JP2019033220A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】先端部に係止部を備えたアームであっても、撓んだ基板、かつ、規格よりも狭い間隔で配置された基板の搬送を行うことができる。【解決手段】基板搬送装置１は、進入時には、側方から見たアーム２９の形状を係止部２９ｂが外方を向いた第１の形状とするので、アーム２９の係止部２９ｂが基板と干渉せずにアーム２９が進入できる。また、退出時には、側方から見たアーム２９の形状を係止部２９ｂが上方を向いた第２の形状とするので、アーム２９の係止部２９ｂで基板の側端面を係止して基板の移動を規制しつつアーム２９が基板を搬出できる。このように進入時と退出時とでアーム２９の側面視における形状を可変することにより、先端部に係止部２９ｂを備えたアーム２９であっても、撓んだ基板、かつ、規格よりも狭い間隔で配置された基板の搬送を行うことができる。【選択図】図６

Description

本発明は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板（以下、単に基板と称する）を搬送する基板搬送装置に係り、特に、撓んだ基板を搬送する技術に関する。

従来、この種の装置として、基板の下面に当接する３本の細板状のアームと、両端の二本のアームをそれぞれ長軸周りに回転する回転機構と、中央のアームを垂直方向に昇降させる垂直移動機構とを駆動機構部に備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。

この基板搬送装置は、例えば、複数枚の基板を高さ方向に収納したカセットのうち、搬出したい基板の下面にアームを進入させた後、アームを上昇させるとともにアームを退出させることによりカセットから基板を搬出する。その際に、基板が撓んでいると、アームを進入させることが困難であるが、両端の二本のアームを撓みに応じて長軸周りに回転させて傾斜させ、中央のアームを撓みに応じて下降させた後、撓んだ基板の下方に三本のアームを進入させて基板を搬出する。これにより、基板の撓みにより基板の下方の間隔が狭くなっていてもアームを進退させることができるので、撓む基板であっても標準的な収納間隔のカセットでの搬送を実現できる。

特開２００３−５１５２５号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、スループットを高めるために基板の搬送を高速で行い、落下防止の構成をアームに備えたものには適用できないという問題がある。

一般的に、この構成では、基板の水平方向での移動を規制したり、落下を防止したりするために、基板の端面に当接する係止部をアームの先端部に設けている。この係止部は、少なくとも基板の厚さ分だけはアームの上面から突出しているので、先端部に係止部を備えたアームでは、撓んだ基板の搬送を行うことが困難であるという問題がある。

特に、最近では、デバイスにおける集積度を向上させるために三次元積層デバイスのための薄い基板が使用されることがある。例えば、２００ｍｍ（８インチ）径の基板は、７２５μｍ厚が製品規格であるが、これよりも薄い基板（例えば、２００μｍ厚）を用いてデバイスを製造することがある。この種の基板は、液晶ディスプレイ用基板などよりも小さい上に、高スループットが求められるので、高速での搬送が求められている。したがって、上述した撓みに起因する問題が生じやすく、従来技術では搬送に用いることができない。

また、最近では、規格よりも狭い間隔で基板を収納することもあるが、そのような狭い間隔で収納された撓んだ基板を搬送することも困難となっている。さらに、進入方向と直角方向の断面で見たときの撓みを有する基板の搬送には有効であるが、進入方向に平行な垂直断面で見たときの撓みを有する基板の搬送には対応できないという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、先端部に係止部を備えたアームであっても、撓んだ基板、かつ、規格よりも狭い間隔で配置された基板の搬送を行うことができる基板搬送装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板を搬送する基板搬送装置において、基板の下面に当接して基板を保持するアームと、前記アームの先端部に設けられ、基板の側端面に当接して前記アームの進出方向への基板の移動を規制する係止部と、前記アームの進退方向に直交する方向から見た形状を変える機能を備え、前記アームを基板の収納位置に進入させる進入時には、前記係止部が基板と干渉しない第１の形状とし、前記アームで基板を保持したまま前記アームを基板の収納位置から退出させる退出時には、前記係止部が基板の側端面に当接する第２の形状とするアーム形状可変機構と、を備えていることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、アーム形状可変機構は、進入時には、第１の形状とするので、アームの係止部が基板と干渉せずにアームが進入できる。また、退出時には、第２の形状とするので、アームの係止部で基板の側端面を係止して基板の移動を規制しつつアームが基板を搬出できる。このように進入時と退出時とでアーム形状を可変することにより、先端部に係止部を備えたアームであっても、撓んだ基板、かつ、規格よりも狭い間隔で配置された基板の搬送を行うことができる。

また、本発明において、前記アームは、棒状を呈し、少なくとも二本で構成され、前記アーム形状可変機構は、前記アームの基端部を長軸周りに回転させる回転機構を備え、前記第１の形状は、前記回転機構により前記係止部を横方向に向けて形成され、前記第２の形状は、前記回転機構により前記係止部を上方向に向けて形成されることが好ましい（請求項２）。

二本の棒状のアームの各々の基端部を長軸周りに回転機構が回転させることにより、係止部が横方向を向いた第１の形状と、係止部が上方向を向いた第２の形状とされる。基板の収納位置から離れたアームの基端部を回転機構で回転させるので、回転機構の動作に伴って発生するパーティクルによる基板の汚染を抑制できる。

また、本発明において、前記アームは、棒状を呈し、少なくとも二本で構成され、前記アーム形状可変機構は、前記アームの上面から上方へ突出しない非係止姿勢と、前記アームの上面から上方へ突出した係止姿勢とに前記係止部を変位させる係止部変位機構を備え、前記第１の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を非係止姿勢にさせて形成され、前記第２の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を係止姿勢にさせて形成されることが好ましい（請求項３）。

二本の棒状のアームの各々の係止部を係止部変位機構で変位させることにより、係止部が第１の形状である非係止姿勢と第２の形状である係止姿勢とされる。アームの先端部に設けられた係止部だけを変位させるので、係止部変位機構の負荷を軽減できる。

また、本発明において、前記アームは、薄板状を呈し、前記アーム形状可変機構は、前記アームの上面から上方へ突出しない非係止姿勢と、前記アームの上面から上方へ突出した係止姿勢とに前記係止部を変位させる係止部変位機構を備え、前記第１の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を非係止姿勢にさせて形成され、前記第２の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を係止姿勢にさせて形成されることが好ましい（請求項４）。

板状のアームの係止部を係止部変位機構で変位させることにより、係止部が第１の形状である非係止姿勢と第２の形状である係止姿勢とされる。アームの先端部に設けられた係止部だけを変位させるので、係止部変位機構の負荷を軽減できる。また、アームの剛性を高くできるので、より径が大きな基板の搬送も行うことができる。

また、本発明において、前記アームは、退出時において、前記アームの進退方向に直交する方向から見た形状が、基板の撓みに応じた形状に湾曲形成されていることが好ましい（請求項５）。

退出時において側方から見たアームの形状が、基板の撓みに応じた形状に湾曲形成されているので、アームで基板を保持した際の、撓んだ基板の下面との摺れを抑制できる。したがって、基板とアームの摺れに伴うパーティクルの発生を抑制でき、基板を清浄に搬送できる。

本発明に係る基板搬送装置によれば、アーム形状可変機構は、進入時には、第１の形状とするので、アームの係止部が基板と干渉せずにアームが進入できる。また、退出時には、第２の形状とするので、アームの係止部で基板の側端面を係止して基板の移動を規制しつつアームが基板を搬出できる。このように進入時と退出時とでアーム形状を可変することにより、先端部に係止部を備えたアームであっても、撓んだ基板、かつ、規格よりも狭い間隔で配置された基板の搬送を行うことができる。

実施例に係る基板搬送装置の概略構成を示す全体図である。 カセット及び基板搬送装置の側面図である。 基板搬送装置を後方から見た斜視図である。 基板搬送装置を前方から見た斜視図である。 基板搬送装置の要部を前方から見た斜視図である。 基板搬送装置の要部を後方から見た斜視図である。 退出時におけるアームの縦断面図である。 退出時におけるアームの平面図である。 基板搬送装置による基板の搬出動作を示した模式図である。 基板搬送装置の第１の変形例を示す斜視図である。 基板搬送装置の第１の変形例を示す縦断面図である。 基板搬送装置の第２の変形例を示す平面図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。
図１は、実施例に係る基板搬送装置の概略構成を示す全体図であり、図２はカセット及び基板搬送装置の側面図であり、図３は、基板搬送装置を後方から見た斜視図であり、図４は、基板搬送装置を前方から見た斜視図であり、図５は、基板搬送装置の要部を前方から見た斜視図であり、図６は、基板搬送装置の要部を後方から見た斜視図である。

実施例に係る基板搬送装置１は、カセットＣに離間して積層収納された複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送する。基板Ｗは、例えば、厚さが薄く、カセットＣに収納された状態では、上面がへこみ、下方に突出した状態である。つまり、側面視では、基板搬送装置１側から見て下方に湾曲しており、基板搬送装置１の受け渡し方向に直交する方向（図１の紙面手前奥方向）から見ても下方に湾曲している。

基板搬送装置１は、図示しない昇降機構によって昇降される基台３を備えている。この基台３は、進退駆動機構５を備えている。進退駆動機構５は、駆動モータ７と、一つの主動ローラ９と、二つの従動ローラ１１，１３とを備えている。駆動モータ７は、駆動軸が上方に向けられて基台３に取り付けられ、基台３の上面から突出したその駆動軸に主動ローラ９が取り付けられている。二つの従動ローラ１１，１３は、主動ローラ９を挟んで図１の左右に離間して、基台３の端部側に配置されている。従動ローラ１１は、その高さ方向の幅が主動ローラ９よりも上方に広く形成されている。従動ローラ１３は、その高さが従動ローラ１１の高さに合わせて基台３の上面から上方へ離間して配置されている。主動ローラ９と従動ローラ１１の下部には、無端ベルト１５が架け渡され、従動ローラ１１の上部と従動ローラ１３には、無端ベルト１７が架け渡されている。無端ベルト１７の一部位は、移動基台１９に固定されている。

基台３の上面であって、図１及び図３における無端ベルト１７の奥側には、無端ベルト１７に平行にリニアガイド２１が取り付けられている。リニアガイド２１のレールに取り付けられて移動自在のブロックには、移動基台１９が取り付けられている。上述した駆動モータ７が駆動されると、無端ベルト１５の回転に伴って無端ベルト１７が回転し、これにより移動基台１９が基台３の長手方向にリニアガイド２１に沿って移動する。その移動位置は、図２に示すように、アーム２９がカセットＣ内に進出した進出位置（図中に二点鎖線で示す）と、図２に示すようにアーム２９がカセットＣから退出した退出位置（図中に実線で示す）との二箇所となっている。なお、図示省略しているが、移動基台１９には、センサで位置検出される検出片が設けられ、基台３にはその検出片を検出するセンサが設けられている。移動基台１９は、その上部に支柱２３が立設されている。

図５に示すように、支柱２３の上部側にはステー２５が取り付けられている。このステー２５の幅は、支柱２３の幅よりも広く、ステー２５の両端部が支柱２３の両端部よりも突出している。ステー２５の両端部には、それぞれアーム保持部２７が取り付けられている。アーム保持部２７は、アーム２９の基端部をその長軸の軸周りに回転可能に保持する。アーム２９の基端部は、アーム保持部２７とステー２５とを貫通している。ステー２５から突出しているアーム２９の基端部には、従動ローラ３１が取り付けられている。したがって、従動ローラ３１が回転すると、これに連動してアーム２９が回転する。

図６に示すように、ステー２５の中央側には、縦方向に離間して二つの従動ローラ３３，３５が回転軸を水平にした状態で取り付けられている。従動ローラ３１，３３，３５には、無端ベルト３７が架け渡されている。従動ローラ３１と従動ローラ３３との水平方向における間と、従動ローラ３３と従動ローラ３５と垂直方向における間には、無端ベルト３７の張力を高めるためのテンションローラ３７が取り付けられている。上述した従動ローラ３１，３３，３５及びテンションローラ３７は、ステー２５の縦方向の中心線を挟んで対象に同様に配置されている。つまり、各アーム２９用に、上述した従動ローラ３１，３３，３５及びテンションローラ３７が設けられている。ステー２５の横方向における中心位置であって、従動ローラ３５同士の間には、昇降片３９が配置されている。この昇降片３９は、上部の両側面が二つの無端ベルト３７に固定されている。昇降片３９の下部は、ステー２５の中心に取り付けられたエアシリンダ４１の作動軸に連結されている。したがって、例えば、エアシリンダ４１が作動軸を収縮動作されると、図６に示すように昇降片３９が下降され、無端ベルト３７の移動に伴ってアーム２９の係止部２９ｂが上を向いた状態とされる（本発明における「第２の形状」に相当）。一方、エアシリンダ４１が作動軸を伸長動作されると、昇降片３９が上昇され、無端ベルト３７の移動に伴って図４に示すようにアーム２９の係止部２９ｂが外方向を向いた状態とされる（本発明における「第１の形状」に相当）。

なお、上述したアーム保持部２７と、従動ローラ３１，３３，３５と、無端ベルト３７と、テンションローラ３８と、昇降片３９と、エアシリンダ４１とが本発明における「アーム形状可変機構」及び「回転機構」に相当する。

ここで、図７及び図８を参照して、上述したアーム２９の詳細について説明する。なお、図７は、退出時におけるアームの縦断面図であり、図８は、退出時におけるアームの平面図である。

本実施例におけるアーム２９は、外観が細い棒状を呈し、基板搬送装置１は二本のアーム２９を備えている。アーム２９は、例えば、アルミニウムをアルマイト処理したものや、セラミックまたはカーボンで構成されている。

アーム２９は、基端部側の取付部２９ａと、先端部側の係止部２９ｂと、取付部２９ａと係止部２９ｂとの間に位置し、取付部２９ａから先端側へ延出された延出部２９ｃと、取付部２９ａ側の当接支持部２９ｄとを備えている。取付部２９ａは、上述したアーム保持部２７で回転可能に保持される。係止部２９ｂは、基板Ｗの外周側下面を当接支持するとともに、基板Ｗの側端面に当接し、アーム２９が基板Ｗの収納位置へ進出する際の進出方向（換言すると、退出する際における退出方向の反対側）への基板Ｗの移動を規制する。延出部２９ｃは、基板Ｗの湾曲度合いに応じて、上面が凹状に湾曲形成されていることが好ましい。当接支持部２９ｄは、基板Ｗの外周側下面に当接して支持する。基板Ｗが薄く、撓んで下方に湾曲している場合には、アーム２９で基板Ｗを下方からすくい上げるようにすると、係止部２９ｂと当接支持部２９ｄだけでなく、延出部２９ｃにも基板Ｗの下面が当接するが、延出部２９ｃを凹状に湾曲形成されているので、基板Ｗとの擦れを抑制できる。したがって、基板Ｗとアーム２９との擦れに伴うパーティクルの発生を抑制でき、基板Ｗを清浄に搬送できる。

図３及び図４に示すように、基板搬送装置１は、リニアガイド２１を挟んだ従動ローラ１３の反対側にあたる基台３に支持板４３が立設されている。支持板４３は、支柱２３よりも頂部が高く形成されている。その頂部には、位置規制板４５が取り付けられている。位置規制板４５は、アーム２９側に基板Ｗの周縁形状に合わせて凹状に湾曲した当接部４７を形成されている。当接部４７は、基板Ｗの側端面との接触面積を少なくするために傾斜面を形成されている。また、位置規制板４５は、アーム保持部２７やステー２５の両端部との干渉を回避するための凹部４９が形成されている。支持板４３は、そのリニアガイド２１側の側面に、エアシリンダ５１が作動軸を縦方向に向けて取り付けられている。このエアシリンダ５１の作動軸と、位置規制板４５の下面との間には、平面視Ｕの字状を呈する移載アーム５３が配置されている。移載アーム５３は、その下面がエアシリンダ５３の作動軸の先端に連結されている。移載アーム５３の上面には、平面視で基板Ｗの外径より小さな円に内接する正三角形の各頂点に対応する位置に支持ピン５５が立設されている。

エアシリンダ５１が非作動のときは、作動軸が収縮し、移載アーム５３とともに三本の支持ピン５５がアーム２９より下方の待機位置（図２に示す位置）に位置する。一方、エアシリンダ５１が作動したときは、作動軸が伸長し、移載アーム５３とともに三本の支持ピン５５が上昇し、支持ピン５５の頂部がアーム２９より高い位置に突出する。これによりアーム２９で支持された基板Ｗがアーム２９から持ち上げられ、図示しない他の搬送機構との間で基板Ｗを受け渡すことができる。

上述した駆動モータ７と、エアシリンダ４１，５１は、図１に示すように制御部５７によって操作される。制御部５７は、マイクロコントローラなどから構成されている。

次に、図９を参照して、上述した基板搬送装置１の動作について説明する。なお、図９は、基板搬送装置による基板の搬出動作を示した模式図である。

基板Ｗは、図２に示すように、複数枚がカセットＣに収納されている。カセットＣは、標準規格に応じた間隔で上下方向に複数個形成された載置棚Ｃ１を備えている。基板Ｗは、例えば、薄厚のものであり、載置棚Ｃ１に載置された状態で基板搬送装置１側から見ても、その直交する方向（図２）から見ても基板Ｗの中央部が下方へ撓んだ状態となっているものとする。

制御部５７は、エアシリンダ５１の作動軸を収縮させて支持ピン５５を下降させた状態で、エアシリンダ４１の作動軸を伸長させてアーム２９の係止部２９ｂを外側に向けた状態とする（図４及び図９（ａ）参照）。そして、駆動モータ７を作動させてアーム２９を進出位置に移動させる（図９（ｂ）参照）。このとき、アーム２９の係止部２９ｂが側方に向けられているので、基板Ｗが湾曲していても基板Ｗの下面と接触するのを防止できる。次いで、エアシリンダ４１の作動軸を収縮させてアーム２９を回動させ、係止部２９ｂを上方へ向ける（図５及び図６並びに図９（ｃ）参照）。そして、制御部５７は、図示しない昇降機構を操作して、基板搬送装置１を僅かに上昇させて基板Ｗをアーム２９で保持する（図９（ｄ）参照）。さらに制御部５７は、駆動モータ７を操作して、アーム２９を退出位置に移動させる（図９（ｅ）参照）。図示省略しているが、この状態で制御部５７は、エアシリンダ５１の作動軸を上昇させて基板Ｗを支持ピン５５に移載し、図示しない他の搬送機構との間で基板Ｗを受け渡しする。

上述した実施例によると、基板搬送装置１は、進入時には、側方から見たアーム２９の形状を係止部２９ｂが外方を向いた第１の形状とするので、アーム２９の係止部２９ｂが基板Ｗと干渉せずにアーム２９が進入できる。また、退出時には、側方から見たアーム２９の形状を係止部２９ｂが上方を向いた第２の形状とするので、アーム２９の係止部２９ｂで基板Ｗの側端面を係止して基板Ｗの移動を規制しつつアーム２９が基板Ｗを搬出できる。このように進入時と退出時とでアーム２９の側面視における形状を可変することにより、先端部に係止部２９ｂを備えたアーム２９であっても、撓んだ基板Ｗ、かつ、規格よりも狭い間隔で配置された基板Ｗの搬送を行うことができる。

なお、上述した実施例では、アーム２９が長軸の軸周りに回転されることにより、アーム２９の進退方向に直交する方向から見た形状を変えた。しかしながら、本発明は、そのような構成に限定されるものではない。以下の本発明の変形例について説明する。

＜第１の変形例＞

図１０及び図１１を参照して、変形例１について説明する。なお、図１０は、基板搬送装置の第１の変形例を示す斜視図であり、図１１は、基板搬送装置の第１の変形例を示す縦断面図である。

アーム２９１は、外観が棒状を呈しており、先端部の係止部２９１ｂだけが可動する。つまり、係止部２９１ｂは、延出部２９１ｃの先端部に半分の厚さにされた半割部６１と、半割部６１に対して回転軸６３で揺動可能に取り付けられた係止片６５とを備えている。係止片６５は、回転軸６３よりも上方の位置に貫通穴６７が形成されている。また、アーム２９１は、半割部６１と基端部とを連通する操作穴６９が形成されている。この操作穴６９には、操作ワイヤー７１が挿通されている。操作ワイヤー７１は、例えば、上述したエアシリンダ４１の作動軸に連結されている。エアシリンダ４１の作動軸を収縮させると、図１０に示すように係止片６５が起立して、基板Ｗの側端縁を係止できる姿勢となる。したがって、基板Ｗの収納位置に進出する際には、エアシリンダ４１の作動軸を伸長させて係止片６５を図１０中に二点鎖線で示す伸長姿勢とし（「非係止姿勢」）、基板Ｗを係止し退出する際には、エアシリンダ４１の作動軸を収縮させて係止片６５を図１０中に実線で示す起立姿勢とする（「係止姿勢」）。

なお、上述した半割部６１と、回転軸６３と、係止片６５と、操作ワイヤー７１とが本発明における「アーム形状可変機構」及び「係止部変位機構」に相当する。

このような構成によると、簡易な構成で上述した実施例と同様の効果を奏する。また、先端部の係止部２０２ｂだけを動作させるので、負荷を軽減できる。

＜第２の変形例＞

図１２を参照して第２の変形例について説明する。なお、図１２は、基板搬送装置の第２の変形例を示す平面図である。

上述した実施例及び第１の変形例は、アーム２９，２９１の外観が棒状を呈するものであったが、本発明はアームの形状が棒状に限定されるものではない。

例えば、アーム２９２は、外観が板状を呈する。そして、取付部２９２ａから当接支持部２９２ｄ及び延出部２９２ｃを通って係止部２９２ｂにわたって操作穴６７が形成され、この操作穴６７には操作ワイヤー７１が挿通されている。操作ワイヤー７１の先端は、第１の変形例のように係止片６５に連結されている。係止片６５の操作は、上述した第１の変形例と同様に行うことができる。

このような構成によると、第１の変形例と同様の効果を奏する上に、板状のアーム２９２により剛性を高くすることができるので、より径が大きな基板Ｗの搬送も行うことができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例では、アーム２９の延出部２９ｃが基板Ｗの撓みに応じて湾曲形成されているが、本発明はこのような実施形態に限定されない。つまり、延出部２９ｃを湾曲形成させずに直線的に形成してもよい。

（２）上述した実施例では、従動ローラ３１，３３，３５とエアシリンダ４１などによりアーム２９の側面視における形状を変化させたが、本発明はこのような実施形態に限定されない。例えば、ステー２５にステッピングモータを取り付けて、ステッピングモータの回転によりアーム２９をその長軸周りに回転させるようにしてもよい。

（３）上述した実施例では、係止部２９ｂを外側に向けた姿勢でアーム２９を基板Ｗ側に進出させているが、係止部２９ｂを内側に向けた姿勢でアーム２９を基板Ｗ側に進出させるようにしてもよい。

（４）上述した実施例では、係止部２９ｂを回転力や引っ張り力により側面視における形状を変形させているが、本発明はこのような実施形態に限定されない。例えば、係止部２９ｂに形状記憶合金を用い、ここを電気的に加熱して係止部２９ｂの形状を変形するようにしてもよい。

１ … 基板搬送装置
Ｃ … カセット
Ｗ … 基板
３ … 基台
５ … 進退駆動機構
７ … 駆動モータ
９ … 主動ローラ
１１，１３ … 従動ローラ
１５，１７ … 無端ベルト
１９ … 移動基台
２１ … リニアガイド
２７ … アーム保持部
２９ … アーム
２９ａ … 取付部
２９ｂ … 係止部
２９ｃ … 延出部
２９ｄ … 当接支持部
３１，３３，３５ … 従動ローラ
３７ … 無端ベルト
４１，５１ … エアシリンダ
５７ … 制御部

Claims (5)

1. 基板を搬送する基板搬送装置において、
   基板の下面に当接して基板を保持するアームと、
   前記アームの先端部に設けられ、基板の側端面に当接して前記アームの進出方向への基板の移動を規制する係止部と、
   前記アームの進退方向に直交する方向から見た形状を変える機能を備え、前記アームを基板の収納位置に進入させる進入時には、前記係止部が基板と干渉しない第１の形状とし、前記アームで基板を保持したまま前記アームを基板の収納位置から退出させる退出時には、前記係止部が基板の側端面に当接する第２の形状とするアーム形状可変機構と、
   を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
2. 請求項１に記載の基板搬送装置において、
   前記アームは、棒状を呈し、少なくとも二本で構成され、
   前記アーム形状可変機構は、前記アームの基端部を長軸周りに回転させる回転機構を備え、
   前記第１の形状は、前記回転機構により前記係止部を横方向に向けて形成され、前記第２の形状は、前記回転機構により前記係止部を上方向に向けて形成されることを特徴とする基板搬送装置。
3. 請求項１に記載の基板搬送装置において、
   前記アームは、棒状を呈し、少なくとも二本で構成され、
   前記アーム形状可変機構は、前記アームの上面から上方へ突出しない非係止姿勢と、前記アームの上面から上方へ突出した係止姿勢とに前記係止部を変位させる係止部変位機構を備え、
   前記第１の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を非係止姿勢にさせて形成され、前記第２の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を係止姿勢にさせて形成されることを特徴とする基板搬送装置。
4. 請求項１に記載の基板搬送装置において、
   前記アームは、薄板状を呈し、
   前記アーム形状可変機構は、前記アームの上面から上方へ突出しない非係止姿勢と、前記アームの上面から上方へ突出した係止姿勢とに前記係止部を変位させる係止部変位機構を備え、
   前記第１の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を非係止姿勢にさせて形成され、前記第２の形状は、前記係止部変位機構により前記係止部を係止姿勢にさせて形成されることを特徴とする基板搬送装置。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の基板搬送装置において、
   前記アームは、退出時において、前記アームの進退方向に直交する方向から見た形状が、基板の撓みに応じた形状に湾曲形成されていることを特徴とする基板搬送装置。
   

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