CN213701149U - 等离子清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种等离子清洗机，该等离子清洗机包括料盒安装机构和推料机构，所述料盒安装机构用于安装料盒，所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出。所述料盒安装机构包括升降模组、横移模组和料盒安装座。所述升降模组包括升降驱动件和竖向延伸的升降导轨。所述横移模组包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨，所述横移导轨滑动安装于所述升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动。所述料盒安装座滑动安装于所述横移导轨上并可被所述横移驱动件驱动而滑动。本实用新型等离子清洗机可有效解决解决现有的一些等离子清洗机在上料或下料时容易出现卡料现象的技术问题。

Description

等离子清洗机

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗机技术领域，特别涉及一种等离子清洗机。

背景技术

在IC行业中，基板和引线框架在生产时通常会遗留有溢胶、氧化物等污染物，进而影响焊线效果，目前主要是通过等离子清洗机对基板和引线框架进行清洗。

现有的一些等离子清洗机在清洗时主要是通过推料机构将料盒内的基板或引线框架推到托料治具的夹料槽内上，进而完成上料工序；或者通过推料机构将托料治具上清洗好的基板或引线框架推回料盒内，进而完成下料工序。

然而由于物料宽度的不同，物料通过料盒定位时，推料机构在物料上推料位置容易偏离居中位置，进而容易把物料推歪而造成卡料的情况。或者，不同宽度的料盒在重新安装时，也可能与托料治具上夹料槽发生偏离，进而容易出现卡料的现象。

上述内容仅用于辅助理解实用新型的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种等离子清洗机，旨在解决现有的一些等离子清洗机在上料或下料时容易出现卡料现象的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的等离子清洗机包括料盒安装机构和推料机构，所述料盒安装机构用于安装料盒，所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出。所述料盒安装机构包括升降模组、横移模组和料盒安装座。所述升降模组包括升降驱动件和竖向延伸的升降导轨。所述横移模组包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨，所述横移导轨滑动安装于所述升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动。所述料盒安装座滑动安装于所述横移导轨上并可被所述横移驱动件驱动而滑动。

在一实施例中，所述升降模组还包括升降安装座，所述升降安装座滑动安装于所述升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动，所述横移导轨和所述横移驱动件均安装于所述升降安装座上。

在一实施例中，所述横移驱动件与所述料盒安装座呈上下相对设置。

在一实施例中，所述横移驱动件包括驱动丝杠，所述驱动丝杠通过连接件与所述料盒安装座相连接。

在一实施例中，所述升降安装座上还设有支撑件，所述支撑件用以支撑所述驱动丝杠。

在一实施例中，所述升降安装座上设有多条所述横移导轨，所述料盒安装座同时安装于所述多条横移导轨上。

在一实施例中，所述横移模组还包括横移感应器，所述横移感应器用于感应所述料盒安装座的调整距离；和/或，所述升降模组还包括升降感应器，所述升降感应器用以感应所述料盒安装座的升降距离。

在一实施例中，所述横移导轨的两端均设有第一限位件；和/或，所述升降导轨的两端均设有第二限位件。

在一实施例中，所述料盒安装座上设有多个料盒安装位，所述多个料盒安装位沿所述横移导轨的延伸方向排布。

本实用新型等离子清洗机包括料盒安装机构和推料机构，所述料盒安装机构用于安装料盒，所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出。其中，所述料盒安装机构包括升降模组、横移模组和料盒安装座，升降模组包括升降驱动件和竖向延伸的升降导轨，横移模组包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨，横移导轨滑动安装于升降导轨上并可被升降驱动件驱动而滑动。料盒安装座则滑动安装于横移导轨上并可被横移驱动件驱动而滑动。

本实用新型等离子清洗机可通过升降驱动件驱动横移导轨做升降运动，进而将料盒带动至预设的上下料高度；同时还可以通过横移驱动件驱动料盒安装座沿横移导轨滑动，进而能够调整物料和推料机构的相对位置(或调整物料和托料治具的相对位置)，使得推料机构在物料上的推料位置相对居中，以及使物料与托料治具上的夹料槽准确对位，保证物料能够顺畅的进行上料和下料，减少卡料现象。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型等离子清洗机一实施例的结构示意图；

图2为图1中料盒安装机构一实施例的结构示意图；

图3为图2中料盒安装机构一实施例的部分结构示意图；

图4为图2中料盒安装座一实施例的结构示意图；

图5为图4中料盒安装座的部分结构示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称	标号	名称
						10	等离子清洗机	4211	驱动丝杠	47	第一夹紧导轨
20	托料治具循环机构	422	横移导轨	48	第一滑动件
						30	推料机构	43	料盒安装座	49	第二夹紧导轨
40	料盒安装机构	441	上座	410	弹性件
						41	升降模组	442	下座	420	支撑垫
411	升降驱动件	44	支撑件	50	导料机构
						412	升降导轨	45	夹紧驱动件	60	腔体模组
413	升降安装座	46	夹紧组件	70	料盒
						42	横移模组	461	第一夹紧件
421	横移驱动件	462	第二夹紧件

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种等离子清洗机。

在本实用新型实施例中，如图1所示，该等离子清洗机包括包括料盒安装机构40、推料机构30、导料机构50、托料治具循环机构20以及腔体模组60。在等离子清洗机10对基板、引线框架等物料进行清洗之前，先通过料盒70将多个物料存放好，料盒70呈盒状结构并具有前后贯通的开口，料盒70内具有上下排布的多层物料放置层，其中每一层都能够放置一片待清洗或已经清洗结束的物料。料盒70前后贯通的开口使得物料可以被推出或推回，进而实现物料在料盒70内的上下料。

料盒安装机构40则用于安装及定位料盒70，并且可带动料盒70做升降运动，以使每一层物料放置层内的物料都可以被推出或推回。

推料机构30主要用于将料盒70内的基板或引线框架推到托料治具循环机构20上，进而完成上料工序。以及，推料机构30还用于将托料治具21上清洗好的基板或引线框架推回料盒70内，进而完成下料工序。当然，推料机构30可以设置有多个，比如设置有两个推料机构30，其中一个设于料盒安装机构40的后方并且负责将料盒70内的物料推出，另一个则可以设于料盒安装机构40的前方并且负责将托料治具21上清洗好的物料推回料盒70内。

而导料机构50设于料盒安装机构40和托料治具循环机构20之间，主要用于将物料在料盒70和托料治具循环机构20之间进行传送，既能够避免推料机构30推料不完全而影响上下料的情况，还能够减少粉尘污染的产生。具体的，在推料机构30将料盒70内的物料推出之后，导料机构50将物料传送至托料治具循环机构20上；在推料机构30将托料治具循环机构20上的物料推出之后，导料机构50将物料反向运送回料盒70内，保证上下料的顺利进行。

托料治具循环机构20主要用于将料盒安装机构40处的物料运送至腔体模组60处进行清洗，以及将腔体模组60处清洗完成的物料运回料盒安装机构40处进行存放。托料治具循环机构20在运送物料时，可以通过托料治具21先将物料放置并定位好，再通过驱动件、运送轨道等将托料治具21运送至腔体模组60处或料盒安装机构40处。

腔体模组60包括用于清洗物料的反应腔体，物料被运送至腔体模组60后，可将物料置入反应腔体内，反应腔体内的电场会通过电离气体(如氩气)而产生等离子体，进而借助等离子体具有活性组分的性能而对物料进行清洗。

而为了解决现有的一些等离子清洗机在上料或下料时容易出现卡料现象的技术问题，如图2及图3所示，所述料盒安装机构40包括升降模组41、横移模组42和料盒安装座43。当然，料盒安装机构40还可以包括用于安装及支撑所述升降模组41、横移模组42、料盒安装座43等各个组件的安装底座430，以使得料盒安装机构40模块化，如此更加便于将料盒安装机构40安装至等离子清洗机10内。

其中升降模组41主要用于带动料盒安装机构40进行升降，以使得安装在料盒安装机构40上的料盒70可达到预设的上下料高度，保证料盒70内的物料与推料机构30对应。具体的，所述升降模组41包括升降驱动件411和竖向延伸的升降导轨412。升降驱动件411(以及下文所述的横移驱动件421)可以是电机、气缸、或者也液压缸中的任意一种。升降导轨412可以安装在安装底座430上，并且升降导轨412的数量可以设有多条，以增加料盒安装机构40升降运动的稳定性。

横移模组42主要用于驱动料盒安装座43相对推料机构30横移，以调整料盒70内的物料与推料机构30之间的相对位置。具体的，所述横移模组42包括横移驱动件421和水平延伸的横移导轨422，所述横移导轨422滑动安装于所述升降导轨412上并可被所述升降驱动件411驱动而滑动。横移导轨422可以直接滑动安装于升降导轨412上，也可以通过中间连接件而与升降导轨412滑动连接。例如在一实施例中，所述升降模组41还包括升降安装座413，所述升降安装座413滑动安装于所述升降导轨412上并可被所述升降驱动件411驱动而滑动，所述横移导轨422和所述横移驱动件421均安装于所述升降安装座413上。如此设计可便于横移模组42的拆装，还能够为料盒安装座43提供足够的支撑。

另外，在本实施例中，所述料盒安装座43滑动安装于所述横移导轨422上并可被所述横移驱动件421驱动而滑动，具体而言是沿着横移导轨422的延伸方向滑动。进而能够调整料盒70内的物料和推料机构30的相对位置(或调整物料和托料治具的相对位置)，使得推料机构30在物料上的推料位置相对居中，以及使物料与托料治具上的夹料槽准确对位，保证物料能够顺畅的进行上料和下料，减少卡料现象。

在一实施例中，为避免料盒安装座43在滑动的过程中意外脱离横移导轨422或与等离子清洗机10内的其它部件相碰撞，所述横移导轨422的两端均设有第一限位件，第一限位件可以为优力胶等具有一定弹性的结构件，以在限位的同时，避免料盒安装座43与第一限位件之间相互碰撞损坏。

同样的，还可以在所述升降导轨412的两端均设有第二限位件，进而对料盒安装座43的升降进行限位。

而在另外的一些实施例中，为了更加准确的控制料盒安装座43的横移和升降，所述横移模组42还包括横移感应器，所述横移感应器用于感应所述料盒安装座43的调整距离，所述升降模组41还包括升降感应器，所述升降感应器用以感应所述料盒安装座43的升降距离。

在一实施例中，如图2所示，所述横移驱动件421与所述料盒安装座43呈上下相对设置。具体的，升降安装座413可包括水平设置的安装板，横移导轨422设于安装板的上表面，并使料盒安装座43滑动安装于横移导轨422上。同时横移驱动件421安装于该安装板的下方，横移驱动件421可以通过连接件与料盒安装座43连接并驱动料盒安装座43滑动。可以理解的是，横移驱动件421与料盒安装座43上下相对可使得料盒安装机构40的整体宽度和长度更小，有利于减小等离子清洗机10的整体体积。

在一实施例中，如图3所示，为了更好的控制料盒安装座43的横移距离，所述横移驱动件421包括驱动丝杠4211，所述驱动丝杠4211通过连接件与所述料盒安装座43相连接。连接件可以为刚性较好的块状结构，以避免连接件在滑动过程中发生变形、断裂等等。

在一实施例中，如图3所示，所述升降安装座413上还设有支撑件44，所述支撑件44用以支撑所述驱动丝杠4211。支撑件44可以设有多个，如此可以对驱动丝杠4211的端部、中部等多个部位进行支撑，保证驱动丝杠4211的直线性，进而确保料盒安装座43能够准确的横移。

在一实施例中，如图3所示，所述升降安装座413上设有多条所述横移导轨422，多条横移导轨422并排设置。所述料盒安装座43同时安装于所述多条横移导轨422上，进而增加料盒安装座43安装和滑动的稳定性。

在一实施例中，如图2所示，所述料盒安装座43上设有多个料盒70安装位，所述多个料盒70安装位沿所述横移导轨422的延伸方向排布，进而同时能够调整多个料盒70的位置。其中，料盒70安装位可以由凹槽形成，也可以由夹紧组件46形成，在此不做具体的限定。

在一实施例中，如图2、图4及图5所示，为使得料盒安装机构40能够灵活安装不同宽度的料盒70，该料盒安装机构40还包括夹紧把驱动件和夹紧组件46。所述夹紧组件46安装于所述料盒安装座43，并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件461和第二夹紧件462，第一夹紧件461和第二夹紧件462大小、形状及材质不限，仅需能够夹紧料盒70即可。例如，料盒70为方盒时，可使第一夹紧件461和第二夹紧件462均为板状结构，或者第一夹紧件461和第二夹紧件462用于夹持料盒70的部分与料盒70外形适配，如此既能稳定的夹紧料盒70，还便于制造和安装。

其中，所述第一夹紧件461和所述第二夹紧件462中至少一者可被所述夹紧驱动件45驱动并向另一者滑动，所述第一夹紧件461和所述第二夹紧件462用于共同夹紧待安装的料盒70。具体的，可使第一夹紧件461和第二夹紧件462中至少一者滑动安装于料盒安装座43上，并且可被夹紧驱动件45驱动滑动。第一夹紧件461和第二夹紧件462可以只有其中一个滑动，也可以两个均滑动。

当安装料盒70时，可先将料盒70放置于第一夹紧件461和第二夹紧件462之间，再通过夹紧驱动件45的驱动并使第一夹紧件461和第二夹紧件462相向运动，进而将料盒70夹紧定位。可以理解的是，因为第一夹紧件461和第二夹紧件462之间可相对滑动，进而能够夹紧不同宽度的料盒70，并且夹紧料盒70的操作过程简单方便，能够有效的解决解决现有的一些等离子清洗机10无法灵活的安装不同宽度的料盒70的技术问题。

在一实施例中，如图4及图5所示，所述第一夹紧件461滑动安装于所述料盒安装座43上并可被所述夹紧驱动件45驱动滑动，所述第二夹紧件462固定安装于所述料盒安装座43上。可以理解的是，第一夹紧件461和第二夹紧件462中只有一者滑动安装时，部件便于夹紧组件46的组装，还利于控制对料盒70的夹紧。所述夹紧组件46设有多组，多组所述夹紧组件46沿所述第一夹紧件461的滑动方向排布，进而能够同时夹紧多个料盒70，提高等离子清洗机10的清洗效率。

在本实施例中，以第一夹紧件461沿左右方向滑动为例，多组夹紧组件46在排布时，可使每组夹紧组件46中的第一夹紧件461均位于第二夹紧件462的左侧，进而使得所有第一夹紧件461均是向右运动而夹紧料盒70。

在一实施例中，如图4或图5所示，所述料盒安装座43上还设有第一夹紧导轨47，所述料盒安装机构40还包括第一滑动件48，所述第一滑动件48滑动安装于所述第一导轨上并沿所述第一导轨的延伸方向延伸。所有所述第一夹紧件461均安装于所述第一滑动件48上，所述第一滑动件48滑动可被所述夹紧驱动件45驱动。可以理解的是，通过将所有的第一夹紧件461均安装在第一滑动件48上，使得夹紧驱动件45能够同时控制多个第一夹紧件461的滑动，进而同时夹紧多个料盒70。简化了料盒安装机构40的结构、以及控制多个加紧组件夹紧料盒70的驱动过程。

在一实施例中，如图5所示，所述第一滑动件48上还设有第二夹紧导轨49，所述第二夹紧导轨49沿所述第一夹紧导轨47的延伸方向延伸，所述第一夹紧件461滑动安装于所述第二夹紧导轨49上；每个所述第一夹紧件461和所述第一滑动件48之间还连接有弹性件410，所述弹性件410沿所述第二夹紧导轨49的延伸方向延伸。

弹性件410的设置使得第一夹紧件461能够弹性夹紧料盒70，在料盒70已经与第二夹紧件462相抵接时，如果第一夹紧件461继续推着料盒70向第二夹紧件462滑动，则第一夹紧件461会压缩或拉伸弹性件410并沿第二夹紧导轨49后退，避免夹伤料盒70。

在一实施例中，如图4或图5所示，所述第一夹紧导轨47设有多条，多条所述第一夹紧导轨47并排设置，所述第一滑动件48滑动同时安装于所述多条第一夹紧导轨47上。进而增加第一滑动件48的滑动稳定性。

在一实施例中，如图4所示，所述料盒安装座43包括上下相对的下座442和上座441，所述上座441的顶面用于供待安装的料盒70放置，所述夹紧驱动件45和所述夹紧组件46均安装于所述上座441和所述下座442之间，且所述第一夹紧件461和所述第二夹紧件462均伸出所述上座441的顶面。具体的，上座441开设有多个通孔，第一夹紧件461和第二夹紧件462可穿过所述通孔而伸出上座441的顶面，并且通孔的长度足够第一夹紧件461滑动并夹紧料盒70。

因为料盒70直接放置在上座441的顶面时容易与上座441发生滑动磨损，因此在一实施例中，所述料盒安装机构40还包括支撑垫420，所述支撑垫420安装于所述上座441的顶面并位于所述第一夹紧件461和所述第二夹紧件462之间，所述支撑垫420用于支撑待安装的料盒70。支撑垫420的设置可有效的减少料盒70与料盒安装座43之间的滑动磨损，增加料盒70的使用寿命。

在一实施例中，如图4所示，为便于制造和组装，所述支撑件44呈条状结构，每组所述夹紧组件46均对应设有两条所述支撑垫420，其中一条与所述第一夹紧件461固定连接，另一条在靠近所述第二夹紧件462的位置上相对所述第二夹紧件462固定。即其中一条支撑垫420可跟随第一夹紧件461向第二夹紧件462滑动，进而可灵活地支撑不同宽度的料盒70。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种等离子清洗机，其特征在于，包括：

料盒安装机构和推料机构，所述料盒安装机构用于安装料盒，所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出；所述料盒安装机构包括：

升降模组，包括升降驱动件和竖向延伸的升降导轨；

横移模组，包括横移驱动件和水平延伸的横移导轨，所述横移导轨滑动安装于所述升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动；以及，

料盒安装座，滑动安装于所述横移导轨上并可被所述横移驱动件驱动而滑动。

2.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述升降模组还包括升降安装座，所述升降安装座滑动安装于所述升降导轨上并可被所述升降驱动件驱动而滑动，所述横移导轨和所述横移驱动件均安装于所述升降安装座上。

3.如权利要求2所述的等离子清洗机，其特征在于，所述横移驱动件与所述料盒安装座呈上下相对设置。

4.如权利要求3所述的等离子清洗机，其特征在于，所述横移驱动件包括驱动丝杠，所述驱动丝杠通过连接件与所述料盒安装座相连接。

5.如权利要求4所述的等离子清洗机，其特征在于，所述升降安装座上还设有支撑件，所述支撑件用以支撑所述驱动丝杠。

6.如权利要求2所述的等离子清洗机，其特征在于，所述升降安装座上设有多条所述横移导轨，所述料盒安装座同时安装于所述多条横移导轨上。

7.如权利要求1至6任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述横移模组还包括横移感应器，所述横移感应器用于感应所述料盒安装座的调整距离；和/或，

所述升降模组还包括升降感应器，所述升降感应器用以感应所述料盒安装座的升降距离。

8.如权利要求1至6任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述横移导轨的两端均设有第一限位件；和/或，所述升降导轨的两端均设有第二限位件。

9.如权利要求1至6任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述料盒安装座上设有多个料盒安装位，所述多个料盒安装位沿所述横移导轨的延伸方向排布。

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