WO2012004936A1 - 板状部材移載設備 - Google Patents

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WO2012004936A1
WO2012004936A1 PCT/JP2011/003301 JP2011003301W WO2012004936A1 WO 2012004936 A1 WO2012004936 A1 WO 2012004936A1 JP 2011003301 W JP2011003301 W JP 2011003301W WO 2012004936 A1 WO2012004936 A1 WO 2012004936A1
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plate
rack
flip
glass plate
transport
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PCT/JP2011/003301
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康彦 橋本
吉田　哲也
Original Assignee
川崎重工業株式会社
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    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • the present invention includes a rack capable of storing a plurality of plate-shaped members arranged side by side, and a plate-shaped member transfer mechanism for inserting the plate-shaped member into the rack and taking out the plate-shaped member from the rack. It is related with the plate-shaped member transfer equipment provided.
  • Patent Document 1 Conventionally, various transport devices for transporting a substrate are known.
  • a robot that stores a substrate in a rack (or a cassette or the like) and takes out a substrate stored in the rack, as disclosed in Patent Document 1.
  • the robot described in Patent Document 1 includes a robot arm.
  • the robot arm has three links, and these three links are connected so as to be rotatable around a vertical axis extending in the vertical direction.
  • An end effector is attached to the tip of the robot arm.
  • the end effector is configured such that a substrate can be placed on the tip side portion thereof, and the tip portion is configured to be rotatable around a horizontal axis extending in the horizontal direction.
  • the robot configured in this manner moves the end effect while rotating the three links, and inserts the board placed there into the rack or removes the board from the rack.
  • the robot can raise or lower the substrate placed on the end effect by rotating the tip of the end effect about the horizontal axis. Therefore, the end effect can be inserted into the rack from various directions, and the substrate can be inserted into or removed from the rack regardless of the direction of the rack.
  • the robot described in Patent Document 1 is configured to insert an end effector into a substrate accommodating portion for accommodating a substrate of the rack when the substrate is inserted into or removed from the rack.
  • the plurality of substrates 51 to 53 are accommodated in the rack 54 side by side in the arrangement direction so as not to contact each other as shown in FIGS. Therefore, when the plurality of substrates 51 to 53 are sequentially carried out from the foremost substrate 51, an open space is formed in which the end effect 55 can be inserted in front of each of the substrates 51 to 53 to be carried out. There is no problem in carrying out even when using.
  • the plurality of substrates 51 to 53 accommodated in the rack 54 are not necessarily carried out in order from the previous substrate 51, and the substrate 52 accommodated between the two substrates 51 and 53 is taken out first. There is often. In this case, the end effect 55 must be inserted between the two substrates 51 and 52 (or the substrates 52 and 53).
  • the accommodation interval between adjacent substrates is as short as possible so that the number of substrates that can be accommodated with respect to the installation area of the rack 54 is made dense.
  • the end effect is thick because it has a function of sandwiching the substrate or has to ensure rigidity. Therefore, even if it tries to insert between two board
  • the present invention provides a new plate-like member between two plate-like members spaced apart from each other without inserting an end effect into the substrate receiving portion of the rack, even if the storage pitch of the plate-like members is dense. It aims at providing the plate-shaped member transfer equipment which can carry in and carry out any plate-shaped member out of the several plate-shaped member lined up.
  • the plate-shaped member transfer facility of the present invention stores a plurality of plate-shaped members that are supported by a support portion and are erected so as to extend in the conveyance direction, arranged in an arrangement direction intersecting the conveyance direction, and the plurality A rack configured to be able to carry in and carry out the plate-like member in the transport direction, a plate-shaped member transfer mechanism for carrying the plate-like member into the rack in the transport direction, and carrying out from the rack,
  • the plate-like member transfer mechanism includes a flip that supports the plate-like member and is rotatable about a rotation axis parallel to the transport direction.
  • a flip rotation mechanism for raising or lowering a member a conveyance mechanism having a conveyance body formed with a feeding portion that extends in the conveyance direction and feeds the plate-like member standing in the conveyance direction; and the flip rotation Moving mechanism and transport mechanism A transfer mechanism that moves the plate member in a standing state between the rack and the flip by the feeding portion. is there.
  • the plate-like member transfer mechanism can stand the plate-like member supported by the flip by turning the flip by the flip turning mechanism. Further, the flip-rotating mechanism and the transport mechanism are moved to arbitrary positions in the rack arrangement direction, and the plate-shaped member in the standing state is moved in the transport direction by the feed mechanism, so that the plate-shaped member is carried into the rack. Can be stored. As described above, the plate-like member transfer mechanism can store the plate-like member in the horizontal state by inserting it into the rack.
  • the “horizontal state” includes not only a state of being in a truly horizontal posture but also a state of being slightly inclined from the horizontal posture.
  • the plate-like member stored in the rack is moved in the transport direction and returned to the flip side. be able to.
  • the plate-like member can be brought into a horizontal state by turning and flipping the flip by a flip turning mechanism.
  • the plate-like member transfer mechanism can take out the plate-like member stored while standing in the rack and put it in a horizontal state.
  • the plate-like member is moved in the carrying direction by the feeding portion and delivered, so that when carrying the plate-like member in and out, the carrier and the flip are directly put into the substrate housing portion of the rack. There is no need to insert. Accordingly, even if the interval between the plate-like members is narrowed to reduce the installation area of the equipment and the storage pitch in the arrangement direction of the plate-like members is made dense, the plate-like member and the end effect stored as in the prior art A new plate-like member is carried in between two plate-like members, and any plate-like member can be selected from a plurality of arranged plate-like members. Can be carried out. Therefore, the plate-like member can be carried into and out of the rack reliably and quickly.
  • the transport mechanism is configured so that the transport body can be moved from the flip side in the transport direction to extend into the rack.
  • the plate-shaped member can be moved to the back in a rack by the said feed part by extending the said conveyance body in a rack. Thereby, it is not necessary to provide a transport mechanism in the rack, and the number of parts can be reduced. Thereby, manufacturing cost can be reduced.
  • the transport mechanism is configured to be able to move the transport body in the vertical direction.
  • the step between the transport body and the rack when the plate-shaped member is delivered can be eliminated by moving the transport body in the vertical direction according to the position of the rack. Thereby, it can prevent that a plate-shaped member falls from a level
  • the rack is provided with a plurality of support portions arranged at intervals in the transport direction, and the feeding portions of the transport body are disposed so as to be scattered in the transport direction of the transport body.
  • a plurality of driving members for sending the plate-shaped member in the transport direction; and a plurality of recesses formed in the transport body corresponding to the plurality of support portions, and formed between adjacent recesses It is preferable that at least one driving member is provided on the convex portion.
  • the drive member attached to the convex portion can be exposed from between adjacent support portions by inserting the support portion into the concave portion of the transport body. it can.
  • the plate member can be smoothly moved in the rack by the drive member.
  • the transport mechanism positions the transport body such that an upper end of the convex portion is positioned lower than a support portion of the rack at the reference position where the transport body is on the near side in the transport direction of the rack.
  • the transport body is moved from the reference position in the transport direction so that the concave portion is positioned below the support portion of the rack, the transport position is raised from there, and the upper end of the drive member is connected to the rack at the upper end of the drive member. It is preferable that it is configured to be positioned higher than the support portion.
  • the support portion can be put in the concave portion of the transport body, and the driving member provided on the convex portion can be exposed from the support portion.
  • the flip is provided with a support portion that supports the plate-like member when the flip is raised, and the transport mechanism is supported by the support portion of the flip when the transport body is raised. It is preferable that the plate-like member is configured to be placed on the driving member.
  • the plate-like member when the transport body is raised, the plate-like member is placed on the driving member. Since the plate member can be placed on the drive member by raising the carrier by raising the flip in this way, it is easy to transfer the plate member between the flip and the drive member.
  • the flip has a plurality of rollable spherical rollers and the back of the plate-like member is supported by the plurality of spherical rollers.
  • the plate-like member is supported by the rolling spherical roller, when the feed mechanism moves the plate-like member, the plate-like member moves smoothly even if the plate-like member is slid against the flip. be able to. Accordingly, when the plate-shaped member is transferred between the rack and the flip, the plate-shaped member can be slid along the flip, and the flip can be prevented from falling down.
  • the flip rotation mechanism is configured to rotate the flip so as to tilt the plate member supported by the flip when moving.
  • the flip rotation mechanism is moved in a state where the plate-shaped member is tilted, so that the amount of wind generated by the movement of the plate-shaped member can be suppressed.
  • the wind generated at the time of movement may flutter and damage the plate-like members stored side by side in the rack, but in the present invention, since the wind can be suppressed, such fluttering of the plate-like members is suppressed. Damage to the plate member can be prevented.
  • a new plate-like member is provided between two plate-like members spaced apart from each other without inserting an end effect into the substrate housing portion of the rack, even if the plate-like member is stored at a dense pitch.
  • Any plate-like member can be carried out from a plurality of plate-like members arranged.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows the stocker installation which concerns on embodiment of this invention. It is an expansion perspective view which expands and shows the stocker with which the stocker installation shown in FIG. 1 is provided. It is a perspective view which shows the movement of the flip of the stocker shown in FIG. It is a perspective view which shows the motion of the slide member of the stocker shown in FIG. It is an expansion perspective view which expands and shows the rack with which the stocker installation shown in FIG. 1 is provided. It is an expansion perspective view which expands and shows a part of lower end side support body of the rack shown in FIG. It is an expansion perspective view which expands and shows a part of upper end side support body of the rack shown in FIG. In the stocker equipment shown in FIG.
  • FIG. 10 is a front view showing a state when a flip is raised from the state of FIG. 9.
  • FIG. 11 is an enlarged perspective view showing the state when the stocker is moved from the state of FIG. 10 to the front of the rack storage position. It is the front view which looked at the stocker installation in the state of FIG. 11 from the front.
  • FIG. 12 is an enlarged perspective view showing a state when a part of the slide member is submerged under the left rack from the state of FIG. 11.
  • FIG. 13 It is the front view which looked at the stocker installation in the state of FIG. 13 from the front. It is the expansion perspective view which looked at the state after raising a slide member from the state of FIG. 13, and having passed the slide member between the rack and the flip from the right side. It is the expansion perspective view which looked at the state after lowering the support part from the state of FIG. 15, and mounting the glass plate on the drive member from the right side. It is an expansion perspective view which expands and shows a state when a drive member is rotated from the state of FIG. 16, and a glass plate is slid. It is the front view which looked at the stocker installation in the state of FIG. 17 from the front. It is the expansion perspective view which looked at the stocker installation in the state of FIG. 17 from the right side.
  • FIG. 18 is an enlarged perspective view of the state when the glass plate is further slid and stored in the rack from the state of FIG. 17 and the slide member is lowered, as viewed from the right side. It is the front view which looked at the state which moved the slide member from the state of FIG. 20, and squeezed a part of slide member under the left rack. It is an enlarged front view which expands and shows the state when moving the glass plate accommodated in the left rack from the state of FIG. 21 to a flip. It is the front view which looked at the stocker installation in the state of FIG. 22 from the front. It is the front view which looked at the state when the glass plate was further slid from the state of FIG. 23 and moved to before the flip.
  • FIG. 28 is a perspective view showing a state after the glass plate is slid backward from the state of FIG. 27 by the slide device.
  • FIG. 29 is a perspective view showing a state when the downstream stopper is lowered from the state of FIG. 28 and the glass plate is moved downstream.
  • the stocker facility 1 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings described above.
  • the concept of directions such as up and down, left and right, and front and back in the embodiment is used for convenience of explanation, and it is suggested that the arrangement and orientation of the configuration of the stocker facility 1 be limited to that direction. Not what you want.
  • the stocker facility 1 described below is only one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the embodiment, and can be added, deleted, and changed without departing from the spirit of the invention.
  • the stocker facility 1 is provided in the middle of a conveyance path for conveying a plate member 2 from one processing apparatus to another processing apparatus, and temporarily stores the conveyed plate member 2. It is equipment to keep.
  • the plate-like member 2 is a large glass plate used in, for example, a solar panel or a liquid crystal panel, and will be described below as the glass plate 2.
  • the plate-like member 2 is not limited to a large glass plate, and may be a steel plate or a resin plate as long as it is a plate-like member.
  • the stocker facility 1 is provided on a wheel conveyor 3 that conveys the glass plate 2 from one processing apparatus to another processing apparatus.
  • the wheel conveyor 3 has a plurality of wheel shafts 3a that can rotate.
  • the wheel shaft 3a extends in the front-rear direction and is rotated by a driving device (not shown), and the wheel conveyor 3 rotates the plurality of wheel shafts 3a to place the glass plate 2 placed thereon. It is configured to move in one direction (in this embodiment, the left direction).
  • the wheel conveyor 3 has the downstream stopper member 3b.
  • the downstream stopper member 3b is arranged in a line in the front-rear direction between the two adjacent wheel shafts 3a, and is provided so as to be able to appear and retract.
  • the wheel conveyor 3 stops the glass plate 2 moving on the wheel conveyor 3 at the stop position by causing the downstream stopper member 3b to protrude from between the wheel shafts 3a, and the downstream stopper member 3b is interposed between the wheel shafts 3a. It is configured to allow the glass plate 2 to move from the stop position to the downstream side by being immersed.
  • the wheel conveyor 3 has a slide device 3c and a plurality of alignment members 3d, and the glass plate 2 may be aligned by these.
  • the slide device 3c is configured to slide the glass plate 2 at the stop position in the front-rear direction.
  • the plurality of alignment members 3d are arranged in a line in the left-right direction on the front side of the wheel conveyor 3, and are disposed one by one between the adjacent wheel shafts 3a.
  • the alignment member 3d is configured to be able to appear and retract, and is configured to stop the glass plate 2 that is slid by the slide device 3c by protruding the alignment member 3d from between the wheel shafts 3a.
  • the stocker facility 1 is configured to store the glass plate 2 stopped at the stop position in the rack 21.
  • the stocker facility 1 includes a stocker 4 and a rack 21 as shown in FIG.
  • the stocker 4 includes a base 5 as shown in FIG.
  • the base 5 is mounted on the base drive mechanism 6 and is configured to be slidable in the front-rear direction by the base drive mechanism 6.
  • the base drive mechanism 6 has a casing 6a and a drive mechanism (not shown).
  • the casing 6a extends in the front-rear direction, and a drive mechanism that includes a ball screw mechanism, a servo motor, and the like is housed therein.
  • the base drive mechanism 6 having such a configuration extends forward from the vicinity of the wheel conveyor 3 and is attached to the floor or the like of the installation location.
  • the base 5 is slidably attached to the base drive mechanism 6 (see arrow A in FIG. 2).
  • the base 5 is generally formed in a rectangular parallelepiped shape.
  • the base 5 is provided with a hinge lifting mechanism 7.
  • the hinge elevating mechanism 7 is constituted by, for example, a piston mechanism.
  • a hinge 9 is attached to the hinge lifting mechanism 7 and is configured to lift the hinge 9 up and down.
  • a flip 8 serving as a so-called hand or end effector is attached to the rear portion of the base 5 via a hinge 9.
  • the flip 8 is generally formed in a trident and is configured to be able to support the glass plate 2 placed thereon.
  • the flip 8 is attached to the rear portion of the base 5 via a hinge 9 and is configured to be rotatable around the rotation axis L ⁇ b> 1 by the hinge 9.
  • the hinge 9 is provided with a flip drive mechanism 10.
  • the flip drive mechanism 10 is, for example, a servo motor, and is configured to rotate the flip 8 about the rotation axis L1 (see arrow B in FIG. 2).
  • the configuration of the flip 8 will be described in detail based on a state in which the posture of the flip 8 is substantially horizontal as shown in FIG.
  • the Flip 8 has a base 11 on the base end side (front side).
  • the base 11 is a plate-like member that extends to the left and right, and is attached to the base 5 via a hinge 9.
  • Three support plates 12 are attached to the upper surface 11 a of the base 11.
  • the support plate 12 is a strip-shaped plate member extending in the front-rear direction, and the base end side thereof is fixed to the base portion 11 at substantially equal intervals on the left and right.
  • the interval between the support plates 12 is adjusted to the interval between the wheel shafts 3a of the wheel conveyor 3, and each support plate 12 is placed between the adjacent wheel shafts 3a.
  • the base 11 has a stopper 11b.
  • the stopper 11 b is formed so as to extend downward on the lower surface 11 c of the base portion 11 and hits the casing 6 a of the base drive mechanism 6.
  • the stopper 11b has a function of restricting the downward rotation of the base 11 by hitting the casing 6a and preventing the front end side of the support plate 12 from facing downward.
  • a plurality of spherical rollers 13 are attached to the upper surface 12 a side of the support plate 12.
  • the plurality of spherical rollers 13 are attached to the support plate 12 so as to be able to roll, and are arranged at intervals in the front-rear direction.
  • a part of the spherical roller 13 protrudes upward from the upper surface 12 a of the support plate 12 and is exposed.
  • a support portion 14 is attached to the upper surface 12 a side of the support plate 12.
  • the support portion 14 is disposed on the base end side of the support plate 12 with respect to the spherical roller 13 and protrudes upward from the upper surface 12a.
  • the support portion 14 is provided with a cylinder mechanism (not shown), and is configured to be movable in the front-rear direction by the cylinder mechanism.
  • a transport mechanism 15 is attached to the front portion of the base 5.
  • the transport mechanism 15 has a slide member 16.
  • the slide member 16 which is a conveyance body is a horizontally long plate-like member.
  • the slide member 16 is attached to the rear portion of the base 5 via a slide lifting mechanism 17.
  • the slide elevating mechanism 17 includes, for example, a ball screw mechanism and a pneumatic cylinder, and is configured to slide the slide member 16 in the left-right direction (conveying direction) and to move the slide member 16 up and down (arrows in FIG. 2). C and D).
  • a plurality of convex portions 16 a (six convex portions 16 a in this embodiment) are formed on the slide member 16.
  • the convex portions 16a are arranged at substantially equal intervals in the left-right direction.
  • a recess 16b that penetrates the slide member 16 in the front-rear direction is formed between the adjacent convex portions 16a.
  • the recess 16b is formed so that a support member 26 of the
  • a plurality of drive members 18 are dotted and attached to the rear portion of the slide member 16.
  • the drive member 18 is constituted by, for example, a roller or a belt. In the present embodiment, a case where the driving member 18 is a roller will be described. Twelve drive members 18 are attached to the slide member 16.
  • the drive member 18 is configured to be rotatable around a rotation axis parallel to the front-rear direction, and two drive members 18 are attached to each convex portion 16a.
  • the slide member 16 is provided with a rotation interlocking mechanism 19.
  • the rotation interlocking mechanism 19 includes a transmission mechanism constituted by, for example, a timing belt and a servo motor, and is provided in the slide member 16.
  • the rotation interlocking mechanism 19 is configured to rotate a plurality of driving members 18 in the same direction and send the glass plate 2 placed on the driving member 18 leftward or rightward (in FIG. 2). (See arrow E).
  • the stocker 4 has a control device 20 for controlling the operation of each component.
  • the control device 20 is connected to the base drive mechanism 6, the hinge lifting mechanism 7, the flip drive mechanism 10, the slide lifting mechanism 17, and the rotation interlocking mechanism 19 via signal wiring.
  • the control device 20 has a function of sending a signal to each of the mechanisms 6, 7, 10, 15, 19 based on a program stored in advance or a command input by an input means (not shown) to control their operation. ing.
  • the control device 20 controls the operations of these seven mechanisms 6, 7, 10, 15, and 19 to cause the stocker 4 to achieve the following functions.
  • the function of the stocker 4 will be described with reference to FIGS.
  • the stocker 4 has a function of placing the glass plate 2 on the flip 8 by tilting the flip 8 into a horizontal state as shown in FIG. Further, the stocker 4 can turn the glass plate 2 on the flip 8 by turning the flip 8 by the hinge 9 (see FIG. 3), or can be brought down to a horizontal posture (horizontal state). Note that the horizontal state includes not only a truly horizontal state but also a state slightly tilted from the truly horizontal state. Further, the stocker 4 has a function of moving the glass plate 2 placed on the flip 8 in the front-rear direction by moving the base 5 by the base drive mechanism 6.
  • the stocker 4 has a function of moving the slide member 16 to the left or right by the slide elevating mechanism 17 to raise the slide member 16.
  • the lower end of the glass plate 2 erected by rotating the flip 8 is supported by a support portion 14, and the stocker 4 is supported by lowering the support portion 14 by a cylinder (not shown).
  • the glass plate 2 has a function of placing it on the drive member 18 of the slide member 16.
  • the stocker 4 is comprised so that the glass plate 2 can be sent to the left or right direction by rotating the several drive member 18 by the rotation interlocking mechanism 19.
  • a plurality of racks 21 are arranged on both the left and right sides of the stocker 4 that can send the glass plate 2 in the left and right directions in this way.
  • the racks 21 are arranged in a line in the front-rear direction on both the left and right sides, and in this embodiment, three racks 21 are arranged on each of the left and right sides.
  • the configuration of each rack 21 is the same except for the arrangement position and orientation.
  • only one rack 21 will be described, and the other racks 21 will be denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted.
  • the rack 21 has a frame body 22 that is framed in a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG.
  • a lower end side support body 23 is fixed to the lower end side of the frame body 22, and an upper end side support body 24 is attached to the upper end side.
  • the lower end side support body 23 has an outer frame 25 that is framed in the same rectangular shape as the frame body 22 in plan view.
  • a plurality of support members 26 (three support members 26 in this embodiment) are fixed to the outer frame 25.
  • the support member 26 extends in the front-rear direction, and is passed to members on the front and rear of the outer frame 25.
  • the plurality of support members 26 are spaced apart from each other in the left-right direction on the outer frame 25, and the intervals are set according to the width of the glass plate 2 to be accommodated.
  • the support member 26 has a plurality of separators 26a as shown in FIG.
  • the plurality of separators 26 a are arranged at substantially equal intervals in the front-rear direction, and the interval between the two adjacent separators 26 a is slightly wider than the thickness of the glass plate 2.
  • the upper end support 24 has a top frame 27 that is framed in the same rectangular shape as the frame 22 in plan view.
  • a plurality of beam members 28 (four beam members 28 in this embodiment) are fixed to the top frame 27.
  • the beam member 28 extends in the front-rear direction, and is passed to members that are in front of and behind the top frame 27.
  • the plurality of beam members 28 are spaced apart from each other in the left-right direction, and the intervals are set according to the width of the glass plate 2 to be accommodated.
  • a plurality of guide rollers 28 a as shown in FIG. 7 are attached to the lower surface of the beam member 28.
  • the plurality of guide rollers 28a are arranged corresponding to the separators 26a and are positioned at substantially equal intervals in the front-rear direction.
  • the guide roller 28a configured as described above is attached to the beam member 28 so as to be rotatable around a rotation axis extending in the vertical direction.
  • the glass plate 2 is stored in a state where the lower end side of the glass plate 2 is passed between two adjacent separators 26a and the upper end side of the glass plate 2 is passed between two adjacent guide rollers 28a. ing. Thereby, the glass plate 2 is accommodated in a standing state between the lower end side support body 23 and the upper end side support body 24, and is supported by the separator 26a and the guide roller 28a so as not to fall down.
  • the upper end side of the glass plate 2 housed in this way is passed through two guide rollers 28a located slightly behind the two separators 26a through which the lower end side is passed,
  • the glass plate 2 is accommodated in the rack 21 in a state where it is slightly inclined rearward.
  • the glass plates 2 are passed one by one between the two separators 26a and between the guide rollers 28a, and the adjacent glass plates 2 are partitioned by the separator 26a and the guide rollers 28a. By partitioning in this way, the glass plates 2 are separated from each other without being in contact with each other, and are arranged in the front-rear direction (arrangement direction) and accommodated in the rack 21.
  • the rack 21 that can store a plurality of glass plates 2 is configured such that the upper end support 24 is not fixed to the frame 22 and the height of the upper end support 24 can be adjusted.
  • an elevating mechanism such as a ball screw mechanism (not shown) is used.
  • the upper end side support body 24 may be comprised so that it can adjust manually, without using a raising / lowering mechanism.
  • the height of the glass plate 2 that can be stored for each rack 21 can be changed by adjusting the height of the upper end support 24 by the adjustment mechanism in accordance with the height of the glass plate 2 to be stored. .
  • the height of the upper end side support 24 is adjusted in advance according to the height of the glass plate 2 to be stored.
  • the glass plate 2 accommodated in the rack 21 positioned at the foremost side in each row is shorter than the glass plate 2 accommodated in the other rack 21 (upper end support shown by a two-dot chain line in FIG. 5). 24). Therefore, the upper end side support body 24 of the rack 21 positioned on the front side is disposed at a position lower than the upper end side support bodies 24 of the other racks 21.
  • the height of the upper end side support body 24 can be adjusted according to the height of the glass plate 2 to be accommodated.
  • the rack 21 configured in this way has an insertion port 21a into which the glass plate 2 is inserted on either one of the left and right sides.
  • the insertion port 21a is formed on the right side of the rack 21, and in the case of the rack 21 arranged on the right side of the stocker 4, the insertion port 21a is It is formed on the left side of the rack 21. That is, the insertion port 21 a is open toward the stocker 4.
  • the stocker 4 is configured to deliver the glass plate 2 to the rack 21 from the insertion port 21a configured as described above.
  • the control device 20 Before receiving the glass plate 2 moving on the wheel conveyor 3, the control device 20 first controls the operation of the base drive mechanism 6 and moves the base 5 of the stocker 4 to the vicinity of the wheel conveyor 3. After the movement, the control device 20 controls the operation of the flip drive mechanism 10 to tilt the flip 8 backward. After the flip 8 is tilted and the posture of the flip 8 is leveled, the control device 20 controls the operation of the hinge lifting mechanism 7 to lower the flip 8, and the three support plates 12 of the flip 8 are moved between the wheel shafts 3a. Into each. At this time, the flip 8 is lowered to a position where the spherical roller 13 is positioned flush with or below the wheel shaft roller. Further, the wheel conveyor 3 projects a downstream stopper member 3b upward so as to stop the moving glass plate 2 at a predetermined position on the flip 8. The stocker 4 waits for the glass plate 2 moving on the wheel conveyor 3 to come to a predetermined position.
  • the wheel conveyor 3 stops the glass plate 2 that has moved on the wheel conveyor 3 on the flip 8 by the downstream stopper member 3b (see FIG. 8). At this time, when the position of the glass plate 2 is shifted rearward with respect to a predetermined position, the wheel conveyor 3 may selectively use the slide member 3c or the alignment member 3d. That is, the alignment member 3d is protruded, and then the wheel conveyor 3 moves the glass plate 2 toward the alignment member 3d, that is, the front side by the slide device 3c (FIG. 9). Thereby, the glass plate 2 can be reliably located in a predetermined position.
  • the control device 20 raises the flip 8 by the hinge lifting mechanism 7 and places the glass plate 2 on the flip 8.
  • the control device 20 moves the support portion 14 to the rear side by the cylinder and applies the support portion 14 to the glass plate 2.
  • the control device 20 rotates the flip 8 by an angle ⁇ (see FIG. 1) by the flip drive mechanism 10.
  • the flip 8 in the horizontal state is raised by the angle ⁇ and placed on the support portion 14, and is prevented from slipping down from the flip 8.
  • the angle ⁇ is set to an inclination angle at which the flip 8 is at least separated from the wheel conveyor 3 (positioned above).
  • the base drive mechanism 6 slides the base 5 forward while maintaining the state (see FIGS. 1 and 10).
  • FIG. 10 and subsequent drawings FIGS. 10, 12, 14, 18 to 21, 23, 24 and 26
  • the rack 21 is shown in order to make it easy to understand the delivery of the glass plate 2 between the stocker 4 and the rack 21, the rack 21 is shown.
  • the other glass plate 2 stored in the table may be omitted.
  • the control device 20 stops the base 5 when the glass plate 2 is transported to the front of the storage position of the rack 21 in which the glass plate 2 is to be stored.
  • an identifier indicating identification information of the glass plate 2 such as a QR code or a non-contact type IC is attached to the glass plate 2, and in this case, the storage position is determined by reading the identification information from the identifier. It has come to be decided.
  • the control device 20 causes the flip drive mechanism 10 to turn the flip 8 to an angle ⁇ that is substantially vertical to stand the glass plate 2 (see FIGS. 11 and 12).
  • the angle ⁇ is set in the range of 85 degrees or more and less than 90 degrees. However, the angle ⁇ is not limited to the angle range.
  • the control device 20 lowers the slide member 16 by the slide elevating mechanism 17 and positions the plurality of drive members 18 below the lower end side support 23 of the rack 21. Thereafter, the control device 20 slides the slide member 16 toward the rack 21 in which the slide member 16 is to be accommodated, that is, the left rack 21 by the slide elevating mechanism 17.
  • the control device 20 causes the left end side of the slide member 16 to dive below the lower end support 23, and the left end of the slide member 16 supports the left end of the glass plate 2 (in this embodiment, from the right).
  • the operation of the slide elevating mechanism 17 is controlled to stop the slide member 16 (see FIGS. 13 and 14). At this time, the control device 20 controls the operation of the slide elevating mechanism 17 so that the recess 16b in the portion hidden in the lower end side support 23 overlaps the support member 26 in plan view.
  • the control device 20 raises the slide member 16 by the slide lifting mechanism 17 and inserts the convex portion 16a of the slide member 16 between the two support members 26 on the right side. As it is further raised, the drive member 18 protrudes and appears from between the two support members 26. When the drive member 18 eventually rises to a position that is slightly higher than the position that is flush with the upper surface of the separator 26a, the control device 20 controls the operation of the slide lifting mechanism 17 to stop the slide member 16 from rising (FIG. 15). reference). By sliding and moving the slide member 16 in this manner, the left end portion of the slide member 16 is positioned in the rack 21 and the flip 8 is positioned on the right end portion side. A slide member 16 is passed between them. That is, the slide member 16 extends into the rack 21.
  • the support portion 14 is at a higher position than the drive member 18, and the glass plate 2 supported by the support portion 14 and the drive member 18 are separated in the vertical direction. Therefore, after raising the slide member 16, the control device 20 slowly lowers the support portion 14 by the cylinder. As the glass plate 2 is lowered, the glass plate 2 is placed on the drive member 18 in the long run. After that, the control device 20 lowers the support portion 14 and separates the support portion 14 from the glass plate 2 (see FIG. 16).
  • the control device 20 rotates the driving member 18 counterclockwise by the rotation interlocking mechanism 19.
  • the drive member 18 rotates counterclockwise, the glass plate 2 placed thereon moves to the left.
  • the glass plate 2 leans toward the flip 8, but since the back surface of the glass plate 2 is supported by the spherical roller 13, the glass plate 2 can be smoothly moved without falling to the rear side or the front side. Can move.
  • the glass plate 2 When the glass plate 2 is moved to the left side, the glass plate 2 is eventually inserted into the insertion port 21a of the rack 21 (that is, carried into the rack 21). When the glass plate 2 is further moved, the upper end portion of the glass plate 2 is guided by a guide roller 28a (a guide roller 28a on the front side in FIG. 19) on the beam member 28 closest to the insertion port 21a. And the adjacent guide roller 28a. Thus, the glass plate 2 is supported so that it may not fall down by the guide roller 28a because the upper end part of the glass plate 2 is inserted between the two guide rollers 28a.
  • a guide roller 28a a guide roller 28a on the front side in FIG. 19
  • the control device 20 rotates the driving member 18 counterclockwise by the rotation interlocking mechanism 19 and slides the glass plate 2 to the left side. As the glass plate 2 advances further straight to the left, the upper end portions of the glass plate 2 are successively inserted between the guide rollers 28a of the other beam members 28 located further back left (FIGS. 17 to 17). 19). Even after that, the control device 20 causes the rotation interlock mechanism 19 to rotate the drive member 18 counterclockwise. When the glass plate 2 reaches the storage position, the control device 20 controls the rotation interlocking mechanism 19 to stop the rotation of the driving member 18.
  • the control device 20 lowers the slide member 16 by the slide elevating mechanism 17, slowly drops the lower end of the glass plate 2 between the two adjacent separators 26a in each support member, and the glass The lower end portion of the plate 2 is supported by the support member 26 (see FIG. 20).
  • the glass plate 2 is housed in the rack 21 by supporting the lower end of the glass plate 2 from below by the support member 26 and supporting the upper end of the glass plate 2 so as not to fall down by the guide roller 28a.
  • the control device 20 lowers the slide member 16 by the slide elevating mechanism 17.
  • the control device 20 stops the lowering operation of the slide member 16. Then, the control device 20 slides the slide member 16 to the right side by the slide lifting mechanism 17 and returns the slide member 16 to the center.
  • FIGS ⁇ Glass plate removal operation>
  • the control device 20 slides the slide member 16 to the right as it is after returning the slide member 16 to the center, and allows the control device 20 to lie under the right rack 21.
  • the control device 20 operates the slide lifting mechanism 17.
  • the slide movement of the slide member 16 is stopped by controlling (see FIG. 21).
  • the control device 20 controls the operation of the slide elevating mechanism 17 so that the recess 16b in the portion hidden in the lower end side support 23 overlaps the support member 26 in plan view.
  • the control device 20 raises the slide member 16 by the slide lifting mechanism 17 and inserts the convex portion 16a of the slide member 16 between the two support members 26 on the left side.
  • the drive member 18 is protruded and exposed from between the two support members 26 as it is raised, the glass plate 2 housed in the rack 21 is placed on the drive member 18.
  • the control device 20 raises the slide member 16 and raises the drive member 18 to a position slightly higher than the position that is flush with the upper surface of the separator 26a
  • the control device 20 controls the operation of the slide lifting mechanism 17 to slide.
  • the rising of the member 16 is stopped.
  • the slide member 16 on which the glass plate 2 is placed is passed between the rack 21 and the flip 8.
  • the slide member 16 extends into the rack 21.
  • the glass plate 2 can be moved to the back of the rack 21, and it is not necessary to provide a transport mechanism in the rack 21. Thereby, the number of parts of the stocker facility 1 can be reduced, and the manufacturing cost of the stocker facility can be reduced.
  • the control device 20 rotates the driving member 18 counterclockwise by the rotation interlocking mechanism 19, and moves the glass plate 2 placed thereon to the left (see FIG. 22 and FIG. 23). At this time, the glass plate 2 moves to the left while its upper end is supported by the guide roller 28a. Eventually, when the left end side of the glass plate 2 reaches the flip 8, the left end side leans on the spherical roller 13 and is supported by the spherical roller 13. When the right end side of the glass plate 2 is also removed from the rack 21, the glass plate 2 is supported only by the spherical roller 13, and is moved as it is to a predetermined position on the flip 8 (see FIG. 24). When the glass plate 2 moves to a predetermined position, the control device 20 controls the operation of the rotation interlocking mechanism 19 and stops the rotation of the driving member 18.
  • the control device 20 After stopping the driving member 18, the control device 20 raises the support portion 14 by the cylinder and places the glass plate 2 on the support portion 14. The control device 20 continues to raise the support portion 14 as it is to release the glass plate 2 from the drive member 18, and when it is left, controls the operation of the cylinder to stop the rise of the support portion 14 (see FIG. 25). Thereafter, the control device 20 causes the flip drive mechanism 10 to tilt the flip 8 to the angle ⁇ , and then the base drive mechanism 6 slides the base 5 to the rear side (see FIG. 26). When the base 5 reaches the wheel conveyor 3, the control device 20 controls the operation of the base driving mechanism 6 to stop the sliding movement of the base 5, and further controls the operation of the flip driving mechanism 10 to turn the flip 8. Defeat until level.
  • the control device 20 lowers the flip 8 by the hinge lifting mechanism 7 until the spherical roller 13 is positioned flush with or below the wheel shaft roller, and the glass The plate 2 is placed on the wheel conveyor 3 (see FIG. 27). Thereafter, the wheel conveyor 3 moves the glass plate 2 to the rear side by the slide device 3c and returns it to the center in the width direction (see FIG. 28). After returning, the wheel conveyor 3 moves the glass plate 2 to the downstream side (see FIG. 29).
  • the stocker facility 1 slides the glass plate 2 by the slide member 16 passed between the flip 8 and the rack 21 and inserts the glass plate 2 into the insertion port 21a of the rack 21, thereby allowing the glass plate 2 to be inserted into the rack 21.
  • the glass plate 2 can be stored in the rack 21 in a standing state without being tilted.
  • the glass plate 2 stored in a standing state on the rack 21 can be slid by the slide member 16 passed between the flip 8 and the rack 21 and taken out from the rack 21.
  • the slide member 16 and the flip 8 are directly inserted into the insertion port 21a of the rack 21 when the glass plate 2 is carried in and out. There is no need.
  • the new glass plate 2 is carried in between the two glass plates 2 without causing a situation where they come into contact with each other, and any glass plate 2 is taken out from the plurality of glass plates 2 arranged side by side. can do. Therefore, the glass plate 2 can be carried into and out of the rack 21 reliably and quickly.
  • the glass plate 2 moving on the wheel conveyor 3 is erected from the bottom, and the glass plate 2 is moved in that state.
  • the upper surface (or front surface) of the glass plate 2 is not touched.
  • the glass plate 2 moving on the wheel conveyor 3 with one surface facing up is erected from below, and the glass plate 2 is moved in that state. Therefore, in the stocker facility 1, the glass plate 2 can be moved between the wheel conveyor 3 and the rack 21 with its one surface up (or front) without damaging the configuration on the glass plate 2.
  • the glass plate 2 can be moved.
  • the slide member 16 is moved up and down by the slide lift mechanism 17 so that the position of the glass plate 2 and the lower end side support 23 of the rack 21 can be adjusted in the vertical direction. Since the adjustment can be made in this way, when the control device 20 delivers the glass plate 2 to the rack 21, the slide elevating mechanism 17 slightly moves the drive member 18 of the slide member 16 from the position where it is flush with the separator 26a. The glass plate 2 is slid and moved upward, and when the storage position is reached, the glass plate 2 is slowly lowered. By lowering the glass plate 2 in this way, the step between the slide member 16 and the separator 26a can be eliminated, and the glass plate 2 can be prevented from falling. In addition, by making the glass plate 2 higher than the separator 26a, the glass plate 2 can be prevented from moving while sliding on the rack 21 during delivery. Therefore, it is possible to prevent the glass plate 2 from being damaged or dust from being generated during storage.
  • the convex portion 16 a is inserted between the two support members 26 arranged at intervals. Yes. Therefore, the drive member 18 can be exposed from between the support members 26. Thereby, the glass plate 2 can be smoothly moved in the left-right direction even in the rack 21, and the glass plate 2 can be smoothly transferred between the rack 21 and the flip 8.
  • the glass plate 2 can be sent to the storage position even if the configuration is such that a part of the slide member 16 is hidden in the rack 21 and stacked as in the present embodiment.
  • the configuration may be such that the end of the slide member 16 is slid to the front of the rack 21 and the slide member 16 is passed between the rack 21 and the flip 8. At this time, even if there is a gap between the slide member 16 and the rack 21, it may be a gap that allows the glass plate 2 to be transferred between the rack 21 and the slide member 16.
  • the flip 8 supports the glass plate 2 by a plurality of spherical rollers 13. Therefore, when the glass plate 2 is slid by the driving member 18, the glass plate 2 can be moved smoothly even if the glass plate 2 is slid on the flip 8 while being slid against the flip 8. When the plate 2 is delivered, the glass plate 2 can be prevented from falling. In addition, sliding on the support plate 12 of the flip 8 may damage the glass plate 2 or generate dust, but this can also be prevented.
  • the glass plate 2 when the base 5 is moved, the glass plate 2 is only supported by the support plate 12.
  • the support plate 12 may be provided with an adsorption mechanism to adsorb the glass plate 2.
  • a chuck or the like may be provided instead of the suction mechanism so that the glass plate 2 is gripped by the flip 8 only when the base 5 is moved.
  • the inclination of the flip 8 when the base 5 is moved is set to the angle ⁇ , but it is not always necessary to slide to such an angle.
  • the inclination of the flip 8 may be set to the angle ⁇ .
  • the control device 20 controls the operation of the base drive mechanism 6, and the air volume caused by the glass plate 2 can be suppressed by slowing the moving speed of the base 5.
  • the drive member 18 is not limited to a roller but may be a belt mechanism, and may be any configuration as long as the glass plate 2 can be slid in the left direction or the right direction.
  • the base 5 is slid after the flip 8 is raised or tilted to the angle ⁇ .
  • the base 5 may be slid and moved up to the angle ⁇ after reaching the storage position while the flip 8 is tilted. Further, after receiving the stored glass plate 2, the base 5 may be slid with the flip 8 kept at the angle ⁇ .
  • the rack 21 is provided with a guide roller 28a, but it is not necessarily a roller.
  • a configuration like a separator 26a may be used, and any configuration may be used as long as two glass plates 2 stored adjacent to each other can be separated.
  • the rack 21 may not have the shape as described above.
  • the transport mechanism 15 is provided between the two racks 21, but is not necessarily limited to the position, and may be provided under the rack 21, for example.
  • another transfer device having the same configuration as the base 5 is provided under each rack 21, and the transport mechanism 15 is configured to be movable in the front-rear direction by this transfer device.
  • the base 5 and the transfer device constitute a transfer mechanism.
  • the slide member 16 of the transport mechanism 15 slides from the bottom of the rack 21 toward the flip 8, and the slide member 16 transfers between the rack 21 and the flip 8. it can.
  • the slide lift 17 has a slide function of sliding the slide member 16 in the transport direction, but may not necessarily have a slide function.
  • a structure having a driving member capable of feeding the glass plate 2 in the left-right direction is also provided under the rack 21.
  • the glass plate 12 sent to the rack 21 by the drive member 18 of the slide member 16 can be slid in the rack 21 by the drive member provided in the rack 21.
  • the present invention can be applied to a stocker facility including a rack that can store plate-like members side by side and a stocker that inserts the plate-like member into the rack.

Abstract

　ストッカ設備１は、ガラス板２が立てた状態で前後方向に並べて収納されるラック２１と、ガラス板２を左右に移動させてラック２１との間で受け取りするストッカ４を備えている。ストッカ４は、基台５と、フリップ８と、スライド部材１６と、駆動部材１８とを有する。フリップ８は、フリップ駆動機構１０により基台５に対して軸線Ｌ１回りに回動し、回動することでそこに載せられたガラス板２を立てたり倒したりするように構成されている。駆動部材１８は、スライド部材１６に回動可能に設けられ、回動することでガラス板２をラック２１内に送れるように構成されている。これにより、ラックの基板収容部にエンドエフェクトを挿入せずに、収納ピッチが密で、且つ間隔をあけた２つの板状部材の間に板状部材を搬入し、並んだ複数の板状部材の中から何れの板状部材でも搬出可能な板状部材移載設備を提供する。

Description

板状部材移載設備
　本発明は、複数の板状部材を立てた状態で並べて収納可能なラックと、前記ラックに板状部材を挿入したり、前記ラックから板状部材を取り出したりする板状部材移載機構とを備える板状部材移載設備に関する。
　従来から、基板を搬送する様々な搬送装置が知られている。それら様々な搬送装置のうちの１つとして、特許文献１に開示されるような、基板をラック（又はカセット等）に収納したり、ラックに収納された基板を取り出したりするロボットがある。特許文献１に記載のロボットは、ロボットアームを備えている。ロボットアームは、３つのリンクを有しており、これら３つのリンクは、鉛直方向に延びる垂直軸線回りに回動可能に連結されている。ロボットアームの先端部には、エンドエフェクタが取付けられている。このエンドエフェクタは、その先端側部分に基板を載置可能に構成されており、その先端部分が水平方向に延びる水平軸線回りに回動可能に構成されている。
　このように構成されるロボットは、３つのリンクを回動させながらエンドエフェクトを動かし、そこに載置されている基板をラックに挿入したり、ラックから基板を取り出したりする。また、ロボットは、エンドエフェクトの先端部を水平軸線回りに回動させることで、エンドエフェクトに載置された基板を起こしたり倒したりできる。それ故、エンドエフェクトを様々な方向からラックに挿入することができ、ラックの向きに係わらず、基板を挿入したり、そこから基板を取り出したりすることができる。
特表２００２－５２２２３８号公報
　特許文献１に記載のロボットは、基板をラックに挿入したり、ラックから取り出したりする際、ラックの基板を収容する基板収容部の中にエンドエフェクタを挿入するようになっている。他方、複数の基板５１～５３は、図３０及び３１に示すように互いが接触しないように配列方向に並べてラック５４に収容されている。従って、複数の基板５１～５３を一番前側の基板５１から順に搬出する場合、搬出する各基板５１～５３の前にエンドエフェクト５５を挿入できるオープンスペースが形成されるため、上述するエンドエフェクト５５を用いても搬出に何ら問題を生じない。
　しかし、ラック５４に収容された複数の基板５１～５３は、必ずしも前の基板５１から順番に搬出されるとは限らず、２つの基板５１，５３の間に収容された基板５２を先に取り出すことがしばしばある。この場合、エンドエフェクト５５を２つの基板５１，５２（又は、基板５２，５３）の間に挿入してなければならない。
　一般的に、隣接する基板の収容間隔は、ラック５４の設置面積に対する収容可能な基板の枚数を密にするべくできるだけ短くなっている。これに対して、エンドエフェクトは、基板を挟持する機能をもたせたり、剛性を確保しなければならなかったりするため厚くなっている。そのため、２つの基板５１，５２（又は、基板５２，５３）の間に挿入しようとしても挿入できず、挿入できたとしても基板５１～５３等に当たってそれらを破損させる虞がある。そのため、ラック５４における基板の収容間隔を大幅に広げなければならず、そうすると、ラック５４の設置面積が大きくなってしまう。
　このような問題は、基板５１～５３を搬出する場合だけでなく、基板５１～５３を搬入する場合にも同様の問題が生じる。つまり、基板５１～５３を配列方向に順番に搬入する場合についても何ら問題がないが、２つの基板５１，５３が先にラック５４に搬入され、その後から基板５２を搬入する場合に搬出時と同様の問題が生じる。この問題を解消するためには、やはりラック５４における基板の収容間隔を大幅に広げなければならず、ラック５４の設置面積が大きくなってしまう。
　そこで本発明は、ラックの基板収容部にエンドエフェクトを挿入することなしに、板状部材の収納ピッチが密であっても間隔をあけた２つの板状部材の間に新たな板状部材を搬入し、また並んだ複数の板状部材の中から何れの板状部材でも搬出することができる板状部材移載設備を提供することを目的としている。
　本発明の板状部材移載設備は、支持部で支持されて搬送方向に延在するように立てられた複数の板状部材を前記搬送方向に交差する配列方向に並べて収納し、且つ前記複数の板状部材を前記搬送方向において夫々搬入及び搬出可能に構成されたラックと、前記板状部材を前記搬送方向において前記ラックに搬入し、また前記ラックから搬出する板状部材移載機構と、を備え、前記板状部材移載機構は、前記板状部材を支持し、前記搬送方向に平行な回動軸線回りに回動可能なフリップを有し、前記フリップを回動させて前記板状部材を立て又は倒すフリップ回動機構と、前記搬送方向に延在し、立った状態の前記板状部材を前記搬送方向に送る送り部が形成された搬送体を有する搬送機構と、前記フリップ回動機構及び前記搬送機構を配列方向に移動させる移送機構と、を備えており、前記搬送機構は、前記送り部により前記ラックと前記フリップとの間で前記板状部材を立った状態で受け渡しするように構成されているものである。
　本発明に従えば、板状部材移載機構は、フリップ回動機構によりフリップを回動させてフリップに支持されている板状部材を立てることができる。更に、このフリップ回動機構と搬送機構とをラックの配列方向の任意の位置に移動させ、立てた状態の板状部材を送り機構により搬送方向へと移動させることで板状部材をラックに搬入して収納することができる。このように板状部材移載機構は、水平状態の板状部材を立ててラックに挿入し、収納することができる。なお、本発明において、「水平状態」とは、真に水平な姿勢になっている状態だけでなく、水平な姿勢から多少傾いた状態のものも含む。
　また、本発明は、ラックの任意の位置までフリップ回動機構及び搬送機構を移動させて送り部を駆動することで、ラックに収納された板状部材を搬送方向に移動させてフリップ上に戻すことができる。板状部材がエンドエフェクトとしてのフリップに載り移った後、フリップ回動機構によりフリップを回動させて倒すことで板状部材を水平状態にすることができる。このように板状部材移載機構は、ラックに立てた状態で収納された板状部材を取り出して水平状態にすることができる。
　このように、本発明では、送り部により板状部材を搬送方向に移動させて受け渡しするので、板状部材を搬入及び搬出する際に搬送体やフリップをラックの基板収容部分に内に直に挿入する必要がない。これにより、設備の設置面積を低減すべく板状部材同士の間隔を狭くして板状部材の配列方向の収納ピッチを密にしても、従来技術のように収納された板状部材とエンドエフェクトとが接触して損傷させるような事態を生じることなく、２つの板状部材の間に新たな板状部材を搬入し、並んだ複数の板状部材の中から何れの位置の板状部材でも搬出することができる。それ故、確実にかつ迅速にラックに対する板状部材の搬入及び搬出を行なうことができる。
　上記発明において、前記搬送機構は、前記搬送体を前記フリップ側から搬送方向に移動させて前記ラック内まで延在させることができるように構成されていることが好ましい。
　上記構成に従えば、前記搬送体をラック内まで延在させることで、前記送り部により板状部材をラック内の奥の方まで移動させることができる。これにより、ラック内に搬送機構を設ける必要が無くなり、部品点数を削減することができる。これにより、製造コストを低減することができる。
　上記発明において、前記搬送機構は、前記搬送体を前記上下方向に移動可能に構成されていることが好ましい。
　上記構成に従えば、ラックの位置に合わせて搬送体を上下方向に移動させることで、板状部材を受け渡しする際の搬送体とラックとの間の段差をなくすことができる。これにより、板状部材がラック内で段差から落ちて損傷することを防ぐことができる。
　上記発明において、前記ラックは、複数の前記支持部が前記搬送方向に間隔をあけて配置され、前記搬送体の送り部は、該搬送体の前記搬送方向に点在するように配設された前記板状部材を前記搬送方向に送る複数の駆動部材を有し、前記搬送体には、前記複数の支持部に対応させて複数の凹部が形成され、隣接する該凹部の間に形成された凸部に少なくとも１つの前記駆動部材が設けられていることが好ましい。
　上記構成に従えば、搬送体をラック内に延在させた時に、搬送体の凹部に支持部を入れることで隣接する支持部の間から凸部に取付けられた駆動部材を表出させることができる。支持部の間から駆動部材を表出させることで、駆動部材によってラック内における板状部材の移動をスムーズに行うことができる。
　上記発明において、前記搬送機構は、前記搬送体が前記ラックの搬送方向手前側にある前記基準位置において前記凸部の上端が前記ラックの支持部より低く位置するように前記搬送体を位置させ、前記基準位置から前記搬送方向に前記搬送体を移動させて前記凹部が前記ラックの支持部の下方に位置させ、そこから前記搬送位置を上昇させて前記搬送体を前記駆動部材の上端が前記ラックの支持部より高く位置させるように構成されていることが好ましい。
　上記構成に従えば、搬送体の凹部に支持部を入れ、凸部に設けられている駆動部材を支持部から表出させることができる。
　上記発明において、前記フリップには、前記フリップを立てたときに前記板状部材を支持する支持部が設けられ、前記搬送機構は、前記搬送体が上昇すると、前記フリップの支持部に支持されている前記板状部材が前記駆動部材に載るように構成されていることが好ましい。
　上記構成に従えば、搬送体を上昇させると、板状部材が駆動部材に載せられる。このようにフリップを立てて搬送体を上昇させることで板状部材を駆動部材に載せることができるので、フリップと駆動部材との間の板状部材の受け渡しが容易である。
　上記発明において、前記フリップは、転動可能な複数の球面ローラを有し、前記複数の球面ローラにより前記板状部材の背面を支持するように構成されていることが好ましい。
　上記構成に従えば、板状部材が転動する球面ローラにより支持されているので、送り機構が板状部材を移動させる際に板状部材をフリップに立て掛けたままスライド移動させても滑らかに動かすことができる。これにより、ラックとフリップとの間で板状部材を受け渡しする際に、板状部材をフリップに沿ってスライド移動させることができフリップが倒れることを防ぐことができる。
　上記発明において、前記フリップ回動機構は、移動する際、前記フリップを回動させて該フリップに支持された前記板状部材を倒すように構成されていることが好ましい。
　上記構成に従えば、板状部材を倒した状態でフリップ回動機構を動かすので、板状部材が動くことで発生する風の風量を抑えることができる。移動時に生じる風は、ラックに並べて収納された板状部材をバタつかせ、また損傷させるおそれがあるが、本発明では風を抑えることができるので、このような板状部材のバタつきを抑え、板状部材の損傷を防ぐことができる。
　本発明によれば、ラックの基板収容部にエンドエフェクトを挿入することなしに、板状部材の収納ピッチが密であっても間隔をあけた２つの板状部材の間に新たな板状部材を搬入し、また並んだ複数の板状部材の中から何れの板状部材でも搬出することができる。
本発明の実施形態に係るストッカ設備を示す斜視図である。 図１に示すストッカ設備が備えるストッカを拡大して示す拡大斜視図である。 図２に示すストッカのフリップの動きを示す斜視図である。 図３に示すストッカのスライド部材の動きを示す斜視図である。 図１に示すストッカ設備が備えるラックを拡大して示す拡大斜視図である。 図５に示すラックの下端側支持体の一部を更に拡大して示す拡大斜視図である。 図５に示すラックの上端側支持体の一部を更に拡大して示す拡大斜視図である。 図１に示すストッカ設備において、ホイールコンベアにより搬送されてきたガラス板を下流側ストッパでとめた状態を示す斜視図である。 図８の状態からスライド装置により板状部材を前方へと送った後の状態を示す斜視図である。 図９の状態からフリップを立てたときの状態を示す正面図である。 図１０の状態からラックの収納位置の前までストッカを移動させたときの状態を拡大して示す拡大斜視図である。 図１１の状態におけるストッカ設備を正面から見た正面図である。 図１１の状態から左側のラックの下にスライド部材の一部を潜り込ませたときの状態を拡大して示す拡大斜視図である。 図１３の状態におけるストッカ設備を正面から見た正面図である。 図１３の状態からスライド部材を上昇させてラックとフリップとの間にスライド部材を渡した後の状態を右側から見た拡大斜視図である。 図１５の状態から支持部を下げてガラス板を駆動部材に載せた後の状態を右側から見た拡大斜視図である。 図１６の状態から駆動部材を回動させてガラス板をスライドさせたときの状態を拡大して示す拡大斜視図である。 図１７の状態におけるストッカ設備を正面から見た正面図である。 図１７の状態におけるストッカ設備を右側から見た拡大斜視図である。 図１７の状態から更にガラス板をスライド移動させてラックに収納し、スライド部材を下降させたときの状態を右側から見た拡大斜視図である。 図２０の状態からスライド部材を移動させて左側のラックの下にスライド部材の一部をもぐりこませた状態を正面から見た正面図である。 図２１の状態から左側のラックに収納されたガラス板をフリップへと移動させているときの状態を拡大して示す拡大正面図である。 図２２の状態におけるストッカ設備を正面から見た正面図である。 図２３の状態から更にガラス板をスライド移動させてフリップの前まで移動させたときの状態を正面から見た正面図である。 図２４の状態から支持部を上昇させて支持部にガラス板を載せた状態を示す拡大斜視図である。 図２５の状態からフリップを回動させて倒した状態を正面から見た正面図である。 図２６の状態からストッカを後方に移動させてガラス板をホイールコンベアまで移動させたときの状態を示す斜視図である。 図２７の状態からスライド装置によりガラス板を後方にスライド移動させた後の状態を示す斜視図である。 図２８の状態から下流側ストッパを下げてガラス板を下流側へ移動する時の状態を示す斜視図である。 複数の基板を収納する可能なラックを正面から見た正面図である。 図３０に示すラック及びエンドエフェクタを上方か見た平面図である。
　以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の実施形態に係るストッカ設備１について説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、ストッカ設備１に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明するストッカ設備１は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。
　［ストッカ設備］
　図１に示すように、ストッカ設備１は、１つの処理装置から別の処理装置に板状部材２を搬送する搬送路の途中に設けられ、搬送されてくる板状部材２を一時的に蓄えておくための設備である。板状部材２は、例えば太陽光パネルや液晶パネル等で使用される大型のガラス板であり、以下では、ガラス板２として説明する。但し、板状部材２は、大型のガラス板に限定されず、鋼板や樹脂板であってもよく、板状の部材であればよい。本実施形態において、ストッカ設備１は、１つの処理装置から別の処理装置にガラス板２を搬送するホイールコンベア３に設けられている。
　ホイールコンベア３は、回動可能な複数のホイール軸３ａを有している。ホイール軸３ａは、前後方向に延在し、図示しない駆動装置により回動されており、ホイールコンベア３は、複数のホイール軸３ａを回動させることによってその上に載置されたガラス板２を一方向（本実施形態では、左方向）に移動させるように構成されている。また、ホイールコンベア３は、下流側ストッパ部材３ｂを有している。下流側ストッパ部材３ｂは、隣接する２つのホイール軸３ａの間に前後方向に一列に並べられ、出没可能に設けられている。ホイールコンベア３は、下流側ストッパ部材３ｂをホイール軸３ａの間から突出させることでホイールコンベア３上を移動するガラス板２を停止位置にて止め、下流側ストッパ部材３ｂをホイール軸３ａの間に没入させることでガラス板２を停止位置から下流側へと移動することを許容するように構成されている。
　更に、ホイールコンベア３は、スライド装置３ｃと複数の位置合わせ部材３ｄとを有し、これらによりガラス板２の位置合わせを行う場合がある。スライド装置３ｃは、停止位置にあるガラス板２を前後方向にスライド移動させるように構成されている。複数の位置合わせ部材３ｄは、ホイールコンベア３の前側において左右方向に一列に並んでおり、隣接するホイール軸３ａの間に１つずつ配設されている。位置合わせ部材３ｄは、出没可能に構成されており、ホイール軸３ａの間から位置合わせ部材３ｄを突出させることで、スライド装置３ｃによりスライド移動させられるガラス板２を止めるように構成されている。
　ストッカ設備１は、停止位置にて止められたガラス板２をラック２１に収納するように構成されている。ストッカ設備１は、図１に示すようにストッカ４及びラック２１を備えている。
　＜ストッカ＞
　ストッカ４は、図２に示すように基台５を備えている。基台５は、基台駆動機構６上に取付けられ、基台駆動機構６により前後方向にスライド可能に構成されている。基台駆動機構６は、ケーシング６ａと駆動機構（図示せず）とを有している。ケーシング６ａは、前後方向に延在し、その中には、ボールねじ機構及びサーボモータ等により構成されている駆動機構が収納されている。このような構成を有する基台駆動機構６は、ホイールコンベア３付近から前方に延在しており、設置場所の床等に取付けられている。基台駆動機構６には、前述の通り、基台５がスライド移動可能に取付けられている（図２の矢符Ａ参照）。基台５は、大略的に直方体状に形成されている。基台５には、ヒンジ昇降機構７が設けられている。ヒンジ昇降機構７は、例えばピストン機構によって構成されている。ヒンジ昇降機構７には、ヒンジ９が取付けられており、ヒンジ９を上下方向に昇降させるように構成されている。基台５の後部には、いわゆるハンド又はエンドエフェクタの役目をするフリップ８がヒンジ９を介して取付けられている。
　フリップ８は、大略的に三叉状に形成され、その上に載置されるガラス板２を支持可能に構成されている。フリップ８は、基台５の後部にヒンジ９を介して取付けられ、ヒンジ９により回動軸線Ｌ１回りに回動可能に構成されている。ヒンジ９には、フリップ駆動機構１０が設けられている。フリップ駆動機構１０は、例えばサーボモータであり、フリップ８を回動軸線Ｌ１回りに回動させるように構成されている（図２の矢符Ｂ参照）。以下では、図２に示すようにフリップ８の姿勢が略水平になっている状態に基づいてフリップ８の構成について詳述する。
　フリップ８は、基端側（前側）に基部１１を有する。基部１１は、左右に延びる板状の部材であり、ヒンジ９を介して基台５に取付けられている。基部１１の上面１１ａには、３つの支持板１２が取り付けられている。支持板１２は、前後方向に延在する短冊状の板部材であり、その基端側が左右に略等間隔をあけて基部１１に固定されている。支持板１２の間隔は、ホイールコンベア３のホイール軸３ａの間隔に合わせられており、各支持板１２が隣接するホイール軸３ａの間に入れるようになっている。また、基部１１は、ストッパ１１ｂを有している。ストッパ１１ｂは、基部１１の下面１１ｃに下方に延在するよう形成され、基台駆動機構６のケーシング６ａに当たっている。ストッパ１１ｂは、ケーシング６ａに当たることで基部１１の下側への回動を規制し、支持板１２の先端側が下を向かないようにする機能を有している。
　支持板１２の上面１２ａ側には、複数の球面ローラ１３（本実施形態では、５つの球面ローラ１３）が取付けられている。複数の球面ローラ１３は、転動可能に支持板１２に取付けられ、前後方向に間隔をあけて配置されている。球面ローラ１３は、その一部分が支持板１２の上面１２ａから上方に突出して表出している。また、支持板１２の上面１２ａ側には、支持部１４が取付けられている。支持部１４は、球面ローラ１３より支持板１２の基端側に配置されており、上面１２ａから上方に突出している。支持部１４には、図示しないシリンダ機構が設けられており、シリンダ機構により前後方向に移動可能に構成されている。
　また、基台５の前部には、搬送機構１５が取付けられている。搬送機構１５は、スライド部材１６を有している。搬送体であるスライド部材１６は、左右横長の板状部材である。スライド部材１６は、スライド昇降機構１７を介して基台５の後部に取付けられている。スライド昇降機構１７は、例えばボールねじ機構及び空気圧シリンダから成り、スライド部材１６を左右方向（搬送方向）にスライド移動すると共にスライド部材１６を上下に昇降可能に構成されている（図２の矢符Ｃ及びＤ参照）。スライド部材１６の上部には、複数の凸部１６ａ（本実施形態では、６つの凸部１６ａ）が形成されている。凸部１６ａは、左右方向に略等間隔をあけて配置されている。隣接する凸部１６ａの間には、スライド部材１６を前後方向に貫通する凹所１６ｂが形成されている。凹所１６ｂは、その中に後述するラック２１の支持部材２６を入れられるように形成されている。
　スライド部材１６の後部には、複数の駆動部材１８が点在させて取付けられている。駆動部材１８は、例えばローラ又はベルトによって構成されている。本実施形態では、駆動部材１８がローラである場合について説明する。１２個の駆動部材１８がスライド部材１６に取付けられている。駆動部材１８は、前後方向に平行な回動軸線回りに回動可能に構成され、各凸部１６ａに２つずつ取付けられている。また、スライド部材１６には、回動連動機構１９が設けられている。回動連動機構１９は、例えばタイミングベルト等により構成される伝達機構とサーボモータから成り、スライド部材１６内に設けられている。回動連動機構１９は、複数の駆動部材１８を同一方向に連動して回動させ、駆動部材１８に載せられたガラス板２を左又は右方向に送るように構成されている（図２の矢符Ｅ参照）。
　また、ストッカ４は、各構成の動作を制御すべく制御装置２０を有している。制御装置２０は、基台駆動機構６、ヒンジ昇降機構７、フリップ駆動機構１０、スライド昇降機構１７、及び回動連動機構１９に信号配線を介して接続されている。制御装置２０は、予め記憶されたプログラムや図示しない入力手段により入力された指令に基づいて前記各機構６，７，１０，１５，１９に信号を送ってそれらの動作を制御する機能を有している。制御装置２０はこれら７つの機構６，７，１０，１５，１９の動作を制御することで、ストッカ４に以下のような機能を達成させる。以下では、ストッカ４の機能について図２乃至４を参照しながら説明する。
　ストッカ４は、図２に示すようにフリップ８を水平な状態に倒し、倒れたフリップ８をヒンジ昇降機構７により上昇させてフリップ８上にガラス板２を載せる機能を有する。また、ストッカ４は、ヒンジ９によりフリップ８を回動させる（図３参照）ことでフリップ８上のガラス板２を立てたり、水平な姿勢な状態（水平状態）に倒したりすることができる。なお、水平な状態とは、真に水平な状態だけでなく、真に水平な状態から多少傾いている状態も含む。更に、ストッカ４は、基台駆動機構６により基台５を動かすことでフリップ８に載っているガラス板２を前後方向に移動させる機能を有している。
　ストッカ４は、図４に示すようにスライド昇降機構１７によりスライド部材１６を左又は右方向にスライド移動させてスライド部材１６を上昇させる機能を有している。フリップ８を回動させて立てられたガラス板２の下端は、支持部１４により支持されており、ストッカ４は、支持部１４をシリンダ（図示せず）により下降させることで、そこに支持されたガラス板２をスライド部材１６の駆動部材１８上に載置する機能を有している。そして、ストッカ４は、回動連動機構１９により複数の駆動部材１８を回動させることでガラス板２を左又は右方向に送ることができるように構成されている。
　このように左及び右方向にガラス板２を送ることができるストッカ４の左右両側には、複数のラック２１（本実施形態では、３つのラック２１）が並べられている。ラック２１は、左右両側において、前後方向に一列に並べられており、本実施形態では、左右両側に夫々３つのラック２１が並べられている。各ラック２１の構成は、配置位置や向きを除いて全て同一である。以下では、１つのラック２１についてだけ説明し、その他のラック２１については、同一の符合を付してその説明を省略する。
　＜ラック＞
　ラック２１は、図５に示すように直方体状に枠組みされた枠体２２を有している。この枠体２２の下端側には、下端側支持体２３が固定され、上端側には、上端側支持体２４が取付けられている。下端側支持体２３は、平面視で枠体２２と同じ矩形状に枠組みされた外枠２５を有している。外枠２５には、複数の支持部材２６（本実施形態では３つの支持部材２６）が固定されている。支持部材２６は、前後方向に延在しており、外枠２５の前後にある部材に渡されている。複数の支持部材２６は、外枠２５において左右方向に互いに間隔をあけて位置しており、それらの間隔は、収納されるガラス板２の幅に応じて設定されている。また、支持部材２６は、上面に図６に示すような複数のセパレータ２６ａを有している。複数のセパレータ２６ａは、前後方向において略等間隔で配置されており、隣接する２つのセパレータ２６ａの間隔は、ガラス板２の厚みより少しだけ広くなっている。
　上端側支持体２４は、平面視で枠体２２と同じ矩形状に枠組みされた天枠２７を有している。天枠２７には、複数の梁部材２８（本実施形態では４つの梁部材２８）が固定されている。梁部材２８は、前後方向に延在しており、天枠２７の前後にある部材に渡されている。複数の梁部材２８は、左右方向に互いに間隔をあけて位置しており、それらの間隔は、収納されるガラス板２の幅に応じて設定されている。梁部材２８の下面には、図７に示すような複数の案内ローラ２８ａが取付けられている。複数の案内ローラ２８ａは、セパレータ２６ａに対応させて配置され、前後方向に略等間隔で位置している。このように構成される案内ローラ２８ａは、上下方向に延在する回動軸線回りに回動可能に梁部材２８に取付けられている。
　ラック２１では、隣接する２つのセパレータ２６ａの間にガラス板２の下端側が通され、隣接する２つの案内ローラ２８ａの間にガラス板２の上端側が通された状態で、ガラス板２が収納されている。これにより、ガラス板２が下端側支持体２３と上端側支持体２４との間に立てた状態で収納され、セパレータ２６ａと案内ローラ２８ａにより倒れないように支持されている。このように収納されているガラス板２の上端側は、その下端側が通されている２つのセパレータ２６ａの真上よりも若干後側に位置している２つの案内ローラ２８ａに通されており、ガラス板２は、後側に若干傾けた状態でラック２１に収納されている。また、ガラス板２は、２つのセパレータ２６ａの間及び案内ローラ２８ａの間に一枚一枚通されており、隣接するガラス板２同士がセパレータ２６ａ及び案内ローラ２８ａにより仕切られている。このように仕切ることで、ガラス板２が互いに接触することなく離し、前後方向（配列方向）に並べてラック２１に収容されている。
　このように複数のガラス板２を収納可能なラック２１では、上端側支持体２４が枠体２２に固定されておらず、上端側支持体２４の高さを調整できるように構成されている。上端側支持体２４の位置を調整する調整機構としては、図示しないボールねじ機構等の昇降機構が用いられる。なお、上端側支持体２４は、昇降機構を用いず手動で調整できるように構成されていてもよい。ラック２１では、収納したいガラス板２の高さに応じて上端側支持体２４の高さを調整機構により調整することで、ラック２１毎に収納可能なガラス板２の高さを変えることができる。
　本実施形態では、収納されるガラス板２の高さに応じて上端側支持体２４の高さが予め調整されている。各列において最も前側に位置するラック２１に収納するガラス板２は、他のラック２１に収納されるガラス板２よりも背が低くなっている（図５の２点鎖線で示す上端側支持体２４参照）。それ故、前側に位置するラック２１の上端側支持体２４は、他のラック２１の上端側支持体２４より低い位置に配置されている。このように、ラック２１では、収納するガラス板２の高さに応じて上端側支持体２４の高さを調整することができる。
　このように構成されるラック２１は、左右両側の何れか一方側にガラス板２が挿入される挿入口２１ａを有している。具体的には、ストッカ４の左側に配置されるラック２１の場合、挿入口２１ａは、ラック２１の右側に形成されており、ストッカ４の右側に配置されるラック２１の場合、挿入口２１ａは、ラック２１の左側に形成されている。つまり、挿入口２１ａは、ストッカ４に向いて開口している。ストッカ４は、このように構成される挿入口２１ａからガラス板２をラック２１に受け渡すように構成されている。以下では、ホイールコンベア３上を移動するガラス板２をラック２１に収容するストッカ４の動作について、図１、図２及び図８乃至図２０を参照しながら説明する。なお、図８以降の図面では、ホイール軸３ａの記載について省略している。
　＜ガラス板の収納動作＞
　制御装置２０は、ホイールコンベア３上を移動するガラス板２を受け取る前に、まず基台駆動機構６の動作を制御し、ストッカ４の基台５をホイールコンベア３付近まで移動させる。移動させた後、制御装置２０は、フリップ駆動機構１０の動作を制御してフリップ８を後側へと倒す。フリップ８を倒してフリップ８の姿勢を水平にした後、制御装置２０は、ヒンジ昇降機構７の動作を制御してフリップ８を下降させ、フリップ８の３つの支持板１２をホイール軸３ａの間に夫々入れる。この際、フリップ８は、球面ローラ１３がホイール軸のローラと面一又はそれよりも下側に位置するところまで下げられる。また、ホイールコンベア３は、移動してくるガラス板２をフリップ８上の所定の位置で止めるべく下流側ストッパ部材３ｂを上方に突出させている。そして、ストッカ４は、ホイールコンベア３上を移動してくるガラス板２が所定の位置に来るのを待つ。
　ホイールコンベア３は、ホイールコンベア３上を移動してきたガラス板２を下流側ストッパ部材３ｂによりフリップ８上で止める（図８参照）る。この際、所定の位置に対してガラス板２の位置が後方にずれている場合、ホイールコンベア３では選択的にスライド部材３ｃや位置合わせ部材３ｄを使用することがある。即ち、位置合わせ部材３ｄを突出させ、その後にホイールコンベア３は、スライド装置３ｃによりガラス板２を位置合わせ部材３ｄの方、つまり前側に移動させる（図９）。これにより、ガラス板２を所定の位置に確実に位置させることができる。
　このようにガラス板２が所定の位置まで来ると、制御装置２０は、ヒンジ昇降機構７によりフリップ８を上昇させ、フリップ８上にガラス板２を載せる。ガラス板２をフリップ８に載せた後、制御装置２０は、シリンダにより支持部１４を後側へと動かして支持部１４をガラス板２に当てる。支持部１４をガラス板２に当てた後、制御装置２０は、フリップ駆動機構１０によりフリップ８を角度α（図１参照）だけ回動させる。これにより、水平状態にあったフリップ８が角度αだけ起こされて支持部１４に載り、フリップ８から滑り落ちることが阻止される。なお、角度αは、フリップ８が少なくともホイールコンベア３から離れる（上方に位置する）程度の傾き角度に設定されている。
　制御装置２０は、フリップ８を起こすと、その状態維持しつつ基台駆動機構６により基台５を前側にスライド移動させる（図１及び図１０参照）。なお、図１０以降の図面（図１０、１２、１４、１８乃至２１、２３，２４及び２６）では、ストッカ４とラック２１との間におけるガラス板２の受け渡しを分かりやすくするために、ラック２１に収納されている他のガラス板２について省略して記載している場合がある。フリップ８の傾きを角度αに維持しながらスライド移動させることで、移動する際にフリップ８が引き起こす風の風量を少なくすることができる。これにより、ラック２１に収納されているガラス板２に作用する風量を低減し、基台５の移動時におけるガラス板２のバタつきが抑制できる。
　制御装置２０は、ガラス板２を収納すべきラック２１の収納位置の前までガラス板２を搬送すると、基台５を停止させる。なお、ガラス板２に、ＱＲコードや非接触型ＩＣ等のガラス板２の識別情報を示す識別子が取付けられている場合があり、その場合は、この識別子から識別情報を読み取ることで収納位置が決定されるようになっている。基台５を停止させた後、制御装置２０は、フリップ駆動機構１０によりフリップ８を略垂直になる角度βまで回動させて、ガラス板２を立てる（図１１及び図１２参照）。なお、角度βは、８５度以上９０度未満の範囲で設定される。但し、この角度βは、前記角度範囲に限定されない。
　フリップ８によりガラス板２を立てると、制御装置２０は、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を下降させ、複数の駆動部材１８をラック２１の下端側支持体２３よりも下側に位置させる。その後、制御装置２０は、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を収納すべきラック２１、つまり左側のラック２１の方へとスライド移動させる。制御装置２０は、スライド部材１６の左端側を下端側支持体２３の下側へと潜らせ、スライド部材１６の左端がガラス板２の左端を支持させる支持部材２６（本実施形態では、右から２番目の支持部材２６）まで到達すると、スライド昇降機構１７の動作を制御してスライド部材１６を停止させる（図１３及び図１４参照）。この際、制御装置２０は、下端側支持体２３に潜らせた部分にある凹所１６ｂが支持部材２６に平面視で重なるようにスライド昇降機構１７の動作を制御する。
　スライド部材１６を止めると、制御装置２０は、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を上昇させ、右側にある２つの支持部材２６の間にスライド部材１６の凸部１６ａを挿入する。更に上昇させていくと、前記２つの支持部材２６の間から駆動部材１８が突出して表出する。やがて駆動部材１８がセパレータ２６ａの上面と面一となる位置よりも少しだけ高い位置まで上昇すると、制御装置２０は、スライド昇降機構１７の動作を制御してスライド部材１６の上昇を止める（図１５参照）。このようにスライド部材１６をスライド移動させて上昇させることで、スライド部材１６の左端部がラック２１内に位置し、右端部側にフリップ８が位置するようになり、ラック２１とフリップ８との間にスライド部材１６が渡される。つまり、スライド部材１６がラック２１内に延在する。
　渡された直後では、支持部１４が駆動部材１８よりも高い位置にあり、支持部１４に支持されるガラス板２と駆動部材１８とが上下方向に離れている。そのため、制御装置２０は、スライド部材１６の上昇させた後、シリンダにより支持部１４をゆっくりと下降させる。下降させていくと、やがて駆動部材１８の上にガラス板２が載せられる。その後も、制御装置２０は、支持部１４を下降させていき、支持部１４をガラス板２から離す（図１６参照）。
　支持部１４からガラス板２が離れると、制御装置２０は、回動連動機構１９により駆動部材１８を反時計回りに回動させる。駆動部材１８が反時計回りに回動すると、その上に載せられたガラス板２が左側へと移動していく。この際、ガラス板２はフリップ８の方へと寄り掛かっているが、ガラス板２の背面が球面ローラ１３により支持されているので、ガラス板２は、後側や前側に倒れることなく滑らかに移動することができる。
　ガラス板２を左側へと移動させていくと、ガラス板２は、やがてラック２１の挿入口２１ａに挿入される（つまり、ラック２１に搬入される）。更に、移動させていくと、ガラス板２の上端部が挿入口２１ａに１番近い梁部材２８にある案内ローラ２８ａ（図１９において、手前側の案内ローラ２８ａ）によって案内され、この案内ローラ２８ａと隣接する案内ローラ２８ａとの間に嵌挿される。このようにガラス板２の上端部が２つの案内ローラ２８ａの間に嵌挿されることで、ガラス板２は、案内ローラ２８ａによって倒れないように支持される。
　嵌挿された後も、制御装置２０は、回動連動機構１９により駆動部材１８を反時計回りに回動させ、ガラス板２を左側へとスライド移動させる。ガラス板２が更に真直ぐ左側に進んでいくことで、更に左奥にある他の梁部材２８の案内ローラ２８ａの間にガラス板２の上端部が次々と嵌挿されていく（図１７乃至図１９参照）。その後も、制御装置２０は、回動連動機構１９により駆動部材１８を反時計回りに回動させる。ガラス板２が収納位置まで達すると、制御装置２０は、回動連動機構１９を制御して駆動部材１８の回動を止める。
　このようにガラス板２を収納位置まで移動させると、ガラス板２が２つの支持部材２６上に跨るように位置している。ここまで移動させると、制御装置２０は、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を下降させ、各支持部材にある隣接する２つのセパレータ２６ａの間にガラス板２の下端部をゆっくりと落とし込み、そしてガラス板２の下端部を支持部材２６に支持させる（図２０参照）。このように、ガラス板２は、その下端部が支持部材２６により下から支持され、また上端部が案内ローラ２８ａによって倒れないように支持されることで、ラック２１に収納される。ガラス板２をラックに収納した後も、制御装置２０は、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を下降させる。全ての駆動部材１８が下端側支持体２３の下側に抜けると、制御装置２０は、スライド部材１６の下降動作を止める。そして、制御装置２０は、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を右側にスライド移動させてスライド部材１６を中央まで戻す。
　＜ガラス板の取出し動作＞
　次に、反対側のラック２１（つまり右側のラック２１）からガラス板２を取り出す（つまり、ラック２１からガラス板２を搬出する）場合のストッカ４の動作について、図１、図２、及び図２１乃至図２９を参照しながら説明する。制御装置２０は、スライド部材１６を中央まで戻した後もそのまま右側にスライド移動させ右側のラック２１の下側に潜らせる。ガラス板２の右端を支持している支持部材２６（本実施形態では、左から２番目の支持部材２６）までスライド部材１６の右端が到達すると、制御装置２０は、スライド昇降機構１７の動作を制御してスライド部材１６のスライド移動を止める（図２１参照）。この際、制御装置２０は、下端側支持体２３に潜らせた部分にある凹所１６ｂが支持部材２６に平面視で重なるようにスライド昇降機構１７の動作を制御する。
　その後、制御装置２０は、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を上昇させ、左側にある２つの支持部材２６の間にスライド部材１６の凸部１６ａを挿入させる。そのまま上昇させて前記２つの支持部材２６の間から駆動部材１８を突出させて表出させると、ラック２１に収納されたガラス板２が駆動部材１８の上に載る。制御装置２０は、その後もスライド部材１６を上昇させ、駆動部材１８をセパレータ２６ａの上面と面一となる位置よりも少しだけ高い位置まで上昇させると、スライド昇降機構１７の動作を制御してスライド部材１６の上昇を止める。これにより、ガラス板２が載せられたスライド部材１６がラック２１とフリップ８との間に渡される。つまり、スライド部材１６がラック２１内に延在する。このようにスライド部材１６をラック２１内に延在させると、ガラス板２をラック２１内の奥の方まで移動させることができるようになり、ラック２１内に搬送機構を設ける必要が無くなる。これにより、ストッカ設備１の部品点数を削減することができ、ストッカ設備の製造コストを低減することができる。
　スライド部材１６の上昇を止めた後、制御装置２０は、回動連動機構１９により駆動部材１８を反時計回りに回動させ、その上に載せられたガラス板２を左側へと移動させる（図２２及び図２３参照）。この際、ガラス板２は、その上端が案内ローラ２８ａによって支持されながら左側に移動していく。やがて、ガラス板２の左端側がフリップ８に達すると、左端側が球面ローラ１３上に寄り掛かり、球面ローラ１３によって支持される。ガラス板２の右端側もラック２１から抜けると、ガラス板２は、球面ローラ１３だけで支持されるようになり、そのままフリップ８上の所定の位置まで移動させられる（図２４参照）。ガラス板２が所定の位置まで移動すると、制御装置２０は、回動連動機構１９の動作を制御して駆動部材１８の回動を止める。
　駆動部材１８を止めた後、制御装置２０は、シリンダにより支持部１４を上昇させ、支持部１４にガラス板２を載せる。制御装置２０は、そのまま支持部１４を上昇させ続けてガラス板２を駆動部材１８から離し、離れるとシリンダの動作を制御して支持部１４の上昇を止める（図２５参照）。その後、制御装置２０は、フリップ駆動機構１０によりフリップ８を角度αまで倒してから基台駆動機構６により基台５を後側にスライド移動させる（図２６参照）。基台５がホイールコンベア３まで到達すると、制御装置２０は、基台駆動機構６の動作を制御して基台５のスライド移動を止め、更にフリップ駆動機構１０の動作を制御してフリップ８を水平な状態になるまで倒す。
　フリップ８の姿勢が水平な状態になると、制御装置２０は、球面ローラ１３がホイール軸のローラと面一又はそれよりも下側に位置するところまでヒンジ昇降機構７によりフリップ８を下降させ、ガラス板２をホイールコンベア３上に載せる（図２７参照）。その後、ホイールコンベア３は、スライド装置３ｃによりガラス板２を後側に移動させて幅方向中央に戻す（図２８参照）。戻した後、ホイールコンベア３は、ガラス板２を下流側へと移動させる（図２９参照）。
　このようにストッカ設備１は、フリップ８とラック２１との間に渡されたスライド部材１６によりガラス板２をスライド移動させてラック２１の挿入口２１ａに挿入することで、ガラス板２をラック２１に収納することができる。この際、フリップ８により支持されているので、ガラス板２を倒すことなく立てた状態でラック２１に収納することができる。また、ラック２１に立てた状態で収納されるガラス板２を、フリップ８とラック２１との間に渡されたスライド部材１６によりスライド移動させてラック２１から取り出すことができる。
　このようにスライド部材１６によりガラス板２を左右方向に移動させて受け渡しするので、ガラス板２を搬入及び搬出する際に、スライド部材１６やフリップ８をラック２１の挿入口２１ａに直に挿入する必要がない。これにより、ストッカ設備１の設置面積を低減すべくガラス板２同士の間隔を狭くしてガラス板２の収納ピッチを密にしても、従来技術のような収納されたガラス板２とエンドエフェクトとが接触して損傷させるような事態を生じることなく、２つのガラス板２の間に新たなガラス板２を搬入し、また並んでいる複数のガラス板２の中から何れのガラス板２でも搬出することができる。それ故、確実にかつ迅速にラック２１に対するガラス板２の搬入及び搬出を行なうことができる。
　また、本実施形態のストッカ設備１では、ホイールコンベア３上を移動するガラス板２をストッカ４が下から掬って立て、そしてその状態でガラス板２を動かすようになっているので、フリップ８がガラス板２の上面（又は前面）に触れることがない。太陽光パネルや液晶パネルの場合、様々な構成がガラス板２の一表面に集められているので、ガラス板２の裏側だけに触れることができる。ストッカ設備１では、一表面を上にしてホイールコンベア３上を移動してくるガラス板２を下から掬って立てて、その状態のままガラス板２を動かす。それ故、ストッカ設備１では、ガラス板２をその一表面を上（又は前）にしてホイールコンベア３とラック２１との間を移動させることができ、ガラス板２上の構成を損傷させることなくガラス板２を移動させることができる。
　また、本実施形態のストッカ設備１では、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６を昇降させることで、ガラス板２とラック２１の下端側支持体２３との上下方向に位置を調整することができる。このように調整することができるので、制御装置２０は、ラック２１にガラス板２を受け渡しする際、スライド昇降機構１７によりスライド部材１６の駆動部材１８をセパレータ２６ａと面一となる位置よりも若干高くしてガラス板２をスライド移動させ、収納位置に達したところでガラス板２をゆっくりと下降させている。このようにガラス板２を下降させることにより、スライド部材１６とセパレータ２６ａとの間の段差をなくすことができ、ガラス板２が落下することを防ぐことができる。また、ガラス板２をセパレータ２６ａより高くすることで、受け渡しする際にガラス板２がラック２１上を摺りながら移動することを防ぐことができ。それ故、収納中にガラス板２が損傷したり、粉塵が発生したりすることを抑えられる。
　更に、本実施形態のストッカ設備１では、ストッカ４とラック２１との間でガラス板２の受け渡しをする際、間隔をあけて配置される２つの支持部材２６の間に凸部１６ａを入れている。それ故、駆動部材１８が支持部材２６の間から表出させることができる。これにより、ラック２１内でもガラス板２を左右方向にスムーズに移動させることができ、ラック２１とフリップ８との間のガラス板２の受け渡しをスムーズに行うことができる。
　なお、必ずしも、本実施形態のようにスライド部材１６の一部をラック２１に潜らせて重ねるような構成でなくても、収納位置までガラス板２を送ることができる。例えば、スライド部材１６の端部をラック２１の手前までスライド移動させてスライド部材１６をラック２１とフリップ８との間に渡すような構成であってもよい。この際、スライド部材１６とラック２１との間に隙間があっても、ラック２１とスライド部材１６との間でガラス板２を受け渡しできるような隙間であればよい。
　本実施形態のストッカ設備１では、フリップ８が複数の球面ローラ１３によりガラス板２を支持している。それ故、駆動部材１８によりガラス板２をスライド移動させる際、ガラス板２をフリップ８に立て掛けたままスライド移動させても滑らかに動かすことができ、これによりラック２１とフリップ８との間でガラス板２を受け渡しする際、ガラス板２が倒れることを防ぐことができる。また、フリップ８の支持板１２上を摺動させるとガラス板２が損傷したり、粉塵が発生したりするが、そのようなことも防ぐことができる。
　［その他の実施形態］
　本実施形態において、基台５を動かす際、ガラス板２が支持板１２に支持されているだけであるが、支持板１２に吸着機構を設けてガラス板２を吸着するようにしてもよい。また、吸着機構でなくチャック等を設けて、基台５を動かすときだけガラス板２をフリップ８に把持させるような構成であってもよい。
　また、本実施形態では、基台５を動かす際のフリップ８の傾きを角度αにしているが、必ずしもそのような角度に摺る必要はない。フリップ８の傾きを角度βにしてもよい。この際、制御装置２０が基台駆動機構６の動作を制御し、基台５の移動速度を遅くすることによってガラス板２が引き起こす風の風量を抑えることができる。
　また、前述するように駆動部材１８は、ローラに限らず、ベルト機構であってもよく、ガラス板２を左方向又は右方向にスライド移動させることができる構成であればよい。また、本実施形態では、フリップ８を角度αまで起こしたり倒したりしてから基台５をスライド移動させているが、基台５をスライド移動する際、必ずしもそのような動作をする必要はない。フリップ８を倒したまま基台５をスライド移動させて収納位置の前に到着した後に角度βまで起こしてもよい。また、収納されたガラス板２を受け取った後、フリップ８を角度βにしたまま基台５をスライド移動させてもよい。
　また、ラック２１には、案内ローラ２８ａが設けられているが、必ずしもローラである必要ない。例えば、セパレータ２６ａのような構成であってもよく、隣接して収納される２つのガラス板２を離しておくことができるような構成であればよい。またラック２１も上述するような形状でなくてもよい。
　本実施形態では、搬送機構１５が２つのラック２１の間に設けられているが、必ずしもその位置に限定されず、例えば、ラック２１の下に設けられてもよい。この場合、各ラック２１の下に基台５と同じ構成を有する別の移送装置が設けられ、搬送機構１５は、この移送装置により前後方向に移動可能に構成されている。この場合、基台５と移送装置により移送機構が構成されている。このように構成されるストッカ設備では、搬送機構１５のスライド部材１６がラック２１の下からフリップ８の方へとスライド移動し、スライド部材１６によってラック２１とフリップ８との間の受け渡しすることができる。
　また、本実施形態では、スライド昇降１７は、スライド部材１６を搬送方向にスライド移動するスライド機能を有しているが、必ずしもスライド機能を有していなくてもよい。この場合、ラック２１の下にもガラス板２を左右方向に送ることができる駆動部材を有する構造体を設ける。これにより、スライド部材１６の駆動部材１８によってラック２１に送られてくるガラス板１２を、ラック２１に設けられた駆動部材によってラック２１内でスライドさせることができる。更に、前述する移送機構を設けて構造体を前後方向に移動可能に構成し、スライド部材１６に対応させて前後方向に移動させることで、ガラス板２の収納位置毎に駆動部材を設ける必要がなくなり、部品点数を少なくすると共にガラス板２をより密に収納することができる。
　本発明は、板状部材を並べて収納可能なラックと、前記ラックに板状部材を挿入するストッカとを備えるストッカ設備に適用することができる。
　１　ストッカ設備
　２　ガラス板
　４　ストッカ
　５　基台
　６　基台駆動機構
　７　ヒンジ昇降機構
　８　フリップ
　１０　フリップ駆動機構
　１３　球面ローラ
　１４　支持部
　１５　搬送機構
　１６　スライド部材
　１６ａ　凸部
　１６ｂ　凹所
　１７　スライド昇降機構
　１８　駆動部材
　１９　回動連動機構
　２０　制御装置
　２１　　ラック
　２６　　支持部材

Claims (8)

  1. 　支持部で支持されて搬送方向に延在するように立てられた複数の板状部材を前記搬送方向に交差する配列方向に並べて収納し、且つ前記複数の板状部材を前記搬送方向に夫々搬入及び搬出可能に構成されたラックと、
    　前記板状部材を前記搬送方向に前記ラックに搬入し又は前記ラックから搬出する板状部材移載機構とを備える板状部材移載設備であって、
    　前記板状部材移載機構は、
    　前記板状部材を支持し、前記搬送方向に平行な回動軸線回りに回動可能なフリップを有し、前記フリップを回動させて前記板状部材を立て又は倒すフリップ回動機構と、
    　前記搬送方向に延在し、立った状態の前記板状部材を前記搬送方向に送る送り部が形成された搬送体を有する搬送機構と、
    　前記フリップ回動機構及び前記搬送機構を前記配列方向に移動させる移送機構と、を備えており、
    　前記搬送機構は、前記送り部により前記ラックと前記フリップとの間で前記板状部材を立った状態で受け渡しするように構成されている、板状部材移載設備。
  2. 　前記搬送機構は、前記搬送体を前記フリップ側から搬送方向に移動させて前記ラック内まで延在させることができるように構成されている、請求項１に記載の板状部材移載設備。
  3. 　前記搬送機構は、前記搬送体を前記上下方向に移動可能に構成されている、請求項１又は２に記載の板状部材移載設備。
  4. 　前記ラックは、複数の前記支持部が前記搬送方向に間隔をあけて配置され、
    　前記搬送体の送り部は、該搬送体の前記搬送方向に点在するように配設された前記板状部材を前記搬送方向に送る複数の駆動部材を有し、
    　前記搬送体には、前記複数の支持部に対応させて複数の凹部が形成され、隣接する該凹部の間に形成された凸部に少なくとも１つの前記駆動部材が設けられている、請求項３に記載の板状部材移載設備。
  5. 　前記搬送機構は、前記搬送体が前記ラックの搬送方向手前側にある基準位置において前記凸部の上端が前記ラックの支持部より低く位置するように前記搬送体を位置させ、前記基準位置から前記搬送方向に前記搬送体を移動させて前記凹部を前記ラックの支持部の下方に位置させ、そこから前記搬送位置を上昇させて前記駆動部材の上端が前記ラックの支持部より高く位置せるように構成されている、請求項４に記載の板状部材移載設備。
  6. 　前記フリップには、前記フリップを立てたときに前記板状部材を支持する支持部が設けられ、
    　前記搬送機構は、前記搬送体が上昇すると、前記支持部に支持されている前記板状部材が前記駆動部材に載るように構成されている、請求項５に記載の板状部材移載設備。
  7. 　前記フリップは、転動可能な複数の球面ローラを有し、前記複数の球面ローラにより前記板状部材の背面を支持するように構成されている、請求項１乃至６の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
  8. 　前記フリップ回動機構は、移動する際に前記フリップを回動させて該フリップに支持された前記板状部材を倒すように構成されている、請求項１乃至７の何れか１つに記載の板状部材移載設備。
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