CN112117220A - 等离子清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种等离子清洗机，该等离子清洗机包括托料治具循环机构，所述托料治具循环机构包括托料治具、送料模组、回料模组和第一升降装置。托料治具用于放置待清洗的物料，送料模组包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于两条送料导轨上的送料件。两条送料导轨的间隔大于托料治具在两条送料导轨的排布方向上的宽度，送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动托料治具移动。回料模组设于送料模组的两条送料导轨之间且位于送料件的下方，并能够带动托料治具移动。第一升降装置设于回料模组的下方，升降装置能够带动托料治具在送料模组和回料模组之间循环切换。本发明等离子清洗机可提高清洗效率。

Description

等离子清洗机

技术领域

本发明涉及等离子清洗机技术领域，特别涉及一种等离子清洗机。

背景技术

在IC行业中，基板和引线框架在生产时通常会遗留有溢胶、氧化物等污染物，进而影响焊线效果。目前主要是通过等离子清洗机对基板和引线框架进行清洗，但是一些等离子清洗机的清洗效率较低，进而影响生产成本。

上述内容仅用于辅助理解发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种等离子清洗机，旨在解决现有的一些等离子清洗机的清洗效率较低，进而影响生产成本的技术问题。

为实现上述目的，本发明提出的等离子清洗机包括料盒安装机构、腔体模组和托料治具循环机构。所述料盒安装机构用于安装存放有物料的料盒，所述腔体模组用于对所述物料进行清洗。所述托料治具循环机构能够在所述料盒安装机构和所述腔体模组之间运送所述物料，所述托料治具循环机构包括托料治具、送料模组、回料模组和第一升降装置。

所述托料治具用于放置待清洗的物料，所述送料模组包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于所述两条送料导轨上的送料件。所述两条送料导轨的间隔大于所述托料治具在所述两条送料导轨的排布方向上的宽度，所述送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动所述托料治具移动。所述回料模组设于所述送料模组的所述两条送料导轨之间且位于所述送料件的下方，并能够带动所述托料治具移动。第一升降装置设于所述回料模组的下方，所述升降装置能够带动所述托料治具在所述送料模组和所述回料模组之间循环切换。

在一实施例中，所述送料件具有与所述两条送料导轨一一对应滑动连接的两个滑动部，每个所述滑动部连接有朝向另一滑动部凸出的定位块，所述定位块用以支撑及定位所述托料治具。

在一实施例中，所述定位块与所述送料件转动连接，且其转动轴线平行于所述送料导轨的延伸方向，以使所述定位块能够向上翻转。

在一实施例中，所述回料模组包括并行且间隔排布的两条回料导轨，至少一条所述回料导轨上滑动安装有回料件，所述回料件能够定位以及带动所述托料治具移动。

在一实施例中，托料治具还设有与所述回料件适配的第二定位槽，所述回料件可卡接于所述第二定位槽内；和/或，

所述托料治具的底面和/或侧面凸设有滚珠结构，所述滚珠结构可与所回料模组的所述回料导轨滚动接触。

在一实施例中，所述等离子清洗机还包括推料机构，所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出，以及将清洗完成的物料推回所述料盒，所述推料机构包括推料模组、调整模组和推料件。

所述推料模组包括推料导轨和推料驱动件，所述调整模组包括调整导轨和调整驱动件，所述调整导轨滑动安装于所述推料导轨上并与所述推料导轨呈十字交叉设置，所述调整导轨可被所述推料驱动件驱动而滑动。所述推料件滑动安装于所述调整导轨上，并可被所述调整驱动件驱动而滑动。

在一实施例中，所述料盒安装机构包括料盒安装座、夹紧把驱动件和夹紧组件。所述夹紧组件安装于所述料盒安装座，并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件中至少一者可被所述夹紧驱动件驱动并向另一者滑动，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件用于共同夹紧待安装的料盒。

在一实施例中，所述料盒安装机构还包括升降模组和横移模组。所述升降模组包括升降驱动件和竖向延伸的第一升降导轨。所述横移模组包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨，所述横移导轨滑动安装于所述第一升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动。所述料盒安装座滑动安装于所述横移导轨上并可被所述横移驱动件驱动而滑动。

在一实施例中，所述等离子清洗机还包括导料机构，所述导料机构设于所述料盒安装机构和所述托料治具循环机构之间，并用于将所述料盒内的物料导至所述托料治具上；所述导料机构包括导料安装座、调宽驱动件和导料模组。所述导料模组安装于所述导料安装座上并包括沿一直线方向间隔相对的两个导料组件，每个所述导料组件在面向另一导料组件的表面上设有传送结构件，两个所述传送结构件共同支撑及传送待传送的物料。两个所述导料组件中至少一者可被所述调宽驱动件驱动并向另一者运动，以调节所述两个导料组件之间的间距。

在一实施例中，所述腔体模组包括第二升降装置和限位装置。所述第一腔体安装于所述清洗机本体内并用于对待清洗的物料进行清洗，所述第二升降装置能够带动所述第一腔体做升降运动，所述限位装置用于在所述第二升降装置将所述第一腔体顶升之后对所述第一腔体进行限位。

本发明等离子清洗机在对物料进行清洗时，可先将料盒内的物料放置在托料治具上，再通过送料模组将托料治具送至腔体模组处，接着通过第一升降装置将托料治具顶升至腔体模组内进行清洗。在清洗结束后可通过第一升降装置的下降而将托料治具带至回料模组上，回料模组再将托料治具带回至料盒安装机构处进行物料的更换，并且在物料更换结束后，第一升降装置可将托料治具带回至送料模组上的送料件上，以进行下一批物料的清洗。

可以理解的是，因为送料件呈具有开口的半包围结构，因而当第一升降装置将送料件上的托料治具顶升并进行清洗时，送料件可以通过其开口避开第一升降装置的阻碍而运动回料盒安装机构处，进而使得清洗机在进行清洗工序的同时，可以通过在送料件上定位另一个托料治具而同步进行换料工序，大大的提高了等离子清洗机的清洗效率，进而有利于降低生产成本。

另外，第一升降装置还可以将回料模组上的托料治具带回送料模组上，使得等离子清洗机可通过两个托料治具实现换料和清洗的循环，提高清洗效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明等离子清洗机一实施例的结构示意图；

图2为本图1中托料治具循环机构的治具循环示意图；

图3为图1中托料治具循环机构一实施例的结构示意图；

图4为图3中送料件一实施例的结构示意图；

图5为图3中托料治具一实施例的结构示意图；

图6为图1中托料治具循环机构又一实施例的治具循环示意图；

图7为本图1中推料机构一实施例的结构示意图；

图8为本图1中推料机构又一实施例的结构示意图；

图9为本图1中料盒安装机构一实施例的结构示意图；

图10为本图9中料盒安装座一实施例的结构示意图；

图11为本图1中导料机构机构一实施例的结构示意图；

图12为本图1中腔体模组一实施例的部分结构示意图。

附图标号说明：

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

本发明提出一种等离子清洗机。

在本发明实施例中，如图1所示，该等离子清洗机料盒安装机构40、推料机构30、导料机构50、物料运送机构(比如托料治具循环机构20，下同)以及腔体模组60。在等离子清洗机10对基板、引线框架等物料进行清洗之前，会通过料盒70将多个物料存放好，料盒70呈盒状结构并具有前后贯通的开口，料盒70内具有上下排布的多层物料放置层，其中每一层都能够放置一片待清洗或已经清洗结束的物料。料盒70前后贯通的开口使得物料可以被推出或推回，进而实现物料在料盒70内的上下料。

料盒安装机构40则用于安装及定位料盒70，并且可带动料盒70做升降运动，以使每一层物料放置层内的物料都可以被推出或推回。

推料机构30主要用于将料盒70内的基板或引线框架推到物料运送机构上(比如托料治具21)，进而完成上料工序。以及，推料机构30还用于将托料治具21上清洗好的基板或引线框架推回料盒70内，进而完成下料工序。当然，推料机构30可以设置有多个，比如设置有两个推料机构30，其中一个设于料盒安装机构40的后方并且负责将料盒70内的物料推出，另一个则可以设于料盒安装机构40的前方并且负责将托料治具21上清洗好的物料推回料盒70内。

而导料机构50设于料盒安装机构40和物料运送机构之间，主要用于将物料在料盒70和物料运送机构(如托料治具21)之间进行传送，既能够避免推料机构30推料不完全而影响上下料的情况，还能够减少粉尘污染的产生。具体的，在推料机构30将料盒70内的物料推出之后，导料机构50将物料传送至物料运送机构上；在推料机构30将物料运送机构上的物料推出之后，导料机构50将物料反向运送回料盒70内，保证上下料的顺利进行。

物料运送机构主要用于将料盒安装机构40处的物料运送至腔体模组60处进行清洗，以及将腔体模组60处清洗完成的物料运回料盒安装机构40处进行存放。物料运送机构在运送物料时，可以通过托料治具21先将物料放置并定位好，再通过驱动件、运送轨道等将托料治具21运送至腔体模组60处或料盒安装机构40处。

腔体模组60包括用于清洗物料的反应腔体，物料被运送至腔体模组60后，可将物料置入反应腔体内，反应腔体内的电场会通过电离气体(如氩气)而产生等离子体，进而借助等离子体具有活性组分的性能而对物料进行清洗。

然而在现有的一些些等离子清洗机10的清洗效率较低，进而影响生产成本，因此本发明提出一种托料治具循环机构20，以通过提高物料的运送效率来提高等离子清洗机10的清洗效率，进而解决上述的技术问题。

在本发明实施例中，如图2至图6所示，该托料治具循环机构20包括托料治具21、送料模组22、回料模组23和第一第一升降装置24。所述托料治具21用于放置待清洗的物料，托料治具21可以通过夹持、紧压、吸附等等方式对所放置的物料进行定位，具体的可以根据实际需要自行设定。在本实施例中，推料治具上可以设置多个用于夹持物料的夹料槽，夹料槽可以同料盒70一样具有前后贯通的开口，以便于物料的推进和退出。夹料槽的宽度可调，进而方便物料的推进和推出，并且还能够更好的夹紧物料、以及适应不同宽度的物料。

所述送料模组22包括并行且间隔排布的两条送料导轨221、以及滑动安装于所述两条送料导轨221上的送料件222。本发明托料治具循环机构20在应用至等离子清洗机10时，可使送料模组22(或回料模组23)的两端分别对应在等离子清洗机10的料盒安装机构40和腔体模组60处，也即对应在换料工位和清洗工位上，以及使送料模组22(或回料模组23)的一端位于腔体模组60的反应腔体的下方。

所述两条送料导轨221的间隔大于所述托料治具21在所述两条送料导轨221的排布方向上的宽度，具体的，以托料治具21呈长方形结构为例，托料治具21被运送时，两条送料导轨221与托料治具21的两条宽边相平行，两条送料导轨221之间的间距大于托料治具21的长边。托料治具21通过定位在送料件222上而能够在两条送料轨道上滑动。

所述送料件222呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动所述托料治具21移动。具体的，送料件222大致呈C型开口结构，送料件222具有两个滑动部2221和连接于两个滑动部2221之间的连接部，连接部能够保持两个滑动部2221的相对位置，避免两个滑动部2221相对偏移而影响托料治具21的定位。

托料治具21定位在送料件222上的方式有多种，可以在送料件222上设置定位凹槽，再直接将托料治具21放置在送料件222上，也可以通过夹持、卡接、托架等方式定位托料治具21，具体的可以根据实际需要进行设定。当然，送料模组22还可以包括电机、气缸等驱动件，以用于驱动送料件222在送料导轨221上滑动，进而带动托料治具21滑动。

可以理解的是，因为送料件222呈具有开口的半包围结构，当第一升降装置24自送料件222的下方穿过送料件222并将送料件222上物料顶升时，送料件222可以通过其开口避开第一升降装置24而沿送料导轨221往回运动，并且不受第一升降装置24的影响。并且送料件222往回运动后便不会再限制托料治具21在竖向方向上的运动，进而第一升降装置24可以将顶升后的托料治具21带至回料模组23上。

所述回料模组23设于所述送料模组22的所述两条送料导轨221之间且位于所述送料件222的下方，并能够带动所述托料治具21移动。回料模组23可以是传送带、滚筒等传送机构，也可以由回料导轨231与回料件232组成。回料模组23可以只设置一条回料导轨231，也可以设置多条，具体的可以根据实际需要进行设定。

第一升降装置24设于所述回料模组23的下方，所述第一升降装置24能够带动所述托料治具21在所述送料模组22和所述回料模组23之间循环切换。具体的，在清洗时，可先将待清洗的物料放置在托料治具21上，再通过送料模组22将托料治具21送至清洗工位处，接着通过第一升降装置24将托料治具21顶升至反应腔体内进行清洗。在清洗结束后可通过第一升降装置24的下降而将托料治具21带至回料模组23上，回料模组23再将托料治具21带动至换料工位进行物料的更换，并且在物料更换结束后，第一升降装置24可将托料治具21带回至送料模组22上的送料件222上，以进行下一批物料的清洗。

其中，第一升降装置24将托料治具21从回料模组23上带回送料模组22上的送料件222的方式有多种。例如，可以先使送料件222和托料治具21在上下方向上错位，在第一升降装置24将托料治具21顶升至送料模组22的上方之后再将托料治具21定位在送料件222上。也可以在送料件222上设置可以移动、翻转、折叠的结构，以避免送料件222阻碍托料治具21回到送料模组22上。

在更换物料时，可以直接在回料模组23上更换，也可以在将托料治具21回到送料件222上之后在更换，或者其他的更换方式。例如，在一实施例中，物料主要是在送料模组22的上方进行更换，此时可以先通过第一升降装置24将托料治具21顶升至托料模组的上方并进行物料的更换。在更换结束后，第一升降装置24带动托料治具21下降，同时送料件222在下方截住并定位托料治具21，使得托料治具21不跟随第一升降装置24继续往下运动，以继续对物料进行循环清洗。

可以理解的是，因为送料件222呈具有开口的半包围结构，因而当第一升降装置24将送料件222上的托料治具21顶升并进行清洗时，送料件222可以通过其开口避开第一升降装置24的阻碍而运动回换料工位，进而使得清洗机在进行清洗工序的同时，可以通过在送料件222上定位另一个托料治具21而同步进行换料工序，大大的提高了等离子清洗机10的清洗效率，进而有利于降低生产成本。另外，第一升降装置24还可以将回料模组23上的托料治具21带回送料模组22上，使得等离子清洗机10可通过两个托料治具21实现换料和清洗的循环，提高清洗效率。

在一实施例中，结合图3至图5，所述送料件222具有与所述两条送料导轨221一一对应滑动连接的两个滑动部2221，每个所述滑动部2221连接有朝向另一滑动部2221凸出的定位块2222，所述定位块2222用以支撑及定位所述托料治具21。每个滑动部2221大致呈板状结构，两个滑动部2221之间还连接有连接部，以保证两个滑动部2221之间的相对位置保持稳定。自滑动部2221上凸出的定位块2222可以与滑动部2221固定连接，也可以活动连接，仅需能够支撑托料治具21即可。

而定位块2222定位托料治具21的方式有多种，例如，可以是所述托料治具21设有与所述定位块2222适配的第一定位槽211，所述定位块2222可卡接于所述第一定位槽211内。当然，也可以是定位块2222上设有凹槽，而托料治具21上对应设有凸起，进而可以通过凸起与凹槽的卡接将托料治具21进行定位。

在另外的一些实施例中，如图4所示，每个所述滑动部2221上的所述定位块2222具有面向另一滑动部2221的限位面2223，多个所述限位面2223共同限位所述托料治具21在所述两条送料导轨221的排布方向上的位移。具体的，当托料治具21定位到送料件222上时，每个定位块2222上的限位面2223可以与托料治具21的侧面相抵接，以避免托料治具21在两条送条导轨的排布方向上发生偏移。

在一实施例中，如图4所示，所述定位块2222与所述送料件222转动连接，且其转动轴线平行于所述送料导轨221的延伸方向，以使所述定位块2222能够向上翻转。进而使得托料治具21能够从送料件222的下方直接穿过送料件222而被顶升至送料件222的上方，而不需要送料件222移动避让，简化了托料治具21的切换过程。当然，需要注意的是，应确保托料治具21抵接在定位块2222上时定位块2222不会向下翻转，为达到这个目的，可以通过在定位块2222的转轴、或定位块2222与送料件222之间的接触面等设置限位结构，确保托料治具21定位在定位块2222上时不会往下掉落，同时又能够从送料件222的下方推动定位块2222翻转而运动至送料件222的上方。

在一实施例中，结合图3及图4，为使得托料治具21向上穿过送料件222时可以更加顺畅，每个所述滑动部2221上的所述定位块2222还具有朝向所述回料模组23上的导向面2224，所述导向面2224在远离所述回料模组23的方向上，逐渐朝另一滑动部2221所在的一侧倾斜。托料治具21可以通过抵接导向面2224而很好的推动定位块2222翻转，进而更加快速的运动至送料件222的上方。

在一实施例中，如图6所示，所述回料模组23包括并行且间隔排布的两条回料导轨231，至少一条所述回料导轨231上滑动安装有回料件232，所述回料件232能够定位以及带动所述托料治具21移动。如此使得托料治具21可以直接落到两条回料导轨231上，并在回料件232的带动下沿着回料导轨231运动。而不需要再设置用于托住托料治具21的辅助装置，使得托料治具循环机构20的结构更为简单紧凑、所占用的安装空间更小。

在一实施例中，结合图5及图6，托料治具21还设有与所述回料件232适配的第二定位槽212，所述回料件232可卡接于所述第二定位槽212内。在本实施例中，第二定位槽212为设置于托料治具21边缘的贯通槽，如此不仅便于回料件232的卡接，还便于托料治具21的加工。当然，第二定位槽212也可以为开口朝下的非贯通槽，第二定位槽212的数量也可设置有多个，在此均不作具体的限定，仅需能够与回料件232卡接适配即可。

在一实施例中，如图5所示，所述托料治具21的底面和/或侧面凸设有滚珠结构213，所述滚珠结构213可与所回料模组23的所述回料导轨231滚动接触。如此可减少托料治具21与回料导轨231之间的摩擦，使得托料治具21可以滑动得更加顺畅和快速，提高等离子清洗机10的清洗效率。

在一实施例中，如图2或图3所示，所述送料模组22和所述回料模组23均具有换料端和清洗端，所述第一升降装置24设有两个，且其中一个与所述换料端对应，另一个与所述清洗端对应。可以理解的是，通过两个第一升降装置24分别负责托料治具21的顶升换料和顶升清洗，进而不需要控制第一升降装置24沿送料导轨221(或回料导轨231)的延伸方向来回运动，不仅有利于提高等离子清洗机10的清洗效率，还不需要为第一升降装置24预留来回运动的空间，使得等离子清洗机10的结构可以更加的紧凑。

在一实施例中，如图6所示，所述第一升降装置24具有用于与所述托料治具21抵接的抵接部，所述抵接部和所述托料治具21中的一者设有定位凸起241，另一者设有与所述定位凸起241适配的定位孔214。具体的，可以是第一升降装置24的抵接部上设置有定位凸起241，托料治具21的底面设置有定位孔214。在第一升降装置24将托料治具21顶升时，抵接部上的定位凸起241伸入定位孔214内。直至抵接部与托料治具21相抵接。以保证托料治具21在顶升和下降的过程中都不会发生偏移或掉落的情况。

在一实施例中，如图7及图8所示，为解决现有的一些等离子清洗机的推料机构在推料时，容易出现把物料推歪而造成卡料的情况，进而影响到清洗机的清洗效率的技术问题，所述推料机构30包括推料模组31、调整模组32和推料件33。

具体的，所述推料模组31包括推料导轨311和推料驱动件312，推料导轨311沿等离子清洗机10预设的推料方向延伸，其具体长度和形式可根据实际需要自行设定。推料驱动件312可以为电机、气缸、液压缸等等。所述调整模组32包括调整导轨321和调整驱动件，所述调整导轨321滑动安装于所述推料导轨311上并与所述推料导轨311呈十字交叉设置，即调整导轨321的延伸方向与推料导轨311的延伸方向呈交叉设置，可以相互垂直，也可以呈其它的交叉角度，具体的可以根据实际需要进行设定。此外，调整导轨321可以直接滑动安装于推料导轨311上，也可以通过中间连接件或滑动件间接地滑动安装在推料导轨311上。同时所述调整导轨321可被所述推料驱动件312驱动而滑动。

另外，推料件33主要用于抵接并推动料盒70内的物料，推料件33的具体形状、大小和结构在此不做具体的限定，仅需能够推动物料即可。在本实施例中，所述推料件33滑动安装于所述调整导轨321上，并可被所述调整驱动件驱动而滑动，具体而言是在调整驱动件的驱动下，沿调整导轨321滑动。

可以理解的是，本发明等离子清洗机10在具体应用时，推料导轨311沿预设的推料方向延伸，进而可通过推料驱动件312驱动调整导轨321滑动，使得调整导轨321可带动推料件33沿推料导轨311滑动而进行推料。另外还可以通过调整驱动件驱动推料件33在调整导轨321上滑动，进而调整推料件33在物料上的推料位置，以使推料位置居中，保证推料顺畅，减少推歪、推斜以及卡料的现象。

在一发明实施例中，如图9及图10所示，该料盒安装机构40包括料盒安装座43、夹紧驱动件和夹紧组件46。料盒安装座43的具体结构、大小和外形可以根据实际需要进行设定，在本实施例中，料盒安装座43包括上座441和下座442，上座441和下座442均呈板状结构且相对间隔设置，上座441和下座442之间可以通过连接柱连接。料盒70可以放置并定位于上座441的顶面，所述夹紧驱动件和所述夹紧组件46均可以安装在上座441和下座442之间，该夹紧组件46用于夹紧料盒70。

具体的，所述夹紧组件46包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件461和第二夹紧件462，第一夹紧件461和第二夹紧件462大小、形状及材质不限，仅需能够夹紧料盒70即可。例如，料盒70为方盒时，可使第一夹紧件461和第二夹紧件462均为板状结构，或者第一夹紧件461和第二夹紧件462用于夹持料盒70的部分与料盒70外形适配，如此既能稳定的夹紧料盒70，还便于制造和安装。

其中，所述第一夹紧件461和所述第二夹紧件462中至少一者可被所述夹紧驱动件驱动并向另一者滑动，所述第一夹紧件461和所述第二夹紧件462用于共同夹紧待安装的料盒70。具体的，可使第一夹紧件461和第二夹紧件462中至少一者滑动安装于料盒安装座43上，比如滑动安装于第一夹紧导轨47上，并且可被夹紧驱动件驱动滑动。第一夹紧件461和第二夹紧件462可以只有其中一个滑动，也可以两个均滑动。

当安装料盒70时，可先将料盒70放置于第一夹紧件461和第二夹紧件462之间，再通过夹紧驱动件的驱动并使第一夹紧件461和第二夹紧件462相向运动，进而将料盒70夹紧定位。可以理解的是，因为第一夹紧件461和第二夹紧件462之间可相对滑动，进而能够夹紧不同宽度的料盒70，并且夹紧料盒70的操作过程简单方便，能够有效的解决解决现有的一些等离子清洗机10无法灵活的安装不同宽度的料盒70的技术问题。

在一实施例中，如图9及图10所示，为了减少等离子清洗机上下料时容易卡料的现象，所述料盒安装机构40还包括升降模组41、横移模组42和料盒安装座43。当然，料盒安装机构40还可以包括用于安装及支撑所述升降模组41、横移模组42、料盒安装座43等各个组件的安装底座430，以使得料盒安装机构40模块化，如此更加便于将料盒安装机构40安装至等离子清洗机10内。

其中升降模组41主要用于带动料盒安装机构40进行升降，以使得安装在料盒安装机构40上的料盒70可达到预设的上下料高度，保证料盒70内的物料与推料机构30对应。具体的，所述升降模组41包括升降驱动件411和竖向延伸的升降导轨412。升降驱动件411(以及下文所述的横移驱动件421)可以是电机、气缸、或者也液压缸中的任意一种。升降导轨412可以安装在安装底座430上，并且升降导轨412的数量可以设有多条，以增加料盒安装机构40升降运动的稳定性。

横移模组42主要用于驱动料盒安装座43相对推料机构30横移，以调整料盒70内的物料与推料机构30之间的相对位置。具体的，所述横移模组42包括横移驱动件421和水平延伸的横移导轨422，所述横移导轨422滑动安装于所述升降导轨412上并可被所述升降驱动件411驱动而滑动。横移导轨422可以直接滑动安装于升降导轨412上，也可以通过中间连接件而与升降导轨412滑动连接。例如在一实施例中，所述升降模组41还包括升降安装座413，所述升降安装座413滑动安装于所述升降导轨412上并可被所述升降驱动件411驱动而滑动，所述横移导轨422和所述横移驱动件421均安装于所述升降安装座413上。如此设计可便于横移模组42的拆装，还能够为料盒安装座43提供足够的支撑。

另外，在本实施例中，所述料盒安装座43滑动安装于所述横移导轨422上并可被所述横移驱动件421驱动而滑动，具体而言是沿着横移导轨422的延伸方向滑动。进而能够调整料盒70内的物料和推料机构30的相对位置(或调整物料和托料治具的相对位置)，使得推料机构30在物料上的推料位置相对居中，以及使物料与托料治具上的夹料槽准确对位，保证物料能够顺畅的进行上料和下料，减少卡料现象。

在一发明实施例中，如图11所示，该导料机构50包括导料安装座51、调宽驱动件52和导料模组53。导料安装座51主要用于为导料机构50的其它部件提供安装基础，在本实施例中，导料安装座51由多块板材搭建而成，结构简单易得。当然，安装座的具体结构、大小、材质等均可以根据实际需要自行设定。

所述导料模组53安装于所述导料安装座51上，是物料传送的基本单元，主要用将物料在料盒安装机构40和托料循环机构之间进行传送。具体的，所述导料模组53包括沿一直线方向间隔相对的两个导料组件(第一导料组件531和第二导料组件532)，具体而言，两个导料组件相对间隔设置时所形成的导入端可与料盒70的物料出入口对接，所形成的导出端可与托料治具循环机构20的托料治具对接，进而实现物料的传送。

其中，每个所述导料组件在面向另一导料组件的表面上设有传送结构件533，两个所述传送结构件533共同支撑及传送待传送的物料。具体的，传送结构可以为传送带、传送托辊、传送轮或者其他的组合结构，仅需能够传送物料即可。在本实施例中，所述传送结构件533包括传送带、传送轮和压料轮，所述传送带套接于多个所述传送轮组外并可被所述传送轮组带动运动，传送带可通过摩擦力带动物料运动，进而实现物料的传送。所述压料轮组用于紧压所述传送带上的物料，避免物料翘起或悬空而影响物料传送的情况。在另外的一些实施例中，压料轮弹性抵压物料，避免压紧力过大或过小。

在本实施例中，两个所述导料组件中至少一者可被所述调宽驱动件52驱动并向另一者运动，以调节所述两个导料组件之间的间距。具体的，可以是两个导料组件中的一者滑动安装在导料安装座51上并可被调宽驱动件52驱动而滑动，也可以两个导料组件都能够相向运动，可以根据实际情况进行设定。

可以理解的是，通过调宽驱动件52调节两个导料组件之间的间距，进而能够灵活的对不同宽度的物料进行导料，有效地解决了现有的一些等离子清洗机10中，其导料机构50只能导单一规格的物料，而无法灵活的对不同宽度的物料进行导料的技术问题。

在一实施例中，腔体模组60可包括第一腔体61和第二腔体，第一腔体61设于托料治具循环机构20的上方，所述第二腔体安装于托料治具循环机构20的下方并与所述第一腔体61上下相对，所述第一腔体61和所述第二腔体可围合出用于清洗物料的真空腔。其中第一腔体61可与真空泵67，第二腔体可与匹配箱(如RF匹配箱)接通，第二腔体上还可以安装有阴极板，以使得物料在清洗时正反面都能够得到有效的清洗。

而在现有的一些等离子清洗机10中，第一腔体61固定于清洗机内，并且随着等离子清洗机10的小型化，第一腔体61与其他的机构部件都安装得较为紧凑，工作人员要对第一腔体61进行清洁维护时并不是很方便。因此，如图12所示，为便于工作人员对第一腔体61进行清洗和维护，本发明等离子清洗机10还包括第二升降装置62和限位装置63。所述第二升降装置62能够带动所述第一腔体61做升降运动，所述限位装置63用于在所述第二升降装置62将所述第一腔体61顶升之后对所述第一腔体61进行限位。

具体的，第二升降装置62可以为电机、气缸、液压缸或者其他的驱动元件，第二升降装置62可与第一腔体61连接，并在需要清洗时将第一腔体61顶升。需要说明的是，第二升降装置62将第一腔体61顶升的高度应使得第一腔体61脱离工作状态时的位置，并与等离子清洗机10内的其它机构部件相间隔，进而为工作人员提供足够的活动空间。

而在第二升降装置62将第一腔体61顶升后，限位装置63对第一腔体61进行限位，以避免第一腔体61在清洁维护的过程中意外回落，保证工作人员能够在安全的环境下对第一腔体61进行清洁和维护。

限位装置63对第一腔体61进行限位的方式有多种，可以在第一腔体61升到清洁高度后对第一腔体61进行夹紧、支撑、与相应限位结构卡合等等。在本实施例中，所述限位装置63包括限位气缸631和限位件633，所述限位件633与所述限位气缸631的活塞杆632相连接；在所述第二升降装置62驱动所述滑动件上升之后，所述限位件633可被所述限位气缸631驱动至所述滑动件的下方并与所述滑动件抵接。

具体的，限位气缸631的活塞杆632水平设置，活塞杆632的自由端连接有限位件633，在第二升降装置62将第一腔体61顶升到预设的高度之后，限位气缸631驱动活塞杆632伸出，并带动限位件633运动至第一腔体61的下方，进而对第一腔体61进行限位。可以理解的是，限位装置63由限位气缸631和限位件633形成，不仅结构简单，易于获得，还能够很好的对第一腔体61进行限位。

需要说明的是，限位件633可以和第一腔体61直接抵接而对第一腔体61进行限位，也可以通过抵接在第一腔体61上所连接有的其它部件而对第一腔体61进行限位。限位件633可以是块状结构，以能够很好的支撑并限位第一腔体61。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种等离子清洗机，其特征在于，包括：

料盒安装机构，用于安装存放有物料的料盒；

腔体模组，用于对所述物料进行清洗；以及，

托料治具循环机构，能够在所述料盒安装机构和所述腔体模组之间运送所述物料，所述托料治具循环机构包括：

托料治具，用于放置待清洗的物料；

送料模组，包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于所述两条送料导轨上的送料件；所述两条送料导轨的间隔大于所述托料治具在所述两条送料导轨的排布方向上的宽度，所述送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动所述托料治具移动；

回料模组，设于所述送料模组的所述两条送料导轨之间且位于所述送料件的下方，并能够带动所述托料治具移动；以及，

第一升降装置，设于所述回料模组的下方，所述第一升降装置能够带动所述托料治具在所述送料模组和所述回料模组之间循环切换。

2.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述送料件具有与所述两条送料导轨一一对应滑动连接的两个滑动部，每个所述滑动部连接有朝向另一滑动部凸出的定位块，所述定位块用以支撑及定位所述托料治具。

3.如权利要求2所述的等离子清洗机，其特征在于，所述定位块与所述送料件转动连接，以使所述定位块能够向上翻转。

4.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述回料模组包括并行且间隔排布的两条回料导轨，至少一条所述回料导轨上滑动安装有回料件，所述回料件能够定位以及带动所述托料治具移动。

5.如权利要求4所述的等离子清洗机，其特征在于，托料治具还设有与所述回料件适配的第二定位槽，所述回料件可卡接于所述第二定位槽内；和/或，

所述托料治具的底面和/或侧面凸设有滚珠结构，所述滚珠结构可与所回料模组的所述回料导轨滚动接触。

6.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述等离子清洗机还包括推料机构，所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出，以及将清洗完成的物料推回所述料盒，所述推料机构包括：

推料模组，包括推料导轨和推料驱动件；

调整模组，包括调整导轨和调整驱动件，所述调整导轨滑动安装于所述推料导轨上并与所述推料导轨呈十字交叉设置，所述调整导轨可被所述推料驱动件驱动而滑动；以及，

推料件，滑动安装于所述调整导轨上，并可被所述调整驱动件驱动而滑动。

7.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述料盒安装机构包括：

料盒安装座；

夹紧驱动件；以及，

夹紧组件，安装于所述料盒安装座，并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件中至少一者可被所述夹紧驱动件驱动并向另一者滑动，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件用于共同夹紧待安装的料盒。

8.如权利要求7所述的等离子清洗机，其特征在于，所述料盒安装机构包括：

升降模组，包括升降驱动件和竖向延伸的第一升降导轨；

横移模组，包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨，所述横移导轨滑动安装于所述第一升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动；以及，

所述料盒安装座滑动安装于所述横移导轨上并可被所述横移驱动件驱动而滑动。

9.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述等离子清洗机还包括导料机构，所述导料机构设于所述料盒安装机构和所述托料治具循环机构之间，并用于将所述料盒内的物料导至所述托料治具上；所述导料机构包括：

导料安装座；

调宽驱动件；以及，

导料模组，安装于所述导料安装座上并包括沿一直线方向间隔相对的两个导料组件，每个所述导料组件在面向另一导料组件的表面上设有传送结构件，两个所述传送结构件共同支撑及传送待传送的物料；

两个所述导料组件中至少一者可被所述调宽驱动件驱动并向另一者运动，以调节所述两个导料组件之间的间距。

10.如权利要求1至5任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述腔体模组包括：

第一腔体；

第二升降装置，能够带动所述第一腔体做升降运动；以及，

限位装置，用于在所述第二升降装置将所述第一腔体顶升之后对所述第一腔体进行限位。

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