KR102498911B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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KR102498911B1 KR1020180042330A KR20180042330A KR102498911B1 KR 102498911 B1 KR102498911 B1 KR 102498911B1 KR 1020180042330 A KR1020180042330 A KR 1020180042330A KR 20180042330 A KR20180042330 A KR 20180042330A KR 102498911 B1 KR102498911 B1 KR 102498911B1
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Abstract

본 발명은 챔버의 처리공간상에 존재하는 유체가 회전축이 관통된 부위를 통해 챔버의 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있도록 하는 기판처리장치에 관한 것이다.
본 발명은 내부에 기판이 처리되는 처리공간이 형성된 챔버; 상기 챔버의 외측에서 상기 챔버를 관통하여 상기 처리공간상에 배치되는 회전축; 상기 챔버의 내측벽에 설치되고, 중심에는 상기 회전축이 관통되는 제1 관통부가 마련된 지지브라켓; 상기 지지브라켓으로부터 상기 챔버의 내부공간 방향으로 일정간격 이격되게 배치되고, 중심에는 상기 회전축이 관통되는 제2 관통부가 마련되며, 상기 처리공간상에서 상기 지지브라켓과 함께 상기 회전축을 지지하기 위한 커버하우징; 상기 회전축의 외주면상에 배치되되 상기 제2 관통부의 내부공간상에 배치되는 실링캡; 및 일단은 상기 회전축의 외주면상에 접촉되어 배치되며, 타단은 상기 실링캡의 외측면과 상기 커버하우징의 내측면 사이에 배치되어 상기 처리공간상에 존재하는 유체가 상기 회전축을 따라 챔버의 외부로 유출되는 것을 방지하는 제1 실링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 제공한다.

Description

기판처리장치{APPARATUS FOR SUBSTRATE PROCESS}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 처리공간상에 존재하는 유체가 회전축이 관통된 부위를 통해 챔버의 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있도록 하는 기판처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시장치용 기판의 세정 작업에는 롤브러쉬 또는 디스크 브러쉬를 이용하여 기판의 표면에 존재하는 각종 이물질들을 제거하면서 세정하는 구조의 세정장치가 사용된다.
작업이 수행되는 베스의 내부에는 샤프트에 의해 기판이 반송되고, 기판의 반송경로 상에서 기판의 표면에 대응하여 브러싱 동작이 가능하도록 회전축을 중심으로 회전되는 롤브러쉬가 배치된다.
롤브러쉬는 베스의 외부에 설치된 구동부로부터 발생된 동력을 전달받아 회전된다. 구동부는 상기 회전축과 커플링되는 구동축을 갖는 모터가 주로 사용된다.
모터의 구동축과 롤브러쉬의 회전축은 커플링과 같은 축간 이음부재로 직접 연결되어, 이들간에 동력전달이 이루어진다.
회전축과 구동축을 연결하기 위하여 챔버의 내측벽에 일정한 크기의 회전축 관통홀이 형성된다. 따라서, 세정액이 상기 회전축 관통홀을 통하여 챔버의 외부로 유출되어 세정 환경을 저해한다. 외부로 유출된 세정액은 챔버의 외부에 설치된 모터나 각종 주변 구동장치들의 부식을 촉진시키는 문제점이 있다.
한국공개특허공보 제10-2016-0005852호(2016.01.18 공개공고, 발명의 명칭 : 기판 처리 장치)
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 제1 실링부재와 제2 실링부재 및 제3 실링부재를 구비하여, 챔버를 관통하는 회전축이 상하방향으로 이동하더라도 챔버의 처리공간상에 존재하는 유체가 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있도록 하는 기판처리장치를 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판처리장치는, 내부에 기판이 처리되는 처리공간이 형성된 챔버; 상기 챔버의 외측에서 상기 챔버를 관통하여 상기 처리공간상에 배치되는 회전축; 상기 챔버의 내측벽에 설치되고, 중심에는 상기 회전축이 관통되는 제1 관통부가 마련된 지지브라켓; 상기 지지브라켓으로부터 상기 챔버의 내부공간 방향으로 일정간격 이격되게 배치되고, 중심에는 상기 회전축이 관통되는 제2 관통부가 마련되며, 상기 처리공간상에서 상기 지지브라켓과 함께 상기 회전축을 지지하기 위한 커버하우징; 상기 회전축의 외주면상에 배치되되 상기 제2 관통부의 내부공간상에 배치되는 실링캡; 및 일단은 상기 회전축의 외주면상에 접촉되어 배치되며, 타단은 상기 실링캡의 외측면과 상기 커버하우징의 내측면 사이에 배치되어 상기 처리공간상에 존재하는 유체가 상기 회전축을 따라 챔버의 외부로 유출되는 것을 방지하는 제1 실링부재;를 포함한다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 회전축의 반경방향으로 일정거리 떨어진 위치에서 상기 회전축의 외부공간을 감싸면서 배치되되, 일단은 상기 지지브라켓과 연결되고 타단은 상기 커버하우징에 연결되는 제2 실링부재;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 일단은 상기 지지브라켓과 결합되고 타단은 상기 커버하우징의 인접영역에서 자유단을 형성하면서 외부충격으로부터 상기 제2 실링부재를 보호하기 위한 보호커버; 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 일단은 상기 보호커버의 외측면에 힌지 결합되고 타단은 상기 커버하우징의 외측면에 힌지 결합되어, 상기 회전축의 상하 이동시 상기 보호커버에 대하여 상기 커버하우징이 상하로 이동될 수 있도록 하는 상하이동 가이드부재;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 지지브라켓은, 상기 제1 관통부가 마련되고, 상기 챔버의 내측벽에 고정되는 고정플레이트; 상기 고정플레이트의 일측면으로부터 상기 커버하우징 방향을 향해 돌출 형성되어 상기 보호커버의 일측단부가 결합되는 보호커버 결합부; 및 상기 보호커버 결합부의 일측면으로부터 상기 커버하우징 방향을 향해 돌출 형성되되 상기 보호커버 결합부의 직경보다 작은 직경을 가지도록 형성되어, 상기 제2 실링부재의 전방 내측면과 밀착되는 제2 실링부재 전방밀착부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 커버하우징은, 상기 제2 관통부가 마련된 커버하우징본체; 및 상기 커버하우징본체의 일측면으로부터 상기 지지브라켓 방향을 향해 돌출 형성되어 상기 제2 실링부재의 후방 내측면과 밀착되는 제2 실링부재 후방밀착부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 제2 실링부재는, 파이프 형상의 제2 실링부재본체; 상기 제2 실링부재본체의 전방단부에서 연장 형성되되, 상기 제2 실링부재본체의 내측 후방으로 벤딩되어 상기 제2 실링부재 전방밀착부에 밀착되는 전방벤딩 테두리부; 및 상기 제2 실링부재본체의 후방단부에서 연장 형성되되, 상기 제2 실링부재본체의 내측 전방으로 벤딩되어 상기 제2 실링부재 후방밀착부에 밀착되는 후방벤딩 테두리부;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 제2 실링부재본체와 상기 전방벤딩 테두리부 사이에 배치된 상태에서 상기 제2 실링부재 전방밀착부에 끼워지는 제1 링부재; 및 상기 제2 실링부재본체와 상기 후방벤딩 테두리부 사이에 배치된 상태에서 상기 제2 실링부재 후방밀착부에 끼워지는 제2 링부재;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 제1 실링부재는, 상기 회전축을 감싸는 회전축 결합부; 및 상기 회전축 결합부로부터 상기 커버하우징 방향을 향해 돌출 형성되되, 상기 회전축 결합부의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성된 실링캡 결합부;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 실링캡은, 상기 제2 관통부의 내면에 밀착되게 배치되는 실링캡본체; 및 상기 실링캡본체의 일측단부로부터 상기 지지브라켓 방향을 향해 연장 형성되어 상기 실링캡 결합부가 결합되는 연장부;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 제2 실링부재는 비닐형태의 막으로 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서, 상기 지지브라켓과 상기 챔버의 내측벽 사이를 통해 유입되는 유체가 상기 챔버의 외부로 유출되는 것을 방지하기 위하여, 상기 챔버의 내측벽에 형성된 제3 실링부재 설치홈부에 설치되는 제3 실링부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판처리장치는 제1 실링부재와, 제2 실링부재 및 제3 실링부재가 구비된 것에 의해, 챔버를 관통하는 회전축이 상하방향으로 이동하더라도 챔버의 처리공간상에 존재하는 유체가 챔버의 외부로 유출되는 것을 최대한 방지할 수 있는 효과가 있다.
이에 따라, 유체의 유출로 챔버의 외부에 설치된 모터나 각종 주변 구동장치들의 부식을 촉진시키는 것을 방지하고, 기판처리장치의 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 A부분을 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2의 구성 중 회전축과 이에 연관된 구성들을 분해하여 나타낸 분해 사시도 있다.
도 4는 도 2의 구성 중 회전축과 이에 연관된 구성들의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 실링부재 및 제2 실링부재가 설치된 상태를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 일 실시예에 따른 기판처리장치는 챔버(100)와, 회전축(200)과, 지지브라켓(300)과, 커버하우징(400)과, 제1 실링부재(600)와, 제2 실링부재(700) 및 보호커버(900)를 포함한다.
상기 챔버(100)는 유체를 이용하여 기판(S)을 처리하기 위한 처리공간(101)을 형성한다. 예를 들어, 상기 챔버(100)는 내부에 처리공간(101)을 갖는 육면체의 함체 형상을 가질 수 있다.
상기 챔버(100)의 내측벽(110)에는 상기 챔버(100)와 내부가 연통되도록 형성되어 후술할 회전축(200)이 관통되는 회전축 관통홀(111)이 형성될 수 있다.
또한, 도시되지는 않았지만, 상기 챔버(100)의 일측에는 기판(S)이 유입되는 유입구가 마련되고, 상기 챔버(100)의 타측에는 기판처리가 완료된 기판(S)이 배출되는 배출구가 마련될 수 있으며, 상기 챔버(100)의 처리공간(101)상에는 기판(S)을 일방향으로 이송시키기 위한 이송축과 이송롤러로 이루어진 이송부가 설치될 수 있다.
상기 회전축(200)은 상기 챔버(100)의 외측에서 상기 챔버(100)를 관통하여 상기 처리공간상에 배치될 수 있다.
이때, 상기 회전축(200)의 외주면에는 기판(S)의 세정을 위한 롤브러쉬(210)가 장착될 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 롤브러쉬는 기판(S)의 상부면과 하부면을 세정하기 위하여, 적어도 한쌍이 상하로 배치될 수 있다.
예를 들어, 상기 롤브러쉬(210)는 상하로 2 쌍이 배치되어, 상기 기판(S)이 이송될 경우, 상기 롤브러쉬에 의해 상기 기판(S)의 상부면 및 하부면을 세정한다. 이를 위해 회전축이 상기 기판(S)의 상부면과 하부면에 대응하여 상하로 각각 2 개씩 배치된다.
상기 챔버(100)의 외측에는 상기 회전축의 일측과 연결되어 상기 회전축을 구동시키기 위한 구동모터 등이 구비된 구동부(M)가 설치될 수 있다.
한편, 상기 회전축(200)은 상기 롤브러쉬(210)와 상기 기판(S) 간의 갭을 조절하기 위해 상하로 이동될 수 있다.
이하에서는 도 2 내지 5를 참조하여 본 발명의 일 시시예에 따른 기판처리장치의 실링구조를 설명하기로 한다.
도 2는 도 1의 A부분을 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 구성 중 회전축과 이에 연관된 구성들을 분해하여 나타낸 분해 사시도 있다.
또한, 도 4는 도 2의 구성 중 회전축과 이에 연관된 구성들의 단면을 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 실링부재 및 제2 실링부재가 설치된 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 지지브라켓(300)은 상기 챔버(100)의 내측벽(110)에 설치되고, 중심에는 상기 회전축(200)이 관통되는 제1 관통부(311)가 마련된 수 있다.
상기 지지브라켓(300)은 후술할 커버하우징(400)과 함께, 상기 챔버(100)의 외측에서 상기 챔버(100)를 관통하여 상기 처리공간(101)상에 배치되는 상기 회전축(200)을 지지하게 된다.
상기 지지브라켓(300)은 고정플레이트(310)와, 보호커버 결합부(320) 및 제2 실링부재 전방밀착부(330)를 포함할 수 있다.
상기 고정플레이트(310)는 상기 회전축(200)이 관통되는 제1 관통부(311)가 마련될 수 있으며, 상기 고정플레이트(310)는 상기 챔버(100)의 내측벽(110)에 나사 등과 같은 별도의 체결부재를 통해 고정될 수 있다.
상기 보호커버 결합부(320)는 상기 고정플레이트(310)의 일측면으로부터 후술할 커버하우징(400) 방향을 향해 돌출 형성되어 상기 보호커버(900)의 일측단부가 결합된다.
이때, 상기 보호커버 결합부(320)는 상기 회전축(200)이 관통되도록 링 형상으로 형성될 수 있다.
상기 제2 실링부재 전방밀착부(330)는 상기 보호커버 결합부(320)의 일측면으로부터 상기 커버하우징(400) 방향을 향해 돌출 형성되되, 상기 보호커버 결합부(320)의 직경보다 작은 직경을 가지도록 형성될 수 있다.
상기 제2 실링부재 전방밀착부(330)는 상기 회전축(200)이 관통될 수 있도록 링 형상으로 형성될 수 있으며, 후술할 제2 실링부재(700)의 전방 내측면에 밀착되게 설치될 수 있다.
상기 커버하우징(400)은 상기 지지브라켓(300)으로부터 상기 챔버(100)의 내부공간 방향으로 일정간격 이격되게 배치되고, 중심에는 상기 회전축(200)이 관통되는 제2 관통부(411)가 마련될 수 있다.
상기 커버하우징(400)은 상기 처리공간(101)상에서 상기 지지브라켓(300)과 함께 상기 회전축(200)을 지지하게 된다. 이러한 상기 커버하우징(400)은 커버하우징본체(410) 및 제2 실링부재 후방밀착부(420)를 포함할 수 있다.
상기 커버하우징본체(410)는 상기 회전축(200)이 관통되는 상기 제2 관통부(411)가 마련될 수 있다.
상기 제2 실링부재 후방밀착부(420)는 상기 커버하우징본체(410)의 일측면으로부터 상기 지지브라켓(300) 방향을 향해 돌출 형성되어 상기 제2 실링부재(700)의 후방 내측면에 밀착되게 설치될 수 있다.
상기 실링캡(500)은 상기 회전축(200)의 외주면상에 배치되되 상기 제2 관통부(411)의 내부공간상에 배치되어, 상기 회전축(200)과 상기 커버하우징(400)의 제2 관통부(411) 사이를 밀폐하면서 후술할 제1 실링부재(600)의 후단부를 상기 커버하우징(400)의 제2 관통부(411)상에 고정될 수 있도록 한다.
이러한 상기 실링캡(500)은 실링캡본체(510) 및 연장부(520)를 포함할 수 있다.
상기 실링캡본체(510)는 상기 회전축(200)의 외주면에 배치되면서 상기 제2 관통부(411)의 내면에 밀착되게 설치될 수 있다.
상기 연장부는(520)는 상기 실링캡본체(510)의 일측면으로부터 상기 지지브라켓(300) 방향을 향해 연장 형성되어, 후술할 제1 실링부재(600)의 실링캡 결합부(620)가 결합될 수 있다.
상기 제1 실링부재(600)는 일단이 상기 회전축(200)의 외주면상에 접촉되어 배치되고 타단이 상기 실링캡(500)의 외측면과 상기 커버하우징(400)의 내측면 사이에 배치될 수 있다.
이때, 상기 제1 실링부재(600)는 상기 처리공간(101)상에 존재하는 유체가 상기 회전축(200)의 외측면을 따라 상기 챔버(100)의 외부로 유출되는 것을 방지한다.
이러한 상기 제1 실링부재(600)는 회전축 결합부(610) 및 실링캡 결합부(620)를 포함할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 회전축 결합부(610)는 상기 회전축(200)을 감싸도록 형성될 수 있다.
이때, 상기 회전축 결합부(610)는 상기 회전축(200)의 외측면과 상기 실링캡(500)의 내측면 사이로 이동되는 유체가 후술할 제1 공간(711)으로 유입되는 것을 방지한다.
상기 실링캡 결합부(620)는 상기 회전축 결합부(610)로부터 상기 커버하우징(400) 방향을 향해 돌출 형성될 수 있으며, 상기 회전축 결합부(610)의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성될 수 있다.
상기 실링캡 결합부(620)는 상기 연장부(520)에 결합될 수 있다.
상기 실링캡 결합부(620)는 상기 실링캡(500)의 외측면과 커버하우징(400)의 내측면 사이로 이동되는 유체가 상기 제1 공간(711)으로 유입되는 것을 방지한다.
결과적으로, 상기 제1 실링부재(600)는 상기 회전축 결합부(610)에 의해 상기 회전축(200)의 외측면과 상기 실링캡(500)의 내측면 사이로 이동되는 유체가 상기 제1 공간(711)으로 유입되는 것을 방지하고, 상기 실링캡 결합부(620)에 의해 상기 실링캡(500)의 외측면과 상기 커버하우징(400)의 내측면 사이로 이동되는 유체가 상기 제1 공간(711)으로 유입되는 것을 방지하여 상기 처리공간(101)상에 존재하는 유체가 상기 제1 공간(711)을 통해 상기 챔버(100)의 외측으로 유출되는 것을 방지하게 된다.
상기 제2 실링부재(700)는 상기 회전축(200)의 반경방향으로 일정거리 떨어진 위치에서 상기 회전축(200)의 외부공간을 감싸면서 배치될 수 있으며, 상기 제2 실링부재(700)의 일단이 상기 지지브라켓(300)과 연결되고 타단은 상기 커버하우징(400)에 연결될 수 있다.
상기 제2 실링부재(700)는 상기 처리공간(101)상에서 이동되는 유체가 상기 챔버(100)의 외부로 유출되는 것을 방지한다. 더욱 구체적으로, 상기 제2 실링부재(700)는 상기 처리공간(101)상에 존재하는 유체 중 후술할 여유공간부(910) 상으로 유입되는 유체가 상기 제1 공간(711)으로 유입되어 챔버(100)의 외측으로 유출되는 것을 방지한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제2 실링부재(700)는 제2 실링부재본체(710)와, 전방벤딩 테두리부(720) 및 후방벤딩 테두리부(730)을 포함할 수 있다.
상기 제2 실링부재본체(710)는 파이프 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 제2 실링부재본체(710)의 내부는 상기 회전축(200)이 상하 이동될 수 있도록 하기 위한 제1 공간(711)이 형성될 수 있다.
더욱 구체적으로, 상기 제1 공간(711)은 상기 회전체(200)의 외측면과 상기 제2 실링부재본체(710)의 내측면 사이의 공간을 의미한다.
상기 전방벤딩 테두리부(720)은 상기 제2 실링부재본체(710)의 전방단부에서 연장 형성되되, 상기 제2 실링부재본체(710)의 내측 후방으로 벤딩되어 상기 제2 실링부재 전방밀착부(330)에 밀착될 수 있다.
상기 후방벤딩 테두리부(730)은 상기 제2 실링부재본체(710)의 후방단부에서 연장 형성되되, 상기 제2 실링부재본체(710)의 내측 전방으로 벤딩되어 상기 제2 실링부재 후방밀착부(420)에 밀착될 수 있다.
즉, 상기 전방벤딩 테두리부(720)에 상기 제2 실링부재 전방밀착부(330)가 밀착되어 상기 제2 실링부재본체(710)의 전방측이 상기 지지브라켓(300)에 지지되고, 상기 후방벤딩 테두리부(730)에 상기 제2 실링부재 후방밀착부(420)가 밀착되어 상기 제2 실링부재본체(710)의 후방측이 상기 커버하우징(400)에 지지될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 기판처리장치는 탄성력을 가진 제1 링부재(810) 및 제2 링부재(820)를 더 포함할 수 있다.
다시 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 링부재(810)는 상기 제2 실링부재본체(710)와 상기 전방벤딩 테두리부(720) 사이에 배치된 상태에서 상기 제2 실링부재 전방밀착부(330)에 끼워질 수 있다.
이에 따라, 상기 제2 실링부재 전방밀착부(330)와 상기 전방벤딩 테두리부(720) 간의 밀착력을 높일 수 있다.
상기 제2 링부재(820)는 상기 제2 실링부재본체(710)와 상기 후방벤딩 테두리부(730) 사이에 배치된 상태에서 상기 제2 실링부재 후방부(420)에 끼워질 수 있다.
이에 따라, 상기 제2 실링부재 후방밀착부(420)와 상기 후방벤딩 테두리부(730) 간의 밀착력을 높일 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시에 따른 상기 제2 실링부재(700)는 비닐형태의 막으로 형성될 수 있다.
즉, 상기 제2 실링부재(700)가 비닐형태의 막으로 형성됨으로써, 상기 제2 실링부재(700)가 유연성을 가지게 되어 상기 회전축(200)이 상하 이동시 상기 제2 실링부재(700)에 제약 없이 후술할 보호커버(900)를 기준으로 상기 회전축(200) 및 상기 회전축(200)이 지지된 상기 커버하우징(400)이 상하 이동될 수 있다.
상기 보호커버(900)는 일단이 상기 지지브라켓(300)과 결합되고 타단이 상기 커버하우징(400)의 인접영역에서 자유단을 형성하면서 외부충격으로부터 상기 제2 실링부재(700)를 보호할 수 있다.
이때, 상기 보호커버(900)는 상기 보호커버(900)의 전단부가 상기 보호커버 결합부(320)에 결합되면서 상기 지지브라켓(300)에 고정될 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 제2 실링부재(700)가 비닐형태의 막으로 형성됨에 따라, 외부충격에 의해 쉽게 손상될 수 있다. 이때, 상기 제2 실링부재(700)의 외주면상에 상기 보호커버(900)가 구비됨에 따라 외부충격에 의해 상기 제2 실링부재(700)가 손상되는 것을 최대한 방지할 수 있게 된다.
한편, 상기 보호커버(900)의 자유단측 내면과 상기 커버하우징(400)의 외주면 사이에는 커버하우징(400)이 이동될 수 있도록 여유공간부(910)가 형성될 수 있다.
상기 여유공간부(910)는 상기 회전축(200)이 상하 이동시 상기 회전축(200)과 함께 이동되는 커버하우징(400)이 상기 보호커버(900)에 의해 제한되지 않고 이동될 수 있도록 하기 위한 공간인 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따를 기판처리장치는 상하이동 가이드부재(1000)를 더 포함할 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 상하이동 가이드부재(1000)는 일단이 상기 보호커버(900)의 외측면에 힌지 결합되고 타단이 상기 커버하우징(400)의 외측면에 힌지 결합되어, 상기 회전축(200)의 상하 이동시 상기 보호커버(900)에 대하여 상기 커버하우징(400)이 상하로 이동될 수 있도록 한다.
이러한 상기 상하이동 가이드부재(1000)는 가이드부재본체(1010)와, 상기 가이드부재본체(1010)에 일측에 형성되어 상기 보호커버(900)의 외주면에 힌지 결합되는 제1 힌지결합부(1020) 및 상기 가이드부재본체(1010)의 타단에 형성되어 상기 커버하우징(400)의 외주면에 힌지 결합되는 제2 힌지결합부(1030)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 회전축(200)이 상하로 이동하게 되면, 상기 회전축(200)이 결합된 상기 실링캡(500)과, 상기 실링캡(500)이 결합된 커버하우징(400)이 함께 이동하게 된다.
이때, 상기 보호커버(900)는 상기 지지브라켓(300)에 고정된 상태이기 때문에 이동되지 않고, 상기 여유공간부(910)상에서 상기 회전축(200)과 상기 실링캡(500) 및 상기 커버하우징(400)이 상하로 이동된다.
이때, 상기 가이드부재본체(1010)가 상기 제1 힌지결합부(1020)를 기준으로 회전 이동됨으로써, 상기 보호커버(900)에 대하여 상기 커버하우징(400)이 상하로 이동될 수 있다.
한편, 상기 회전축(200)이 상하 이동시 상기 회전축(200)에 밀착되게 배치된 상기 회전축 결합부(610)에 대해 상기 실링캡 결합부(620)가 탄성적으로 변형이 발생되더라도 상기 회전축을 따라 이동되는 유체는 상기 회전축 결합부(610)에 의해 상기 제1 공간(711)으로 유입되는 것을 방지할 수 있게 된다.
결과적으로, 상기 회전축(200)이 상하로 이동되더라고 상기 제1 실링부재(600)의 회전축 결합부(610) 의해 상기 회전축(200)의 외측면을 따라 이동되는 유체가 상기 챔버(100)의 외부로 유출되는 것을 방지하게 된다.
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한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치는 제3 실링부재(1100)를 더 포함할 수 있다.
상기 제3 실링부재(1100)는 상기 챔버(100)의 내측벽(110)과 상기 지지브라켓(300) 사이에 설치될 수 있으며, 상기 지지브라켓(300)과 상기 챔버(100)의 내측벽(110) 사이를 통해 유입되는 유체가 상기 챔버(100)의 외부로 유출되는 것을 방지한다.
상기 제3 실링부재(1100)는 오링이 사용될 수 있으며, 상기 챔버(100)의 내측면에서 제3 실링부재(1100)가 설치하기 위한 제3 실링부재 설치홈부(111)가 마련될 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리장치는 상기 제1 실링부재(600)와, 상기 제2 실링부재(700) 및 상기 제3 실링부재(1100)를 구비함으로써, 상기 회전체(200)가 회전되더라도 상기 챔버(100)의 처리공간(101)상에 존재하는 유체가 상기 챔버(100)의 외부를 유출되는 것을 최대한 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 챔버 101: 처리공간
110: 내측벽 111: 제3 실링부재 설치홈부
200: 회전축 210: 롤브러쉬
300: 지지브라켓 310: 고정플레이트
311: 제1 관통부 320: 보호버커 결합부
330: 제2 실링부재 전방밀착부 400: 커버하우징
410: 커버하우징본체 411: 제2 관통부
420: 제2 실링부재 후방밀착부 500: 실링캡
510: 실링캡본체 520: 실링캡 돌기부
600: 제1 실링부재 610: 회전축 결합부
620: 실링캡 결합부 700: 제2 실링부재
710: 제2 실링부재본체 711: 제1 공간
720: 전방벤딩 테두리부 730: 후방벤딩 테두리부
810: 제1 링부재 820: 제2 링부재
900: 보호커버 910: 여유공간부
1000: 상하이동 가이드부재 1010: 가이드부재본체
1020: 제1 힌지결합부 1030: 제2 힌지결합부
1100: 제3 실링부재

Claims (12)

  1. 내부에 기판이 처리되는 처리공간이 형성된 챔버;
    상기 챔버의 외측에서 상기 챔버를 관통하여 상기 처리공간상에 배치되는 회전축;
    상기 챔버의 내측벽에 설치되고, 중심에는 상기 회전축이 관통되는 제1 관통부가 마련된 지지브라켓;
    상기 지지브라켓으로부터 상기 챔버의 내부공간 방향으로 일정간격 이격되게 배치되고, 중심에는 상기 회전축이 관통되는 제2 관통부가 마련되며, 상기 처리공간상에서 상기 지지브라켓과 함께 상기 회전축을 지지하기 위한 커버하우징;
    상기 회전축의 외주면상에 배치되되 상기 제2 관통부의 내부공간상에 배치되는 실링캡; 및
    일단은 상기 회전축의 외주면상에 접촉되어 배치되며, 타단은 상기 실링캡의 외측면과 상기 커버하우징의 내측면 사이에 배치되어 상기 처리공간상에 존재하는 유체가 상기 회전축을 따라 챔버의 외부로 유출되는 것을 방지하는 제1 실링부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전축의 반경방향으로 일정거리 떨어진 위치에서 상기 회전축의 외부공간을 감싸면서 배치되되, 일단은 상기 지지브라켓과 연결되고 타단은 상기 커버하우징에 연결되는 제2 실링부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서,
    일단은 상기 지지브라켓과 결합되고 타단은 상기 커버하우징의 인접영역에서 자유단을 형성하면서 외부충격으로부터 상기 제2 실링부재를 보호하기 위한 보호커버; 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    일단은 상기 보호커버의 외측면에 힌지 결합되고 타단은 상기 커버하우징의 외측면에 힌지 결합되어, 상기 회전축의 상하 이동시 상기 보호커버에 대하여 상기 커버하우징이 상하로 이동될 수 있도록 하는 상하이동 가이드부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 지지브라켓은,
    상기 제1 관통부가 마련되고, 상기 챔버의 내측벽에 고정되는 고정플레이트;
    상기 고정플레이트의 일측면으로부터 상기 커버하우징 방향을 향해 돌출 형성되어 상기 보호커버의 일측단부가 결합되는 보호커버 결합부; 및
    상기 보호커버 결합부의 일측면으로부터 상기 커버하우징 방향을 향해 돌출 형성되되 상기 보호커버 결합부의 직경보다 작은 직경을 가지도록 형성되어, 상기 제2 실링부재의 전방 내측면과 밀착되는 제2 실링부재 전방밀착부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 커버하우징은,
    상기 제2 관통부가 마련된 커버하우징본체; 및
    상기 커버하우징본체의 일측면으로부터 상기 지지브라켓 방향을 향해 돌출 형성되어 상기 제2 실링부재의 후방 내측면과 밀착되는 제2 실링부재 후방밀착부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 실링부재는,
    파이프 형상의 제2 실링부재본체;
    상기 제2 실링부재본체의 전방단부에서 연장 형성되되, 상기 제2 실링부재본체의 내측 후방으로 벤딩되어 상기 제2 실링부재 전방밀착부에 밀착되는 전방벤딩 테두리부; 및
    상기 제2 실링부재본체의 후방단부에서 연장 형성되되, 상기 제2 실링부재본체의 내측 전방으로 벤딩되어 상기 제2 실링부재 후방밀착부에 밀착되는 후방벤딩 테두리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2 실링부재본체와 상기 전방벤딩 테두리부 사이에 배치된 상태에서 상기 제2 실링부재 전방밀착부에 끼워지는 제1 링부재; 및
    상기 제2 실링부재본체와 상기 후방벤딩 테두리부 사이에 배치된 상태에서 상기 제2 실링부재 후방밀착부에 끼워지는 제2 링부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 실링부재는,
    상기 회전축을 감싸는 회전축 결합부; 및
    상기 회전축 결합부로부터 상기 커버하우징 방향을 향해 돌출 형성되되, 상기 회전축 결합부의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성된 실링캡 결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 실링캡은,
    상기 제2 관통부의 내면에 밀착되게 배치되는 실링캡본체; 및
    상기 실링캡본체의 일측단부로부터 상기 지지브라켓 방향을 향해 연장 형성되어 상기 실링캡 결합부가 결합되는 연장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제2항에 있어서,
    상기 제2 실링부재는 비닐형태의 막으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 지지브라켓과 상기 챔버의 내측벽 사이를 통해 유입되는 유체가 상기 챔버의 외부로 유출되는 것을 방지하기 위하여, 상기 챔버의 내측벽에 형성된 제3 실링부재 설치홈부에 설치되는 제3 실링부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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