KR101032340B1

KR101032340B1 - 평판표시장치용 기판이송로봇

Info

Publication number: KR101032340B1
Application number: KR1020040095816A
Authority: KR
Inventors: 이중균
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2004-11-22
Filing date: 2004-11-22
Publication date: 2011-05-06
Also published as: KR20060056654A

Abstract

본 발명은 평판표시장치의 제조공정 중 처리 대상물인 기판을 운반함에 있어서 이의 사이즈(size)에 구애받지 않고 여러 가지 다양한 크기의 기판을 안정적으로 운반할 수 있는 기판이송로봇에 관한 것이다.

이를 위해 구체적으로 본 발명은 바디부와, 상기 바디부와 연결되어 수축 신장하는 아암부와, 상기 아암부 말단에 연결되어 기판을 지지하는 핸드부를 포함하는 평판표시장치용 기판이송로봇으로서, 상기 핸드부는, 상기 아암부 말단에 연결된 지지프레임과; 상기 기판이 안착되도록 상기 지지프레임으로부터 나란하게 뻗어 분기된 적어도 한 쌍의 켓치바와; 상기 지지프레임에 구비되어 상기 적어도 한 쌍의 켓치바 사이 간격을 넓거나 좁히는 구동어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇을 제공한다.

그 결과 기판 사이즈 별로 핸드부 내지는 기판이송로봇 전체를 교체하였던 기존과는 달리 기판을 지지하는 켓치바 사이 간격만을 조절함으로서 여러 가지 다양한 사이즈의 기판을 안정적으로 운반할 수 있는 효과가 있다.

Description

평판표시장치용 기판이송로봇{substrate transporting robot for flat panel display device}

도 1은 일반적인 기판이송로봇에 대한 사시도.

도 2는 본 발명에 따른 기판이송로봇에 대한 사시도.

도 3은 본 발명에 따른 기판이송로봇의 핸드부에 대한 분해사시도.

도 4a 내지 도 4d는 각각 본 발명에 따른 기판이송로봇의 작동상태에 따른 핸드부의 내부평면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

50 : 바디부 60 : 아암부

70 : 핸드부 72 : 지지프레임

73 : 가이드홀 74 : 켓치바

76 : 베큠패드 78 : 얼라인센서

80 : 구동어셈블리 82 : 회전샤프트

84 : 외면나사산 86,88 : 제 1 및 제 2 외면나사산

90a,90b : 제 1 및 제 2 너트부재

92a,92b : 제 1 및 제 2 너트홀

94a,94b : 제 1 및 제 2 내면나사산

100 : 슬라이딩레일 102 : 가이드부재

104 : 가이드홀 110 : 모터

112 : 회전축 114 : 풀리

116 : 타이밍밸트

본 발명은 평판표시장치용 기판이송로봇에 관한 것으로, 좀더 자세하게는 평판표시장치의 제조공정 중 처리 대상물인 기판을 운반함에 있어서 이의 사이즈에 구애받지 않고 여러 가지 다양한 크기의 기판을 안정적으로 운반할 수 있는 기판이송로봇에 관한 것이다.

근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 각종 전기적 신호정보를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화 등의 우수한 특성을 지닌 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.

이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전 계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있으며, 이들은 한 쌍의 투명절연 기판 사이로 고유의 형광 또는 편광 물질 층을 개재하여 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있다.

최근에는 특히 이들 평판표시패널에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬방식으로 정의한 후 각각을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭소자로 독립 제어하는 능동행렬 방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색 재현성에서 뛰어나 널리 이용되고 있는데, 이 경우 평판표시장치의 제조공정에는 기판 상에 소정물질의 박막을 형성하는 박막증착공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo lithography) 공정, 상기 노출된 부분을 제거하여 목적하는 형태로 패터닝(patterning) 하는 식각공정이 수 차례 반복하여 포함되며, 이외에도 세정을 비롯한 셀 합착 및 절단 등의 수많은 공정이 수반된다.

이를 위해 평판표시장치의 제조 공정 중 처리 대상물인 기판은 각각 해당 공정을 수행하는 여러 가지 평판표시장치용 제조장비로 운반되어지는데, 이 같은 기판의 운반은 오염의 방지와 더불어 안정적인 작업진행을 위해 기판이송로봇에 의해 행하여진다.

이에 첨부된 도 1은 일반적인 기판이송로봇을 나타낸 사시도로서, 전체를 지지하면서 필요에 따라 승강 가능하게 구성되는 바디부(10)와, 이의 일 지점에 설치되어 평면적으로 수축 신장되는 아암부(20) 그리고 상기 아암부(20) 끝단에 부설되 어 기판(2)을 직접 지지하는 핸드부(30)로 구분될 수 있다.

그리고 이중 핸드부(30)는 대략 포크(folk)의 형태를 갖는데, 구체적으로는 아암부(20) 말단에 개략적인 중간의 일 지점이 연결된 소정 길이의 지지프레임(32) 및 이로부터 각각 일 방향으로 뻗어 고정된 복수의 캣치바(34)를 포함한다.

이때 각각의 캣치바(34) 상면에는 기판(2)의 안정적인 파지를 위해서 다수의 베큠패드(36)가 구비되어 진공을 형성하고, 이와 별도로 기판(2)의 올바른 정렬여부를 확인할 수 있도록 각 켓치바(34) 상면에는 지지프레임(32) 방향으로 치우친 단부로 각각 얼라인 센서(38)가 마련된다.

이에 일반적인 기판이송로봇은 바디부(10) 및 아암부(20)의 연관동작을 통해서 복수의 캣치바(34)로 기판(2)을 떠받치듯 들어올리는 과정 중에 베큠패드(36)가 진공을 형성하여 기판(2)을 긴밀하게 흡착 파지하고, 얼라인 센서(38)를 이용하여 기판(2)이 올바로 정렬되었는지를 확인한 후 목적하는 장소로 이동한다. 그리고 이와는 반대 동작으로 기판(2)을 목적 위치에 내려놓게 된다.

한편, 최근 들어 평판표시장치의 활용도가 높아지면서 소형의 가전제품에서부터 초대형의 광고판에 이르기까지 여러 가지 다양한 용도로 사용되고 있으며, 그 결과 평판표시장치용 기판의 사이즈 또한 매우 다양한 크기를 갖는다.

더욱이 최근에는 고객의 요구에 부응하여 TV 내지 모니터용 평판표시장치의 크기가 갈수록 확대되는 추세에 있는 바, 이 같이 다양한 크기의 평판표시장치 제조공정에 있어서 기존의 기판이송로봇은 이에 따른 다양한 사이즈의 기판을 안정적으로 운반하기 어려운 단점을 나타낸다.

즉, 앞서의 도면 및 설명을 참조할 경우에 일반적인 기판이송로봇은 실질적으로 기판(2)이 안착되는 핸드부(30)의 켓치바(34) 사이간격이 고정된 관계로 이에 안착되는 기판(2) 사이즈 또한 제한되고, 그 결과 다양한 사이즈의 기판(2)을 운반하고자 할 경우 기판이송로봇 전체의 교체 내지는 최소한 캣치바(34) 사이 간격이 다른 별도의 핸드부(30)로 교체하여야만 비로소 안정적인 기판(2) 운반이 가능하였다.

이에 비록 한 개의 아암부(20)에 서로 다른 사이즈의 기판(2)을 운반할 수 있는 핸드부(30)를 상하 복층으로 연결시킨 소위 더블아암(double arm) 구조가 사용되기도 하지만, 이 역시 운반 가능한 기판(2) 사이즈가 여전히 제한적인 단점을 나타낸다.

이에 기존의 일반적인 평판표시장치용 기판이송로봇은 효용성이 크게 떨어지는 단점을 나타내고 있으며, 기판(2) 사이즈에 맞추어 기판이송로봇 전체 내지는 핸드부(30)를 일일이 교체하여야 하는 번거로움을 수반하거나 더블아암 구조에 따른 장비의 대형화와 고가화 등 불필요한 시간과 비용 지출이 뒤따르지만, 현재로서는 이 같은 방법이 아니면 운반 도중 기판(2)이 떨어져 파손되거나 기판(2)의 운반 자체가 불가능한 바, 여러 가지 사이즈의 기판(2)을 안전하게 운반할 수 있는 방도가 시급하게 요구되고 있는 실정이다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 기판 사이즈에 구애받지 않고 여러 가지 다양한 크기의 기판을 안정적으로 운반할 수 있는 기판이송로봇을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 바디부와, 상기 바디부와 연결되어 수축 신장하는 아암부와, 상기 아암부 말단에 연결되어 기판을 지지하는 핸드부를 포함하는 평판표시장치용 기판이송로봇으로서, 상기 핸드부는, 상기 아암부 말단에 연결된 지지프레임과; 상기 기판이 안착되도록 상기 지지프레임으로부터 나란하게 뻗어 분기된 적어도 한 쌍의 켓치바와; 상기 지지프레임에 구비되어 상기 적어도 한 쌍의 켓치바 사이 간격을 넓거나 좁히는 구동어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇을 제공한다.

이때 상기 구동어셈블리는, 상기 각 켓치바 일 끝단에 수직하게 교차 배열되며 상기 한 쌍의 켓치바 사이부분을 경계로 각각 반대방향을 향하는 제 1 및 제 2 외면나사산이 형성된 회전샤프트와; 상기 적어도 한 쌍의 켓치바 일 끝단에 각각 고정 부설된 상태로 상기 회전샤프트에 의해 관통되어지는 제 1 및 제 2 너트홀에 각각 상기 제 1 및 제 2 외면나사산과 맞물리는 제 1 및 제 2 내면나사산이 형성된 제 1 및 제 2 너트부재와; 상기 회전샤프트를 회전시키는 회전축을 구비한 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 그리고 이 경우 상기 너트부재는 각각 상기 켓치바 일 끝단에 매립 형성된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 구동어셈블리는, 상기 회전샤프트와 나란하도록 상기 각 켓치바 일 끝단과 수직하게 교차 배열되는 적어도 하나의 슬라이딩레일과; 상기 적어도 하나의 슬라이딩레일에 유격있게 관통되어지는 가이드홀이 구비되어 상기 각 켓치바 일 끝단에 고정 설치되는 가이드부재를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 이 경우 상기 가이드부재는 각각 상기 한 쌍의 켓치바 일 끝단 내부로 매립 설치된 것을 특징으로 한다.

더불어 상기 구동어셈블리는, 상기 한 쌍의 켓치바 사이의 상기 회전샤프트에 고정 설치된 풀리와; 상기 풀리와 상기 모터의 회전축을 연결하는 타이밍밸트를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 각각의 켓치바 상면에 일정간격으로 구비된 복수개의 베큠패드 및 상기 각각의 켓치바 상면에 일정간격으로 구비된 복수개의 얼라인센서를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 바, 이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.

첨부된 도 2는 본 발명에 따른 기판이송로봇에 대한 일부 사시도로서, 크게 전체를 지지하는 바디부(50)와, 이의 일 지점에 연결되어 평면적으로 수축 신장되는 아암부(60) 그리고 상기 아암부(60) 말단에 부설되어 기판(2)을 지지하는 핸드부(70)로 구분될 수 있다.

이때 바디부(50)는 목적에 따라 상하로 승강될 수 있고, 레일이나 바닥면 등을 따라 이동 가능한 구성을 갖출 수 있다. 그리고 아암부(60)는 도시된 다관절 형태와 달리 직경이 다른 둘 이상의 회전샤프트를 구비한 후 어느 하나에 다른 하나를 삽입시켜 슬라이딩 방식으로 수축 신장되는 형태를 가질 수 있으며, 이의 말단에 부설된 핸드부(70)는 아암부(60)에 연결된 지지프레임(72) 및 이로부터 동일 방향으로 나란하게 뻗어 분기된 적어도 한 쌍의 켓치바(74)를 포함하고 있다.

즉, 본 발명에 따른 기판이송로봇에 있어서 실질적으로 기판(2)이 안착되는 핸드부(70)는 동일 평면에서 적어도 한 쌍이 나란하게 배열된 켓치바(74) 및 이들의 일 끝단을 연결하는 지지프레임(72)을 포함하고, 이 같은 지지프레임(72)의 대략 중간부분은 평면적으로 수축 신장되는 아암부(60) 말단에 연결되며, 상기 아암부(60)는 바디부(50) 일 지점에 연결된 형태를 갖는다.

한편, 상기한 각 부분으로 이루어진 본 발명에 따른 기판이송로봇의 가장 큰 특징은 기판(2)을 직접 지지하는 핸드부(70)에 있으며, 간략하게는 적어도 한 쌍의 켓치바(74) 사이 간격이 기판(2) 사이즈에 따라 넓거나 좁혀질 수 있는 것을 핵심으로 한다.

이를 위해 핸드부(70)에는 별도의 구동어셈블리가 구비되며, 이는 지지프레임(72) 내로 실장될 수 있다. 이에 대하여 핸드부(70)의 분해 사시도를 나타낸 도 3을 함께 참조하여 보다 자세하게 설명한다.

보이는 바와 같이 본 발명에 따른 기판이송로봇의 핸드부(70)에 마련되어 적어도 한 쌍의 켓치바(74) 사이 간격을 조절하는 구동어셈블리(80)는, 각 켓치바(74) 일 끝단 측에서 이와 수직하게 교차 배열된 회전샤프트(82)와, 각 켓치바(74) 일 끝단에 고정 부설되어 회전샤프트(82)에 의해 관통되어지는 제 1 및 제 제 2 너트부재(90a,90b) 그리고 회전샤프트(82)를 회전시키는 모터(110)를 포함한다.

이때 회전샤프트(82)는 전산볼트(full theads bolt) 또는 이와 유사한 형태로서 외면나사산(84)이 형성되어 있고, 이에 관통되어진 제 1 및 제 2 너트부재 (90a,90b) 각각의 제 1 및 제 2 너트홀(92a,92b)에는 제 1 및 제 2 내면나사산(94a,94b)이 각각 형성되어 있는 바, 이들 외면나사산(84)과 제 1 및 제 2 내면나사산(94a,94b)의 치합방향에 따라 회전샤프트(82)의 일방향 회전에 의해 한 쌍의 켓치바(74) 사이 간격이 멀어지거나 가까워지고, 타방향 회전에 의해 이와 반대되는 동작이 진행된다.

이에 간략하게 각각의 제 1 및 제 2 너트부재(90a,90b)는 동일한 하나의 회전샤프트(82)에 대하여 서로 반대방향을 향하는 볼스크류(ball screw)와 같이 동작된다 할 수 있는데, 구체적으로 회전샤프트(82)의 외면나사산(84)은 적어도 한 쌍의 켓치바(74) 사이부분을 경계로 각각 반대방향을 향하는 제 1 및 제 2 외면나사산(86,88)으로 구분되고, 적어도 한 쌍의 제 1 및 제 2 너트부재(90a,90b)의 제 1 및 제 2 너트홀(92a,92b)에는 이들 제 1 및 제 2 외면나사산(86,88)에 각각 치합되는 제 1 및 2 내면나사산(94a,94b)이 형성되어 있다.

그 결과 회전샤프트(82)의 회전방향에 따라 제 1 및 제 2 너트부재(90a,90b) 및 이에 고정된 적어도 한 쌍의 켓치바(74) 사이 간격이 멀거나 가까워지게 된다.

이때 앞서의 설명에서 각각의 제 1 및 제 2 너트부재(90a,90b)는 각 켓치바(74) 일 끝단에 고정된 상태로 회전샤프트(82)에 의해 관통되어지는 제 1 및 제 2 너트홀(92a,92b)을 따라 회전샤프트(82)의 제 1 및 제 2 외면나사산(86,88)과 각각 치합되는 제 1 및 제 2 내면나사산(94a,94b)이 형성되는 한 그 구체적인 형태에 특별한 제한이 없으며, 도면에서 보이는 것과 달리 각 켓치바(74) 일 끝단에 별도로 고정되는 대신 각 켓치바(74) 일 끝단에 해당 너트홀(92a,90b)을 측방 관통시킨 형 태, 즉 각각의 켓치바(74) 일 끝단에 매립 형성된 형태도 가능함은 당업자에게 자명한 사실일 것이다.

더불어 이 같은 켓치바(74) 사이의 간격변화에 있어서 각각의 켓치바(74)가 회전샤프트(82)와 함께 회전되거나 또는 상하, 좌우로 요동치는 것을 방지함과 동시에 보다 원활한 움직임을 보장하기 위하여 본 발명에 따른 구동어셈블리(80)는 또 다른 요소를 구비하는데, 구체적으로는 회전샤프트(82)와 나란하도록 각각의 켓치바(74) 일 끝단에 대해 수직하게 교차 배열되는 적어도 하나의 슬라이딩레일(100) 그리고 이들 각각의 슬라이딩레일(100)에 유격있게 관통되어지는 가이드홀(104)을 구비한 상태로 각 켓치바(74) 일 끝단에 고정 설치되는 가이드부재(102)를 포함하고 있다.

이에 적어도 한 쌍의 켓치바(74)는 회전샤프트(82) 및 적어도 한 쌍의 슬라이딩레일(100)을 따라 실질적으로 동일평면 상에서 그 사이 간격이 넓거나 좁혀지며, 각 켓치바(74)가 회전샤프트(82)의 회전방향을 따라 상하로 이동되거나 또는 각각의 너트부재(90a,90b)를 기준으로 이의 양 끝단이 동일 평면상에서 서로 반대방향으로 요동치는 스윙(swing) 현상이 억제된다.

이때 슬라이딩레일(100)과 가이드부재(102)의 구체적인 형태 또한 상기 역할을 수행하는 한 특별한 제한은 없으며, 적어도 한 쌍의 슬라이딩레일(100)은 도시된 바와 달리 각각의 켓치바(74) 일 끝단을 측방 관통하는 매끈한 외면의 샤프트 형태가 될 수 있고, 어느 경우이든 가이드부재(102)의 가이드홀(104)은 각 슬라이딩레일(100)을 유격있게 완전히 감싸는 환형링 내지는 적어도 일 방향이 개구된 홈 형태를 갖는 것도 가능하다. 더불어 가이드부재(102)는 앞서의 너트부재(90a,90b)와 마찬가지로 각 켓치바(74) 일 끝단에 별도로 고정되는 대신 각 켓치바(74) 일 끝단에 해당 가이드홀(104)을 측방 관통시킨 형태, 즉 각각의 켓치바(74) 일 끝단에 매립 형성되는 것도 가능하다.

더불어 구동어셈블리(80)의 회전샤프트(82)는 모터(110)의 회전축(112)을 따라 회전하게 되는 바, 힘의 손실없이 각 켓치바(74)에 균일한 회전력을 분산 전달할 수 있도록 한 쌍의 켓치바(74) 사이의 회전샤프트(82)에 풀리(114)를 고정 설치하여 함께 회전되도록 하고, 모터(110)의 회전축(112)과 상기 풀리(114)를 타이밍밸트(116) 등으로 연결하는 형태가 보다 바람직하다.

그 결과 모터(110)의 회전축(112)이 회전하면 타이밍밸트(116)를 통해서 풀리(114) 및 회전샤프트(82)가 회전하게 되며, 상기 회전샤프트(82)에 체결되어 서로 반대방향을 향해 볼스크류 방식으로 이동하는 적어도 한 쌍의 제 1 및 제 2 너트부재(90a,90b)에 의해 각 켓치바(74) 사이 간격이 멀거나 가까워지는 바, 이 과정 중에 각 켓치바(74)는 슬라이딩레일(100) 및 이를 유격있게 가이드하는 가이드부재(102)에 의해 안정적으로 동작하게 된다.

한편, 이 같은 본 발명에 따른 기판이송로봇에 있어서 지지프레임(72)은 구동어셈블리(80)를 내장하는 하우징 역할을 겸할 수 있고, 이를 위해 내부로 소정공간을 정의하는 상하의 한 쌍의 상하프레임(72a,72b)으로 구분된 상태에서 켓치바(74)를 향하는 일 측면을 따라 상기 켓치바(74) 사이간격 변화에 따른 이동을 보장하는 슬라이딩홀(73)이 형성될 수 있다.

이를 통해서 각 켓치바(74)는 동일 평면상에서 보다 안정적으로 이동 가능하다.

한편, 첨부된 도 4a 내지 도 4d는 각각 기판(2a,2b,2c,2d) 사이즈별로 본 발명에 따른 기판이송로봇 핸드부(70)의 켓치바(74) 사이 간격이 변화된 상태를 나타낸 내부 평면도로서, 일례로 이송 대상물인 기판(2a,2b,2c,2d) 사이즈가 370(A)×470, 590(B)×670, 680(C)×880, 1000(D)×1200 mm² 등으로 변화될 경우에 한 쌍의 켓치바(74) 사이 간격이 각 기판(2a,2b,2c,2d)의 지지에 최적화 되도록 대략 220(A'), 354(B'), 408(C'), 580(D')mm 정도로 변화될 수 있음을 나타내고 있다.

그리고 이 같은 켓치바(74) 사이 간격의 변화는 구동어셈블리(80)에 의한 것으로, 이는 앞서 자세하게 설명하였으므로 별도의 중복된 설명은 생략한다.

이때 상기한 도면에서 보이는 바와 같이 본 발명에 따른 기판이송로봇은 기판(2a,2b,2c,2d) 사이즈 별로 적어도 한 쌍의 켓치바(74) 사이 간격이 변화되지만 길이변화는 수반되지 않으므로 각각에 대하여 기판(2a,2b,2c,2d)이 안착되는 위치가 변화되는데, 각 기판(2a,2b,2c,2d) 사이즈에 맞게 설계되어진 카세트(cassette) 내지는 챔버(chember) 등의 외부장비로부터 각각의 기판(2a,2b,2c,2d)을 로딩/언로딩(loading/unloading) 함을 감안하면 각 기판(2a,2b,2c,2d) 사이즈가 작아질수록 켓치바(74) 타 끝단 방향으로 치우치게 된다.

이 경우 각 기판(2a,2b,2c,2d)의 안정적인 운반을 위하여 각각의 켓치바(74) 상면을 따라서는 일정간격을 유지하는 복수개의 베큠패드(76)가 마련되는 것이 각 사이즈별 기판(2a,2b,2c,2d)을 보다 안정적으로 진공 흡착해 고정시킬 수 있어 바람직하며, 마찬가지 이유로 각 기판(2a,2b,2c,2d)의 올바른 정렬여부를 감지하는 얼라인센서(78) 역시 각각의 켓치바(74) 상면을 따라서 일정간격을 유지하는 복수개로 마련되는 것이 바람직하다.

이에 보이는 바와 같이 기판(2a,2b,2c,2d)의 사이즈 변화에도 불구하고 지지프레임(72)을 향하는 기판(2a,2b,2c,2d) 일 끝단은 복수개의 얼라인센서(78) 중 하나를 통해서 정렬여부의 확인이 가능하다.

이상의 설명과 같은 본 발명에 따른 기판이송로봇은 기판 사이즈별로 핸드부의 켓치바 사이 간격이 적절하게 조절되는 특징을 갖는 바, 전체 내지의 일부의 교체가 필수적으로 요구되는 기존과 달리 기판 사이즈에 구애받지 않고 여러 가지 다양한 크기의 기판을 안정적으로 운반할 수 있는 잇점이 있다.

Claims

바디부와, 상기 바디부와 연결되어 수축 신장하는 아암부와, 상기 아암부 말단에 연결되어 기판을 지지하는 핸드부를 포함하는 평판표시장치용 기판이송로봇으로서,

상기 핸드부는, 상기 아암부 말단에 연결된 지지프레임과;

상기 기판이 안착되도록 상기 지지프레임으로부터 나란하게 뻗어 분기된 적어도 한 쌍의 켓치바와;

상기 지지프레임에 구비되어 상기 적어도 한 쌍의 켓치바 사이 간격을 넓거나 좁히는 구동어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.
제 1항에 있어서,

상기 구동어셈블리는, 상기 각 켓치바 일 끝단에 수직하게 교차 배열되며 상기 한 쌍의 켓치바 사이부분을 경계로 각각 반대방향을 향하는 제 1 및 제 2 외면나사산이 형성된 회전샤프트와;

상기 적어도 한 쌍의 켓치바 일 끝단에 각각 고정 부설된 상태로 상기 회전샤프트에 의해 관통되어지는 제 1 및 제 2 너트홀에 각각 상기 제 1 및 제 2 외면나사산과 맞물리는 제 1 및 제 2 내면나사산이 형성된 제 1 및 제 2 너트부재와;

상기 회전샤프트를 회전시키는 회전축을 구비한 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.
제 2항에 있어서,

상기 너트부재는 각각 상기 켓치바 일 끝단에 매립 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.
제 2항에 있어서,

상기 구동어셈블리는, 상기 회전샤프트와 나란하도록 상기 각 켓치바 일 끝단과 수직하게 교차 배열되는 적어도 하나의 슬라이딩레일과;

상기 적어도 하나의 슬라이딩레일에 유격있게 관통되어지는 가이드홀이 구비되어 상기 각 켓치바 일 끝단에 고정 설치되는 가이드부재를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.
제 4항에 있어서,

상기 가이드부재는 각각 상기 한 쌍의 켓치바 일 끝단 내부로 매립 설치된 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.
제 2항 내지 제 5항 중 어느 하나의 선택된 항에 있어서,

상기 구동어셈블리는, 상기 한 쌍의 켓치바 사이의 상기 회전샤프트에 고정 설치된 풀리와;

상기 풀리와 상기 모터의 회전축을 연결하는 타이밍밸트를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.
제 1항에 있어서,

상기 각각의 켓치바 상면에 일정간격으로 구비된 복수개의 베큠패드를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.
제 1항에 있어서,

상기 각각의 켓치바 상면에 일정간격으로 구비된 복수개의 얼라인센서를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 기판이송로봇.