KR102202466B1

KR102202466B1 - 기판 처리 장치 및 방법

Info

Publication number: KR102202466B1
Application number: KR1020130166496A
Authority: KR
Inventors: 이학선
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2013-12-30
Filing date: 2013-12-30
Publication date: 2021-01-13
Also published as: KR20150077726A

Abstract

본 발명은 기판의 이송시 발생하는 정전기를 배출할 수 있는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 이송되는 방향을 따라 나란하게 배열되며 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 고정결합된 회전가능한 복수의 이송 샤프트와, 상기 이송 샤프트의 일단에 위치되는 프레임 상에 설치되어 내부에 상기 이송 샤프트의 일단이 결합되는 베어링이 삽입되는 베어링 홀더와, 상기 베어링 홀더 내부에 배치되고, 상부에 상기 베어링의 중심을 향하는 방향으로 볼록하게 제공되어 상기 베어링의 양 측면과 접지되는 접지부와, 하부는 병목 형상으로 제공되어 상기 베어링 홀더의 하부에 위치되는 접지라인을 갖는 접지 유닛과, 상기 베어링 홀더의 하단에서 상기 접지라인의 하단에 형성되는 통전홀을 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 방법{apparatus and method for treating substrate}

본 발명은 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 이송시 발생하는 정전기를 배출할 수 있는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 글래스(glass) 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 예를 들어, 복수 개의 샤프트(shaft)와, 샤프트 각각에 복수 개의 롤러(roller)들이 균등한 간격으로 고정, 설치되어 기판을 이송한다. 샤프트는 모터 등과 같은 동력 발생 장치로부터 동력을 전달받아서 회전되고, 이를 통해 롤러를 회전시킨다. 롤러들은 기판의 하부면과 직접 접촉하여 기판을 지지하고, 샤프트의 회전력을 전달받아서 회전되어 기판을 이송한다.

이러한 기판 이송 장치는 샤프트를 따라 롤러들이 회전하여 기판을 이송할 때 정전기가 발생되어 기판이 손상되는 경우가 빈번하므로 생산성이 저하된다. 이러한 정전기는 기판에 형성된 회로 패턴 등에 가해져 기판을 손상시키는 문제를 야기하므로 이에 대한 해결 방안이 요구된다.

본 발명은 기판이 이송시 발생하는 정전기를 효율적으로 방출시킬 수 있는 기판 처리 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 별도 고가의 장비 설치 없이 정전기로 인한 기판의 불량 발생을 최소화하는 기판 처리 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 이송되는 방향을 따라 나란하게 배열되며 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 고정결합된 회전가능한 복수의 이송 샤프트와, 상기 이송 샤프트의 일단에 위치되는 프레임 상에 설치되어 내부에 상기 이송 샤프트의 일단이 결합되는 베어링이 삽입되는 베어링 홀더와, 상기 베어링 홀더 내부에 배치되고, 상부에 상기 베어링의 중심을 향하는 방향으로 볼록하게 제공되어 상기 베어링의 양 측면과 접지되는 접지부와, 하부는 병목 형상으로 제공되어 상기 베어링 홀더의 하부에 위치되는 접지라인을 갖는 접지 유닛과, 상기 베어링 홀더의 하단에서 상기 접지라인의 하단에 형성되는 통전홀을 포함한다.

일 예에 의하면, 상기 접지부는 탄성이 있는 재질로 제공된다.

또한, 본 발명은 기판 처리 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 방법은, 기판의 이송시 발생되는 정전기가 상기 이송 샤프트를 통해 상기 베어링에 전달되고, 상기 베어링의 양 측면에 접지되는 상기 접지부를 갖는 상기 접지 유닛에 의해 상기 베어링 홀더의 외부로 정전기가 배출된다.

일 예에 의하면, 상기 접지부는 탄성이 있는 재질로 형성된다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 방법은 기판이 이송시 발생하는 정전기를 효율적으로 방출시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 방법은 별도 고가의 장비 설치 없이 정전기로 인한 기판의 불량 발생을 최소화할 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 측단면도이다.
도 3은 도 2의 일부를 도시한 것이다.
도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 사시도이다.

본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 따라서 도면에서의 도시된 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.

종래에 사용되는 기판 이송 장치에는 샤프트 일단에 결합되는 베어링과, 그 베어링 홀더의 하단에 접지핀을 설치하여 정전기가 배출되도록 되어 있는 구조이다. 그러나, 이러한 구조는 베어링 홀더의 접지핀 누락 및 접촉 불량으로 인해서 설비의 접지를 하여도 접촉 불량인 샤프트에는 정전기가 제거되지 못해 글라스 기판에 영향을 준다.

또한, 기판 이송 장치의 제작 프레임이 알루미늄 프로파일(표면 아노다이징)로 제작되어 있어서 가끔씩 아노다이징(anodizing)이 벗겨지지 않아 접지가 불량한 곳도 발생한다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 안출된 것이다. 이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 방법에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 분해 사시도이다이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 측단면도이고, 도 3은 도 2의 일부를 도시한 것이고, 도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 사시도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 이송 샤프트(100), 베어링 홀더(200), 접지 유닛(300) 및 통전홀(400)을 포함한다.

이송 샤프트(100)는 기판(S)이 이송되는 방향을 따라 서로 나란하게 이격되어 복수 개가 배열된다. 각각의 이송 샤프트(100)의 외주면에는 그 길이 방향을 따라 다수의 롤러(120)가 설치된다. 롤러(120)는 이송 샤프트(140)에 균등한 간격으로 배치될 수 있다. 롤러(120)는 이송 샤프트(100)에 고정결합된다. 이송 샤프트(10)는 그 중심축을 기준으로 구동부(미도시)에 의해 회전된다. 이송 샤프트(100)가 회전하면 복수의 롤러(120)도 함께 회전한다. 구동부에 의해 이송 샤프트(100)와 롤러(120)가 회전되면, 기판(S)은 그 하면이 롤러(120)에 접촉된 상태로 이송 샤프트(100)를 따라 직선 이동된다.

베어링 홀더(200)는 이송 샤프트(100)의 일단에 위치되는 프레임(500) 상에 설치된다. 베어링 홀더(200)의 내부에는 베어링(600)이 삽입된다. 베어링(600)에는 이송 샤프트(100)의 일단이 결합된다. 베어링 홀더(200)의 하부에는 프레임(500)이 배치되는 방향과 같은 방향으로 관통홀이 형성된다. 상기 관통홀에는 접지 샤프트(700)가 통과한다. 접지 샤프트(700)는 정전기를 외부로 방출하는 역할을 한다.

접지 유닛(300)은 베어링 홀더(200)의 내부에 배치된다. 접지 유닛(300)은 접지부(320)와 접지라인(340)을 갖는다. 접지부(320)와 접지라인(340)은 일체형으로 제공된다. 접지부(320)는 접지 유닛(300)의 상부에 형성된다. 접지부(320)는 베어링(600)의 중심을 향하는 방향으로 양측에서 볼록하게 제공된다. 접지부(320)는 베어링(600)의 양 측면과 접지된다. 접지부(320)는 탄성이 있는 재질로 제공된다. 즉, 접지부(320)는 베어링(600)의 중심을 향하는 방향으로 복원력을 갖도록 제공된다. 따라서, 접지부(320)는 베어링(600)의 양 측면과 강하게 맞닿게 된다.

접지라인(340)은 접지부(320)와 연결되어 접지 유닛(300)의 하부에 형성된다. 접지라인(340)은 병목 형상으로 제공될 수 있다. 접지라인(340)은 베어링 홀더(200)의 하부에 위치된다. 접지라인(340)의 하단에는 통전홀(400)이 형성된다. 이러한 접지 유닛(300)은 종래의 접지 불량 등을 개선시킬 수 있는 구조이다.

통전홀(400)은 베어링 홀더(200)의 하단에 위치된다. 통전홀(400)은 접지라인(340)의 하단에 형성된다. 통전홀(400)은 상부에서 바라볼 때 이송 샤프트(100)와 수직한 방향 또는 프레임(500)과 평행한 방향으로 형성된다. 통전홀(400)에는 접지 샤프트(700)가 관통한다. 이러한 접지 샤프트(700)를 통해서 각각의 이송 샤프트(100)와 통전이 가능하다. 통전홀(400)은 스타 너트 형상으로 제공될 수 있다. 이러한 형상은 공압용 피팅시 튜브를 고정하는 병뚜껑 모양과 유사하여 접지 샤프트(700)와 보다 잘 접촉할 수 있도록 한다.

상기와 같은 구조를 통해 정전기는 다음과 같이 통과된다. 이송 샤프트(100)와 롤러(120)를 통해 이송되는 기판에서 발생하는 정전기는 이송 샤프트(100)를 통해 베어링(600)에 전달된다. 이후, 정전기는 베어링(600)의 양 측면과 접지되는 접지부(320)를 통해 접지라인(340)에 전달된다. 접지라인(340)의 정전기는 접지라인(340)의 하단에 형성된 통전홀(400)에 전달되고, 통전홀(400)을 관통하는 접지 샤프트(700)를 통해 외부로 방출된다.

본 발명은 상기와 같은 기판 처리 장치를 이용하여 기판 처리 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시예 의한 기판 처리 방법은 기판의 이송시 발생되는 정전기가 이송 샤프트(100)를 통해 베어링(600)에 전달되고, 베어링(600)의 양 측면에 접지되는 접지부(320)를 갖는 접지 유닛(300)과 하단에 형성되는 통전홀(400), 통전홀(400)을 통과하는 접지 샤프트(700)를 통해 베어링 홀더(200)의 외부로 배출된다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 각각의 이송 샤프트마다 전부 접지가 가능하므로 기판의 이송시 발생되는 정전기를 외부로 효율적으로 방출시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 별도 고가의 장비 설치 없이 정전기로 인한 기판의 불량 발생을 최소화할 수 있다. 즉, 별도의 정전기 확인용 센서 및 컨트롤러가 필요하지 않아 추가 비용이 발생하지 않는다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10 : 기판 처리 장치 100 : 이송 샤프트
120 : 롤러 200 : 베어링 홀더
300 : 접지 유닛 320 : 접지부
340 : 접지라인 400 : 통전홀
500 : 프레임 600 : 베어링

Claims

기판을 처리하는 장치에 있어서,
기판이 이송되는 방향을 따라 나란하게 배열되며 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 고정결합된 회전가능한 복수의 이송 샤프트와,
상기 이송 샤프트의 일단에 위치되는 프레임 상에 설치되어 내부에 상기 이송 샤프트의 일단이 결합되는 베어링이 삽입되는 베어링 홀더와,
상기 베어링 홀더 내부에 배치되고, 상부에 상기 베어링의 중심을 향하는 방향으로 볼록하게 제공되어 상기 베어링의 양 측면과 접지되는 접지부와, 하부는 병목 형상으로 제공되어 상기 베어링 홀더의 하부에 위치되는 접지라인을 갖는 접지 유닛과,
상기 베어링 홀더의 하단에서 상기 접지라인의 하단에 형성되는 통전홀과,
상기 이송 샤프트의 축방향에 수직인 방향으로 연장되는 접지 샤프트를 포함하고,
상기 접지 샤프트는 상기 통전홀을 관통하여 상기 복수의 이송 샤프트와 통전되는 기판 처리 장치.
제 1항에 있어서,
상기 접지부는 탄성이 있는 재질로 제공되는 기판 처리 장치.
상기 제1 항 또는 제 2항의 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법에 있어서, 기판의 이송시 발생되는 정전기가 상기 이송 샤프트를 통해 상기 베어링에 전달되고, 상기 베어링의 양 측면에 접지되는 상기 접지부를 갖는 상기 접지 유닛에 의해 상기 베어링 홀더의 외부로 정전기가 배출되는 기판 처리 방법.
제 3항에 있어서,
상기 접지부는 탄성이 있는 재질로 형성되는 기판 처리 방법.