한쪽 단부를 통해 도전성 블록에 결합되어 도전성 블록을 접지시킨다.

Description

기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구{A GROUNDING APPARATUS OF ROLLER MECHANISM FOR SUBSTRATE TRANSFER}
본 발명은 기판 이송장치에 구비되어 기판을 이송하는데 사용되는 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구에 관한 기술이다.
LCD, OLED 등의 평판 디스플레이 제조시, 평판 디스플레이의 베이스를 이루는 유리 기판 등의 기판에 대해 검사 및 에칭(etching)과 같은 각종 표면 검사 및 표면 처리를 위한 공정이 수행되며, 이때 기판은 기판 이송장치에 의해 이송된다.
통상적인 기판 이송장치는 수평 방향으로 나란하게 배치되어 있는 회전 샤프트와, 각 회전 샤프트에 동일 축 상으로 조립되는 이송 롤러, 및 회전 샤프트를 회전시키는 모터 등으로 구성된다. 이송 롤러들은 기판의 저면 또는 양면을 접촉 지지한 상태로 회전 샤프트와 함께 모터에 의해 회전함에 따라 기판을 이송하게 된다.
이와 같이, 이송 롤러는 마찰력에 의해 기판을 이송하게 되는데, 이로 인해 기판에 정전기가 발생할 수 있고, 이러한 정전기는 기판을 먼지 등으로 오염시키므로, 기판 이송시 발생되는 정전기를 제거할 필요가 있다.
특히, 기판 이송장치가 에칭 장비에 사용되는 경우, 기판 이송장치는 정전기 방지와 더불어 에칭 용액에 대한 내식성을 갖도록 구성될 필요가 있어, 회전 샤프트를 PVC(Polyvinyl chloride) 재질을 사용하는 경우가 있고, 이 경우 PVC 재질의 회전 샤프트는 전기 절연성을 갖게 되므로, 정전기 제거를 할 수 없는 문제가 있다.
이러한 회전 샤프트를 PVC(Polyvinyl chloride) 재질을 사용하는 경우에 있어서 정전기 제거의 문제를 해결하기 위하여 새로운 형태의 PVC(Polyvinyl chloride) 재질을 사용한 회전 샤프트에 대한 특허 출원이 이루어졌으나, 이때 회전 샤프트의 일단과 결합하는 정전기 제거를 위한 접지 기구의 개선이 필요하여 새로운 형태의 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구가 요구되었다.
한국특허등록공보 제10-1010277호(2010. 03. 08 공개)
본 발명의 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구에 관한 것으로서, 특히 에칭 장비에 사용되는 내식성을 지니면서도 기판과 롤러 사이에 발생된 정전기를 효과적으로 접지할 수 있는 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구를 제공함에 있다.
상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구는, 내측에 관통홀을 구비한 몸체와 몸체의 일측에 결합되며 내측에 관통홀이 구비된 몸체뚜껑부와 결합된 몸체와 몸체뚜껑부의 내부에 삽입되어 일측이 회전 샤프트와 결합되며 타측은 접지선이 연결되는 접지부로 이루어진다.
이때, 접지부는 몸체 내측에 삽입되어 일측이 회전 샤프트와 결합되는 접지 볼트와 상기 접지 볼트의 타측에 일측이 접하는 접지 스프링과 상기 접지 스프링의 타측에 일측이 접하는 접지면과 상기 접지면의 타측에 접하면서 일측에 접지선이 결합되는 접지핀으로 구성되며, 상기 몸체와 상기 몸체 뚜껑부는 PVC 재질이다.
본 발명에 따른 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구는 일반적 이송용 롤러 기구에 사용되어 정전기를 접지할 수 있을 뿐아니라, 특히 에칭 장비에 사용되더라도 내식성을 지니면서 정전기를 효과적으로 접지할 수 있다.
도 1은 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구가 결합된 기판 이송용 롤러 기구에 관한 사시도이다.
도 2은 본 발명의 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구가 결합되는 이송 롤러가 결합된 PVC 재질의 회전 샤프트의 단면도이다.
도 3은 도2의 A 영역을 발췌하여 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구의 분해사시도이다.
도 5은 본 발명의 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구의 단면도이다.
본 발명에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
도 1은 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구가 결합된 기판 이송용 롤러 기구에 관한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구가 결합된 기판 이송용 롤러 기구(10)는 이송 롤러(110)들과 회전 샤프트(120)와 일측은 회전 샤프트와 결합하고 타측은 접지선(300)에 연결되는 접지 기구(200)로 이루어진다.
일반적으로 이송 롤러(110)들은 통전 가능한 수지 재질로 중공 구조로 각각 이루어진다. 이송 롤러(110)들은 초고분자량 폴리에틸렌(ultra-high molecular weight polyethylene, UPE)에 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube; CNT) 등이 함유된 재질로 성형될 수 있다.
이송 롤러(110)들은 각각 바깥쪽 둘레를 따라 구름 면을 갖는 링 형태로 이루어지며, 이송 롤러(110)들은 회전 샤프트(120)에 설정 간격으로 배열되어 결합된다. 이송 롤러(110)들은 각 중공에 회전 샤프트(120)를 끼운 상태로 공지의 다양한 고정수단에 의해 고정될 수 있다.
이송 롤러(110)들은 회전 샤프트(120)에 고정된 상태로 회전 샤프트(120)와 함께 회전하면서 기판을 접촉 지지한 상태로 이송시킨다. 이때, 통전 가능한 이송 롤러(110)들은 마찰력에 의해 기판에 발생되는 정전기를 회전 샤프트를 통하여 접지 기구(200)에 전달하고 이를 다시 접지선(300)을 통하여 접지하게 된다.
이때, 일반적으로 회전 샤프트는 전체가 통전이 가능한 재질일 수 있으나, 코팅 공정에서는 통전이 가능한 재질은 코팅액에 의한 부식등의 우려가 있어 회전 샤프트는 통전은 되지 않지만 내식성 재질인 PVC로 중공 구조로 만들고 이송 롤러를 바깥쪽 둘레에 결합한 후, 이송 롤러와 통전이 가능하도록 회전 샤프트를 만들어 사용한다.
도 2는 이송 롤러와 통전이 가능한 PVC 재질의 회전 샤프트에 대해서 도시한 것의 일예를 보여주고 있으며, 도 3은 롤러와 회전샤프트가 통전가능하도록 회전 샤프트에 롤러가 결합된 부분을 보여주고 있다.
도 2 및 도 3에서 보는 바와 같이, 회전 샤프트(120)는 이송 롤러(110)들을 결합하는 부위들에 관통홀(123)들이 각각 형성된다. 관통홀(123)들은 롤러 장착부(121)의 바깥쪽 둘레에 형성된다. 관통홀(123)들은 탄성 접촉부재(140)들을 각각 삽입시킬 수 있게 한다. 여기서, 각각의 이송 롤러(110)는 해당 관통홀(123)을 사이에 두고 한 쌍의 밀봉 부재(116)들을 안쪽 둘레에 장착한 상태로 회전 샤프트(120)의 바깥쪽 둘레에 결합될 수 있다.
이송 롤러(110)는 안쪽 둘레에 축 방향으로 이격된 한 쌍의 끼움홈(111)들을 갖고, 끼움홈(111)들에 밀봉 부재(116)들을 끼울 수 있다. 밀봉 부재(116)는 오링 등의 형태로 이루어질 수 있다.
밀봉 부재(116)들은 이송 롤러(110)의 끼움홈(111)들에 각각 끼워진 상태로 회전 샤프트(120)의 바깥쪽 둘레면에 압착됨으로써, 해당 관통홀(123)을 밀봉시킬 수 있다. 따라서, 기판에 대한 에칭 공정시 에칭 용액은 밀봉 부재(116)들에 의해 관통홀(123) 내로 유입되지 않게 되므로, 관통홀(123) 내의 탄성 접촉부재(140)와 도전성 관체(130)의 부식이 방지될 수 있다.
도전성 관체(130)는 도전성 재질로 중공 구조로 이루어져 회전 샤프트(120) 내에 결합된다. 도전성 관체(130)는 스테인리스 강 등의 도전성 금속 재질로 이루어질 수 있다. 도전성 관체(130)는 회전 샤프트(120)에 동축으로 끼워져 결합될 수 있다. 도전성 관체(130)는 회전 샤프트(120)의 롤러 장착부(121) 내에 압입되는 크기의 외경을 가짐으로써, 롤러 장착부(121)에 견고하게 고정될 수 있다. 도전성 관체(130)는 롤러 장착부(121)보다 짧은 길이로 이루어져 롤러 장착부(121)의 중앙에 정렬되어 배치될 수 있다.
도전성 관체(130)는 회전 샤프트(120)의 관통홀(123)들을 통해 노출되며, 노출된 부위들이 탄성 접촉부재(140)들과 접촉되어 이송 롤러(110)들과 통전될 수 있다. 따라서, 도전성 관체(130)는 탄성 접촉부재(140)들로부터 흘러 들어오는 정전기를 전달받아 도전성 블록(150)으로 전달할 수 있게 한다. 도전성 관체(130)는 수지 재질의 롤러 장착부(121)를 보강하는 기능도 겸할 수 있다.
탄성 접촉부재(140)들은 도전성 재질로 이루어져 회전 샤프트(120)의 관통홀(123)들에 각각 삽입된 상태로 이송 롤러(110)들과 도전성 관체(130)에 탄성력으로 접촉되어 이송 롤러(110)들을 도전성 관체(130)와 통전시킨다. 탄성 접촉부재(140)들은 이송 롤러(110)들로부터 흘러 들어오는 정전기를 전달받아 도전성 관체(130)로 전달할 수 있게 한다. 탄성 접촉부재(140)는 SUS304와 같은 스테인리스 강 등의 도전성 금속 재질로 이루어질 수 있다.
탄성 접촉부재(140)는 클립 형태로 이루어질 수 있다. 탄성 접촉부재(140)는 일정 두께의 중앙 몸체부(140a)와, 중앙 몸체부(140a)의 양쪽 단으로부터 각각 일정 두께로 연장되어 절곡된 제1,2 절곡부(140b, 140c)를 포함할 수 있다. 제1 절곡부(140b)는 중앙 몸체부(140a)보다 짧은 길이로 중앙 몸체부(140a)에 대해 예각으로 절곡될 수 있다. 제2 절곡부(140c)는 제1 절곡부(140b)보다 짧은 길이로 중앙 몸체부(140a)에 대해 예각 또는 직각으로 절곡될 수 있다.
탄성 접촉부재(140)는 이송 롤러(110)와 조립되기 전에, 중앙 몸체부(140a)가 관통홀(123) 내에서 도전성 관체(130)에 접촉되고, 제2 절곡부(140c)가 관통홀(123)의 내벽에 지지되며, 제1 절곡부(140b)가 관통홀(123)로부터 인출된다. 이 상태에서, 탄성 접촉부재(140)는 이송 롤러(110)와 조립되면, 제1 절곡부(140b)가 이송 롤러(110)에 의해 눌러짐에 따라 탄성 변형된다.
따라서, 탄성 접촉부재(140)는 중앙 몸체부(140a)가 도전성 관체(130)에 탄성력으로 접촉된 상태로 유지됨과 아울러 제1 절곡부(140b)가 탄성력으로 이송 롤러(110)에 접촉된 상태로 유지됨으로써, 이송 롤러(110)를 도전성 관체(130)와 통전시킬 수 있다. 물론, 탄성 접촉부재(140)는 전술한 기능을 수행하는 범주에서 다양한 형태로 이루어질 수 있다.
도전성 블록(150)은 도전성 재질로 이루어져 도전성 관체(130)와 통전되게 도전성 관체(130)의 한쪽 단부에 결합된다. 도전성 블록(150)은 스테인리스 강 등의 도전성 금속 재질로 이루어질 수 있다. 도전성 블록(150)은 도전성 관체(130)의 중공 일부에 끼워지는 제1 끼움부(151)와, 회전 샤프트(120)의 중공 일부에 끼워지는 제2 끼움부(152)를 포함할 수 있다.
제1 끼움부(151)는 도전성 관체(130)의 내경과 동일한 외경을 가짐으로써, 바깥쪽 둘레면이 도전체 관체(130)의 안쪽 둘레면과 면접촉되어 통전될 수 있다. 따라서, 도전성 블록(150)은 도전성 관체(130)로부터 흘러 들어오는 정전기를 전달받아 접지 기구(200)로 전달할 수 있게 한다.
회전 샤프트(120)는 도전성 블록(150)이 배치되지 않은 다른 쪽 단에 지지 블록(170)을 장착할 수 있다. 지지 블록(170)은 PVC 재질 등의 수지 재질로 이루어질 수 있다.
접지 기구(200)은 회전 샤프트(120)의 한쪽 단부를 통해 도전성 블록(150)에 결합되어 도전성 블록(150)을 접지시킨다. 접지 기구(200)은 도전성 블록(150)으로부터 흘러 들어오는 정전기를 전달받아 접지선(300)을 통하여 대지와 같은 접지 물체로 흘러 보낸다.
도 4와 도5는 본 발명에 따른 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구의 분해사시도와 단면도를 나타내고 있다.
접지 기구(200)은 내측에 관통홀을 구비한 몸체(210)와, 몸체의 일측에 결합되며 내측에 관통홀이 구비된 몸체뚜껑부(220)와, 결합된 몸체와 몸체뚜껑부의 내부에 삽입되어 일측이 회전 샤프트와 결합되며 타측은 접지선(300)에 연결되는 접지부(230)로 이루어진다.
한편, 상기 접지부는 몸체 내측에 삽입되어 일측이 회전 샤프트와 결합되는 접지 볼트(231)와 접지 볼트의 타측에 일측이 접하는 접지 스프링(232)과 접지 스프링의 타측에 일측이 접하는 접지면(233)과 접지면의 타측에 접하면서 일측에 접지선이 결합되는 접지핀(234)으로 구성된다.
즉, 상기 접지 볼트의 일측이 회전 샤프트와 결합하게 되면, 발생된 기판의 이송 도중에 발생된 정전기는 접지 볼트와 이에 접하는 접지 스프링과 접지면을 통하여 접지부로 흘려서 접지선을 통하여 접지되게 된다.
보다 구체적으로 접지 기구에 대해서 살펴보면, 관통홀이 구비된 몸체에 접지 볼트와 접지 볼트의 타측에 접지 스프링과 접지 스프링에 접하는 접지면을 삽입하게 된다.
한편, 내측에 관통홀이 구비된 몸체뚜껑부에 베어링(235)이 결합된 접지부가 삽입된 후에 접지면과 접지부가 접촉하도록 몸체와 몸체뚜껑부를 결합하게 된다.
이렇게 되면 자연스럽게 접지 볼트와 접지 스프링과 접지면과 접지부는 연결되게 되어 이들을 통하여 정전기가 흐르게 되고, 최종적으로 접지부와 연결된 접지선을 통해 정전기가 흘려나가게 되어 발생된 정전기는 접지되게 되는 것이다.
한편, 구체적으로 도시하지는 않았지만 회전 사프트가 회전을 하게 되면 이와 결합된 접지 기구가 회전할 수도 있으므로, 접지 기구의 접지부와 연결되는 접지선의 끝이 접지부와 상대적 회전이 자유롭게 일어나도록 고리 모양의 로터리 컨넥터(도시하지 않음)로 연결하여 회전에 의한 접지선의 꼬임을 방지할 수 있도록 하였다.
그렇지만, 본 발명에서는 회전 샤프트와 결합되는 접지 볼트가 회전하여도 접지부는 회전되지 않거나 최소한으로 회전되도록 하였다.
즉, 접지 볼트와 이에 연결된 몸체와 몸체뚜껑부가 회전하여도, 접지면과 접지부는 단순 점접촉에 의해서 회전력이 전달되지 않을 뿐아니라, 접지부에 설치된 베어링에 의해서 몸체뚜껑부의 회전력이 접지부에 전달되지 않으므로 접지부는 회전되지 않거나 최소한으로만 회전되게 되므로, 접지부와 연결된 접지선의 회전에 의한 꼬임을 일차적으로 방지할 수 있는 것이다.
한편, 코팅 공정에 이러한 기판 이송용 롤러 기구가 사용되는 경우에는 접지 기구는 내식성을 가지는 것이 좋으므로, 접지 기구의 몸체와 몸체뚜껑부는 내식성이 있는 PVC 재질로 하고, 필요 부위에 오링(240)을 사용하여 접지 기구 내부로의 코팅액의 침투를 막고 있다.
또한, 접지 볼트와 접지 스프링와 접지부를 감싸고 몸체와 몸체뚜껑부의 내측에 삽입되는 부쉬(236)를 두어 접지 볼트와 접지 스프링과 접지부의 횡방향 떨림을 방지할 수 있도록 하였을 뿐아니라 베어링 외륜으 등의 결합이 용이하도록 하였으며, 베어링 측면에는 와셔(237)를 통하여 베어링 측면이 지지되도록 하였다.
이와 같이, 기판 이송용 롤러 기구는 이송 롤러(110)들이 기판을 이송시키는 과정에서 기판에 정전기가 발생되면, 발생된 정전기는 이송 롤러와 회전 샤프트 및 접지 기구를 차례로 통과하여 흘러서 접지선을 통하여 접지됨에 따라 발생된 정전기가 제거될 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10 기판 이송 롤러 기구
110 이송 롤러 120 회전 샤프트 130 도전성 관체
140 탄성 접촉부재 150 도전성 블록
200 접지 기구 210 몸체 220 몸체 뚜껑부
230 접지부 231 접지 볼트 232 접지 스프링
233 접지면 234 접지판 235 베어링
240 오링
300 접지선

Claims (3)

  1. 내측에 관통홀을 구비하며 통전되지 않는 중공 구조의 회전사프트와 결합되어 회전하는 비도전성 PVC 재질의 몸체와,
    몸체의 일측에 결합되며 내측에 관통홀이 구비되어 회전하는 비도전성 PVC 재질의 몸체뚜껑부와,
    결합된 몸체와 몸체뚜껑부의 내부에 삽입되어 일측이 중공 구조의 비도전성 PVC재질의 회전사프트 내의 도전성블록과 결합되는 접지볼트와, 접지볼트의 타측에 일측이 접하는 접지스프링과, 접지 스프링의 타측에 일측이 접하는 접지면과, 접지면의 타측에 접하면서 일측에 접지선이 연결되는 접지핀으로 이루어진 접지부와,
    기판에서 발생된 정전기가 회전사프트 내의 도전성블록과 결합된 접지볼트와 접지스프링과 접지면과 접지핀을 통하여 접지선으로 흘러나가는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 롤러 기구의 접지 기구
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100814336B1 (ko) * 2006-10-12 2008-03-18 한화테크엠주식회사 컨베이어의 롤러 샤프트 그라운드 장치
KR101010277B1 (ko) 2008-08-26 2011-01-24 박해신 회전 롤러
KR20180131838A (ko) * 2017-06-01 2018-12-11 주식회사 디쌤 롤러형 컨베이어 접지장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100814336B1 (ko) * 2006-10-12 2008-03-18 한화테크엠주식회사 컨베이어의 롤러 샤프트 그라운드 장치
KR101010277B1 (ko) 2008-08-26 2011-01-24 박해신 회전 롤러
KR20180131838A (ko) * 2017-06-01 2018-12-11 주식회사 디쌤 롤러형 컨베이어 접지장치

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