KR20210062776A - 기판 이송장치용 접지유닛, 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법 및 접지유닛을 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

기판 이송장치용 접지유닛, 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법 및 접지유닛을 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 간단한 조립 배치 구조를 이용하면서도 기판 이송 시 발생되는 정전기를 효율적으로 방출시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 기판 이송을 위한 복수개의 샤프트유닛이 설치되는 지지프레임에 결합되는 지지블록; 도전성 소재로 이루어지며, 상기 복수개의 샤프트유닛이 배열되는 기판의 이송방향으로 길게 구비되고, 상기 지지블록에 결합된 상태에서 접지되는 지지플레이트; 및 도전성 소재로 이루어지며, 상기 지지플레이트에 결합되되 상기 지지플레이트의 길이방향으로 배치되어 상기 복수개의 샤프트유닛에 동시에 접촉되는 브러시;를 포함하는 기판 이송장치용 접지유닛, 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법 및 접지유닛을 포함하는 기판 이송장치의 특징을 개시한다.

Description

기판 이송장치용 접지유닛, 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법 및 접지유닛을 포함하는 기판 이송장치{EARTH UNIT FOR SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS, ASSEMBLY METHOD OF EARTH UNIT AND SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS HAVING EARTH UNIT}
본 발명은 기판 이송장치용 접지유닛, 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법 및 접지유닛을 포함하는 기판 이송장치에 관한 것으로, 상세하게는 기판의 이송 시 발생되는 정전기를 효율적으로 방출할 수 있는 기판 이송장치용 접지유닛, 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법 및 접지유닛을 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
기판 이송장치는 예를 들면, 기판의 하면을 접촉 지지하는 복수의 롤러가 설치된 복수의 샤프트를 이용하고, 모터로부터 동력을 전달받아서 샤프트가 회전하면서, 복수의 롤러에 지지되는 기판을 이송하게 된다.
이처럼 롤러가 회전하며 기판을 이송하는 과정에서 정전기가 발생하게 되는데, 이러한 정전기는 기판에 형성된 회로 패턴 등에 가해져 기판을 손상시킬 수 있다.
일반적으로 샤프트에 도전되는 정전기를 제거하기 위해서는 각각의 샤프트의 회전 중심부 끝단에 복수개의 접지케이블을 연결하거나, 각각의 샤프트를 지지하는 베어링에 접촉하는 복수개의 접지부재를 설치하는 방식을 채택하고 있다.
하지만, 상기한 기존 방식들은 각각의 샤프트에 접지케이블 및 접지부재가 구비되므로 인하여 요구되는 접지 설비가 증가되는 문제가 있고, 샤프트, 베어링 및 접지부재 간의 구동 간섭으로 인하여 갈림 현상이 발생되는 문제가 있으며, 이러한 갈림 현상으로 정전기의 전달 흐름이 균일하지 못하는 문제가 있다. 따라서, 기판 이송 시 발생되는 정전기를 효과적으로 방출하지 못하는 문제가 있다.
대한민국 공개특허공보 제2015-0077726호(2015.07.08.공개)
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 간단한 조립 배치 구조를 가지면서 기판 이송 시 발생되는 정전기를 효율적으로 방출할 수 있는 기판 이송장치용 접지유닛, 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법 및 접지유닛을 포함하는 기판 이송장치를 제공함에 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치용 접지유닛은, 기판 이송을 위한 복수개의 샤프트유닛이 설치되는 지지프레임에 결합되는 지지블록; 도전성 소재로 이루어지며, 상기 복수개의 샤프트유닛이 배열되는 기판의 이송방향으로 길게 구비되고, 상기 지지블록에 결합된 상태에서 접지되는 지지플레이트; 및 도전성 소재로 이루어지며, 상기 지지플레이트에 결합되되 상기 지지플레이트의 길이방향으로 배치되어 상기 복수개의 샤프트유닛에 동시에 접촉되는 브러시;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치용 접지유닛에 있어서, 상기 지지블록은, 상기 지지프레임에 결합되며, 상하방향으로 구비되는 제1 슬릿체결공을 가지는 제1 지지블록; 및 일단부가 상기 제1 지지블록에 결합되고 타단부가 상기 지지플레이트에 결합되며, 상기 샤프트유닛의 길이방향으로 구비되는 제2 슬릿체결공을 가지는 제2 지지블록;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치용 접지유닛에 있어서, 상기 지지플레이트는, 각각의 상기 샤프트유닛과 상기 브러시의 접촉위치를 변경하기 위하여 길이방향으로 구비되는 제3 슬릿체결공을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치용 접지유닛에 있어서, 상기 지지플레이트에는 상기 브러시가 결합되는 결합홈부가 구비되고, 상기 결합홈부에 삽입된 상기 브러시의 일단부가 압착되도록 상기 지지플레이트를 가압하여서 상기 지지플레이트에 상기 브러시가 결합될 수 있다.
한편 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법은, 복수개의 샤프트유닛이 배열되는 기판의 이송방향으로 길게 구비되는 지지플레이트에 브러시를 결합하는 브러시 조립단계; 상기 복수개의 샤프트유닛이 설치되는 지지프레임에 지지블록을 결합하는 지지블록 조립단계; 상기 브러시가 상기 복수개의 샤프트유닛에 동시에 접촉되도록, 상기 지지블록에 상기 지지플레이트를 결합하는 지지플레이트 조립단계; 및 상기 지지플레이트를 접지시키는 지지플레이트 접지단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법에 있어서, 상기 브러시 조립단계는, 상기 지지플레이트를 절곡 가공하여 상기 브러시가 결합되는 결합홈부를 형성하고, 상기 결합홈부에 삽입된 상기 브러시의 일단부가 압착되도록 상기 지지플레이트를 가압하여서 상기 지지플레이트에 상기 브러시가 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법에 있어서, 상기 지지블록 조립단계는, 상기 복수개의 샤프트유닛이 위치하는 높이에 따라 상기 지지프레임에 제1 지지블록을 결합하는 제1 지지블록 조립단계; 및 상기 복수개의 샤프트유닛의 끝단부 위치에 따라 상기 제1 지지블록에 제2 지지블록을 결합하는 제2 지지블록 조립단계;를 포함할 수 있다.
한편 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치는, 한 쌍의 지지프레임; 상기 지지프레임에 양측 단부가 회전 가능하게 결합되며, 기판과 접촉되는 이송롤러가 구비되는 복수개의 샤프트유닛이 기판의 이송방향으로 배열되는 이송유닛; 및 상기 지지프레임에 설치되며, 상기 샤프트유닛에 도전되는 정전기를 외부로 방출하는 접지유닛;을 포함할 수 있고, 이 경우 상기 접지유닛은, 상기 지지프레임에 결합되는 지지블록; 도전성 소재로 이루어지며, 기판의 이송방향으로 길게 구비되고, 상기 지지블록에 결합된 상태에서 접지되는 지지플레이트; 및 도전성 소재로 이루어지며, 상기 지지플레이트에 결합되되 상기 지지플레이트의 길이방향으로 배치되어 상기 복수개의 샤프트유닛에 동시에 접촉되는 브러시;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 브러시는 각각의 상기 샤프트유닛의 외주면 상부영역 또는 외주면 하부영역과 접촉될 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판의 이송 시 이송장치에서 발생된 정전기를 효율적으로 방출하여 정전기로 인한 기판의 불량을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따르면, 모 형태의 도전성 브러시를 통하여 이송유닛과의 간섭을 최소화하여 갈림 현상을 억제하는 등 이송유닛의 내구성 저하를 방지할 수 있고, 복수개의 샤프트유닛에서 발생되는 정전기를 보다 효율적으로 방출할 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따른 접지유닛은 기판 이송장치의 구조 변경 없이 지지프레임의 측면 영역에 간단하게 조립 및 배치가 가능하고, 이송유닛의 다양한 배치 구조에서도 적절한 위치에 조립 및 배치될 수 있어 설치 호환성이 우수한 이점이 있다.
본 발명에 따른 접지유닛은 간단한 조립 및 배치 구조에 불구하고, 복수개의 샤프트유닛에 일괄적으로 연결될 수 있어, 접지케이블 등 접지 설비를 더욱 간소화할 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따른 접지유닛은 브러시의 위치를 세밀하게 조절할 수 있음으로써 샤프트유닛과 브러시 간의 접촉 상태를 균일하게 유지할 수 있고, 샤프트유닛과 브러시 간의 균일하고 안정적인 전류 흐름이 만족됨으로써 정전기를 보다 효율적으로 방출할 수 있다.
본 발명에 따른 접지유닛은 브러시의 제한된 사용 주기에도 불구하고 오랜 시간 동안 안정적인 접지 기능을 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 접지유닛을 분해하여 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 샤프트유닛을 설명하기 위한 분리 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지플레이트와 브러시의 결합 상태를 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 샤프트유닛과 브러시의 접촉 상태를 설명하기 위한 측면 예시도이다.
이하 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용될 수 있으며 이에 따른 부가적인 설명은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타낸 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 접지유닛을 분해하여 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 샤프트유닛을 설명하기 위한 분리 예시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치는 지지프레임(10), 이송유닛(20), 접지유닛(30)을 포함한다.
지지프레임(10)은 기판의 이송을 위한 일련의 이송장치가 장착되는 부분으로, 기판을 포함한 이송유닛(20) 및 접지유닛(30)이 장착될 수 있다.
지지프레임(10)은 기판의 이송방향에 직교하는 방향으로 이격되게 배치되는 한 쌍의 지지프레임(10)을 포함할 수 있다.
각각의 지지프레임(10)에는 이송유닛(20)의 단부를 회전 가능하게 지지하기 위한 베어링 부재가 구비될 수 있다.
이송유닛(20)은 한 쌍의 지지프레임(10)에 양측 단부가 회전 가능하게 결합될 수 있다.
이송유닛(20)은 기판을 지지하는 복수개의 샤프트유닛(21)을 포함할 수 있으며, 복수개의 샤프트유닛(21)은 서로 이격되게 배치되어 기판의 이송방향으로 배열될 수 있다.
샤프트유닛(21)은 이송샤프트(21a), 캡부재(21b) 및 접지용 체결부재(21c)를 포함할 수 있다.
이송샤프트(21a)에는 기판의 하면을 접촉 지지하는 복수 개의 이송롤러(22)가 구비될 수 있으며, 이송롤러(22)는 이송샤프트(21a)의 길이방향을 따라 일정 간격으로 이격되게 구비될 수 있다.
캡부재(21b)는 지지프레임(10)을 관통한 이송샤프트(21a)의 끝단부에 이송샤프트(21a)를 감싸는 구조로 결합될 수 있다.
접지용 체결부재(21c)는 도전성 소재로 이루어질 수 있으며, 캡부재(21b)를 이송샤프트(21a)에 결합시킬 수 있다. 즉, 접지용 체결부재(21c)는 캡부재(21b)를 관통하여 이송샤프트(21a)에 체결됨으로써 이송샤프트(21a)에 캡부재(21b)를 고정시킬 수 있고, 이송샤프트(21a) 측에서 발생된 정전기는 접지용 체결부재(21c) 측으로 도전될 수 있다.
이러한 구성의 샤프트유닛(21)은 양측 단부가 한 쌍의 지지프레임(10)에 회전 가능하게 결합된 상태에서, 모터 등의 회전력 발생장치로부터 인가되는 회전력에 의하여 회전되면서 이송롤러(22)에 접촉 지지되는 기판을 이송시킬 수 있다.
접지유닛(30)은 기판의 이송 시 샤프트유닛(21)에 도전되는 정전기를 외부로 방출할 수 있다. 이를 위한 접지유닛(30)은 지지블록(31), 지지플레이트(34), 브러시(35)를 포함할 수 있다.
지지블록(31)은 접지유닛(30)을 고정 지지하는 것으로, 지지프레임(10)에 설치될 수 있으며, 기판의 이송방향으로 배열되는 이송유닛(20)의 수량에 따라 기판의 이송방향으로 복수개가 구비될 수 있다.
지지블록(31)은 제1 지지블록(32) 및 제2 지지블록(33)을 포함할 수 있다.
제1 지지블록(32)은 지지프레임(10)의 측면에 결합될 수 있으며, 체결구(B)를 이용하여 지지프레임(10)의 측면에 형성된 체결공(10b)에 체결될 수 있다.
여기서, 제1 지지블록(32)에는 체결구(B)를 관통시키는 제1 슬릿체결공(32a)이 구비될 수 있으며, 제1 슬릿체결공(32a)은 상하방향으로 길이를 가지는 장공일 수 있다. 따라서, 체결구(B)를 이용하여 지지프레임(20)에 제1 지지블록(32)을 체결할 시, 제1 지지블록(32)은 제1 슬릿체결공(32a)의 길이만큼 상하방향으로 위치 조정될 수 있다.
제2 지지블록(33)은 제1 지지블록(32)의 상부면에 결합될 수 있으며, 체결구(B)를 이용하여 제1 지지블록(32)의 상부면에 형성된 체결공(32b)에 체결될 수 있다.
여기서, 제2 지지블록(33)에는 체결구(B)를 관통시키는 제2 슬릿체결공(33a)이 구비될 수 있으며, 제2 슬릿체결공(33a)은 샤프트유닛(21)의 길이방향으로 길이를 가지는 장공일 수 있다. 따라서, 체결구(B)를 이용하여 제1 지지블록(32)에 제2 지지블록(33)을 체결할 시, 제2 지지블록(33)은 제2 슬릿체결공(33a)의 길이만큼 샤프트유닛(21)의 길이방향으로 위치 조정될 수 있다.
지지플레이트(34)는 도전성 소재로 이루어질 수 있으며, 복수개의 샤프트유닛(21)이 배열되는 기판의 이송방향으로 길이를 가지도록 구비될 수 있다. 즉, 지지플레이트(34)는 지지블록(31)에 결합된 상태에서 복수개의 샤프트유닛(21)과 교차되도록 배치될 수 있다.
지지플레이트(34)는 제2 지지블록(33)의 측면에 결합될 수 있으며, 체결구(B)를 이용하여 제2 지지블록(33)의 측면에 형성된 체결공(33b)에 체결될 수 있다.
여기서, 지지플레이트(34)에는 체결구(B)를 관통시키는 제3 슬릿체결공(34a)이 구비될 수 있으며, 제3 슬릿체결공(34a)은 기판의 이송방향으로 길이를 가지는 장공일 수 있다. 따라서, 체결구(B)를 이용하여 제2 지지블록(33)에 지지플레이트(34)를 체결할 시, 지지플레이트(34)는 제3 슬릿체결공(34a)의 길이만큼 위치 조정될 수 있다.
도시되진 않았지만, 지지플레이트(34)에는 접지케이블이 연결될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지플레이트(34)와 브러시(35)의 결합 상태를 설명하기 위한 단면 예시도이다.
지지플레이트(34)에는 후술되는 브러시(35)의 결합을 위한 결합홈부(34b)가 구비될 수 있다. 결합홈부(34b)는 평판 구조의 지지플레이트(34)를 절곡 가공함으로써 형성될 수 있다.
지지플레이트(34)의 결합홈부(34b)에 후술되는 브러시(35)의 일단부를 삽입시킨 상태에서, 브러시(35)의 삽입단부가 압착되도록 지지플레이트(34)를 가압함으로써, 지지플레이트(34)의 결합홈부(34b)에 브러시(35)가 견고하게 고정 결합될 수 있다.
브러시(35)는 도전성 소재로 이루어질 수 있으며, 모(毛) 형태로 구비될 수 있다. 예를 들면, 스테인레스, 금속섬유, 도전성 폴리머 등의 소재로 이루어질 수 있다.
모 형태의 브러시(35)는 일단부가 지지플레이트(34)의 결합홈부(34b)에 결합되어 지지플레이트(34)의 길이방향으로 가지런히 배열될 수 있다. 이로 인하여, 브러시(35)의 자유단부는 복수개의 샤프트유닛(21)에 동시에 접촉될 수 있다. 구체적으로, 브러시(35)는 복수개의 접지용 체결부재(21c)에 동시에 접촉될 수 있다.
모 형태의 브러시(35)는 샤프트유닛(21)과의 간섭을 최소화하여 갈림 현상을 억제하는 등 샤프트유닛(21)의 내구성 저하를 방지할 수 있고, 복수개의 샤프트유닛(21)의 외주면에 접촉되기 때문에 샤프트유닛(21)과 브러시(35) 간의 전류의 안정적인 흐름을 보장하여 정전기를 효과적으로 방출할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 샤프트유닛(21)과 브러시(35)의 접촉 상태를 설명하기 위한 측면 예시도이다.
도 5 (a)에 나타낸 바와 같이, 브러시(35)는 복수 개의 샤프트유닛(21)의 외주면 상부영역에 접촉되도록 배치될 수 있고, 도 5 (b)에 나타낸 바와 같이, 브러시(35)는 복수 개의 샤프트유닛(21)의 외주면 하부영역에 접촉되도록 배치될 수도 있다.
다시 말해, 지지플레이트(34)가 샤프트유닛(21)의 상측에 배치되는 경우 브러시(35)는 각각의 샤프트유닛(21)의 외주면 상부영역을 감싸는 형태로 배치될 수 있고, 지지플레이트(34)가 샤프트유닛(21)의 하측에 배치되는 경우 브러시(35)는 각각의 샤프트유닛(21)의 외주면 하부영역을 감싸는 형태로 배치될 수 있다.
브러시(35)를 샤프트유닛(21)의 외주면 상부영역에 배치할 건인지 혹은 하부영역에 배치할 것인지의 여부는 이송유닛(20)의 설치 사양에 따라 결정될 수 있는데, 예를 들어, 유지 보수 등의 이유로 이송유닛(20)의 위치 조정이 요구될 시, 접지유닛(30)의 조립 및 배치 구조와 무관하게 지지프레임(20)으로부터 이송유닛(20)의 위치 조정을 용이하게 수행할 수 있다.
한편 도 5 (b)에 도시된 바와 같이, 샤프트유닛(21)에 접촉하는 브러시(35)의 끝단부는 접지용 체결부재(21c)와 이루는 하측 수평접선의 높이 보다는 높게 위치하고, 접지용 체결부재(21c)의 회전 중심을 지나는 수평선의 높이 보다는 낮게 위치될 수 있다.
즉, 브러시(35)의 끝단부가 접지용 체결부재(21c)와 이루는 하측 수평접선의 높이 보다 낮게 위치되면 접지용 체결부재(21c)와의 접촉 상태가 해제되고, 접지용 체결부재(21c)의 회전 중심을 지나는 수평선의 높이 보다 높게 위치되면 접지용 체결부재(21c)의 절반 이상을 감싸는 형태를 취하게 되어 내구성이 저하될 수 있다.
바람직하게 브러시(35)의 끝단부는 접지용 체결부재(21c)의 일정한 면적에서 접촉되도록, 접지용 체결부재(21c)와 이루는 하측 수평접선으로부터 상측으로 일정 높이(d)를 유지하게 배치될 수 있으며, 이때 높이(d)는 1mm 내지 2mm 범위일 수 있다. 이와 같은 접촉 조건에서 브러시(35)와 접지용 체결부재(21c) 간에는 안정적인 전류의 흐름이 보장되고 브러시(35)의 내구성 저하도 예방할 수 있다.
이상에서와 같이, 본 실시예에 따르면, 기판의 이송 시 기판과 각각의 샤프트유닛(21) 사이에서 발생된 정전기는 각각의 샤프트유닛(21)의 단부에서 브러시(35) 측으로 일괄 전달된 다음, 접지되어 있는 지지플레이트(34)를 통해 외부로 즉시 방출될 수 있으며, 이로써, 정전기로 인한 기판의 불량을 최소화할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 접지유닛의 조립방법에 대해 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 접지유닛(30)의 조립방법은 브러시 조립단계, 지지블록 조립단계, 지지플레이트 조립단계, 지지플레이트 접지단계를 포함할 수 있다.
브러시 조립단계는 지지플레이트(34)와 브러시(35)를 일체로 결합하는 단계이다.
도 4를 참조하면, 브러시 조립단계는 지지플레이트(34)에 결합홈부(34b)를 형성하는 단계와 지지플레이트(34)와 브러시(35)를 결합하는 단계를 포함할 수 있다. 즉, 판 상의 지지플레이트(34)를 절곡 가공하여 결합홈부(34b)를 형성하고, 벌크(bulk) 상태의 브러시(35)의 일단부를 결합홈부(34b)에 가지런히 삽입시킨 상태에서, 지지플레이트(34)를 가압하여 브러시(35)의 삽입단부를 압착시킴으로써, 지지플레이트(34)에 브러시(35)를 견고하게 고정 결합시킬 수 있다.
지지블록 조립단계는 지지프레임(10)에 지지블록(31)을 결합하는 단계이다.
지지블록 조립단계에서는 지지프레임(10)에 설치된 샤프트유닛(21)의 정렬 위치에 따라, 지지프레임(10)에 지지블록(31)의 위치를 적절히 조절하여 체결할 수 있다.
구체적으로, 지지블록 조립단계는 제1 지지블록 조립단계와 제2 지지블록 조립단계를 포함할 수 있다.
제1 지지블록 조립단계는 복수개의 샤프트유닛(21)이 위치하는 높이에 따라, 제1 슬릿체결공(32a)의 길이 범위에서 제1 지지블록(32)의 상하방향 위치를 설정하고, 이후 체결구(B)를 이용하여 지지프레임(10)에 제1 지지블록(32)을 체결할 수 있다.
제2 지지블록 조립단계는 복수개의 샤프트유닛(21)의 끝단부 위치에 따라, 제2 슬릿체결공(33a)의 길이 범위에서 제2 지지블록(33)을 샤프트유닛(21)의 길이방향으로 위치 조정하고, 이후 체결구(B)를 이용하여 제1 지지블록(32)에 제2 지지블록(33)을 체결할 수 있다.
지지플레이트 조립단계는 지지블록(31)에 브러시(35)를 포함한 지지플레이트(34)를 결합하는 단계이다.
즉, 지지플레이트(34)의 길이방향으로 구비되는 브러시(35)가 복수개의 샤프트유닛(21)에 동시에 접촉되도록, 제3 슬릿체결공(34a)에 체결구(B)를 관통하여 지지블록(31)에 지지플레이트(34)를 체결할 수 있다.
지지플레이트 접지단계는 지지플레이트(34)를 접지시키는 단계로서, 지지플레이트(34)가 지면과 접지되도록 접지케이블을 이용하여 접지 시공을 완료하게 된다. 본 실시예에 의하면 하나의 지지플레이트(34)만을 접지 시공하는 것으로써 복수개의 샤프트유닛(21)에 대한 접지 시공이 간단히 완료될 수 있다.
한편 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치는 필요에 따라 지지플레이트(34) 측으로 도전되는 전기적 특성을 측정하기 위한 접지유닛 검사부를 더 포함할 수 있다.
즉, 접지유닛 검사부를 통해 샤프트유닛(21)에서 브러시(35)를 거쳐 지지플레이트(34) 측으로 도전되는 전기적 특성을 측정함으로써, 접지유닛(30)의 정전기 방출 성능을 검사할 수 있다.
예를 들면, 먼저 기판 이송장치의 정지모드 즉, 정지 상태의 샤프트유닛(21)과 지지플레이트(34)에 각각 전극부재를 연결하여 정지 상태의 샤프트유닛(21)에서 지지플레이트(34) 측으로 전달되는 전류값 또는 저항값을 측정한다.
그리고 기판 이송장치의 사용모드 즉, 회전 중인 샤프트유닛(21)과 지지플레이트(34)에 각각 전극부재를 연결하여 회전 중인 샤프트유닛(21)에서 지지플레이트(34) 측으로 전달되는 전류값 또는 저항값을 측정한다.
이후 기판 이송장치의 정지모드 및 사용모드에서 각각 측정된 전류값 또는 저항값을 비교함으로써, 접지유닛(30)의 정전기 방출 성능을 확인할 수 있다.
만약 접지유닛 검사부를 통해 측정된 값이 미리 설정된 허용범위를 벗어나는 경우에는, 브러시(35)의 사용 주기에 따라 샤프트유닛(21)과의 충분한 접촉이 구현되지 못해 샤프트유닛(21)에서 발생된 정전기가 지지플레이트(34) 측으로 효과적으로 방출되지 못할 수 있는데, 이 경우 새로운 브러시를 교체하거나 혹은 기존 브러시(35)의 설치위치를 변경할 수 있다.
예를 들면, 체결구(B)를 풀어 제1 슬릿체결공(32a) 및 제2 슬릿체결공(33a)을 따라 지지블록(31)의 위치를 조절하는 것으로, 샤프트유닛(21)과 브러시(35) 간의 접촉위치를 재조정할 수 있다. 또한, 체결구(B)를 풀어 제3 슬릿체결공(34a)을 따라 지지플레이트(34)의 위치를 조절하는 것으로, 샤프트유닛(21)과 브러시(35) 간의 접촉위치를 재조정할 수도 있다.
이처럼 샤프트유닛(21)과 브러시(35) 간의 접촉위치가 재조정됨으로써, 샤프트유닛(21)에서 발생된 정전기를 안정적으로 방출할 수 있게 된다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판의 이송 시 이송장치에서 발생된 정전기를 접지유닛(30)을 통해 효율적으로 방출함으로써, 정전기로 인한 기판의 불량을 최소화할 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 접지유닛(30)의 모 형태를 이루는 브러시(35)는 샤프트유닛(21)과의 간섭을 최소화하여 갈림 현상을 억제하는 등 이송유닛(20)의 내구성 저하를 방지할 수 있고, 복수개의 샤프트유닛(21)의 외주면을 감싸는 형태로 접촉되기 때문에 샤프트유닛(21)과 브러시(35) 간의 안정적인 전류의 흐름을 보장하여 정전기를 보다 효율적으로 방출할 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 기판 이송장치의 접지유닛(30)은 기존 기판 이송장치의 구조 변경 없이 지지프레임(10)의 측면 영역에 간단하게 조립 및 배치가 가능하고, 이송유닛(20)의 조립 및 배치 여건에 따라 적절한 위치에 간단하게 조립 및 배치될 수 있어 설치 호환성이 우수하다.
또한 본 실시예에 따른 기판 이송장치의 접지유닛(30)은 간단한 조립 및 배치 구조에 불구하고, 복수개의 샤프트유닛(21)에 일괄적으로 연결됨으로써, 접지케이블 등 접지 설비를 간소화할 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 기판 이송장치의 접지유닛(30)은 샤프트유닛(21)과 접촉되는 브러시(35)의 위치를 세밀하게 조절할 수 있음으로써 각각의 샤프트유닛(21)과 브러시(35) 간의 접촉 상태를 균일하게 유지할 수 있고, 이에 따라, 각각의 샤프트유닛(21)과 브러시(35) 간의 균일하고 안정적인 전류의 흐름이 만족됨으로써 정전기를 보다 효율적으로 방출할 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 기판 이송장치의 접지유닛(30)은 브러시(35)의 제한된 사용 주기에도 불구하고 오랜 시간 동안 안정적인 접지 기능을 수행할 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
10: 지지프레임 20: 이송유닛
21: 샤프트유닛 30: 접지유닛
31: 지지블록 34: 지지플레이트
35: 브러시

Claims (9)

  1. 기판 이송을 위한 복수개의 샤프트유닛이 설치되는 지지프레임에 결합되는 지지블록;
    도전성 소재로 이루어지며, 상기 복수개의 샤프트유닛이 배열되는 기판의 이송방향으로 길게 구비되고, 상기 지지블록에 결합된 상태에서 접지되는 지지플레이트; 및
    도전성 소재로 이루어지며, 상기 지지플레이트에 결합되되 상기 지지플레이트의 길이방향으로 배치되어 상기 복수개의 샤프트유닛에 동시에 접촉되는 브러시;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 접지유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지블록은,
    상기 지지프레임에 결합되며, 상하방향으로 구비되는 제1 슬릿체결공을 가지는 제1 지지블록; 및
    일단부가 상기 제1 지지블록에 결합되고 타단부가 상기 지지플레이트에 결합되며, 상기 샤프트유닛의 길이방향으로 구비되는 제2 슬릿체결공을 가지는 제2 지지블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 접지유닛.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지플레이트는,
    각각의 상기 샤프트유닛과 상기 브러시의 접촉위치를 변경하기 위하여 길이방향으로 구비되는 제3 슬릿체결공을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 접지유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지플레이트에는 상기 브러시가 결합되는 결합홈부가 구비되고,
    상기 결합홈부에 삽입된 상기 브러시의 일단부가 압착되도록 상기 지지플레이트를 가압하여서 상기 지지플레이트에 상기 브러시가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 접지유닛.
  5. 복수개의 샤프트유닛이 배열되는 기판의 이송방향으로 길게 구비되는 지지플레이트에 브러시를 결합하는 브러시 조립단계;
    상기 복수개의 샤프트유닛이 설치되는 지지프레임에 지지블록을 결합하는 지지블록 조립단계;
    상기 브러시가 상기 복수개의 샤프트유닛에 동시에 접촉되도록, 상기 지지블록에 상기 지지플레이트를 결합하는 지지플레이트 조립단계; 및
    상기 지지플레이트를 접지시키는 지지플레이트 접지단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 브러시 조립단계는,
    상기 지지플레이트를 절곡 가공하여 상기 브러시가 결합되는 결합홈부를 형성하고,
    상기 결합홈부에 삽입된 상기 브러시의 일단부가 압착되도록 상기 지지플레이트를 가압하여서 상기 지지플레이트에 상기 브러시가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 지지블록 조립단계는,
    상기 복수개의 샤프트유닛이 위치하는 높이에 따라 상기 지지프레임에 제1 지지블록을 결합하는 제1 지지블록 조립단계; 및
    상기 복수개의 샤프트유닛의 끝단부 위치에 따라 상기 제1 지지블록에 제2 지지블록을 결합하는 제2 지지블록 조립단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 접지유닛의 조립방법.
  8. 한 쌍의 지지프레임;
    상기 지지프레임에 양측 단부가 회전 가능하게 결합되며, 기판과 접촉되는 이송롤러가 구비되는 복수개의 샤프트유닛이 기판의 이송방향으로 배열되는 이송유닛; 및
    상기 지지프레임에 설치되며, 상기 샤프트유닛에 도전되는 정전기를 외부로 방출하는 접지유닛;을 포함하고,
    상기 접지유닛은,
    상기 지지프레임에 결합되는 지지블록;
    도전성 소재로 이루어지며, 기판의 이송방향으로 길게 구비되고, 상기 지지블록에 결합된 상태에서 접지되는 지지플레이트; 및
    도전성 소재로 이루어지며, 상기 지지플레이트에 결합되되 상기 지지플레이트의 길이방향으로 배치되어 상기 복수개의 샤프트유닛에 동시에 접촉되는 브러시;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 브러시는 각각의 상기 샤프트유닛의 외주면 상부영역 또는 외주면 하부영역과 접촉되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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