KR101427594B1 - 기판 적재장치 - Google Patents

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Abstract

효율적인 공간활용을 위해 기판을 경사진 상태로 적재하며, 기판의 적재 순서에 상관없이 특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시킬 수 있는 기판 적재장치를 개시한다. 이러한 기판 적재장치는 적재프레임과, 적재프레임에 배치되며 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 다수의 슬롯을 구비하는 기판적재부와; 적재프레임의 하측에 배치되는 구동프레임과, 구동프레임에 장착되어 적재프레임을 수평 이동시키는 수평이동유닛과, 구동프레임에 장착되어 수평이동유닛에 의해 이동된 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 적재된 기판을 반출시키기 위하여 구동되는 구동유닛을 구비하는 구동부를 구비한다. 개시된 기판 적재장치에 의하면 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 슬롯에 적재함으로써 효율적인 공간활용을 할 수 있으며, 수평이동유닛에 의해 적재프레임을 수평 이동시킬 수 있으므로 사용자가 원하는 특정 슬롯에 적재된 기판을 기판 적재 순서에 상관없이 반출할 수 있다.

Description

기판 적재장치{Apparatus for storing substrate}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 슬롯을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 구동부를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 측면도이다.
**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**
10 : 기판적재부 20 : 적재프레임
30 : 슬롯 31 : 기판이송롤러
32 : 제1기판이송롤러 33 : 제2기판이송롤러
35 : 지지바 36 : 보조롤러
50 : 구동부 60 : 구동프레임
70 : 구동유닛 73 : 구동롤러
77 : 제1구동모터 80 : 수평이동유닛
81 : 제2구동모터 83 : 볼 스크류
85 : 볼너트
본 발명은 기판 적재장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소정의 공정 처리가 이루어진 기판을 적재시켜 다른 공정을 수행하기 위한 위치로 이송시킬 수 있는 기판 적재장치에 관한 것이다.
최근 현대사회가 정보화 사회화가 되어감에 따라 정보표시장치의 하나인 액정표시장치는 그 중요성이 점차 증가되고 있으며, 특히 그것이 갖고 있는 소형화, 경량화, 저전력소비화 등의 장점 때문에 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되는 추세에 있다.
이러한 액정표시장치는 기판 상에 애싱, 포토리소그래피, 식각, 증착 등의 공정을 선택적으로 반복 수행함으로써 이루어지며, 이 액정표시장치를 제조하기 위한 제조설비에는 어느 하나의 공정에서 소정의 공정 처리가 이루어진 기판을 적재한 후 다음 공정을 수행하기 위한 위치로 기판을 이송시키는 기판 적재장치가 마련된다.
이러한 기판 적재장치에는 다수의 기판이 다단으로 적재되는 카세트와, 이 카세트에 적재된 기판의 이송을 위해 카세트를 승강시키는 승강부가 마련된다. 이때, 카세트에는 다수의 기판이 수평상태를 유지한 채 다단으로 적재될 수 있도록 다수의 슬롯이 형성되며, 각 슬롯에는 기판을 지지하기 위한 핀이 장착된다.
한편, 상기와 같은 기판 적재장치는 최초 카세트의 최상단 슬롯으로부터 차 례로 기판을 반입해 적재하며, 적재된 기판의 반출은 카세트의 최하단 슬롯으로부터 차례로 반출하게 된다.
즉, 종래의 기판 적재장치에서는 상술한 바와 같이 카세트의 최하단으로부터 순차적으로 기판을 반출하게 되는데, 특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시키는 것이 용이하지 않다.
또한, 상기와 같은 기판 적재장치에서는 카세트에 기판의 적재 시 기판을 수평상태로 적재하게 되므로 이 기판을 적재하기 위하여 충분한 공간을 확보해야 하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 공간 점유를 효율적으로 할 수 있으며, 특정 슬롯에 적재된 기판을 반출시킬 수 있는 기판 적재장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 기판 적재장치는 적재프레임과, 상기 적재프레임에 배치되며 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 다수의 슬롯을 구비하는 기판적재부와; 상기 적재프레임의 하측에 배치되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 적재프레임을 수평 이동시키는 수평이동유닛과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 수평이동유닛에 의해 이동된 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 적재된 기판을 반출시키기 위하여 구동되는 구동유닛을 구비하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 각 슬롯의 하측에는 기판을 이송하기 위한 다수의 기판이송롤러가 마련되고, 상기 각 슬롯 상에는 상기 기판이송롤러에 의해 이송되는 기판의 이송을 보조하는 다수의 보조롤러가 마련된 것을 특징으로 한다.
상기 구동유닛은 상기 수평이동유닛에 의해 수평 이동되어 상기 기판이송롤러를 이송시키는 구동롤러와, 상기 구동롤러를 구동시키는 제1구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 구동롤러와 상기 기판이송롤러는 비접촉으로 회전되는 마그네틱롤러인 것을 특징으로 한다.
상기 수평이동유닛은 제2구동모터와, 상기 제2구동모터로부터 연장되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류 상에 장착되고 상기 적재프레임의 하측에 고정되는 볼너트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 적재부를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 구동부를 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 정면도이다.
먼저, 도 1을 참조하면 기판 적재장치는 다수의 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하기 위한 기판적재부(10)와, 이 기판적재부(10)에 적재된 기판 중 특정 기판을 반출하기 위한 구동부(50)를 포함하여 구성된다.
구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판적재부(10)에는 사각 형상의 외관을 가지는 적재프레임(20)이 마련된다. 그리고, 적재프레임(20)에는 기판이 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재되는 슬롯(30)이 다수개 마련된다.
이때, 각 슬롯(30)의 하측에는 각 슬롯(30)에 적재되어 있는 기판을 이송하기 위한 다수의 기판이송롤러(31)가 마련된다. 여기서, 기판이송롤러(31)는 그 상면에 기판이 안착되어 이송되는 두 개의 제1기판이송롤러(32)와, 각 제1기판이송롤러(32) 사이의 중앙 하측에 마련되는 제2기판이송롤러(33)와, 각 제1기판이송롤러(32)와 제2기판이송롤러(33)를 연결하여 제2기판이송롤러(33)의 회전을 제1기판이송롤러(32)로 전달하는 이송벨트(34)를 포함하여 구성된다. 이때의 제2기판이송롤러(33)는 도시된 바와 같이 축에 의해 연결되는 2개의 롤러로 이루어지는데, 그 선단은 이송벨트(34)에 감겨져 제1기판이송롤러(32)를 회전시키는 역할을 하며 그 후단은 후술할 구동유닛의 구동롤러(73)와 일정 간격 이격 배치된다. 또, 제2기판이송롤러(33)는 마그네틱롤러로 이루어진다.
또, 각 슬롯(30)에는 기판을 상술한 바와 같이 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하기 위하여 기판을 지지하는 다수의 지지바(35)가 마련되며, 이 지지바(35)에는 상술한 기판이송롤러(31)에 의한 기판의 이송을 보조하기 위한 다수의 보조롤러(36)가 마련된다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 구동부(50)는 적재프레임(20)의 하측에 배치되는 구동프레임(60)과, 이 구동프레임(60)에 장착되어 슬롯(30)에 지지되어 있 는 기판을 이송시키기 위하여 기판이송롤러(31)에 회전시키기 위한 구동유닛(70)과, 이 구동프레임(60)에 장착되며 적재프레임(20)을 수평 이동시켜 각 슬롯(30) 중 어느 하나의 슬롯에 배치된 기판을 반출시키기 위한 수평이동유닛(80)을 포함한다.
이때, 구동프레임(60)은 상술한 바와 같이 적재프레임(20)의 하측에 배치되며, 외관이 사각형상의 프레임으로 이루어진다.
구동유닛(70)은 상술한 바와 같이 적재프레임(20)의 슬롯에 장착되어 있는 기판이송롤러(31)를 회전시키는 역할을 한다. 이를 위해 구동유닛(70)은 구동프레임(60)의 중앙측에서 가로방향으로 장착되는 회전축(71)과, 이 회전축(71) 상에 설치되며 슬롯(30)에 장착된 기판이송롤러(31) 중 제2기판이송롤러(33)와 대응되는 위치에 배치되는 구동롤러(73)와, 이 구동롤러(73)를 회전시키기 위하여 회전축(71)과 구동벨트(79)에 의해 연결되는 제1구동모터(77)를 포함하여 구성된다. 이때, 회전축(71) 상에는 바닥면으로부터 지지될 수 있도록 다수의 지지리브(75)가 장착되어 있으며, 구동롤러(73)는 제2기판이송롤러(33)를 비접촉으로 회전시키는 마그네틱롤러이다.
수평이동유닛(80)은 상술한 바와 같이 적재프레임(20)을 수평 이동 즉, 구동프레임(60)의 세로방향으로 이동시켜 이 적재프레임(20)에 장착되는 각 슬롯(30) 중 어느 하나의 슬롯을 구동유닛(70)에 대응되는 위치로 이동시키는 역할을 한다. 이를 위해 수평이동유닛(80)은 구동프레임(60)의 세로방향으로 장착되는 볼 스크류(83)와, 이 볼 스크류(83)를 회전시키기 위하여 구동프레임(60)의 일측에 마련되 는 제2구동모터(81)와, 이 볼 스크류(83) 상에 장착되고 적재프레임(20)의 하측에 고정되어 볼 스크류(83)의 회전에 따라 이동되는 볼너트(85)를 포함하여 구성된다. 또, 수평이동유닛(80)에는 볼 스크류(83)의 회전에 따라 이동되는 적재프레임(20)을 가이드하기 위하여 구동프레임(60)의 양 측에 배치되는 엘엠가이드(87)를 더 포함하며, 이 엘엠가이드(87)는 볼너트(85)와 마찬가지로 적재프레임(20)의 하측에 고정된다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 액정표시장치를 제조하기 위하여 어느 하나의 공정에서 소정 공정 처리가 이루어진 기판을 적재한 후 다음 공정을 수행하기 위한 위치로 기판을 이송하게 되는데, 본 발명의 기판 적재장치에서는 도 4에 도시된 바와 같이 기판적재부(10)의 슬롯(30)에 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하게 된다.
상기와 같이 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직으로 적재하게 되면, 기판을 수평으로 적재하는 종래와는 달리 공간 점유 효율이 향상되게 된다. 특히, 그 크기가 큰 대형 기판일수록 공간 점유에 대한 효율이 향상된다.
또한, 상기와 같은 본 발명의 기판 적재장치에서는 종래와는 달리 각 슬롯(30)에 기울어진 상태에서 수직 적재되는 기판 중 특정 슬롯에 적재된 기판만을 이송 즉, 반출할 수 있다.
구체적으로, 특정 슬롯(30)에 적재된 기판만을 반출하기 위해서는 제2구동모 터(81)를 회전시켜 이 제2구동모터(81)와 연결되어 있는 볼 스크류(83)를 회전시킨다. 이와 같이 볼 스크류(83)가 회전되면 이 볼 스크류(83)에 장착되어 있는 볼너트(85)가 구동프레임(60)의 전후방향으로 즉, 수평 이동된다.
그리고, 상기와 같이 볼너트(85)가 이동되면 이 볼너트(85)의 상단에 고정되어 있는 적재프레임(20)이 엘엠가이드(87)를 통해 가이드되어 수평 이동되는데, 상술한 특정 슬롯(30)의 기판이송롤러(31)를 구동유닛(70)의 구동롤러(73)에 대응되는 위치로 이동시킨다.
또한, 적재프레임(20)이 수평이동유닛(80)에 의해 수평 이동된 다음에는 구동유닛(70)의 제1구동모터(77)를 회전시켜 이 제1구동모터(77)와 연결되어 있는 회전축(71)을 회전시킨다. 여기서, 회전축(71)이 회전되면 이 회전축(71) 상에 장착되어 있는 구동롤러(73) 역시 회전되며, 구동롤러(73)가 회전되면 수평이동유닛(80)에 의해 이 구동롤러(73)와 일정 간격 이격된 상태로 배치되어 있는 특정 슬롯(30)의 제2기판이송롤러(33)가 비접촉으로 회전된다.
이 후, 제2기판이송롤러(33)가 구동롤러(73)에 의해 회전되면, 이 제2기판이송롤러(33)에 의해 제1기판이송롤러(32)가 회전된다. 그리고, 제1기판이송롤러(32)가 회전되면, 이 제1기판이송롤러(32)의 상면에 배치되는 기판이 이송되어 특정 슬롯(30)으로부터 기판을 반출시킬 수 있게 된다.
한편, 상기의 과정에서 구동롤러(73)와 제2기판이송롤러(33)는 마그네틱롤러로써 비접촉방식으로 회전된다. 이에 따라 본 발명의 실시예에서는 직접접촉방식으로 구동되어 종래와는 달리 구동부(50)의 마모나 파손 및 분진이 발생되는 것을 방 지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 기판적재부(10)에 적재되어 있는 기판을 순차적으로 반출해야만 하는 종래와는 달리 수평이동유닛(80)에 의해 적재프레임(20)이 수평 이동시켜 특정 슬롯(30)에 적재되어 있는 기판을 반출시킬 수 있으므로 기판 적재 순서에 상관없이 기판을 적재 또는 반출시킬 수 있으므로 편리함이 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치는 기판을 일정 각도로 경사지게 수직 적재할 수 있으므로 공간 점유에 대한 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치는 기판적재부에 적재되어 있는 기판을 순차적이 아닌 특정 슬롯에 있는 기판을 반출시킬 수 있게 함으로써 기판의 반출 시 편리함이 있는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 적재프레임과, 상기 적재프레임에 배치되며 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 다수의 슬롯을 구비하는 기판적재부와,
    상기 적재프레임의 하측에 배치되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 적재프레임을 수평 이동시키는 수평이동유닛과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 수평이동유닛에 의해 이동된 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 특정 슬롯에 적재된 기판을 선택 반출시키기 위하여 구동되는 구동유닛을 구비하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 각 슬롯의 하측에는 기판을 이송하기 위한 다수의 기판이송롤러가 마련되고,
    상기 각 슬롯 상에는 상기 기판이송롤러에 의해 이송되는 기판의 이송을 보조하는 다수의 보조롤러가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 구동유닛은 상기 슬롯에 장착된 기판이송롤러를 회전시키는 구동롤러와, 상기 구동롤러를 구동시키는 제1구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 구동롤러와 상기 기판이송롤러는 비접촉으로 회전되는 마그네틱롤러인 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 수평이동유닛은 제2구동모터와, 상기 제2구동모터와 연결되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류 상에 장착되고 상기 적재프레임의 하측에 고정되며, 상기 볼 스크류의 회전에 따라 이동되는 볼너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
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