CN110294325B - 一种基板移载装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板制造技术领域，尤其涉及一种基板移载装置。本发明提供了一种基板移载装置，包括工作台、移动模组和吸取模组，移动模组设置在工作台上，吸取模组被配置为吸取竖向设置的待移载的基板，移动模组能够驱动吸取模组靠近并吸附竖向排列的基板的侧部、驱动吸取模组拖动待移载基板移动。本发明提供的基板移载装置，能够从竖向排列的基板中移载相应的基板，可替代人工作业，提高工作效率，降低劳动强度。

Description

一种基板移载装置

技术领域

本发明涉及基板搬运技术领域，尤其涉及一种基板移载装置。

背景技术

在显示基板的生产过程中，经常需要对类型的基板进行移载，以将基板从一个位置移载到另外一个位置。以显示基板所需的光罩基板或掩膜基板为例，目前大都采用人工手动进行基板移载，但光罩基板或掩膜基板通常较重且较为昂贵，人工搬运困难，工作效率低，且容易产生碰撞造成瑕疵等。

而现有技术中的机械手通常通过可以自动吸附或夹持显示基板以对显示基板进行移载，但是，现有的机械手只能吸附或夹持较为新型的玻璃基板，对于重量较大的光罩基板或掩膜基板通常难以搬运。

因此，亟待需要一种基板移载装置以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板移载装置，能够从竖向排列的基板中移载相应的基板，可替代人工作业，提高工作效率，降低劳动强度。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种基板移载装置，包括工作台、移动模组和吸取模组，所述移动模组设置在所述工作台上，所述吸取模组被配置为吸取竖向设置的待移载的基板，所述移动模组能够驱动所述吸取模组靠近并吸附竖向排列的所述基板的侧部、驱动所述吸取模组拖动待移载的所述基板移动。

进一步地，所述移动模组包括第一移动机构和第二移动机构，所述第二移动机构被配置为驱动所述吸取模组沿第一方向移动；所述第一移动机构被配置为驱动所述第二移动机构携带所述吸取模组沿第二方向移动，所述第二方向为所述吸取模组从多个竖向排列的所述基板的侧部插入或退出的方向，所述第一方向垂直于所述第二方向。

进一步地，所述移动模组还包括第三移动机构，所述第三移动机构设置在所述第二移动机构上，且所述第三移动机构能够沿所述第二方向移动。

进一步地，所述第一移动机构包括第一驱动组件和第一滑台，所述第一驱动组件能够驱动所述第一滑台沿所述第一方向移动。

进一步地，第一驱动组件包括第一驱动器、齿轮和齿条，所述齿条设置在所述工作台上，所述齿轮能够与所述齿条相啮合，所述第一驱动器设置在所述第一滑台上并能够驱动所述齿轮转动以带动所述第一滑台沿所述第一方向移动。

进一步地，所述第二移动机构包括第二驱动组件和第二滑台，所述第二驱动组件设置在所述第一滑台上，且所述第二驱动组件能够驱动所述第二滑台沿所述第二方向移动。

进一步地，所述第二驱动组件包括第二驱动器、皮带轮和皮带，所述第二驱动器设置在所述第一滑台上，所述第二滑台固定设置在所述皮带上，所述第二驱动器能够驱动皮带轮转动以使所述皮带带动所述第二滑台沿所述第二方向移动。

进一步地，所述第三移动机构包括第三驱动组件和第三滑台，所述第三驱动组件设置在所述第二滑台上，所述第三驱动组件能够驱动所述第三滑台沿所述第二方向移动。

进一步地，还包括：

承载模组，设置在所述工作台上，所述承载模组包括承载平台，所述承载平台被配置为承载所述吸取模组吸取的所述基板。

进一步地，所述承载模组还包括第四驱动组件，所述第四驱动组件设置在所述承载平台上，且所述第四驱动组件能够驱动所述承载平台沿所述第一方向移动。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

本发明提供了一种基板移载装置，包括工作台、移动模组和吸取模组，移动模组设置在工作台上，吸取模组被配置为吸取竖向设置的待移载的基板，移动模组能够驱动吸取模组靠近并吸附竖向排列的基板的侧部、驱动吸取模组拖动待移载的基板移动。本发明提供的基板移载装置，能够从竖向排列的基板中移载相应的基板，可替代人工作业，提高工作效率，降低劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的基板移载装置和基板小车一个方向的结构示意图；

图2为本发明提供的基板移载装置和基板小车另一个方向的结构示意图；

图3为本发明提供的移动模组一个方向的结构示意图；

图4为本发明提供的移动模组另一个方向的结构示意图；

图5为本发明提供的承载模组的结构示意图。

附图标记：

100-基板；200-基板小车；

1-工作台；11-第一导轨；12-第二导轨；

2-移动模组；21-第一移动机构；211-第一滑台；212-第一驱动器；213-齿条；22-第二移动机构；221-第二滑台；222-第二驱动器；23-第三移动机构；231-第三滑台；232-第三驱动器；

3-吸取模组；

4-承载模组；41-承载平台；42-承载框架；43-挡板；44-第四驱动器；45-翻转机构。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或是本产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，或者用于区分不同结构或部件，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1所示，在基板100生产制造过程中，基板100竖向设置在基板小200车中。

本实施例提供了一种基板移载装置，包括工作台1、移动模组2和吸取模组3，移动模组2设置在工作台1上，吸取模组3被配置为吸取竖向设置的带移载基板100，移动模组2能够驱动吸取模组3靠近并吸附竖向排列的基板100的侧部、驱动吸取模组3拖动带移载基板100移动。本实施例提供的基板移载装置，能够从竖向排列的基板100中移载相应的基板100，可替代人工作业，提高工作效率，降低劳动强度。

优选地，移动模组2包括第一移动机构21和第二移动机构22，第二移动机构22被配置为驱动吸取模组3沿第一方向移动；第一移动机构21被配置为驱动第二移动机构22携带吸取模组3沿第二方向移动，第二方向为吸取模组3从多个竖向排列的基板100的侧部插入或退出的方向，第一方向垂直于第二方向。

需要说明的是，如图2所示，在本实施例中，“第一方向”指沿工作台1的前后方向，调整吸取模组3的第一方向以便于按照预定顺序吸取相应的基板100；“第二方向”指沿工作台1的左右方向，即吸取模组3从多个竖向排列的基板100的侧部插入或退出基板小车200的方向，调整吸取模组3的第二方向以便将吸取模组3伸入基板小车200中吸取基板100。

优选地，如图3-图5所示，移动模组2包括第一移动机构21和第二移动机构22，第一移动机构21设置在工作台1上且能够沿工作台1的第一方向移动，第二移动机构22设置在第一移动机构21上，且第二移动机构22能够沿工作台1的第二方向移动。示例性地，可将吸取模组3设置在第二移动机构22上，从而能够调整第一移动机构21以实现吸取模组3在第一方向的移动，以与特定的基板100对准；调整第二移动机构22以实现将吸取模组3伸入基板小车200吸取相应的基板100。

可选地，为了实现第一移动机构21在第一方向的位置调整，第一移动机构21包括第一驱动组件和第一滑台211，第一驱动组件能够驱动第一滑台211沿第一方向移动。

示例性地，第一驱动组件包括第一驱动器212、齿轮和齿条213，齿条213固定设置在工作台1上，齿轮能够与齿条213相啮合，第一驱动器212设置在第一滑台211上并能够驱动齿轮转动以带动第一滑台211沿第一方向移动。简而意之，第一驱动器212设置在第一滑台211上，第一驱动器212驱动齿轮转动时，齿轮与固定在工作台1上的齿条213相啮合，从而实现齿轮沿着齿条213滚动，即实现第一滑台211沿着齿轮移动。该齿轮齿条213结构紧凑，且便于精确控制第一滑台211的移动行程，以快速准确地吸取基板100。

可选地，第一驱动器212为电机，可以为伺服电机。

示例性地，在其他实施例中，第一驱动组件还可以是直线气缸，直线气缸的输出端与第一滑台211相连接，只要能够实现第一滑台211相对于工作台1沿第一方向移动即可，在此不再一一举例说明。

优选地，为了保证第一滑台211的稳定移动，在工作台1上还设置有沿第一方向延伸的第一导轨11，第一滑台211上设置有导向槽，导向槽能够与第一导轨11相配合，一方面便于支撑第一滑台211，另一方面便于第一滑台211沿第一方向稳定移动。

可选地，第一导轨11的数量为两条，以更好地支撑第一滑台211，同时保证第一滑台211受力均匀以稳定移动。在其他实施例中，第一导轨11的数量还可以是多条，可根据第一滑台211的尺寸及需要进行设计，在此不再一一举例说明。

可选地，为了实现第二移动机构22在第二方向的位置调整，同时保证第二移动机构22也能够在第一方向上进行位置调整，第二移动机构22包括第二驱动组件和第二滑台221，第二驱动组件设置在第一滑台211上，且第二驱动组件能够驱动第二滑台221沿第二方向移动。换而言之，第二移动机构22设置在第一滑台211上，第一滑台211移动沿第一方向移动时能够带动第二移动机构22在第一方向上移动。第二驱动组件也能够驱动第二移动机构22的第二滑台221沿第二方向移动。该设计能够使吸取模组3吸取任意位置的基板100，提高自动化程度，降低劳动强度。

示例性地，第二驱动组件包括第二驱动器222、皮带轮和皮带，第二驱动器222设置在第一滑台211上，第二滑台221固定设置在皮带上，第二驱动器222能够驱动皮带轮转动以使皮带带动第二滑台221沿第二方向移动。简而言之，第二滑台221设置在皮带上，皮带套在至少两个皮带轮上，至少两个皮带轮沿工作台1的第二方向排列布置，第二驱动器222通过驱动皮带轮转动从而带动皮带转动，表现为第二滑台221随皮带一起移动。该皮带轮皮带结构能够保证第二滑台221移动的稳定性，以避免吸取基板100移动过程中擦伤基板100。

可选地，第二驱动器222为电机，可以为伺服电机。

示例性地，第二驱动组件还可以通过直线电机实现第二滑台221的移动，在此不再一一举例说明。

可选地，为了扩大移动模组2在第二方向上的运动范围，移动模组2还包括第三移动机构23，第三移动机构23设置在第二移动机构22上，且第三移动机构23能够沿工作台1的第二方向移动，即吸取模组3的第二方向的运动行程为第二移动机构22和第三移动机构23的叠加。

当然，在其他实施例中，为了扩大移动模组2在第一方向上的运动范围，移动模组2还可以包括第四移动机构，第四移动机构能够沿第一方向运动，即吸取模组3的第一方向的运动行程为第一移动机构21和第四移动机构的叠加。

优选地，第三移动机构23包括第三驱动组件和第三滑台231，第三驱动组件设置在第二滑台221上，第三驱动组件能够驱动第三滑台231沿第二方向移动。

示例性地，第三驱动组件包括第三驱动器232、皮带轮和皮带，第三驱动器232设置在第二滑台221上，第三滑台231固定设置在皮带上，第三驱动器232能够驱动皮带轮转动以使皮带带动第三滑台231沿第二方向移动。简而言之，第三滑台231设置在皮带上，皮带套在至少两个皮带轮上，至少两个皮带轮沿工作台1的第二方向排列布置，第三驱动器232通过驱动皮带轮转动从而带动皮带转动，表现为第三滑台231随皮带一起移动。该皮带轮皮带结构能够保证第二滑台221移动的稳定性，以避免吸取基板100移动过程中擦伤基板100。

可选地，第三驱动器232为电机，可以为伺服电机。

优选地，吸取模组3设置在第三滑台231上，从而实现吸取模组3在第二方向上的移动范围增大。

可选地，该基板移载装置还包括承载模组4，承载模组4设置在工作台1上，承载模组4包括承载平台41，承载平台41被配置为承载吸取模组3吸取的基板100。

优选地，为了使承载模组4能够，承载模组4还包括第四驱动组件，第四驱动组件设置在承载平台41上，且第四驱动组件能够驱动承载平台41沿第一方向移动，以便于靠近基板100。

示例性地，第四驱动组件包括第四驱动器44、齿轮和齿条213，齿条213固定设置在工作台1上，齿轮能够与齿条213相啮合，第四驱动器44设置在承载平台41上并能够驱动齿轮转动以带动承载平台41沿第一方向移动。简而意之，第四驱动器44设置在承载平台41上，第四驱动器44驱动齿轮转动时，齿轮与固定在工作台1上的齿条213相啮合，从而实现齿轮沿着齿条213滚动，即实现承载平台41沿着齿轮移动。该齿轮齿条213结构紧凑，且便于精确控制承载平台41的移动行程，以快速准确地吸取基板100。

需要说明的是，在本实施例中，第四驱动组件和第一驱动组件中的齿条213可以为同一根齿条213。

优选地，为了保证承载平台41的稳定移动，在工作台1上还设置有沿第一方向延伸的第二导轨12，承载平台41上设置有导向槽，导向槽能够与第二导轨12相配合，一方面便于支撑承载平台41，另一方面便于承载平台41沿第一方向稳定移动。

可选地，第二导轨12的数量为两条，以更好地支撑承载平台41，同时保证承载平台41受力均匀以稳定移动。在其他实施例中，第二导轨12的数量还可以是多条，可根据承载平台41的尺寸及需要进行设计，在此不再一一举例说明。

可选地，第四驱动器44为电机，可以为伺服电机。

具体而言，承载平台41包括承载框架42，承载框架42的上端设置有挡板43，挡板43能够与基板100的上端抵接。承载框架42上还设置有吸盘能够吸取基板100，当吸取模组3将基板100移出基板小车200至承载框架42的位置时，承载框架42上的吸盘吸取基板100，以更好地固定基板100。

可选地，承载模组4还包括翻转机构45，翻转机构45与承载框架42相连接，且能够驱动承载框架42连同基板100一起转动，以便于下一工序操作。

示例性地，翻转机构45包括转盘和驱动电机，转盘与承载框架42固定连接，驱动电机能够驱动转盘转动，从而带动承载框架42转动。

优选地，在本实施例中，吸取模组3包括电磁铁，电磁铁被配置为吸取基板100。通过电磁铁吸附基板100，一方面电磁铁的吸引力大，可通过设置少量的电磁铁即可吸取并移动基板100，从而减小了吸取模组3的结构尺寸，以便于吸取模组3顺利进入基板小车200中，吸取任一特定基板100；另一方面，电磁铁便于安装，且其吸引力也便于控制，能够提高工作效率。

当然，在其他实施例中，吸取模组3还可以采用真空吸盘。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (6)

1.一种基板移载装置，其特征在于，包括工作台(1)、移动模组(2)和吸取模组(3)，所述移动模组(2)设置在所述工作台(1)上，所述吸取模组(3)被配置为吸取竖向设置的待移载的基板(100)，所述移动模组(2)能够驱动所述吸取模组(3)靠近并吸附竖向排列的所述基板(100)的侧部、驱动所述吸取模组(3)拖动待移载的所述基板(100)移动；

所述基板(100)竖向设置在基板小车(200)中，多个所述基板(100)在所述基板小车(200)中沿第一方向平行设置；

所述移动模组(2)包括第一移动机构(21)和第二移动机构(22)，所述第二移动机构(22)被配置为驱动所述吸取模组(3)沿第二方向移动；所述第一移动机构(21)被配置为驱动所述第二移动机构(22)携带所述吸取模组(3)沿所述第一方向移动，以便于吸取模组(3)按照预定顺序吸取相应的所述基板(100)，所述第二方向为所述吸取模组(3)从多个竖向排列的所述基板(100)的侧部插入或退出的方向，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述移动模组(2)还包括第三移动机构(23)，所述第三移动机构(23)设置在所述第二移动机构(22)上，且所述第三移动机构(23)能够驱动所述吸取模组(3)相对所述第二移动机构(22)沿所述第二方向移动；

承载模组(4)，设置在所述工作台(1)上，所述承载模组(4)包括承载平台(41)和第四驱动组件，所述承载平台(41)被配置为承载所述吸取模组(3)吸取的所述基板(100)，所述第四驱动组件设置在所述承载平台(41)上，以驱动所述承载平台(41)沿所述第一方向移动。

2.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述第一移动机构(21)包括第一驱动组件和第一滑台(211)，所述第一驱动组件能够驱动所述第一滑台(211)沿所述第一方向移动。

3.根据权利要求2所述的基板移载装置，其特征在于，第一驱动组件包括第一驱动器(212)、齿轮和齿条(213)，所述齿条(213)设置在所述工作台(1)上，所述齿轮能够与所述齿条(213)相啮合，所述第一驱动器(212)设置在所述第一滑台(211)上并能够驱动所述齿轮转动以带动所述第一滑台(211)沿所述第一方向移动。

4.根据权利要求3所述的基板移载装置，其特征在于，所述第二移动机构(22)包括第二驱动组件和第二滑台(221)，所述第二驱动组件设置在所述第一滑台(211)上，且所述第二驱动组件能够驱动所述第二滑台(221)沿所述第二方向移动。

5.根据权利要求4所述的基板移载装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括第二驱动器(222)、皮带轮和皮带，所述第二驱动器(222)设置在所述第一滑台(211)上，所述第二滑台(221)固定设置在所述皮带上，所述第二驱动器(222)能够驱动皮带轮转动以使所述皮带带动所述第二滑台(221)沿所述第二方向移动。

6.根据权利要求5所述的基板移载装置，其特征在于，所述第三移动机构(23)包括第三驱动组件和第三滑台(231)，所述第三驱动组件设置在所述第二滑台(221)上，所述第三驱动组件能够驱动所述第三滑台(231)沿所述第二方向移动。

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