JPH10265018A

JPH10265018A - 基板の搬送装置

Info

Publication number: JPH10265018A
Application number: JP8863597A
Authority: JP
Inventors: Noriya Wada; 憲也和田; Yoshio Morita; 宜夫森田
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1997-03-25
Filing date: 1997-03-25
Publication date: 1998-10-06
Anticipated expiration: 2017-03-25
Also published as: JP3944940B2

Abstract

(57)【要約】【目的】左右に設けた支持板の間隔を調整することに
よって、サイズの異なる基板を、その左右の両側をガイ
ドした状態で搬送できるようになり、基板を安定した状
態で搬送できるようにする。【構成】左右の支持板２０Ｒ，２０Ｌには、相手方の
支持板に向けて、その先端が両支持板２０Ｒ，２０Ｌ間
の間隔の中間を越えた位置にまで延在された多数の回転
軸２１が連結され、両側の各回転軸２１には、先端ロー
ラ２６及びガイドローラ２７が固定的に設けられ、ガイ
ドローラ２７は先端ローラ２６の外径と同一の外径を有
する円形部２７ａにガラス板の左右の両側部をガイドす
る円錐部２７ｂを連設したものである。支持板２０Ｒ，
２０Ｌはモータ３１で作動するねじ軸２９が連結され
て、このねじ軸２９を回転させることによって、支持板
２０Ｒ，２０Ｌは近接・離間する方向に変位する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルを構成
するガラス基板等の基板に対して所定の処理を行うため
に、この基板を水平搬送する基板の搬送装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶パネルは上下２枚のガラス
基板間に液晶を封入したものから構成され、少なくとも
一方のガラス基板にドライバＩＣを接続すると共に、こ
のドライバＩＣのアウタリードはプリント回路基板に接
続される。この液晶パネルを製造するに当っては、所定
の形状にした２枚のガラス基板を用いるが、これらガラ
ス基板は、所定の形状に切断したガラス板から製造され
る。この２枚のガラス基板として、例えばＴＦＴ基板と
カラーフィルタとからなる液晶パネルにあっては、ＴＦ
Ｔ基板を構成する一方のガラス板は、成膜、露光、膜剥
離等の工程を複数回繰り返すことにより形成され、また
カラーフィルタもガラス板に顔料によるフィルタ膜を成
膜した上で露光するようになし、この工程を複数回繰り
返すことにより形成される。

【０００３】以上のように、ＴＦＴ基板やカラーフィル
タ等、液晶パネルを構成するガラス基板は、種々の工程
を経て製造されるが、また工程と工程との間には、ガラ
ス板を繰り返し洗浄されることになる。このようにガラ
ス基板の製造を自動化するには、コンベアラインを設け
て、このコンベアラインに沿ってガラス板を搬送する間
に、このガラス板に対する様々な処理が行われる。ま
た、ガラス板の洗浄は、独立の工程として行われる場合
があるが、コンベアラインで搬送中に行われることもあ
る。この場合には、コンベアラインの適宜の位置に洗浄
液シャワー装置を設けて、搬送中のガラス板に向けて洗
浄液を噴射させることになる。ここで、コンベアライン
は所定の長さを有するコンベアを一単位の搬送手段とし
て構成し、この単位となるコンベアを所定数並べるよう
にして所要の長さのコンベアラインが形成される。

【０００４】搬送手段としてのコンベアは、図４及び図
５に示したものが用いられている。これらの図から明ら
かなように、所定の長さを有する左右一対からなる支持
板１，１を平行に設けて、この一対の支持板１，１間に
所定のピッチ間隔をもって複数の回転軸２を軸受３を介
して回転自在に連結して設けられている。そして、各回
転軸２の一方側の端部は支持板１から突出しており、そ
の端部にはプーリ４が連結して設けられている。これら
の回転軸２のうちの１つの回転軸２ａには、モータ５が
歯車伝達手段６を介して接続されており、このモータ５
によって回転軸２ａが回転駆動されるようになってい
る。また、回転軸２ａに設けたプーリ４ａと他のプーリ
４との間には、タイミングベルト等からなる伝達ベルト
７が巻回して設けられており、この伝達ベルト７によっ
て、全ての回転軸２が同時に同じ方向に回転駆動される
ようになる。

【０００５】回転軸２の中央位置にはセンタローラ８が
固定して設けられ、またこのセンタローラ８から左右に
所定の間隔だけ離間した位置に、一対のガイドローラ９
が設けられている。ガイドローラ９は円形部９ａと円錐
部９ｂとからなり、円形部９ａをセンタローラ８に向く
ように配置して、円錐部９ｂの円錐面が相対向する状態
にして回転軸２に固定される。従って、ガラス基板Ｇ
は、その裏面がセンタローラ８と両ガイドローラ９にお
ける円形部９ａとに当接し、かつその左右のエッジ部分
は円錐部９ｂ，９ｂの円錐面に係合するようにして位置
決めされた状態になる。そこで、伝達ベルト５の駆動に
より各回転軸２を回転駆動して、この回転軸２と一体に
センタローラ８及びガイドローラ９を回転駆動すること
によって、ガラス基板Ｇが搬送される。しかも、ガラス
板Ｇの左右両側部分はガイドローラ９の円錐面９ｂａに
ガイドされることから、正確に直進方向に搬送される。
これによって、ガラス板は、この搬送手段から逸れたり
することがなくなるだけでなく、所定の位置でガラス板
に対する処理を行うために、ガラス板Ｇを停止させて、
真空吸着で取り出す際において、実質的に粗位置決めさ
れた状態で取り出すことができる。

【０００６】ところで、近年においては、液晶パネルの
サイズや多品種化する傾向にあり、このために液晶パネ
ルを構成するガラス板も種々のサイズのものが用いられ
る。前述した搬送手段のように、回転軸にガラス板の左
右両側部を規制する円錐部を有するガイドローラを固定
的に設けると、搬送方向と直交する方向のサイズが異な
るガラス板は搬送できなくなってしまう。

【０００７】以上の点を考慮して、図６に示したコンベ
アを用いるように構成したものもある。この図から明ら
かなように、左右一対からなる支持板１０，１０間に設
けた回転軸１１には、その軸線方向に所定の間隔で受け
ローラ１２を複数個固定して設けるようになし、最も幅
の小さいガラス板Ｇであっても、その裏面が各回転軸１
１に設けた少なくとも２箇所の受けローラ１２に当接す
るようにしている。そして、このコンベアには、ガラス
板Ｇのセンタリングを行うために、コンベアにおける搬
送方向の少なくとも１箇所にシリンダ１３と、このシリ
ンダ１３により昇降駆動される昇降部材１４とからなる
ガラス板昇降手段１５が設けられており、このガラス板
昇降手段１５により搬送手段により搬送されるガラス板
Ｇを昇降できるようになっている。さらに、ガラス板昇
降手段１５によりガラス板Ｇを上昇させた位置の左右に
は、アライメント部材１６，１６を設けて、このアライ
メント部材１６，１６を図示しない駆動手段により近接
・離間する方向に変位可能としている。

【０００８】このように構成すれば、ガラス板Ｇをガラ
ス板昇降手段１５により上昇させて、アライメント部材
１６，１６を近接する方向に変位させることによって、
ガラス板Ｇの左右の両側部に当接させて、搬送手段の搬
送方向における中心線に向けてアライメントを行うこと
ができる。この状態で、ガラス板昇降手段１５でガラス
板Ｇを下降させて、その裏面を回転軸１１に装着した受
けローラ１２に当接させるようになし、回転軸１１を回
転駆動することによって、ガラス板Ｇが搬送されるよう
になる。しかも、コンベアの搬送面には受けローラ１２
より突出する部材が設けられないことから、支持板１
０，１０間の間隔に相当する幅以下のガラス板であれば
搬送が可能になる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、異なるサイ
ズのガラス板の搬送を行うために、回転軸に多数の受け
ローラを設けるようにすると、大きいサイズのガラス板
を搬送する場合には、ガラス板が接触する受けローラの
数が必要以上多くなり、しかもガラス板の左右両側を規
制するガイド機構を有しないために、受けローラに僅か
でも変形等があったり、ごみ等が付着していたりする
と、ガラス板が蛇行する等、このガラス板の搬送の安定
性が失われてしまう。特に、ガラス板の搬送中にシャワ
ー洗浄を行う場合にあっては、洗浄液の噴射によりガラ
ス板に衝撃が加わることにより、さらにガラス板の搬送
が不安定になるだけでなく、ガラス板に付着していたご
みが受けローラに付着するおそれも高くなる等、ガラス
板の搬送条件が悪くなってしまう。また、受けローラの
数が多いと、それだけクリーニングが面倒になる等とい
った不都合が生じる。

【００１０】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、サイズの異なる基板
を搬送できるようになし、かつ基板を安定した状態で搬
送できるようにした基板の搬送装置を提供することにあ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明は、左右一対の支持板と、これら両支持板
にそれぞれ所定のピッチ間隔をもって相手方の支持板に
向けて突出するようにして回転自在に装着した回転軸
と、これら支持板間の間隔を変化させる幅調整手段とを
有し、前記各回転軸には、先端に駆動ローラが装着さ
れ、中間位置に基板の側部をガイドするつば部を向けた
ガイドローラを設け、かつ一方側の支持板に装着した回
転軸のピッチ間隔と他方側の支持板に装着した回転軸の
ピッチ間隔とは相互にずらせて配置する構成としたこと
をその特徴とするものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について説明する。而して、図１には搬送装置
の概略構成を示し、この搬送装置によっては、図２に示
したように、大型のガラス板Ｇ₁ を搬送することがで
き、また図３に示したように、小型のガラス板Ｇ₂ を搬
送することもできるようになっている。なお、以下の説
明では、液晶パネルを構成するガラス板の搬送装置とし
て説明するが、搬送されるワークは、これ以外の基板で
あっても良い。

【００１３】図１から明らかなように、搬送装置は、左
右の支持板２０Ｒ，２０Ｌ（支持板を総称する場合には
符号２０を用いる）を有し、これら各支持板２０には、
それぞれ一定のピッチ間隔をもって多数の回転軸２１が
連結されている。各回転軸２１は、支持板２０に対して
軸受２２により回転自在に支持されて、この支持板２０
を貫通する状態に装着されている。そして、各回転軸２
１における支持板２０の外側の位置にはプーリ２３が連
結されており、これら回転軸２１のうち、１個の回転軸
２１ａはモータ２４により回転駆動されるものである。
また、この回転軸２１ａに連結したプーリ２３ａと他の
プーリ２３との間には伝達ベルト２５が巻回して設けら
れている。従って、モータ２４を作動させると、支持板
２０に装着した全ての回転軸２１が同じ方向に同期して
回転駆動されることになる。ここで、モータ２４及び伝
達ベルト２５は、支持板２０Ｒ及び２０Ｌにそれぞれ設
けられている。そして、モータ２４は回転軸２１ａの回
転駆動手段であり、また伝達ベルト２５は全ての回転軸
２１を回転軸２１ａに追従回転させるための回転伝達手
段である。なお、回転伝達手段としては、伝達ベルト２
５の他に、ギア等の手段で構成することもできる。ま
た、回転駆動手段としてのモータ２４は一方の支持板側
に設け、このモータ２４の回転をスプライン軸等を用い
て他方の支持板の回転軸２１に伝達する構成としても良
い。

【００１４】回転軸２１の先端には、ガラス板に対して
駆動力を伝達するために、先端ローラ２６が装着される
と共に、この先端ローラ２６より支持板２０側の位置に
ガイドローラ２７が設けられている。これら先端ローラ
２６及びガイドローラ２７は回転軸２１に固定的に設け
られており、従って回転軸２１が回転する際には、これ
ら先端ローラ２６及びガイドローラ２７も一体的に回転
することになる。ここで、先端ローラ２６は、ガラス板
の裏面に当接して、その回転によりガイドローラ２７の
円形部２７ａと共にガラス板を搬送する駆動ローラを構
成する。また、ガイドローラ２７は先端ローラ２６の外
径と同一の外径を有する円形部２７ａに円錐部２７ｂを
連設したものである。ここで、円錐部２７ｂの円錐面は
先端ローラ２６側に円錐面を向けたものであり、この円
錐部２７ｂでガラス板の左右両側部をガイドするつば部
となる。

【００１５】左右両側に位置する支持板２０Ｒ，２０Ｌ
に設けた各回転軸２１は、相手方の支持板に向けて、そ
の先端が両支持板２０Ｒ，２０Ｌ間の間隔の中間を越え
た位置にまで延在されている。また、各々の支持板２０
Ｒ，２０Ｌに設けた各回転軸２１は一定のピッチ間隔を
もって多数設けられており、かつ支持板２０Ｒからの各
回転軸２１と支持板２０Ｌからの各回転軸２１とは半ピ
ッチずつずれており、支持板２０Ｒからの回転軸２１と
支持板２０Ｌからの回転軸２１とが等しい間隔で交互に
配置されている。

【００１６】支持板２０Ｒと支持板２０Ｌとは、所定の
間隔毎にガイドロッド２８が挿通されると共に、ねじ軸
２９が螺挿されるナット３０Ｒ，３０Ｌが設けられてい
る。。ここで、ねじ軸２９における支持板２０Ｒへの螺
合部２９ａと支持板２０Ｌへの螺合部２９ｂとは逆ねじ
となっており、かつその一端側にはモータ３１が連結さ
れている。従って、モータ３１を駆動してねじ軸２９を
回転させると、支持板２０Ｒと支持板２０Ｌとは相互に
近接・離間する方向に変位することになる。

【００１７】以上のように構成される搬送装置は、寸法
サイズの異なる複数種類のガラス板を搬送することがで
きる。而して、図２に示したように、幅方向の寸法が大
きい大型のガラス板Ｇ₁ を搬送する場合には、支持板２
０Ｒと支持板２０Ｌとの間隔を広くして、支持板２０Ｒ
側の回転軸２１に設けたガイドローラ２７の円錐部２７
ｂと、支持板２０Ｌ側の回転軸２１におけるガイドロー
ラ２７の円錐部２７ｂとの間隔を、ガラス板Ｇ₁ の幅と
一致させる。これによって、ガラス板Ｇ₁ をコンベアに
載置すると、このガラス板Ｇ₁ の左右の両側部は、両支
持板２０Ｒ，２０Ｌのガイドローラ２７の円錐部２７ｂ
に当接し、かつその裏面は先端ローラ２６とガイドロー
ラ２７の円形部２７ａに当接した状態に保持される。

【００１８】そこで、支持板２０Ｒ，２０Ｌの駆動側の
回転軸２１ａをモータ２４を作動させると、これら回転
軸２１ａが回転駆動されると共に、伝達ベルト２５が回
転して、この駆動側の回転軸２１ａ以外の他の回転軸２
１が同期して同じ方向に回転するから、ガラス板Ｇ₁ を
所定の方向に搬送することができる。しかも、このガラ
ス板Ｇ₁ の搬送時には、その左右の両側部がガイドロー
ラ２７の円錐部２７ｂにより真直ぐ進行するようにガイ
ドされることから、コンベアに沿って安定した状態で搬
送され、蛇行等が生じるおそれはない。勿論、このコン
ベアにより搬送される間に、シャワー洗浄を行うように
しても、噴射される洗浄液の影響でガラス板Ｇ₁ が横ず
れする等のおそれはない。

【００１９】次に、前述のように、ガラス板Ｇ₁ を搬送
するのに適した状態となっているコンベアによって、幅
寸法の小さいガラス板Ｇ₂ を搬送する場合には、支持板
２０Ｒと２０Ｌとの間隔を狭めるようにする。この支持
板２０Ｒ，２０Ｌ間の間隔を狭めるには、モータ３１を
作動させて、ねじ軸２９を回転させる。ねじ軸２９にお
ける支持板２０Ｒのナット３０Ｒへの螺挿部と支持板２
０Ｌのナット３０Ｌへの螺合部とでは逆ねじ状態になっ
ているから、ねじ軸２９を回転させると、支持板２０Ｒ
と支持板２０Ｌとは近接・離間する方向に変位するよう
になる。従って、ねじ軸２９を一方向に回転させると、
支持板２０Ｒ，２０Ｌが相互に近接する方向に変位し
て、その間の間隔が狭くなる。支持板２０Ｒから突出す
る回転軸２１と支持板２０Ｌから突出する回転軸２１と
は、同一の水平面に配置されているが、それらは搬送方
向に向けて半ピッチずつずれているから、支持板２０
Ｒ，２０Ｌが近接する方向に変位しても、相互に干渉す
るおそれはなく、前後の回転軸２１，２１間に相手方の
回転軸２１が入り込むように変位する。

【００２０】支持板２０Ｒ，２０Ｌを近接させて、ガイ
ドローラ２７における円錐部２７ｂ，２７ｂ間の間隔
が、ガラス板Ｇ₂ の幅寸法と一致するか、それより僅か
に広い間隔となった時に、モータ３１を停止する。これ
によって、ガラス板Ｇ₂ をコンベア上に載置した時に、
このガラス板Ｇ₂ は、その裏面が両側から突出する回転
軸２１に設けた先端ローラ２６と、両側の回転軸２１に
おけるガイドローラ２７の円形部２７ａ上に載置され、
かつガラス板Ｇ₂ の左右両側部はガイドローラ２７の円
錐部２７ｂに当接乃至規制された状態になる。従って、
両支持板２０Ｒ，２０Ｌにそれぞれ設けたモータ２４を
作動させて、回転軸２１ａを回転駆動すると共に、プー
リ２３ａに巻回されている伝達ベルト２５を送ると、全
ての回転軸２１が同じ方向に同期して回転するから、ガ
ラス板Ｇ₂ はコンベアに沿って搬送されることになる。

【００２１】而して、支持板２０Ｒからの回転軸２１
と、支持板２０Ｌからの回転軸２１とは交互に設けられ
ているが、これら回転軸２１のピッチ間隔をある程度狭
くしておく。これによって、回転軸２１は片持ち状態と
なっているものの、ガラス板Ｇ₁ 及びＧ₂ の荷重は複数
本の回転軸に分散して受承されるようになるから、回転
軸２１に対して過大な荷重が作用して、変形したり、回
転が不安定になったりするおそれはない。また、ガラス
板に同時に当接する回転軸２１の数が多ければ多いほ
ど、このガラス板の水平度も維持されることになり、両
支持板２０Ｒ，２０Ｌからの回転軸２１を半ピッチずつ
回転軸をずらせることにより、ガラス板の先端部分にお
ける支持が欠落する間隔が狭くなることからも、ガラス
板はより安定した状態で搬送されることになる。

【００２２】なお、両支持板の回転軸を回転駆動するよ
うに構成したが、ガラス板の左右両側はガイドローラの
円錐部で規制されているから、一方の側の支持板に装着
した回転軸を回転駆動し、他方側の支持板には回転軸を
回転自在に支持するが、これらを回転駆動しなくても、
ガラス板の搬送を行うことができる。また、ガイドロー
ラは円形部と円錐部とから構成したが、必ずしも円錐部
を備える必要はなく、例えば円形部に円環状のフランジ
部を連設するようにしても良い。さらに、両支持板から
延在させた回転軸は必ずしも半ピッチずつずらせる必要
はない。さらにまた、モータとねじ軸とによって左右の
支持板の間隔を調整するようにすることにより無段階的
に調整可能となるが、例えば２段階乃至数段階程度の調
整で良い場合には、シリンダ等を用いて間隔調整を行う
ことができる。また、支持板の間隔調整は両側を動かす
のではなく、片側の支持板のみを動かすように構成する
ことも可能である。

【００２３】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、左
右に設けた支持板の間隔を調整することによって、サイ
ズの異なる基板を、その左右の両側をガイドした状態で
搬送できるようになり、基板を安定した状態で搬送でき
る等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態を示すガラス板の搬送装
置の構成説明図である。

【図２】大型のガラス板の搬送に適した状態にしたガラ
ス板の搬送装置の要部平面図である。

【図３】小型のガラス板の搬送に適した状態にしたガラ
ス板の搬送装置の要部平面図である。

【図４】従来技術によるガラス板の搬送装置の構成説明
図である。

【図５】図４のＸ−Ｘ断面図である。

【図６】サイズの異なるガラス板の搬送に適した搬送装
置の構成説明図である。

【符号の説明】

２０，２０Ｒ，２０Ｌ支持板２１，２１
ａ回転軸２３プーリ２４モー
タ２５伝達ベルト２６先端
ローラ２７ガイドローラ２７ａ円
形部２７ｂ円錐部２９ねじ
軸３１モータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】左右一対の支持板と、これら両支持板に
それぞれ所定のピッチ間隔をもって相手方の支持板に向
けて突出するようにして回転自在に装着した回転軸と、
これら支持板間の間隔を変化させる幅調整手段とを有
し、前記各回転軸には、先端に駆動ローラが装着され、
中間位置に基板の側部をガイドするつば部を有するガイ
ドローラを設け、かつ一方側の支持板に装着した回転軸
のピッチ間隔と他方側の支持板に装着した回転軸のピッ
チ間隔とは相互にピッチをずらせて配置する構成とした
ことを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項２】前記各支持板に装着した各回転軸のう
ち、１つの回転軸は回転駆動手段により回転駆動され、
これ以外の回転軸は回転伝達手段により回転を伝達する
ようになし、この回転駆動手段も前記支持板と共に変位
可能な構成としたことを特徴とする請求項１記載の基板
の搬送装置。
【請求項３】前記両支持板に装着した各々の回転軸
は、相互に半ピッチずつずらせるように配置する構成と
したことを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項４】前記ガイドローラは、前記駆動ローラと
同じ外径を有し、前記駆動ローラと共に基板に搬送力を
作用させる円形部と、この円形部に連設され、受けロー
ラ側に円錐面を向けた円錐部とから構成したことを特徴
とする請求項１記載の基板の搬送装置。