KR20050030799A - 기판반송장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (2)
- 프레임과, 이 프레임 상부에서 기판을 이송시킬 수 있는 자세로 다수개가 위치하는 기판이송로울러와, 이 기판이송로울러를 회전시키기 위한 구동부와, 이 구동부의 동력을 상기 기판이송로울러에 전달하는 동력전달부재를 포함하며,상기 동력전달부재는, 동력전달을 위한 영역에서 구동측 및 피동측에 설치되어 자력(磁力)에 의해 동력을 전달하는 마그네틱 로울러들로 이루어지고,상기 구동측 또는 피동측 마그네틱 로울러에는 서로 대응하는 마그네틱 로울러와 선(線)접촉하는 자세로 동력 전달이 이루어지도록 유도하는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 홈은 마주하는 마그네틱 로울러의 원주면에 대응하여 소정의 원주면 구간을 감쌀 수 있는 곡선 모양을 갖으며 원주방향 전체에 형성되는 기판반송장치.
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