CN112824263A - 基板传送装置用接地单元、其组装方法以及基板传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板传送装置用接地单元、基板传送装置用接地单元的组装方法和包括接地单元的基板传送装置。基板传送装置用接地单元包括：支撑块，结合到支撑框架，支撑框架设置有用于传送基板的多个轴单元；支撑板，由导电性材料制成，其长度方向设置为沿着排列有多个轴单元的基板的传送方向，在结合到支撑块的状态下接地；以及电刷，由导电性材料制成，结合到支撑板，沿支撑板的长度方向配置，同时接触多个轴单元。

Description

基板传送装置用接地单元、其组装方法以及基板传送装置

技术领域

本发明涉及基板传送装置用接地单元、基板传送装置用接地单元的组装方法以及包括接地单元的基板传送装置，详细地涉及可以有效地释放在基板的传送时产生的静电的基板传送装置用接地单元、基板传送装置用接地单元的组装方法以及包括接地单元的基板传送装置。

背景技术

基板传送装置例如利用设置有接触支撑基板的下表面的多个辊的多个轴，在接收从电动机传递的力而使轴旋转的同时，传送由多个辊支撑的基板。

这样，在辊旋转并传送基板的过程中产生静电，而这种静电会施加到形成在基板上的电路图案等而损坏基板。

通常，为了去除传导到轴的静电，采用以下方式：将多个接地电缆连接到各个轴的旋转中心部末端，或者设置与支撑各个轴的轴承接触的多个接地部件。

然而，在上述现有方式中，由于在各个轴处配备有接地电缆和接地部件，因而存在所需要的接地设备增加的问题。并且，由于轴、轴承和接地部件之间的驱动触碰，存在产生磨损现象的问题，而由于该磨损现象，存在静电的传递流动不均匀的问题。因此，不能有效地释放在基板传送时产生的静电。

作为现有技术文献，有韩国公开专利公报第2015-0077726号(2015年7月8日公开)。

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于解决上述现有方式中的问题，提供一种可以在具有简单的组装配置结构的同时有效地释放在基板传送时产生的静电的基板传送装置用接地单元、基板传送装置用接地单元的组装方法以及包括接地单元的基板传送装置。

用于解决问题的手段

为了实现上述的本发明的目的，根据本发明的实施例的基板传送装置用接地单元的特征在于，包括：支撑块，结合到支撑框架，所述支撑框架设置有用于传送基板的多个轴单元；支撑板，由导电性材料制成，其长度方向设置为沿着排列有所述多个轴单元的基板的传送方向，在结合到所述支撑块的状态下接地；以及电刷，由导电性材料制成，结合到所述支撑板，沿所述支撑板的长度方向配置，同时接触所述多个轴单元。

在根据本发明的实施例的基板传送装置用接地单元中，所述支撑块可以包括：第一支撑块，结合到所述支撑框架，具有沿上下方向配备的第一狭缝紧固孔；以及第二支撑块，其一端部结合到所述第一支撑块，其另一端部结合到所述支撑板，具有沿所述轴单元的长度方向配备的第二狭缝紧固孔。

在根据本发明的实施例的基板传送装置用接地单元中，所述支撑板可以具有第三狭缝紧固孔，所述第三狭缝紧固孔沿长度方向配备，以改变各个所述轴单元和所述电刷的接触位置。

在根据本发明的实施例的基板传送装置用接地单元中，在所述支撑板处配备有所述电刷结合的结合槽部，插入到所述结合槽部的所述电刷的一端部能够通过对所述支撑板施压而被压接，从而使所述电刷结合到所述支撑板。

另外，根据本发明的实施例的一种基板传送装置用接地单元的组装方法的特征在于，包括：电刷组装步骤，将电刷结合到支撑板，所述支撑板的长度方向设置为沿着排列有多个轴单元的基板传送方向；支撑块组装步骤，将支撑块结合到支撑框架，所述支撑框架设置有所述多个轴单元；支撑板组装步骤，将所述支撑板结合到所述支撑块，使得所述电刷同时接触所述多个轴单元；以及支撑板接地步骤，使所述支撑板接地。

在根据本发明的实施例的基板传送装置用接地单元的组装方法中，在所述电刷组装步骤中，对所述支撑板进行折弯加工，形成供所述电刷结合的结合槽部，能够对所述支撑板施压以便插入到所述结合槽部的所述电刷的一端部被压接，使所述电刷结合到所述支撑板。

在根据本发明的实施例的基板传送装置用接地单元的组装方法中，所述支撑块组装步骤可以包括：第一支撑块组装步骤，根据所述多个轴单元所处的高度，将第一支撑块结合到所述支撑框架；以及第二支撑块组装步骤，根据所述多个轴单元的末端部位置，将第二支撑块结合到所述第一支撑块。

另外，根据本发明的实施例的基板传送装置的特征在于，包括：一对支撑框架；传送单元，沿基板的传送方向排列有多个轴单元，所述多个轴单元的两侧端部可旋转地结合到所述支撑框架，并且，配备有与基板接触的传送辊；以及接地单元，设置在所述支撑框架处，并且，将传导到所述轴单元的静电释放到外部，在这种情况下，所述接地单元包括：支撑块，结合到所述支撑框架；支撑板，由导电性材料制成，其长度方向设置为沿着基板的传送方向，在结合到所述支撑块的状态下接地；以及电刷，由导电性材料制成，结合到所述支撑板，沿所述支撑板的长度方向配置，同时接触所述多个轴单元。

在根据本发明的实施例的基板传送装置中，所述电刷可以与各个所述轴单元的外周面上部区域或外周面下部区域接触。

发明的效果

根据本发明，具有以下优点：可以有效地释放在基板的传送时在传送装置处产生的静电，使由静电引起的基板的不良最小化。

根据本发明，具有以下优点：通过毛状的导电性电刷，使得与传送单元的触碰最小化，抑制磨损现象等，可以防止传送单元的耐久性下降，并且，可以更有效地释放在多个轴单元处产生的静电。

根据本发明的接地单元具有以下优点：能够简单地组装并配置在支撑框架的侧面区域处，而不改变基板传送装置的结构。并且，即使在传送单元的各种配置结构中，也可以组装和配置在合适的位置，因而设置互换性优异。

根据本发明的接地单元具有以下优点：虽然是简单的组装和配置结构，但可以一并连接到多个轴单元，因而可以更加简化接地电缆等接地设备。

根据本发明的接地单元可以精密地调节电刷的位置，从而可以均匀地保持轴单元和电刷之间的接触状态，并且，通过满足轴单元和电刷之间的均匀且稳定的电流流动，可以更有效地释放静电。

根据本发明的接地单元具有以下优点：虽然电刷的使用周期有限，但可以长时间执行稳定的接地功能。

附图说明

图1是示出根据本发明的一实施例的基板传送装置的立体图。

图2是分解示出根据本发明的一实施例的基板传送装置的接地单元的立体图。

图3是用于说明根据本发明的一实施例的轴单元的分解例示图。

图4是用于说明根据本发明的一实施例的支撑板和电刷的结合状态的截面例示图。

图5是用于说明根据本发明的一实施例的轴单元和电刷的接触状态的侧面例示图。

具体实施方式

以下，参照附图对可以具体实现上述要解决的问题的本发明的优选实施例进行说明。在对本实施例进行说明时，对于相同的结构，可以使用相同名称和相同附图标记，并且，可以省略对此的附加说明。

图1是示出根据本发明的一实施例的基板传送装置的立体图，图2是分解示出根据本发明的一实施例的基板传送装置的接地单元的立体图，图3是用于说明根据本发明的一实施例的轴单元的分解例示图。

参照图1至图3，根据本发明的一实施例的基板传送装置包括：支撑框架10、传送单元20、接地单元30。

支撑框架10是安装用于传送基板的一系列的传送装置的部分，可以安装包括基板的传送单元20和接地单元30。

支撑框架10可以包括一对支撑框架10，该一对支撑框架10沿正交于基板的传送方向的方向隔开配置。

在各个支撑框架10处可以配备有轴承部件，其用于可旋转地支撑传送单元20的端部。

传送单元20的两侧端部可以可旋转地结合到一对支撑框架10。

传送单元20可以包括支撑基板的多个轴单元21。多个轴单元21可以彼此隔开配置并沿基板的传送方向排列。

轴单元21可以包括：传送轴21a、盖部件21b、以及接地用紧固部件21c。

在传送轴21a处可以配备有用于接触支撑基板的下表面的多个传送辊22，并且，传送辊22可以沿传送轴21a的长度方向以一定间隔隔开配备。

盖部件21b能够以包围传送轴21a的结构结合到位于贯通支撑框架10处的传送轴21a的末端部。

接地用紧固部件21c可由导电性材料制成，并且，可以使盖部件21b结合到传送轴21a。即，接地用紧固部件21c通过贯通盖部件21b并紧固到传送轴21a，可以将盖部件21b固定到传送轴21a。因此，在传送轴21a侧产生的静电可以传导到接地用紧固部件21c侧。

这种结构的轴单元21在其两侧端部可旋转地结合到一对支撑框架10的状态下，可以利用从电动机等的旋转力产生装置施加的旋转力旋转来传送接触支撑在传送辊22上的基板。

接地单元30可以将在基板的传送时传导到轴单元21的静电释放到外部。为此的接地单元30可以包括：支撑块31、支撑板34、电刷35。

支撑块31固定支撑接地单元30，可以设置在支撑框架10上，并且，根据沿基板的传送方向排列的传送单元20的数量，可以沿基板的传送方向配备有多个支撑块31。

支撑块31可以包括第一支撑块32和第二支撑块33。

第一支撑块32可以结合到支撑框架10的侧表面，并且，可以利用第一紧固件B1紧固到形成在支撑框架10的侧表面的紧固孔10b。

此处，在第一支撑块32处可以配备有贯通第一紧固件B1的第一狭缝紧固孔32a。并且，第一狭缝紧固孔32a可以是沿上下方向具有长度的长孔。因此，在利用第一紧固件B1将第一支撑块32紧固到支撑框架10时，第一支撑块32可以以第一狭缝紧固孔32a的长度的量沿上下方向进行位置调整。

第二支撑块33可以结合到第一支撑块32的上部表面，并且，可以利用第二紧固件B2紧固到形成在第一支撑块32的上部表面的紧固孔32b。

此处，在第二支撑块33处可以配备有贯通第二紧固件B2的第二狭缝紧固孔33a，并且，第二狭缝紧固孔33a可以是沿轴单元21的长度方向具有长度的长孔。因此，在利用第二紧固件B2将第二支撑块33紧固到第一支撑块32时，第二支撑块33可以以第二狭缝紧固孔33a的长度的量沿轴单元21的长度方向进行位置调整。

支撑板34可以由导电性材料制成，并且，可以配置成长度方向沿着排列有多个轴单元21的基板传送方向。即，支撑板34可以配置成在结合到支撑块31的状态下与多个轴单元21相交。

支撑板34可以结合到第二支撑块33的侧表面，并且，可以利用第三紧固件B3紧固到形成在第二支撑块33的侧表面的紧固孔33b。

此处，在支撑板34处可以配备有贯通第三紧固件B3的第三狭缝紧固孔34a，并且，第三狭缝紧固孔34a可以是沿基板的传送方向具有长度的长孔。因此，在利用第三紧固件B3将支撑板34紧固到第二支撑块33时，支撑板34可以以第三狭缝紧固孔34a的长度的量进行位置调整。

尽管未图示，接地电缆可以连接到支撑板34。

图4是用于说明根据本发明的一实施例的支撑板34和电刷35的结合状态的截面例示图。

在支撑板34处可以配备有用于结合后述的电刷35的结合槽部34b。结合槽部34b可以通过折弯加工平板结构的支撑板34来形成。

在将后述的电刷35的一端部插入到支撑板34的结合槽部34b的状态下，通过对支撑板34施压以使电刷35的插入端部被压接，可以将电刷35牢固地固定结合到支撑板34的结合槽部34b。

电刷35可以由导电性材料制成，并且，可以配备成毛状。例如，可以由不锈钢、金属纤维、导电性聚合物等的材料制成。

毛状的电刷35可以使一端部结合到支撑板34的结合槽部34b而沿支撑板34的长度方向整齐排列。由此，电刷35的自由端部可以同时接触多个轴单元21。具体地，电刷35可以同时接触多个接地用紧固部件21c。

毛状的电刷35可以最小化与轴单元21的触碰，抑制磨损现象等，防止轴单元21的耐久性下降。并且，由于接触多个轴单元21的外周面，因而可以确保轴单元21和电刷35之间的稳定的电流流动并更有效地释放静电。

图5是用于说明根据本发明的一实施例的轴单元21和电刷35的接触状态的侧面例示图。

如图5中的(a)所示，电刷35可以配置成接触多个轴单元21的外周面上部区域，并且，如图5中的(b)所示，电刷35还可以配置成接触多个轴单元21的外周面下部区域。

换句话说，在支撑板34配置在轴单元21的上侧的情况下，电刷35可以以包围各个轴单元21的外周面上部区域的形式配置，并且，在支撑板34配置在轴单元21的下侧的情况下，电刷35可以以包围各个轴单元21的外周面下部区域的形式配置。

将电刷35配置在轴单元21的外周面上部区域还是配置在下部区域可以根据传送单元20的设置规格来决定。例如，当出于维护等原因而需要进行传送单元20的位置调整时，可以容易地从支撑框架10进行传送单元20的位置调整，而与接地单元30的组装和配置结构无关。

另外，如图5中的(b)所示，与轴单元21接触的电刷35的末端部可以位于比接地用紧固部件21c的下侧水平切线高且比通过接地用紧固部件21c的旋转中心的水平线低的位置。

即，当电刷35的末端部位于比接地用紧固部件21c的下侧水平切线低的位置时，与接地用紧固部件21c的接触状态被解除，而当位于比通过接地用紧固部件21c的旋转中心的水平线高的位置时，采取包围接地用紧固部件21c的一半以上的形式，从而会使电刷35的耐久性下降。

优选地，电刷35的末端部可以配置成从接地用紧固部件21c的下侧水平切线向上侧保持一定高度d，使得与接地用紧固部件21c的一定面积接触，此时，高度d可以是1mm至2mm的范围。在这种接触条件下，在电刷35和接地用紧固部件21c之间可以确保稳定的电流流动，并且，还可以预防电刷35的耐久性下降。

如上所述，根据本实施例，在传送基板时，在基板和各个轴单元21之间产生的静电从各个轴单元21的端部一并传递到电刷35侧之后，能够通过接地的支撑板34立即释放到外部，由此，可以最小化由静电引起的基板的不良。

以下，对根据本发明的实施例的接地单元的组装方法进行说明。

根据本发明的实施例的接地单元30的组装方法可以包括：电刷组装步骤、支撑块组装步骤、支撑板组装步骤、支撑板接地步骤。

电刷组装步骤是将支撑板34和电刷35一体结合的步骤。

参照图4，电刷组装步骤可以包括：在支撑板34处形成结合槽部34b的步骤，和将支撑板34和电刷35结合的步骤。即，将用于形成支撑板34的板状材料的两端折弯加工而形成“U字形”的结合槽部34b。并且，在将散装(bulk)状态的电刷35的一端部整齐地插入到结合槽部34b的状态下，通过对支撑板34施压从而使电刷35的插入端部压接，可以将电刷35牢固地固定结合到支撑板34。

支撑块组装步骤是将支撑块31结合到支撑框架10的步骤。

在支撑块组装步骤中，可以根据设置在支撑框架10上的轴单元21的排列位置，适当地调节支撑块31的位置并将其紧固到支撑框架10。

具体地，支撑块组装步骤可以包括第一支撑块组装步骤和第二支撑块组装步骤。

在第一支撑块组装步骤中，根据多个轴单元21所处的高度，在第一狭缝紧固孔32a的长度范围内设定第一支撑块32的上下方向位置，之后可以利用第一紧固件B1将第一支撑块32紧固到支撑框架10。

在第二支撑块组装步骤中，根据多个轴单元21的末端部位置，在第二狭缝紧固孔33a的长度范围内沿轴单元21的长度方向对第二支撑块33进行位置调整，之后可以利用第二紧固件B2将第二支撑块33紧固到第一支撑块32。

支撑板组装步骤是将包括电刷35的支撑板34结合到支撑块31的步骤。

即，可以使第三紧固件B3贯通第三狭缝紧固孔34a而将支撑板34紧固在支撑块31上，使得沿支撑板34的长度方向配备的电刷35同时接触多个轴单元21。

支撑板接地步骤是使支撑板34接地的步骤，利用接地电缆完成接地施工以使支撑板34接地。根据本实施例，通过仅对一个支撑板34进行接地施工，可以简单地完成多个轴单元21的接地。

另外，根据本发明的一实施例的基板传送装置还可以包括接地单元检查部，该接地单元检查部用于根据需要测量传导到支撑板34侧的电特性。

即，通过接地单元检查部测量从轴单元21经由电刷35传导到支撑板34侧的电特性，从而可以检查接地单元30的静电释放性能。

例如，首先，将电极部件分别连接到基板传送装置的停止模式即停止状态的轴单元21和支撑板34，测量从停止状态的轴单元21传递到支撑板34侧的电流值或电阻值。

然后，将电极部件分别连接到基板传送装置的使用模式即旋转中的轴单元21和支撑板34，测量从旋转中的轴单元21传递到支撑板34侧的电流值或电阻值。

之后，通过对分别在基板传送装置的停止模式和使用模式下测量的电流值或电阻值进行比较，可以确认接地单元30的静电释放性能。

如果在通过接地单元检查部测量的值超过预先设定的容许范围的情况下，则根据电刷35的使用周期无法实现与轴单元21的充分接触，在轴单元21产生的静电可能无法有效地释放到支撑板34侧，在这种情况下，可以更换新的电刷或改变现有电刷35的设置位置。

例如，可以松开第一紧固件B1并沿第一狭缝紧固孔32a调节第一支撑块32的位置，或者松开第二紧固件B2并沿第二狭缝紧固孔33a调节第二支撑块33的位置，从而重新调整轴单元21和电刷35之间的接触位置。此外，也可以通过松开第三紧固件B3并沿第三狭缝紧固孔34a调节支撑板34的位置，重新调整轴单元21和电刷35之间的接触位置。

这样，通过重新调整轴单元21和电刷35之间的接触位置，可以稳定地释放在轴单元21处产生的静电。

如上所述，根据本发明的基板传送装置通过接地单元30有效地释放传送基板时在传送装置处产生的静电，从而可以最小化由静电引起的基板的不良。

此外，根据本实施例的接地单元30的毛状的电刷35最小化与轴单元21的触碰，从而可以抑制磨损现象等，防止传送单元20的耐久性下降，并且，由于以包围多个轴单元21的外周面的形式接触，因而可以确保轴单元21和电刷35之间的稳定的电流流动，可以更有效地释放静电。

此外，根据本实施例的基板传送装置的接地单元30能够简单地组装及配置在支撑框架10的侧面区域处，而不改变现有基板传送装置的结构，并且，可以根据传送单元20的组装及配置条件，简单地组装及配置在适当的位置，因而设置互换性优异。

此外，根据本实施例的基板传送装置的接地单元30虽然是简单的组装及配置结构，但是通过一并连接到多个轴单元21，可以简化接地电缆等接地设备。

此外，根据本实施例的基板传送装置的接地单元30可以精密地调节与轴单元21接触的电刷35的位置，从而可以均匀地保持各个轴单元21和电刷35之间的接触状态，由此，通过满足各个轴单元21和电刷35之间的均匀且稳定的电流流动，可以更有效地释放静电。

此外，根据本实施例的基板传送装置的接地单元30虽然电刷35的使用周期有限，但是可以长时间执行稳定的接地功能。

如上所述，参照附图说明了本发明的优选实施例，然而本领域技术人员可以在不脱离权利要求书中所记载的本发明的构思和领域的范围内对本发明进行各种修改或变更。

附图标记说明

10：支撑框架 20：传送单元

21：轴单元 30：接地单元

31：支撑块 34：支撑板

35：电刷

Claims (9)

1.一种基板传送装置用接地单元，其特征在于，包括：

支撑块，结合到支撑框架，所述支撑框架设置有用于传送基板的多个轴单元；

支撑板，由导电性材料制成，其长度方向设置为沿着排列有所述多个轴单元的基板传送方向，在结合到所述支撑块的状态下接地；以及

电刷，由导电性材料制成，结合到所述支撑板，沿所述支撑板的长度方向配置，同时接触所述多个轴单元。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置用接地单元，其特征在于，所述支撑块包括：

第一支撑块，结合到所述支撑框架，具有沿上下方向配备的第一狭缝紧固孔；以及

第二支撑块，其一端部结合到所述第一支撑块，其另一端部结合到所述支撑板，具有沿所述轴单元的长度方向配备的第二狭缝紧固孔。

3.根据权利要求1所述的基板传送装置用接地单元，其特征在于，所述支撑板具有第三狭缝紧固孔，所述第三狭缝紧固孔沿长度方向配备，以改变各个所述轴单元和所述电刷的接触位置。

4.根据权利要求1所述的基板传送装置用接地单元，其特征在于，

在所述支撑板处配备有与所述电刷结合的结合槽部，

插入到所述结合槽部的所述电刷的一端部通过对所述支撑板施压而被压接，以使所述电刷结合到所述支撑板。

5.一种基板传送装置用接地单元的组装方法，其特征在于，包括：

电刷组装步骤，将电刷结合到支撑板，所述支撑板的长度方向设置为沿着排列有多个轴单元的基板传送方向；

支撑块组装步骤，将支撑块结合到支撑框架，所述支撑框架设置有所述多个轴单元；

支撑板组装步骤，将所述支撑板结合到所述支撑块，使得所述电刷同时接触所述多个轴单元；以及

支撑板接地步骤，使所述支撑板接地。

6.根据权利要求5所述的基板传送装置用接地单元的组装方法，其特征在于，在所述电刷组装步骤中，

对所述支撑板进行折弯加工，形成供所述电刷结合的结合槽部，

对所述支撑板施压以将插入到所述结合槽部的所述电刷的一端部压接，使所述电刷结合到所述支撑板。

7.根据权利要求5所述的基板传送装置用接地单元的组装方法，其特征在于，所述支撑块组装步骤包括：

第一支撑块组装步骤，根据所述多个轴单元所处的高度，将第一支撑块结合到所述支撑框架；以及

第二支撑块组装步骤，根据所述多个轴单元的末端部位置，将第二支撑块结合到所述第一支撑块。

8.一种基板传送装置，其特征在于，包括：

一对支撑框架；

传送单元，沿基板的传送方向排列有多个轴单元，所述多个轴单元的两侧端部可旋转地结合到所述支撑框架，并且，具有与基板接触的传送辊；以及

接地单元，设置在所述支撑框架处，并且，将传导到所述轴单元的静电释放到外部，

其中，所述接地单元包括：

支撑块，结合到所述支撑框架；

支撑板，由导电性材料制成，其长度方向设置为沿着基板的传送方向，在结合到所述支撑块的状态下接地；以及

电刷，由导电性材料制成，结合到所述支撑板，沿所述支撑板的长度方向配置，同时接触所述多个轴单元。

9.根据权利要求8所述的基板传送装置，其特征在于，所述电刷与各个所述轴单元的外周面上部区域或外周面下部区域接触。

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