CN115009759A - 基板传送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板传送装置，可以使用将配置在腔室外部的动力产生部和配置在腔室内部的传送部连接的金属丝部件，利用腔室和金属丝部件之间的缩小的摩擦面积使密封面积最小化并大幅减少腔室内部的颗粒产生。为此，本发明提供的基板传送装置包括：腔室，具有形成有与处理基板的处理空间连通的贯通孔的侧壁；传送部，配置在处理空间内并具有传送基板的传送轴；动力产生部，以侧壁为基准配置在处理空间的相反侧，产生用于传送基板的驱动力；动力传递部，贯通贯通孔而将动力产生部和传送部连接，并将动力产生部的驱动力传递到传送部，所述动力传递部包括：第一连接部件、第二连接部件、以及金属丝部件。

Description

基板传送装置
技术领域
本发明涉及一种基板传送装置，具体涉及一种可以使用将配置在腔室外部的动力产生部和配置在腔室内部的传送部连接的金属丝(wire)部件，利用腔室和金属丝部件之间的缩小的摩擦面积使密封面积最小化并大幅减少腔室内部的颗粒产生的基板传送装置。
背景技术
通常，用于显示器、半导体晶片、LCD、光掩模用玻璃等的基板经过各种处理工序来制造。例如，执行蚀刻、剥离、清洗、干燥等处理工序。
这样的基板处理工序通常在清洁的工序腔室内部执行以防止污染，各工序腔室内部的基板通过传送装置在工序腔室内部沿一个方向移动的同时执行一系列的处理工序。
在多个基板处理工序之间使用用于传送基板的基板传送装置。基板传送装置通常包括：致动器，配置在工序腔室的外侧并产生动力；传送轴，配置在工序腔室的内侧，随着旋转而将放置在上表面处的基板沿一个方向传送；以及动力传递部，用于贯通工序腔室并将所述致动器的动力传递到所述传送轴。
在这样贯通工序腔室并将致动器和传送轴直接连接的动力传递方式中发生如下问题。
在传送轴的旋转驱动时在轴承等机械摩擦区域中产生大量颗粒。这样的微粒不仅污染设备，而且污染在工序腔室内部中被处理的基板，从而降低基板处理工序的成品率。
此外，存在的问题是，由于因设置贯通工序腔室的动力传递部而形成在工序腔室的侧壁处的贯通孔而使工序腔室内部的气密性降低，由此从在工序腔室内部使用的处理液产生的颗粒或烟尘(Fume)等会泄漏到工序腔室外部，存在设备被泄漏的颗粒或烟尘污染和腐蚀并且作业环境的稳定性降低的问题。
现有技术文献
专利文献
(专利文献1)韩国登记专利公报第1048825号(2011年7月12日公告)
发明内容
发明所要解决的技术问题
用于解决上述问题的本发明的目的是提供一种基板传送装置，该基板传送装置可以使用将配置在腔室外部的动力产生部和配置在腔室内部的传送部连接的金属丝部件，利用腔室和金属丝部件之间的缩小的摩擦面积使密封面积最小化并大幅减少腔室内部的颗粒产生。
用于解决问题的手段
为了解决上述问题，本发明提供了一种基板传送装置，其包括：腔室，具有形成有与处理基板的处理空间连通的贯通孔的侧壁；传送部，配置在所述处理空间内并具有传送所述基板的传送轴；动力产生部，以所述侧壁为基准配置在所述处理空间的相反侧，并产生用于传送所述基板的驱动力；以及动力传递部，穿过所述贯通孔将所述动力产生部和所述传送部连接，并将所述动力产生部的驱动力传递到所述传送部。
所述动力传递部可以包括：第一连接部件，通过所述动力产生部的驱动力而旋转；第二连接部件，轴联到所述传送轴的端部；以及金属丝部件，贯通所述贯通孔来配置，一端部与所述第一连接部件连接，另一端部轴联到所述第二连接部件。
所述金属丝部件中的配置在所述贯通孔中的一部分区域可以具有比所述第一连接部件和所述第二连接部件的直径小的直径。
所述金属丝部件可以包括：金属丝主体，配置为贯通所述贯通孔；第一轴部件，一端结合到所述金属丝主体的一端部，另一端连接到所述第一连接部件；以及第二轴部件，一端结合到所述金属丝主体的另一端部，另一端轴联到所述第二连接部件。
所述金属丝部件可以由柔性材料制成，在所述第一连接部件的旋转轴和所述第二连接部件的旋转轴之间发生偏心时，根据偏心程度而扭曲的同时将所述第一连接部件的旋转力传递到所述第二连接部件侧。
所述第一轴部件可以在贯通所述第一连接部件的状态下经由移动夹具轴联到所述第一连接部件。
所述第二轴部件可以在将与形成于所述第二连接部件处的轴槽对应的形状的插入部插入到所述轴槽中的同时轴联到所述第二连接部件。
所述动力传递部还可以包括密封部件，所述密封部件配置在所述贯通孔的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间，用于确保所述贯通孔的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间的气密性。
此外，所述动力传递部还可以包括：驱动齿轮，结合到所述动力产生部的输出端；以及多个从动齿轮，与所述驱动齿轮齿轮结合，以与所述传送轴的数量对应的数量设置，并且分别轴联到所述第一连接部件。
此外，所述动力传递部还可以包括动力传递增加部，所述动力传递增加部提高所述第一连接部件的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间的表面压力，将所述第一连接部件的旋转力传递到所述金属丝主体侧。
所述动力传递增加部可以包括：固定夹具，至少一部分插入到所述第一连接部件的前方内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间；移动夹具，至少一部分插入到所述第一连接部件的后方内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间；以及弹性套筒，配置在所述固定夹具和所述移动夹具之间的空间中的所述第一连接部件的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间，在伴随所述移动夹具的移动而沿轴方向压缩并沿半径方向膨胀的同时与所述第一连接部件的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面紧密结合。
此外，所述动力传递增加部还可以包括加压环，所述加压环配置在所述弹性套筒和所述移动夹具之间，在随着所述移动夹具的移动而沿轴方向移动的同时沿轴方向对所述弹性套筒加压。
根据本实施例的基板传送装置还可以包括：外侧框架，以所述侧壁为基准配置在所述处理空间的相反侧，并可旋转地支撑所述第一连接部件。
这里，所述动力传递部还可以包括：第一轴承部件，从所述外侧框架可旋转地支撑所述第一连接部件；以及第二轴承部件，从所述侧壁可旋转地支撑所述第二连接部件。
发明的效果
本发明具有的优点是，通过设置包括贯通腔室的直径相对较小的金属丝部件的动力传递部，并采用直接连接方式而不是磁体方式，从而可以将由动力产生部产生的动力有效地传递到传送部侧，并且能够使动力传递部的设置空间最小化来实现装置的小型化。
此外，本发明通过设置包括贯通腔室的直径相对较小的金属丝部件的动力传递部，利用腔室和金属丝部件之间的缩小的摩擦面积使密封面积最小化，可以预防处理基板的处理空间的清洁度由于颗粒而降低、或者处理空间内的处理液或烟尘等泄漏到腔室外部的问题。
附图说明
图1是根据本发明的实施例的基板传送装置的示意图。
图2是图1的局部截面示意图。
图3是将图2的A部分放大示出的截面示意图。
图4是示出根据本发明的实施例的动力传递部的分解立体图。
图5是从相反方向观察图4的动力传递部的分解立体图。
图6是示出根据本发明的实施例的动力传递增加部的截面示意图。
图7是用于说明根据本发明的实施例的动力产生部和动力传递部的连接结构的示意图。
附图标记说明
100：腔室 110：侧壁
111：贯通孔 200：传送部
210：下部传送轴 300：动力产生部
400：动力传递部 410：第一连接部件
420：第二连接部件 430：金属丝部件
具体实施方式
以下，参照附图对可以具体实现上述要解决的问题的本发明的优选实施例进行说明。在对本实施例进行说明时，对于相同的结构，可以使用相同名称和相同附图标记，并且可以省略对此的附加说明。
图1是根据本发明的实施例的基板传送装置的示意图，图2是图1的局部截面示意图，图3是将图2的A部分放大示出的截面示意图。
参照图1至图3，根据本发明的实施例的基板传送装置可以包括腔室100、传送部200、动力产生部300以及动力传递部400。
腔室100可以具有处理基板的处理空间S，并且处理空间S可以通过多个侧壁110设置。
在多个侧壁110中的至少一个侧壁110处可以形成有贯通孔111，并且可以通过贯通孔111使处理空间S与外部连通。
贯通孔111可以包括第一贯通孔111a和第二贯通孔111b。
第一贯通孔111a可以形成在侧壁110中与外侧框架401邻接的区域中，并且可以具有第一直径。另外，第二贯通孔111b可以形成在侧壁110中与处理空间S邻接的区域中。第二贯通孔111b可以形成为具有第二直径并与第一贯通孔111a连通。这里，第二直径可以形成为大于第一直径。
传送部200配置在处理空间S中，并且可以传送处理空间S的基板。传送部200包括传送轴和传送辊。
传送轴可以包括支撑基板的下表面的下部传送轴210和支撑基板的上表面的上部传送轴220。
传送辊可以包括与下部传送轴210联动的下部传送辊211和与上部传送轴220联动的上部传送辊221。
基板可以在放置于下部传送辊211的上表面处的状态下通过下部传送辊211的滚动动作而在与下部传送轴210的轴方向交叉的方向上被传送。
此时，下部传送轴210的旋转轴可以配置成面向第二贯通孔111b的中心。
动力产生部300产生用于传送基板的驱动力，并且可以配置在腔室100的外侧。即，动力产生部300可以以侧壁110为基准配置在处理空间S的相反侧。
动力产生部300可以设置在从侧壁110隔开配置的外侧框架401的外侧表面上。
作为这样的动力产生部300，可以使用电动机。
动力传递部400将动力产生部300和传送部200连接来传递动力，可以通过侧壁110的贯通孔111将由动力产生部300产生的驱动力传递到传送部200。这里，动力产生部的驱动力可以通过动力传递部400同时传递到下部传送轴210和上部传送轴220。
动力传递部400采用直接连接方式而不是磁体方式，可以将由动力产生部300产生的驱动力有效地传递到传送部200侧，并且能够使动力传递单元的设置空间最小化来实现小型化。特别地，本发明即使采用直接连接方式，也能够通过使动力传递单元的设置空间最小化来减少颗粒的产生，从而可以预防处理空间S的清洁度下降的问题。
图4是示出根据本发明的实施例的动力传递部的分解立体图，图5是从相反方向观察图4的动力传递部的分解立体图。
进一步参照图4和图5，根据本实施例的动力传递部400可以包括第一连接部件410、第二连接部件420以及金属丝部件430。
第一连接部件410可以配置在侧壁110的外侧并与动力产生部300结合，并且可以通过由动力产生部300产生的驱动力而旋转。
第一连接部件410可以可旋转地结合到外侧框架401的设置孔401a。
具体地，第一连接部件410的一端部可旋转地结合到外侧框架401的设置孔401a，另一端部露出到外侧框架401的外侧。在第一连接部件410的另一端部外侧表面处突出形成有键(key)413，键(key)413可以与从动齿轮473结合。
因此，当由动力产生部300产生的驱动力传递到从动齿轮473时，第一连接部件410可以与从动齿轮473联动地旋转。
此外，在第一连接部件410的中心处可以设置有金属丝部件430贯穿的轴孔411，金属丝部件430可以具有余量间隙地贯穿配置在轴孔411处。
第二连接部件420配置在侧壁110的内侧方向即处理空间S，并可以轴联到传送轴210的端部。
具体地，第二连接部件420的一端部可以轴联到传送轴210的端部，另一端部可以向侧壁110的第二贯通孔111b突出。
此时，朝向第二贯通孔111b的第二连接部件420的另一端部可以具有比传送轴210的直径小的直径。
此外，在面向第二贯通孔111b的第二连接部件420的另一端部中心部处可以沿轴方向形成有轴槽421。金属丝部件430的插入部433a可以轴联到轴槽421。
此外，形成有轴槽421的第二连接部件420的另一端部可以经由第二轴承部件B2支撑于第二贯通孔111b。
金属丝部件430将第一连接部件410和第二连接部件420连接，并可以贯穿侧壁110的贯通孔111配置。金属丝部件430的一端部可以经由移动夹具450与第一连接部件410连接，另一端部可以轴联到第二连接部件420。
金属丝部件430可以具有比第一连接部件410的直径和第二连接部件420的直径小的直径。当然，金属丝部件的至少一部分可以具有比第一连接部件410的直径和第二连接部件420的直径小的直径。即，配置在贯通孔111上的金属丝部件430的一部分区域可以具有比第一连接部件的直径和第二连接部件的直径小的直径。
结果，为了确保处理空间S的气密性，动力传递部400的大部分的结构和动力产生部300在配置于处理空间S的外部的状态下仅针对在贯通孔111和金属丝部件430之间产生的细微游隙考虑确保气密性即可，因而本发明具有大幅减少所要求的气密性确保空间的优点。此外，由此，本发明具有的优点是，可以预防由于动力传递部400而使处理空间S的清洁度变化或者周围设备容易被污染的问题。
此外，通过使用经由金属丝部件430的直接连接方式，与使用磁体的间接连接方式相比，不仅可以提高动力传递性能，而且还具有能够实现包括金属丝部件430的动力传递部的小型化的优点。
金属丝部件430可以具有金属丝主体431、第一轴部件432以及第二轴部件433。
金属丝主体431可以形成为沿轴方向延长，并且可以配置成贯穿贯通孔111。
具体地，在金属丝主体431的一端部处可以设置有供第一轴部件432轴联的第一结合部431a，在另一端部处可以设置有供第二轴部件433轴联的第二结合部431b。
此外，金属丝主体431可以形成为内部空置的空心结构。当然，金属丝主体431也可以形成为内部充满的实心结构。
这样的金属丝主体431具有优异的抗扭刚度，可以有效地传递旋转力，与此同时，由于直径与长度相比相对较小，因此可以使用即使受到外力而扭曲也会容易恢复的材料。例如，可以使用钢丝或管材等。
这样，通过使用与长度相比具有相对小的直径并具有恢复力的柔性金属丝主体431，在使用中，即使第一连接部件410和第二连接部件420之间的旋转轴从一直线偏离而发生偏心，柔性金属丝主体431也可以在根据偏心程度而扭曲的同时将第一连接部件410的旋转力稳定地传递到第二连接部件420侧。此外，柔性金属丝主体431即使在扭曲的状态下也可以抑制由摩擦引起的颗粒生成。
第一轴部件432的一端部可以插入到第一结合部431a中并轴联到金属丝主体431，另一端部可以与第一连接部件410连接。具体地，第一轴部件432的另一端部可以在贯通第一连接部件410的状态下经由移动夹具450轴联到第一连接部件410。这里，移动夹具450可以在与第一轴部件432结合的同时轴联到第一连接部件410。
第二轴部件433的一端部可以插入到第二结合部431b中并轴联到金属丝主体431，另一端部可以插入到第二连接部件420的轴槽421中并轴联到第二连接部件420。
此时，第二轴部件433的插入部433a可以具有与轴槽421的截面形状对应的截面形状，例如可以具有D字形、多边形或花键形状。
此外，第二轴部件433的插入部433a可以形成为锥形，使得朝向轴槽421的端部具有尖锐部。由此，可以容易地进行使第二轴部件433与轴槽421一致的轴组装作业。
本发明不限于上述实施例，金属丝主体、第一轴部件以及第二轴部件可以形成为一体。
另外，动力传递部400还可以具有密封部件440。
密封部件440可以配置在形成于侧壁110处的贯通孔111的内侧表面和金属丝主体431的外侧表面之间。
这样，在本发明中，由于仅在贯通孔111的内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间产生的细微游隙处配置密封部件440，因而具有可以缩减所使用的密封部件440的数量和尺寸的优点，尽管数量和尺寸相对缩减，仍然可以保证气密性。由此，本发明可以预防处理空间S内部的处理液或烟尘(Fume)等泄漏到腔室100外部的问题。
附图标记441是用于固定密封部件440的轴方向位置的密封部件安置口。
此外，动力传递部400还可以具有第一轴承部件B1和第二轴承部件B2。
第一轴承部件B1配置在外侧框架401的设置孔401a的内侧表面和第一连接部件410的外侧表面之间，可以从外侧框架401可旋转地支撑第一连接部件410。
第二轴承部件B2配置在第二贯通孔111b的内侧表面和第二连接部件420的外侧表面之间，可以从侧壁110可旋转地支撑第二连接部件420。这里，在第二轴承部件B2的一侧表面，即与外侧框架401邻接的第二轴承部件B2的一侧表面处可以配置轴承保持器452。轴承保持器452可以嵌合到第二连接部件420的另一端部。
本发明不限于上述实施例，第二轴承部件B2也可以配置在第二贯通孔111b的内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间，并直接可旋转地支撑金属丝部件430。
图6是示出根据本发明的实施例的动力传递增加部的截面示意图。
进一步参照图6，动力传递部400还可以包括动力传递增加部。
动力传递增加部可以提高第一连接部件410的内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间的表面压力，并将第一连接部件410的旋转力有效地传递到金属丝部件430侧。
具体地，动力传递增加部可以具有固定夹具451、移动夹具450以及弹性套筒461。
固定夹具451的至少一部分可以插入到第一连接部件410的前方内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间。
具体地，固定夹具451的一端部可以结合到外侧框架401，另一端部可以插入到第一连接部件410的前方内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间的空间中。
此外，固定夹具451还可以在结合到外侧框架401的状态下使旋转的金属丝部件430滑动的同时稳定地支撑金属丝部件430的旋转轴。
此外，固定夹具451可以螺纹结合到外侧框架401，也可以通过单独的固定环结合到外侧框架401。
移动夹具450的至少一部分可以插入到第一连接部件410的后方内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间。
此外，移动夹具450可以在与金属丝部件430轴联的同时轴联到第一连接部件410的内侧表面。第一连接部件410可以经由键413与从动齿轮473结合。
由此，从动齿轮473、第一连接部件410以及金属丝部件430可以通过移动夹具450保持轴联状态。
此外，移动夹具450可以通过各种轴紧固方式结合到第一连接部件410，例如移动夹具450可以螺纹结合到第一连接部件410。
弹性套筒461可以由弹性材料制成，并且可以配置在固定夹具451和移动夹具450之间的空间中。具体地，弹性套筒可以配置在固定夹具451和移动夹具450之间的空间中的第一连接部件410的内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间。
弹性套筒461根据移动夹具450相对于轴方向的紧固位置，即在随着移动夹具450朝向处理空间S沿轴方向移动而沿轴方向被压缩的同时可以沿半径方向膨胀。由此，弹性套筒461可以与第一连接部件410的内侧表面和金属丝部件430的外侧表面紧密结合。
此外，动力传递增加部还可以具有加压环462。
加压环462可以配置在弹性套筒461和移动夹具450之间。随着移动夹具450朝向处理空间S沿轴方向移动，加压环462也可以沿轴方向移动的同时沿轴方向加压弹性套筒461。
这样，动力传递增加部可以提高第一连接部件410的内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间的表面压力，将第一连接部件410的旋转力更有效地传递到金属丝部件430侧。
此外，动力传递增加部通过提高第一连接部件410的内侧表面和金属丝部件430的外侧表面之间的表面压力，使第一连接部件410和金属丝部件430的旋转力同步，从而可以提高轴紧固力并抑制齿隙(游隙)的产生，因而能够实现更精密的控制。
图7是用于说明根据本发明的实施例的动力产生部和动力传递部的连接结构的示意图。
进一步参照图7，动力传递部400还可以包括驱动齿轮471、从动齿轮473以及中间齿轮472。
驱动齿轮471结合到动力产生部300的输出端，并可以使用正齿轮(Spur gear)。此外，驱动齿轮471可以可旋转地结合到外侧框架401的一个表面。
从动齿轮473与驱动齿轮471齿轮结合，并可以使用与驱动齿轮471相同的正齿轮。此外，从动齿轮473可以可旋转地结合到外侧框架401的一个表面，并可以轴联到以与传送轴的数量对应的数量设置的第一连接部件410各方。
中间齿轮472与驱动齿轮471或从动齿轮473齿轮结合，并可以使用与驱动齿轮471相同的正齿轮。此外，中间齿轮472可以可旋转地结合到外侧框架401的一个表面。
这样，当将驱动齿轮471、从动齿轮473以及中间齿轮472用作正齿轮时，能够减小动力传递部400的设置空间和体积并实现小型化。
如上所述，参照附图对本发明的优选实施例进行了说明，然而本领域技术人员可以在不超出权利要求书中所记载的本发明的构思和领域的范围内，对本发明进行各种修改或变更。

Claims (10)

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：
腔室，具有形成有与处理基板的处理空间连通的贯通孔的侧壁；
传送部，配置在所述处理空间内并具有传送所述基板的传送轴；
动力产生部，以所述侧壁为基准配置在所述处理空间的相反侧，并产生用于传送所述基板的驱动力；以及
动力传递部，穿过所述贯通孔将所述动力产生部和所述传送部连接，并将所述动力产生部的驱动力传递到所述传送部，
所述动力传递部包括：
第一连接部件，通过所述动力产生部的驱动力而旋转；
第二连接部件，轴联到所述传送轴的端部；以及
金属丝部件，贯通所述贯通孔来配置，并且一端部与所述第一连接部件连接，另一端部轴联到所述第二连接部件，
所述金属丝部件中的配置在所述贯通孔中的一部分区域具有比所述第一连接部件和所述第二连接部件的直径小的直径。
2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述金属丝部件包括：
金属丝主体，配置为贯通所述贯通孔；
第一轴部件，一端结合到所述金属丝主体的一端部，另一端连接到所述第一连接部件；以及
第二轴部件，一端结合到所述金属丝主体的另一端部，另一端轴联到所述第二连接部件。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述金属丝部件由柔性材料制成，在所述第一连接部件的旋转轴和所述第二连接部件的旋转轴之间发生偏心时，根据偏心程度而扭曲的同时将所述第一连接部件的旋转力传递到所述第二连接部件侧。
4.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，
所述第一轴部件在贯通所述第一连接部件的状态下经由移动夹具轴联到所述第一连接部件，
所述第二轴部件在将与形成于所述第二连接部件处的轴槽对应的形状的插入部插入到所述轴槽中的同时轴联到所述第二连接部件。
5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述动力传递部还包括密封部件，所述密封部件配置在所述贯通孔的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间，用于确保所述贯通孔的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间的气密性。
6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述动力传递部还包括：
驱动齿轮，结合到所述动力产生部的输出端；以及
多个从动齿轮，与所述驱动齿轮齿轮结合，以与所述传送轴的数量对应的数量设置，并且分别轴联到所述第一连接部件。
7.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述动力传递部还包括动力传递增加部，所述动力传递增加部提高所述第一连接部件的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间的表面压力，将所述第一连接部件的旋转力传递到所述金属丝主体侧。
8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，所述动力传递增加部包括：
固定夹具，至少一部分插入到所述第一连接部件的前方内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间；
移动夹具，至少一部分插入到所述第一连接部件的后方内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间；以及
弹性套筒，配置在所述固定夹具和所述移动夹具之间的空间中的所述第一连接部件的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面之间，在伴随所述移动夹具的移动而沿轴方向压缩并沿半径方向膨胀的同时与所述第一连接部件的内侧表面和所述金属丝部件的外侧表面紧密结合。
9.根据权利要求8所述的基板传送装置，其特征在于，所述动力传递增加部还包括加压环，所述加压环配置在所述弹性套筒和所述移动夹具之间，在随着所述移动夹具的移动而沿轴方向移动的同时沿轴方向对所述弹性套筒加压。
10.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，
还包括外侧框架，以所述侧壁为基准配置在所述处理空间的相反侧，并可旋转地支撑所述第一连接部件，
所述动力传递部还包括：
第一轴承部件，从所述外侧框架可旋转地支撑所述第一连接部件；以及
第二轴承部件，从所述侧壁可旋转地支撑所述第二连接部件。
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