CN213023936U - 一种自动化双面曝光机 - Google Patents

Abstract

一种自动化双面曝光机，其包括上料装置、第一台面、第二台面和下料装置，其还包括转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面放置待曝光基件的初始位置位于所述曝光系统的两侧，依次移动至所述曝光系统进行曝光，所述翻转搬运组件翻转移动所述基件，所述转移搬运组件移动所述基件。本实用新型的第一台面和第二台面共用一个曝光系统，所述曝光装置呈直线形设置，配合转移搬运组件和翻转搬运组件，对第一台面和第二台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的第一曝光面和第二曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高，通过一个曝光系统一次流转完成基件的双面曝光。

Description

一种自动化双面曝光机

技术领域

本实用新型涉及曝光机技术领域，具体是一种自动化双面曝光机。

背景技术

为了适应电子产品智能化和小型化的发展，电子电路不再只是在基件的单面进行曝光处理，而通常需要对基件的双面进行电子电路的曝光处理。而目前对基件进行双面处理时，通常需要两台曝光机，第一曝光机和第二曝光机，所述第一曝光机包括第一对位机构和第一曝光系统，所述第二曝光机包括第二对位机构和第二曝光系统，位于所述第一曝光机和所述第二曝光机之间的翻板机，翻板机位于第一曝光机的出料端，第二曝光机的进料端之间，上料装置位于第一曝光机的前端，下料装置位于第二曝光的后端。对基件进行曝光时，先通过第一曝光机对基件的第一曝光面进行对位曝光操作，然后通过机械手将完成第一曝光面曝光的基件转移至翻板机，翻板机将基件翻转至未曝光的第二曝光面朝上，通过机械手转移至第二曝光机对基件的第二曝光面进行曝光。这种双面曝光的方式虽然实现了双面曝光的自动化，但是整个自动化系统占用空间大，需要两个对位机构和两个曝光系统分别对位曝光。

发明内容

本实用新型目的是提供一种节省空间的自动双面曝光机。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：一种自动化双面曝光机，其包括上料装置、第一台面、第二台面和下料装置，其还包括转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面放置待曝光基件的初始位置位于所述曝光系统的两侧，依次移动至所述曝光系统进行曝光，所述翻转搬运组件翻转移动所述基件，所述转移搬运组件移动所述基件。

进一步的，所述转移搬运组件数量为两个，所述翻转搬运组件的数量为一个。

进一步的，所述翻转搬运组件在所述上料装置和所述第一台面之间移动，至少一所述转移搬运组件在第一台面和第二台面中间移动。

进一步的，所述翻转搬运组件在所述第二台面和所述下料装置之间移动，至少一所述转移搬运组件在第一台面和第二台面中间移动。

进一步的，所述翻转搬运组件包括转轴，所述转轴两侧对称设置第一吸附组件和第二吸附组件。

进一步的，所述自动化双面曝光机还包括设置于侧边的滑轨，所述翻转搬运组件和所述转移搬运组件沿所述滑轨滑动。

进一步的，所述自动化双面曝光机包括相对设置的纵向滑轨，所述纵向滑轨自所述上料装置延伸至下料装置，所述纵向滑轨上设置有竖向滑轨，所述翻转搬运组件和所述转移搬运组件夹持在两个竖向滑轨之间，沿所述纵向滑轨移动。

进一步的，所述自动化双面曝光机在纵向上设置导轨，所述第一台面和所述第二台面在扫描方向移动时共用所述导轨。

进一步的，所述翻转搬运组和所述转移搬运组件与所述第一台面、曝光系统、所述第二台面并行位置，所述翻转搬运组件相对设置于所述第一台面和所述第二台面中间，所述转移搬运组件在所述第一台面、所述第二台面、所述翻转搬运组件之间移动基件。

进一步的，所述翻转搬运组件包括两个夹持件，两个夹持件之间通过转动轴连接，两个夹持件夹持所述基件，自一侧翻转至另一侧。

进一步的，所述上料装置、所述翻转搬运组件、所述转移搬运组件和所述下料装置呈直线形设置，平行于所述第一台面、曝光系统和第二台面。

本实用新型的第一台面和第二台面共用一个曝光系统，所述曝光装置呈直线形设置，配合转移搬运组件和翻转搬运组件，对第一台面和第二台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的第一曝光面和第二曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高，通过一个曝光系统一次流转完成基件的双面曝光。所述曝光装置呈直线形设置，所述自动化装置可以灵活配置。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例自动化双面曝光机示意图。

图2为本实用新型第二实施例自动化双面曝光机示意图。

具体实施方式

为了清楚的描述本实用新型，下面根据具体实施例进一步说明。

如图1所示，本实用新型自动化双面曝光机包括曝光装置和自动化装置，所述曝光装置包括第一台面1、第一对位系统2、曝光系统3、第二对位系统4、第二台面5，所述自动化装置包括上料装置6、下料装置7、翻转搬运组件8和转移搬运组件9。

所述曝光装置中，所述曝光系统3位于第一台面1和第二台面5之间，所述第一台面1和第二台面5分别移动到曝光系统3下方进行曝光，所述第一对位系统2位于所述第一台面1和所述曝光系统3之间，所述第二对位系统4位于所述第二台面5和所述曝光系统3之间。所述第一台面1和所述第二台面5沿扫描方向移动时共用同一导轨，所述第一台面1和第二台面5的初始位置在曝光系统3的两侧，其在初始位置至曝光完成的位置往复运动。设定纵向是所述第一台面或者第二台面移动至曝光系统的扫描方向，横向垂直于纵向，竖向垂直于横向和纵向限定的平面。

所述上料装置6用于存放和/或者输送待曝光基件，所述待曝光的基件包括相对的第一曝光面和第二曝光面，所述下料装置7用于存放和/或者输送第一曝光面和第二曝光面均曝光完成的基件，所述基件的第一曝光面通过第一台面1移动至曝光系统3进行曝光，所述第二曝光面通过第二台面5移动至曝光系统3进行曝光。

所述工件通过翻转搬运组件8和转移搬运组件9在上料装置6的上料位置，第一台面1的初始位置、第二台面5的初始位置和下料装置7的下料位置之间移动。所述翻转搬运组件8翻转移动所述基件，所述转移搬运组件9移动所述基件。

所述翻转搬运组件8包括转轴和吸附组件，所述吸附组件对称设置于转轴80，分为第一吸附组件81和第二吸附组件82，所述转轴80连接至竖向滑块83，通过旋转驱动器驱动转轴转动，实现第一吸附组件81和第二吸附组件82的转动，使得第一吸附组件81和第二吸附组件82可以互换位置。

所述转移搬运组件9具有第三吸附组件90，吸附基件并在滑轨上移动，在不同位置之间转移基件。

所述自动双面曝光机的至少一个侧边设有纵向滑轨100，所述纵向滑轨100上对应所述翻转搬运组件8和所述转移搬运组件9设置有竖向滑轨101，所述竖向滑轨101沿所述纵向滑轨100移动，通过竖向滑块83沿所述竖向滑轨101移动调节其高度，并沿所述纵向滑轨100移动。所述自动双面曝光装置，也可以采用两个侧边设有纵向滑轨，两个纵向滑轨上对应设置竖向滑轨，夹持所述翻转搬运组件和转移搬运组件移动。

所述翻转搬运组件8和所述转移搬运组件9组合为第一搬运组件200和第二搬运组件201，所述上料装置6和第一台面1之间通过第一搬运组件移动基件，所述第二台面5和下料装置7之间通过第二搬运组件移动基件。

所述第一搬运组件200覆盖范围为所述上料装置6、所述第一台面1以及第二台面5，通过设置于侧边的纵向滑轨100滑动至不同位置。

所述第一搬运组件200包括翻转搬运组件8和转移搬运组件9。

所述翻转搬运组件8通过第一吸附组件81吸附上料装置6的待曝光基件，移动至第一台面1，同时所述翻转搬运组件8进行翻转，使得第二吸附组件82位于下方，所述第二吸附组件82吸附置于所述第一台面1的曝光完成的第一曝光面。再次旋转所述翻转搬运组件8，使得所述第一吸附组件81位于下方，将所述待曝光基件放置于第一台面1，同时使得未曝光的第二曝光面向上。

同时，所述转移搬运组件9吸附位于所述翻转搬运组件8上的第二曝光面，通过纵向滑轨100滑动至第二台面5，将基件放置于第二台面5，此时，未曝光的第二曝光面朝上。

所述第二搬运组件201的覆盖范围为下料装置7、第二台面5。所述第二搬运组件201为转移搬运组件，用于拾取第一曝光面曝光完成的基件和第一曝光面和第二曝光面均曝光完成的基件。

所述第一台面1和所述第二台面5可以根据基件的尺寸，放置一个基件或者多个基件。同时，所述转移搬运组件9和所述翻板搬运组件8为了适应不同尺寸的需要，至少一侧边缘位置可调节。

下面以两个基件为例对所述自动双面曝光机的曝光方法进行说明。

（1）所述第一搬运组件200的搬运翻板组件8自上料装置6同时拾取两个基件，所述搬运翻板组件8的第一吸附组件81吸附所述基件的第一曝光面移动，将其放置于所述第一台面1。

（2）所述第一台面1带动所述两个基件移动至第一对位系统2进行对位，然后移动至曝光系统3对所述基件的第一曝光面进行曝光，完成第一曝光面曝光后，所述第一台面1回到初始位置。同时，所述第一搬运组件200的搬运翻板组件8移动至上料装置1，第一吸附组件81同时吸附未曝光的两个基件的第一曝光面，所述翻转搬运组件8翻转，使其另一侧的第二吸附组件82朝向所述第一台面1。

（3）所述翻转搬运组件8的第二吸盘组件82吸附所述两个基件曝光完成的第一曝光面，然后所述翻转搬运组件8进行翻转，所述未曝光的第二曝光面朝向所述第一搬运组件200的转移搬运组件9，所述翻转搬运组件8将未曝光的基件放置于第一台面1。所述第一搬运组件200的转移搬运组件9吸附两个所述基件的第二曝光面。

（4）所述第一搬运组件200的转移搬运组件9将所述基件放置于所述第二台面5。同时，所述第一台面1带动未曝光的基板对第一曝光面进行对位曝光操作。

（5）所述第二台面5带动所述基件进行对位曝光操作，完成所述基件的第二曝光面的曝光，所述第二台面5回到初始位置，所述第二搬运组件201将所述基件移动至下料装置7。同时，所述第一搬运组件200的搬运翻板组件8移动至上料装置6，第一吸盘组件吸附81未曝光的基件的第一曝光面，所述搬运翻板组件8翻转，使其另一侧的第二吸盘组件82朝向所述第一台面1。所述搬运翻板组件8的第二吸盘组件82吸附所述基件曝光完成的第一曝光面，然后所述翻转搬运组件8进行翻转，所述未曝光的第二曝光面朝向所述第一搬运组件200的转移搬运组件9，所述翻转搬运组件8将未曝光的基板放置于第一台面1。

重复进行步骤（4）和步骤（5），完成基件的双面曝光。

在所述第一台面1曝光操作的同时，所述第二台面5进行对位操作，所述第一台面进行最后一个条带曝光退回初始位置的过程中，所述第二台面5跟随所述第一台面1移动，完成基件对位点的对位，有效利用曝光时间，所述第一台面1完成曝光的同时，所述第二台面5到达曝光的初始位置，反之亦然，两个台面之间的配合更加紧密。

不仅可以通过上述实施例可以实现自动所述化双面曝光机，所述翻转搬运组件8可以设置于所述第二搬运组件201，所述第一搬运组件200中仅包含转移搬运组件9，所述转移搬运组件9将基件运送至所述第二台面5区域，通过所述第二搬运组件201的翻转搬运组件8将基件的第一曝光面翻转至下方，所述第二曝光面向上，放置于所述第二台面5，实现未曝光的第二曝光面朝上接受对位曝光操作。

所述翻转搬运组件8不仅可以采用双面吸附组件的模式，也可以采用单面吸附组件的模式。只有单面吸附组件的所述翻转搬运组件8在所述第一台面1和所述第二台面5之间移动，或者在所述第二台面5和下料装置7之间移动。

当所述翻转搬运组件8在第一台面1和第二台面5之间移动时，所述翻转搬运组件8在第一台面1吸附曝光完成的第一曝光面，在第一台面1位置处、第二台面5位置处或者两者中间完成翻转，使得未曝光的第二曝光面向上，通过转移搬运组件9吸附所述第二曝光面，放置于所述第二台面5，完成第二曝光面的曝光操作。

当所述翻转搬运组件8在第二台面5和下料装置7之间移动时，所述转移搬运组件9吸附曝光完成的第一曝光面，移动至所述第二台面5，所述翻转搬运组件8将曝光完成的基件自第二台面移至下料装置，然后进行翻转，使得吸附组件向上，吸附未曝光的第二曝光面，然后进行第二次翻转，将基件放置于第二台面5上，此时，所述第二曝光面位于上侧。

通过翻转搬运组件8和转移搬运组件9的配合，实现基件的转移和翻转。

所述翻转搬运组件8不仅可以采用移动的形式，也可以采用固定的形式，包括第一夹持件85和第二夹持件86，第一夹持件85和第二夹持件86之间通过转动轴87连接，所述第一夹持件和第二夹持件彼此分开时，将基件放置于第一夹持件85上，第二夹持件86转动与第一夹持件85固定所述基件，所述翻转搬运组件翻转至第二夹持件86位置处，所述基件的两个曝光面翻转，所述第一夹持件86转动至初始位置，所述第一夹持件和第二夹持件彼此分开，露出所述基件未曝光的曝光面。通过转移搬运组件9在所述第一台面1、所述第二台面5、所述翻转搬运组件8之间移动基件。

包含所述第一台面1、所述第一对位系统2、所述曝光系统3、所述第二对位系统4、和所述第二台面5的曝光装置呈直线形排列，包含上料装置6、所述翻转搬运组件8、所述转移搬运组件9和下料装置7的自动化装置平行于所述曝光装置，呈直线型排列，所述转移搬运组件9数量为两个，其中一个位于上料装置6和所述翻转搬运组件8之间，负责上料装置6、第一台面1、翻转搬运组件8之间基件的转移。另一个位于所述翻转搬运组件8和所述下料装置7之间，负责翻转搬运组件8、第二台面5和所述下料装置7之间的基件转移。所述上料装置6中可以包含除尘装置，所述翻转搬运组件8与所述下料装置7之间，也可以设置除尘装置，待所述基件通过所述除尘装置后，再将其放置于所述第二台面曝光，达到最佳的曝光效果。

本实用新型的第一台面1和第二台面5共用一个曝光系统3，在第一台面1和所述曝光系统3之间及第二台面5和所述曝光系统3之间分别设置第一对位系统2和第二对位系统4，所述曝光装置呈直线形设置，配合转移搬运组件9和翻转搬运组件8，对第一台面1和第二台面5分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的第一曝光面和第二曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高，通过一个曝光系统一次流转完成基件的双面曝光。所述曝光装置呈直线形设置，所述自动化装置可以灵活配置。

对上述实施例进行描述时，为了描述清楚采用了横向、纵向、竖向等方位描述，其只是为了使得本领域技术人员可以更加清楚明白技术方案，而不是对技术方案的限定。

Claims (11)

1.一种自动化双面曝光机，其包括上料装置、第一台面、第二台面和下料装置，其特征在于，其还包括转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面放置待曝光基件的初始位置位于所述曝光系统的两侧，依次移动至所述曝光系统进行曝光，所述翻转搬运组件翻转移动所述基件，所述转移搬运组件移动所述基件。

2.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述转移搬运组件数量为两个，所述翻转搬运组件的数量为一个。

3.根据权利要求1或2所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件在所述上料装置和所述第一台面之间移动，至少一所述转移搬运组件在第一台面和第二台面中间移动。

4.根据权利要求1或2所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件在所述第二台面和所述下料装置之间移动，至少一所述转移搬运组件在第一台面和第二台面中间移动。

5.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件包括转轴，所述转轴两侧对称设置第一吸附组件和第二吸附组件。

6.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述自动化双面曝光机还包括设置于侧边的滑轨，所述翻转搬运组件和所述转移搬运组件沿所述滑轨滑动。

7.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述自动化双面曝光机包括相对设置的纵向滑轨，所述纵向滑轨自所述上料装置延伸至下料装置，所述纵向滑轨上设置有竖向滑轨，所述翻转搬运组件和所述转移搬运组件夹持在两个竖向滑轨之间，沿所述纵向滑轨移动。

8.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述自动化双面曝光机在纵向上设置导轨，所述第一台面和所述第二台面在扫描方向移动时共用所述导轨。

9.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组和所述转移搬运组件与所述第一台面、曝光系统、所述第二台面并行位置，所述翻转搬运组件相对设置于所述第一台面和所述第二台面中间，所述转移搬运组件在所述第一台面、所述第二台面、所述翻转搬运组件之间移动基件。

10.根据权利要求9所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述翻转搬运组件包括两个夹持件，两个夹持件之间通过转动轴连接，两个夹持件夹持所述基件，自一侧翻转至另一侧。

11.根据权利要求1所述的自动化双面曝光机，其特征在于：所述上料装置、所述翻转搬运组件、所述转移搬运组件和所述下料装置呈直线形设置，平行于所述第一台面、曝光系统和第二台面。

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