CN212623568U - 一种全自动双面曝光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种全自动双面曝光机，其包括上料装置、下料装置，其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作，所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装。本实用新型采用双台面，共用一个曝光系统，配合翻转搬运组件和转移搬运组件，对双台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的两个曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高。

Description

一种全自动双面曝光机

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，具体是一种全自动双面曝光机。

背景技术

随着科学技术的发展，工业生产越来越智能化，越来越多的工作由机械组件构成的自动化装置替代了人工操作，自动化装置定位更加准确，并且减少了人力成本，得到了广泛应用。

在曝光领域，自动化设备也得到了广泛的应用，利用放板装置和收板装置对基件进行上下料，利用移载机械手在放板装置、曝光机和收板装置的各个工位之间转移基件。通常，在所述曝光机的侧边设置驱动移载机械手滑动的驱动组件，所述移载机械手通过单臂支撑，通过驱动组件滑动，稳定性差。

为了适应电子产品智能化和小型化的发展，电子电路板的加工不再只限于对基件的单面进行曝光处理，而通常需要对基件的双面进行电子电路的曝光处理。而目前对基件进行双面处理时，通常需要两台曝光机，第一曝光机和第二曝光机，所述第一曝光机包括第一对位机构和第一曝光系统，所述第二曝光机包括第二对位机构和第二曝光系统，位于所述第一曝光机和所述第二曝光机之间的翻板机，翻板机位于第一曝光机的出料端和第二曝光机的进料端之间，上料装置位于第一曝光机的前端，下料装置位于第二曝光的后端。对基件进行曝光时，先通过第一曝光机对基件的第一曝光面进行对位曝光操作，然后通过机械手将完成第一曝光面曝光的基件转移至翻板机，翻板机将基件翻转至未曝光的第二曝光面朝上，通过机械手转移至第二曝光机对基件的第二曝光面进行曝光。这种双面曝光的方式虽然实现了双面曝光的自动化，但是需要两个对位机构和两个曝光系统分别进行对位和曝光，整个自动化系统占用空间大、成本高。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种自动化程度高、占用空间小的全自动双面曝光机。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：一种全自动双面曝光机，其包括上料装置、下料装置，其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作，所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装。

进一步的，所述全自动双面曝光机还包括顶部输送组件，所述顶部输送组件设置于所述曝光系统的上方，用于在所述第一台面和所述第二台面之间输送基件。

进一步的，所述顶部输送组件还包括清洁装置。

进一步的，所述顶部输送组件靠近所述第二台面侧包括定位装置。

进一步的，所述第一台面侧具有翻转搬运组件和转移搬运组件，所述翻转搬运组件负责搬运上料装置上的待曝光基件，以及将第一面曝光完成的基件自第一台面移出并翻转；所述转移搬运组件自所述翻转搬运组件移出所述第一面曝光完成的基件。

进一步的，所述第二台面侧具有第二转移搬运组件，用于移动第一面曝光完成的基件至第二台面，以及移动双面曝光完成的基件至下料装置。

进一步的，所述第二台面侧具有第二翻转搬运组件，用于第二台面的上下料。

进一步的，所述支架横跨所述全自动双面曝光机，分别设置于第一台面侧和第二台面侧。

进一步的，所述支架包括位于两端的竖向滑轨和位于中间位置的竖向滑轨，所述翻转搬运组件沿所述两端的竖向滑轨竖向滑动，所述转移搬运组件沿中间位置的竖向滑轨竖向滑动。

进一步的，所述支架包括位于中间位置的竖向滑轨，所述转移搬运组件沿中间位置的竖向滑轨竖向滑动。

进一步的，所述翻转搬运组件包括纵向移动的延伸部，连接延伸部横向转轴，通过固定件固定于转轴上的歧管，所述歧管在所述固定件两端相对设置，歧管上设有多个吸附件。

进一步的，所述翻转搬运组件包括延伸部，连接延伸部的横向转轴，通过固定件固定于横向转轴上的歧管，所述歧管在所述固定件两端相对设置，歧管上设有多个吸附件。

进一步的，所述延伸部位于所述横向转轴的两端，夹持所述横向转轴。

进一步的，所述固定件包括至少一个滑块，所述至少一个滑块能够相对所述转轴滑动。

进一步的，所述吸附件在歧管的两侧错位设置。

进一步的，所述支架与所述转移搬运组件和翻转搬运组件对应设置，所述支架包括相对设置的竖向支架，所述竖向支架滑动设置于支撑所述支架的框架，带动所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件纵向滑动。

进一步的，所述支架的驱动件设置于所述支架的上方，通过横向支架连接所述竖向支架；或者所述支架的驱动件设置于所述框架，驱动所述支架滑动。

进一步的，所述转移搬运组件包括延展部，所述翻转搬运组件包括延伸部，所述延展部和延伸部纵向移动。

进一步的，所述第一台面和所述第二台面共用导轨，所述第一台面和第二台面的初始位置在曝光系统的两侧，其在初始位置至曝光位置往复运动。

进一步的，所述第一台面和所述曝光系统之间设有第一对位系统，所述第二台面和所述曝光系统之间设有第二对位系统。

本实用新型采用双台面，分别设置对位系统，并共用一个曝光系统，配合翻转搬运组件和转移搬运组件，对双台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的两个曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高，同时，所述曝光系统固定设置对两个台面进行曝光，曝光系统的性能稳定。通过一个曝光机一次流转完成基件的双面曝光。

附图说明

图1为本实用新型全自动双面曝光机第一实施例的示意图。

图2为本实用新型翻转搬运组件示意图。

图3为本实用新型全自动双面曝光机第二实施例的示意图。

图4为本实用新型全自动双面曝光机第二实施例的顶视图。

图5为本实用新型全自动双面曝光机工作流程示意图（一）。

图6为本实用新型全自动双面曝光机工作流程示意图（二）。

图7为本实用新型全自动双面曝光机工作流程示意图（三）。

具体实施方式

为了清楚的描述本实用新型，下面根据具体实施例进一步说明。

如图1-2所示，本实用新型所提供的全自动双面曝光机包括上料装置1、第一台面2、第一对位系统3、曝光系统4、第二对位系统5、第二台面6、下料装置7。所述曝光系统4位于第一台面2和第二台面6之间，所述第一台面2和所述第二台面6能够从所述曝光系统4的两侧分别移动至所述曝光系统4下方进行曝光操作，所述第一对位系统3位于所述第一台面2和所述曝光系统4之间，所述第二对位系统5位于所述第二台面6和所述曝光系统4之间。所述第一台面2和所述第二台面6共用纵向延伸的导轨，所述第一台面2和第二台面6的初始位置在曝光系统4的两侧，其在初始位置和曝光位置往复运动。

所述上料装置1用于存放和/或输送待曝光基件，所述待曝光的基件包括相对的待曝光的第一曝光面和第二曝光面，所述下料装置7用于存放和/或输送第一曝光面和第二曝光面均已完成曝光的基件，所述基件通过第一台面移动至曝光系统4的下方以进行第一曝光面曝光处理，通过第二台面移动至曝光系统4的下方以进行第二曝光面曝光处理。

所述上料装置1、第一台面2、第二台面6和所述下料装置7之间通过转移搬运组件8和翻转搬运组件9移动基件，所述转移搬运组件8和所述翻转搬运组件9通过支架10固定安装。所述支架10包括横向固定架101和竖向固定架102，所述竖向固定架102位于所述横向固定架101的两端，垂直于所述第一台面2和所述第二台面6，所述横向固定架101平行于所述曝光系统4。若所述支架10安装翻转搬运组件9，所述支架10两侧的竖向固定架102设置有竖向延伸的竖向滑轨103，所述翻转搬运组件9沿所述竖向滑轨滑动103。若所述支架10安装转移搬运组件8，所述支架10的横向固定架102的中间位置设置有竖向延伸的竖向滑轨103，所述转移搬运组9件沿所述竖向滑轨滑动103。若所述支架10安装所述翻转搬运组件9和所述转移搬运组件8，则所述支架10的两侧的竖向固定架102设置有竖向延伸的竖向滑轨103，所述支架10的横向固定架101的中间位置设置有竖向延伸的竖向滑轨103。

所述转移搬运组件8包括延展部80，所述翻转搬运组件9均包含延伸部90，所述延展部80和所述延伸部90纵向移动，在所述上料装置1、第一台面2、第二台面6和下料装置7之间转移所述基件。所述延伸部90和所述延展部80沿所述支架的竖向滑轨竖向103滑动，实现上下移动。

所述第一台面2和所述第二台面6之间可以直接通过转移搬运组件8移动基件；也可以在所述第一台面2和第二台面6之间，位于所述曝光系统4上方设置有顶部输送组件11，这样可以缩短所述转移搬运组件8或者所述翻转搬运组件9延伸的距离，更好的保证所述转移搬运组件8和所述翻转搬运组件9的稳定性。

为了避免基件所处环境清洁度不佳以及在基件移动过程中污染等问题，所述顶部输送组件11还包括清洁装置12，较佳的，所述清洁装置12设于所述顶部输送组件11的中部。并在所述顶部输送组件靠近所述第二台面侧设置定位组件，所述顶部输送组件11可以采用辊轮，所述辊轮滚动带动基件前进。对所述基件进行二次的除尘和定位。

所述上料装置1和第一台面2之间通过第一搬运组件200移动基件，所述第二台面和下料装置之间通过第二搬运组件300移动基件。

所述第一搬运组件200覆盖范围为所述上料装置1、所述第一台面2以及顶部输送组件11靠近第一台面1的区域，通过支架10固定于所述上料装置1和所述第一台面2之间。

所述第一搬运组件200包括翻转搬运组件9和转移搬运组件8，如图2所示，所述翻转搬运组件9包括纵向移动的延伸部90，连接延伸部90的横向转轴91，多个位于横向转轴上的歧管92，置于横向转轴91两端并固定于所述延伸部的旋转气缸。所述延伸部90固定于所述支架10，沿所述纵向固定架102的滑轨滑动，所述横向转轴91横向延伸。应当理解的是，延伸部90可以在横向转轴的单端设置，也可以在横向转轴的两端设置，图中示出的延伸部成对设置于横向转轴的两端，可以更好的固定所述横向转轴91以及其上的歧管92，避免单端设置时，所述横向转轴91受力不均。进一步地，多个歧管92分别通过固定件93安装于所述横向转轴91，多个歧管92在固定件93的两端相对设置，每个所述歧管92上设有多个吸附件94，设于同一固定件上的歧管92上的所述吸附件94相对设置，位于同一所述歧管92上的所述吸附件94在歧管的两端错位设置。其中，固定件93至少一个为可以相对所述横向转轴91滑动的滑块，能够滑动调整歧管的位置以适应不同尺寸的基件，例如，当所述翻转搬运组件9同时吸附两个基件，所述两个邻近所述延伸部90的固定件93可以均设置为滑块，以使多个吸附件94的覆盖面积可满足两个基件的尺寸。

所述一侧的歧管92和吸附件94构成第一吸盘组件95，另一侧的歧管92和吸附件构94成第二吸盘组件96。所述第一吸盘组件95和第二吸盘组件96分别拾取上料装置1的待曝光基件和第一台面2上完成曝光第一曝光面的基件。

所述转移搬运组件8包括沿所述横向固定架101的竖向滑轨滑动的延展部80，连接延展部80端部的吸附组件，所述延展部80连接于所述吸附组件的中心位置，使其受力更加均匀。

所述第二搬运组件300的覆盖范围为下料装置7、第二台面6和顶部输送组件11。与所述第一搬运组件200相同，通过支架10固定，所述横向固定架101的中间位置安装有竖向向延伸的竖向滑轨103。

所述第二搬运组件300为第二转移搬运组件，所述第二搬运组件和所述第一搬运组件200的所述转移搬运组件结构相同，用于拾取第一曝光面曝光完成的基件和第一曝光面和第二曝光面均曝光完成的基件。

如3-7图所示，与上述实施例相比，所述第一搬运组件200和所述第二搬运组件300纵向移动的方式不同，所述转移搬运组件8和第二搬运组件300的延伸部、所述翻转搬运组件9延展部固定连接，不再纵向移动。

所述第一搬运组件200包括转移搬运组件8和翻转搬运组件9，所述转移搬运组件8固定于第一支架13，所述翻转搬运组件固定于第二支架14。所述第一支架13和所述第二支架14通过框架15支撑。所述框架15包括纵向延伸的位于内侧的第一滑道16和位于外侧的第二滑道17，所述第一支架13沿第二滑道17滑动，所述第二支架14沿所述第一滑道16滑动。

所述第一支架13包括第一横向支架130、第一竖向支架131和第一竖向滑动支架132，所述第一竖向支架131位于所述第一横向支架130的两端，垂直于所述第一台面2和所述第二台面6，所述第一横向支架130平行于所述曝光系统4，所述第一竖向滑动支架132固定于所述第一横向支架130，较佳的，位于所述第一横向支架130的中间位置。所述转移搬运组件8连接于所述第一竖向滑动支架132，沿所述第一竖向滑动支架132滑动。驱动所述第一竖向滑动支架132纵向滑动的第一驱动件133位于所述第一横向支架130的上方，较佳的位于中间位置。所述第一驱动件纵向滑动带动所述第一竖向支架131沿所述第二滑道17滑动，带动所述转移搬运组件8纵向滑动。所述第一驱动件133的设置也可以采用其他形式，如所述驱动件设置于所述第二滑道的一侧或者两侧，直接驱动所述第一竖向固定支架131沿所述第二滑道17滑动。

所述第二支架14包括相对设置的第二竖向支架140，所述翻转搬运组件的延伸部90连接于所述第二竖向支架140，所述第二竖向支架设置有竖向滑道，所述翻转搬运组件的延伸部90沿所述竖向滑道竖向滑动。所述竖向支架140沿所述第一滑道16滑动，带动所述翻转搬运组件9纵向滑动。驱动所述第二竖向滑动支架纵向滑动的第二驱动件，设置于所述第一滑道16，或者，与所述第一支架13相同，所述第二竖向支架140可以通过第二横向支架连接，所述第二驱动件设置于所述第二横向支架的上方。

所述第二搬运组件300固定于第三支架18，所述第三支架的结构与所述第一支架13的结构相同，包括第三横向支架180、第三竖向支架181和第三竖向滑动支架182。所述第二搬运组件300连接于所述第三竖向滑动支架182，沿所述第三竖向滑动支架182滑动。所述第三竖向支架181沿位于框架15的第三滑道19滑动，带动所述转移搬运组件8纵向滑动。与所述第一支架13相同，第三驱动件183位于所述第三滑道19或者所述第三横向支架180的上方。所述第三滑道19可以是所述第一滑道16或者第二滑道17的延伸。

通过所述第一支架13、第二支架14和第三支架18分别带动所述转移搬运组件8、翻转搬运组件9以及第二转移搬运组件300，不再需要通过所述转移搬运组件8、所述第二搬运组件300的延伸部、所述翻转搬运组件9延展部纵向延伸，可以缩短所述转移搬运组件8、翻转搬运组件9以及第二转移搬运组件300的力臂，使其更加稳固。同时通过所述第一支架13、第二支架14、第三支架18两点支撑固定，在顶部设置纵向驱动件，不仅具有更好的支撑力的同时，而且充分利用顶部空间，节省横向空间。

所述第一驱动件、第二驱动件和第三驱动件可以采用直线电机或其他常规驱动方式。

在工作过程中，所述第一台面1和所述第二台面6可以根据基件的尺寸，放置一个基件或者多个基件，下面以两个基件为例对所述自动双面曝光机的曝光方法进行说明。

（1）所述第一搬运组件的搬运翻板组件9自上料装置1同时拾取两个基件，所述搬运翻板组件9的第一吸附组件95吸附所述未曝光基件的第一曝光面移动，将其放置于所述第一台面。

（2）所述第一台面1带动所述基件移动至第一对位系统2进行对位，然后移动至曝光系统4对所述基件的第一曝光面进行曝光，完成第一曝光面曝光后，所述第一台面1回到初始位置。同时，所述第一搬运组件200的翻版搬运组件9移动至上料装置1，第一吸盘组件95同时吸附两个未曝光基件的第一曝光面，所述搬运翻板组件9翻转，使其另一侧的第二吸盘组件96朝向所述第一台面1。

（3）所述搬运翻板组件9的第二吸盘组件95吸附所述基件曝光完成的第一曝光面，然后所述翻转搬运组件9进行翻转，所述基件未曝光的第二曝光面朝向所述第一搬运组件200的转移搬运组件8，所述翻转搬运组件9将未曝光的基板放置于第一台面。

（4）所述第一搬运组件200的转移搬运组件8吸附两个所述基件的第二曝光面，将所述基件放置于所述顶部输送组件。所述顶部输送组件带动所述基件通过所述清洁装置至所述顶部输送组件的另一端，通过定位组件对基件进行定位。所述第二搬运组件300吸附所述基件的第二曝光面，将所述基件放置于所述第二台面6。同时，所述第一台面1带动未曝光的基板对第一曝光面进行对位曝光操作。

（5）所述第二台面6带动所述基件进行对位曝光操作，完成所述基件的第二曝光面的曝光，所述第二台面6回到初始位置，所述第二搬运组件300将所述基件移动至下料装置7。同时，所述第一搬运组件200的搬运翻板组件9移动至上料装置1，第一吸盘组件95吸附未曝光的基件的第一曝光面，所述翻转搬运组件翻转，使其另一侧的第二吸盘组件96朝向所述第一台面1。所述翻转搬运组件的第二吸盘组件吸附所述基件曝光完成的第一曝光面，然后所述翻转搬运组件进行翻转，所述未曝光的第二曝光面朝向所述第一搬运组件200的转移搬运组件，所述翻转搬运组件将未曝光的基板放置于第一台面。

重复进行步骤（4）和步骤（5），完成基件的双面曝光。

在所述第一台面2曝光操作的同时，所述第二台面6进行对位操作，所述第一台面进行最后一个条带曝光退回初始位置的过程中，所述第二台面6跟随所述第一台面2移动，完成基件对位点的对位，有效利用曝光时间，所述第一台面2完成曝光的同时，所述第二台面6到达曝光的初始位置，反之亦然，两个台面之间的配合更加紧密。

本实用新型并不限于上述实施例，还包括多种替代方案，替代上述实施例中相对应的组件，如：第二搬运组件300也可以选择第二翻转搬运组件，负责第二台面6的上下料。所述翻转搬运组件的第一吸附组件吸附第二台面6上第二曝光面曝光完成的基件，所述翻转搬运组件翻转，使得第二吸附组件向下，所述第二吸附组件吸附顶部输送组件12上的基件的第二曝光面，将其放置于第二台面6，然后翻转搬运组件翻转，将第二曝光面曝光完成的基件放置于下料装置。

所述第二搬运组件300还可以采用两个转移搬运组件构成，包括转移搬运组件A和转移搬运组件B，所述转移搬运组件A负责将基件自所述顶部输送组件11移动至第二台面，所述转移搬运组件B负责将曝光完成的基件自第二台面移动至下料装置。

所述顶部输送组件12也可以采用第三转移搬运组件，所述第三转移搬运组件反向设置于所述第一台面2所述第二台面6之间曝光系统上方，即吸附件朝上设置。所述第三转移搬运组件的延伸部也可以设置于所述吸附组件的两端，夹持所述吸附组件。所述顶部输送组件的所述第三转移搬运组件，采用支架10固定，通过延伸部的纵向的延伸，实现基件的输送。与前述相同，第一搬运组件200的转移搬运组件8吸附基件未曝光的第二曝光面，将其放置于所述顶部输送组件的第三转移搬运组件，所述顶部输送组件吸附基件曝光完成的第一曝光面，通过延伸部，将所述基件移动至第二台面6侧，所述第二搬运组件300，移动至所述顶部输送组件11上方，吸附基件未曝光的第二曝光面，将其放置于第二台面6，完成第二面的曝光操作。

采用顶部输送组件11的方式进行基件的传输，通过清洁装置和定位组件对基件进行清洁定位时，所述第一搬运组件200和第二搬运组件300的纵向移动也可以采用侧面设置滑动轨道的方式，具体的，在平行于所述第一台面、曝光系统和第二台面的一侧部设置纵向滑轨，所述纵向滑轨连接对应第一搬运组件200和第二搬运组件300的竖向滑轨，所述第一搬运组件和所述第二搬运组件通过所述纵向滑轨纵向移动至不同位置，通过竖向滑轨，在竖向实现高度的变换。

本实用新型采用双台面(2、6)，分别设置对位系统(3、5)，并共用一个曝光系统4，配合翻转搬运组件9和转移搬运组件8，对双台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的两个曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高，同时，所述曝光系统固定设置对两个台面进行曝光，曝光系统的性能稳定。通过一个曝光机一次流转完成基件的双面曝光。

翻转搬运组件9和转移搬运组件8利用框架纵向移动，相对于采用侧面的滑轨的方式，可以缩小翻转搬运组件9和转移搬运组件8与固定安装部分的力臂，使其更加稳固。采用顶部设置驱动件的方式，可以进一步缩小自动双面曝光机的横向宽度。同时，所述翻转搬运组件9的延伸部90设于两端夹持所述横向转轴91，使得所述翻转搬运组件的转动更稳固。所述翻转搬运组件的滑块设计也可以适用于不同尺寸的基件。

在顶部设置顶部输送组件，不仅能够加快基件输送速度，同时充分利用了顶部空间，并且对基件进行二次的除尘定位，去除基件在转运过程中的灰尘，获得更好的曝光效果。

本实用新型中纵向是所述第一台面或者第二台面移动至曝光系统的扫描方向，横向垂直于纵向，竖向垂直于横向和纵向限定的平面。上述方向的限定是为了清楚的描述，并不是对方案的限定。

Claims (20)

1.一种全自动双面曝光机，其包括上料装置、下料装置，其特征在于，其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作，所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装。

2.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述全自动双面曝光机还包括顶部输送组件，所述顶部输送组件设置于所述曝光系统的上方，用于在所述第一台面和所述第二台面之间输送基件。

3.根据权利要求2所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述顶部输送组件还包括清洁装置。

4.根据权利要求2所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述顶部输送组件靠近所述第二台面侧包括定位装置。

5.根据权利要求1-4任一所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述第一台面侧具有翻转搬运组件和转移搬运组件，所述翻转搬运组件负责搬运上料装置上的待曝光基件，以及将第一面曝光完成的基件自第一台面移出并翻转；所述转移搬运组件自所述翻转搬运组件移出所述第一面曝光完成的基件。

6.根据权利要求1-4任一所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述第二台面侧具有第二转移搬运组件，用于移动第一面曝光完成的基件至第二台面，以及移动双面曝光完成的基件至下料装置。

7.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述第二台面侧具有第二翻转搬运组件，用于第二台面的上下料。

8.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述支架横跨所述全自动双面曝光机，分别设置于第一台面侧和第二台面侧。

9.根据权利要求1或8所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述支架包括位于两端的竖向滑轨和位于中间位置的竖向滑轨，所述翻转搬运组件沿所述两端的竖向滑轨竖向滑动，所述转移搬运组件沿中间位置的竖向滑轨竖向滑动。

10.根据权利要求1或8所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述支架包括位于中间位置的竖向滑轨，所述转移搬运组件沿中间位置的竖向滑轨竖向滑动。

11.根据权利要求1所述全自动双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件包括纵向移动的延伸部，连接延伸部横向转轴，通过固定件固定于转轴上的歧管，所述歧管在所述固定件两端相对设置，歧管上设有多个吸附件。

12.根据权利要求1所述全自动双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件包括延伸部，连接延伸部的横向转轴，通过固定件固定于横向转轴上的歧管，所述歧管在所述固定件两端相对设置，歧管上设有多个吸附件。

13.根据权利要求11或12所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述延伸部位于所述横向转轴的两端，夹持所述横向转轴。

14.根据权利要求11或12所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述固定件包括至少一个滑块，所述至少一个滑块能够相对所述转轴滑动。

15.根据权利要求11或12所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述吸附件在歧管的两侧错位设置。

16.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述支架与所述转移搬运组件和翻转搬运组件对应设置，所述支架包括相对设置的竖向支架，所述竖向支架滑动设置于支撑所述支架的框架，带动所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件纵向滑动。

17.根据权利要求16所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述支架的驱动件设置于所述支架的上方，通过横向支架连接所述竖向支架；或者所述支架的驱动件设置于所述框架，驱动所述支架滑动。

18.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述转移搬运组件包括延展部，所述翻转搬运组件包括延伸部，所述延展部和延伸部纵向移动。

19.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述第一台面和所述第二台面共用导轨，所述第一台面和第二台面的初始位置在曝光系统的两侧，其在初始位置至曝光位置往复运动。

20.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机，其特征在于：所述第一台面和所述曝光系统之间设有第一对位系统，所述第二台面和所述曝光系统之间设有第二对位系统。

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