KR102273287B1 - 로봇 핸드 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 로봇 핸드는, 기판 이송 로봇의 로봇 몸체로부터 이격하여 로봇 아암의 자유 단에 결합되는 버퍼 부재(buffer member)와 결합하면서 버퍼 부재로부터 시작하여 버퍼 부재의 반대 편을 향해 곧게 연장하는 전방 로봇 핸드(front)와 후방(rear) 로봇 핸드를 포함하고, 전방 로봇 핸드는, 버퍼 부재 상에 일 방향을 따라 순차적으로 배열되며 타 방향을 따라 길게 위치되어 서로에 대해 평행을 이루면서 속이 빈 제1 핸드 가이드와 제2 핸드 가이드를 가지고, 후방 로봇 핸드는, 버퍼 부재로부터 이격하며 제1 핸드 가이드와 제2 핸드 가이드에 연결된다.

Description

로봇 핸드{ROBOT HAND}
본 발명은, 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비의 이송 챔버에서 기판 이송 로봇의 로봇 몸체와 함께 로봇 몸체 상에 다관절로 이루어져 로봇 몸체에 대해 상대적으로 움직이는 로봇 아암(robot arm)을 구비하여 로봇 아암을 통해 이송 챔버로부터 이송 챔버 주변에 위치되는 복수의 챔버들에 기판을 공급하는 로봇 핸드에 관한 것이다.
일반적으로, 유기발광다이오드 증착 장비는 기판에 적색, 녹색 또는 청색의 빛을 내는 유기 화합물을 증착하여 자체 발광시키는 디스플레이 소자를 제조하는데 사용된다. 상기 유기발광다이오드 증착 장비는 클러스터 타입(cluster type)과 선형 타입(inline type)으로 구분된다.
상기 유기발광다이오드 증착 장비는, 클러스터 타입에서 이송 챔버를 기준으로 이송 챔버 주변으로 복수의 공정 챔버를 배열시키고 이송 챔버와 개별 공정 챔버 사이에 기판 이송 로봇을 사용하여 기판의 이송을 제어하고, 선형 타입에서 복수의 공정 챔버를 일렬로 배열시키고 복수의 공정 챔버 사이에 레일을 사용하여 기판 이송을 제어하도록 구성된다.
여기서, 상기 유기발광다이오드 증착 장비는, 기판 이송 로봇에 관련한 발명을 설명하기 위해, 클러스터 타입으로 제한하기로 한다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 유기발광다이오드 증착 장비는, 이송 챔버(90) 주변에 로드 챔버(100)와 공정 챔버들(102, 104, 106, 108)과 언로드 챔버(110)를 갖는다. 상기 이송 챔버(90)는 기판 이송 로봇(80)을 갖는다.
구조적으로 볼 때, 상기 기판 이송 로봇(80)은, 이송 챔버(90)에서, 로봇 몸체(5)와, 로봇 몸체(5)를 이송 챔버(90)에 고정시키는 고정 부재(15)와, 로봇 몸체(5) 상에 다관절로 이루어져 로봇 몸체(5)에 대해 상대적으로 움직이는 로봇 아암들(robot arms; 24, 28)과, 로봇 아암들(24, 28)에 고정되는 버퍼 부재들(34, 38)과, 버퍼 부재들(34, 38)에 고정되는 로봇 핸드들(50, 70)을 갖는다.
기능적으로 볼 때, 상기 기판 이송 로봇(80)은, 기판(S)에 증착 공정의 수행을 위해, 로봇 핸드들(50, 70)을 사용하여 로드 챔버(100)로부터 기판(S)을 꺼내 개별 공정 챔버(102, 104, 106 또는 108)에 기판(S)을 공급하거나, 기판(S)에 증착 공정의 완료 후에, 로봇 핸드들(50, 70)을 사용하여 개별 공정 챔버(102, 104, 106 또는 108)로부터 기판(S)을 꺼내 언로드 챔버(110)에 기판(S)을 공급한다.
상기 로봇 핸드(50)는, 도 2에서, 부분적으로 도시되지만, 로봇 핸드(70)와 동일한 구조를 갖는다. 구체적으로는, 상기 로봇 핸드(70)는, 제1 및 제2 로봇 핸드(64, 68)를 갖는다. 상기 제1 및 제2 로봇 핸드(64, 68)는, 일체(one body)로 형성되면서 속이 꽉 차고 견고한 탄소 섬유 강화 플라스틱(CFRP; carbon fiber reinforced plastics)으로 이루어진다.
여기서, 상기 제1 및 제2 로봇 핸드(64, 68)는, 기판(S)의 처리 동안 서로로부터 간섭받지 않기 위해, 버퍼 부재(38)로부터 길이 방향을 따라 길어짐에 따라, 버퍼 부재(38)로부터 멀어질수록, 자체 무게를 크게 가지고, 버퍼 부재(38)에 대해 점진적으로 처져 수평 조절도 하기 어려운 형상을 갖는다.
또한, 상기 제1 및 제2 로봇 핸드(64, 68)는, 버퍼 부재(38)로부터 길이 방향을 따라 길어짐에 따라, 기판(S)과 개별 챔버(100, 102, 104, 106, 108 또는 110)의 접촉을 빈번하게 발생시켜 기판(S)의 파손을 야기시키고, 기판의 형상과 이송 챔버의 크기에 대응하여 로봇 핸드(70)의 변경 운용 필요에 따라, 전체 형상 중 부분 형상의 교체 요구에도, 전체 형상을 교체해야만 한다.
한편, 상기 기판 이송 로봇은 한국 공개특허공보 제10-2006-0056654호에 종래기술로써 유사하게 개시되었다.
한국 공개특허공보 제10-2006-0056654호
본 발명은, 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비의 이송 챔버의 기판 이송 로봇에서, 길이를 자유자재로 축소시키는 여유를 제공하고, 이송 챔버 주변의 개별 챔버에 기판의 접촉을 야기시키지 않고, 전체 형상의 수평 조절과 전체 형상 중 부분 교체를 용이하게 하는데 적합한 로봇 핸드를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 로봇 핸드는, 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비의 이송 챔버에서 기판 이송 로봇의 로봇 몸체와 함께 상기 로봇 몸체 상에 다관절로 이루어져 상기 로봇 몸체에 대해 상대적으로 움직이는 로봇 아암(robot arm)을 구비하여 상기 로봇 아암을 통해 상기 이송 챔버로부터 상기 이송 챔버 주변에 위치되는 복수의 챔버들에 기판을 공급하도록, 상기 로봇 몸체로부터 이격하여 상기 로봇 아암의 자유 단에 결합되는 버퍼 부재(buffer member)와 결합하면서 상기 버퍼 부재로부터 시작하여 상기 버퍼 부재의 반대 편을 향해 곧게 연장하는 전방 로봇 핸드(front)와 후방(rear) 로봇 핸드를 포함하고, 상기 전방 로봇 핸드는, 상기 버퍼 부재 상에 일 방향을 따라 순차적으로 배열되며 타 방향을 따라 길게 위치되어 서로에 대해 평행을 이루면서 속이 빈 제1 핸드 가이드와 제2 핸드 가이드를 가지고, 상기 후방 로봇 핸드는, 상기 버퍼 부재로부터 이격하며 상기 제1 핸드 가이드와 상기 제2 핸드 가이드에 연결된다.
본 발명에 따른 로봇 핸드는,
기판 이송 로봇의 로봇 몸체에서 다관절을 통해 움직이는 로봇 아암의 자유 단에 위치되는 버퍼 부재 상에 위치되어 버퍼 부재와 전방 로봇 핸드를 나사 고정시키고 버퍼 부재로부터 이격하여 전방 로봇 핸드 상에 위치되어 전방 로봇 핸드와 후방 로봇 핸드를 나사 고정시키면서,
전방 로봇 핸드를 탄소 섬유 강화 플라스틱(CFRP; carbon fiber reinforced plastics)으로 만들고 전방 로봇 핸드에 중공 형상을 대응시키며 버퍼 부재에 대해 전방 로봇 핸드의 수평 레벨과 전방 로봇 핸드에 대해 후방 로봇 핸드의 수평 레벨을 나선 회전으로 조절하므로,
전방 로봇 핸드의 탄성 변형에 대한 저항력 증가에 의해 전방 및 후방 로봇 핸드의 길이를 자유자재로 축소시키는 여유를 제공하고, 전방 및 후방 로봇 핸드의 무게 감소에 의해 버퍼 부재로부터 전방 및 후방 로봇 핸드의 처짐을 최소화하여 이송 챔버 주변의 개별 챔버에 기판의 접촉을 야기시키지 않고, 나사 부재를 사용하여 버퍼 부재와 전방 로봇 핸드 사이에서 또는 전방 로봇 핸드와 후방 로봇 핸드 사이에서 전방 및 후방 로봇 핸드 중 적어도 하나의 수평 조절과 부분 교체를 용이하게 할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 유기발광다이오드 증착 장비를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1의 이송 챔버에서 기판 이송 로봇을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 기판 이송 로봇에서 로봇 핸드를 보여주는 이미지이다.
도 4는 본 발명에 따른 로봇 핸드를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 4의 로봇 핸드에서 제1 체크 포인트(C1)를 상세하게 보여주는 확대도이다.
도 6은 도 5의 제1 체크 포인트(C1)에서 절단선 Ⅰ - Ⅰ' 를 따라 취해 버퍼 부재와 전방 로봇 핸드의 결합 관계를 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 4의 로봇 핸드에서 제2 체크 포인트(C2)를 상세하게 보여주는 확대도이다.
도 8은 도 7의 제2 체크 포인트(C2)에서 절단선 Ⅱ - Ⅱ' 를 따라 취해 전방 로봇 핸드를 보여주는 단면도이다.
도 9는 도 4의 로봇 핸드에서 제3 체크 포인트(C3)를 상세하게 보여주는 확대도이다.
도 10은 도 9의 제3 체크 포인트(C3)에서 절단선 Ⅲ - Ⅲ' 를 따라 취해 전방 로봇 핸드와 후방 로봇 핸드의 결합 관계를 보여주는 단면도이다.
도 11은 도 4의 로봇 핸드에서 제4 체크 포인트(C4)를 상세하게 보여주는 확대도이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시 예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시 예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시 예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시 예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시 예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시 예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 로봇 핸드를 보여주는 사시도이고, 도 5는 도 4의 로봇 핸드에서 제1 체크 포인트(C1)를 상세하게 보여주는 확대도이며, 도 6은 도 5의 제1 체크 포인트(C1)에서 절단선 Ⅰ - Ⅰ' 를 따라 취해 버퍼 부재와 전방 로봇 핸드의 결합 관계를 보여주는 단면도이다.
또한, 도 7은 도 4의 로봇 핸드에서 제2 체크 포인트(C2)를 상세하게 보여주는 확대도이고, 도 8은 도 7의 제2 체크 포인트(C2)에서 절단선 Ⅱ - Ⅱ' 를 따라 취해 전방 로봇 핸드를 보여주는 단면도이다.
여기서, 도 4의 로봇 핸드는 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비(도 1의 120)의 이송 챔버(90)에서 도 3의 로봇 핸드를 대체하여 기판 이송 로봇(도 2의 80)을 구성할 수 있다.
도 4 내지 도 8을 참조하면, 상기 로봇 핸드(390)는, 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비(도 1의 120)의 이송 챔버(90)에서 기판 이송 로봇(도 2의 80)의 로봇 몸체(5)와 함께 로봇 몸체(5) 상에 다관절로 이루어져 로봇 몸체(5)에 대해 상대적으로 움직이는 로봇 아암(robot arm; 24 또는 28)을 구비하여 로봇 아암(24 또는 28)을 통해 이송 챔버(90)로부터 이송 챔버(90) 주변에 위치되는 복수의 챔버들(102, 104, 106, 108, 110)에 기판(S)을 공급하도록 구성된다.
이를 위해, 상기 로봇 핸드(390)는, 로봇 몸체(5)로부터 이격하여 로봇 아암(24 또는 28)의 자유 단에 결합되는 버퍼 부재(buffer member; 34 또는 38)와 결합하면서 버퍼 부재(34 또는 38)로부터 시작하여 버퍼 부재(34 또는 38)의 반대 편을 향해 곧게 연장하는 전방 로봇 핸드(front)와 후방(rear) 로봇 핸드(도 4의 A, B)를 포함한다.
상기 전방 로봇 핸드(A)는, 버퍼 부재(34 또는 38; 이후로, 부호 '38' 만을 지칭함) 상에 일 방향을 따라 순차적으로 배열되며 타 방향을 따라 길게 위치되어 서로에 대해 평행을 이루면서 속이 빈 제1 핸드 가이드(314)와 제2 핸드 가이드(318)를 도 4 또는 도 5 또는 도 7과 같이 갖는다. 상기 후방 로봇 핸드(B)는, 버퍼 부재(38)로부터 이격하며 제1 핸드 가이드(314)와 제2 핸드 가이드(318)에 도 9와 같이 연결된다.
상기 전방 로봇 핸드(A)는, 버퍼 부재(38)와 나사 고정하도록, 제1 핸드 가이드(314) 또는 제2 핸드 가이드(318)에 각진 중공 관(200)을 가지고, 후방 로봇 핸드(B)에 나사 고정되도록, 제1 핸드 가이드(314)와 후방 로봇 핸드(B) 사이에 또는 제2 핸드 가이드(318)와 후방 로봇 핸드(B) 사이에 선반 연결 부재(도 9의 280)를 포함한다.
상기 각진 중공 관(200)은 빈 공간(도 8의 H)을 사각 측벽으로 둘러싼다. 상기 각진 중공 관(200)은 제1 또는 제2 핸드 가이드(314 또는 318)의 탄성 변형에 대한 저항력 증가를 유도한다. 상기 전방 로봇 핸드(A)는, 버퍼 부재(38)와 제1 핸드 가이드(A) 또는 제2 핸드 가이드(B)의 중첩 영역에서 각진 중공 관(200)에 중개 아이들(idle) 블럭(210)과 버퍼접속 고정 나사구(螺絲具)(230)와 버퍼대항 수평 나사구(250)를 포함한다.
상기 각진 중공 관(200)은 탄소 섬유 강화 플라스틱(CFRP; carbon fiber reinforced plastics)으로 이루어진다. 상기 각진 중공 관(200)은 탄소 섬유 강화 플라스틱과 함께 중공 형상을 통해 버퍼 부재(38)로부터 전방 로봇 핸드(A)와 후방 로봇 핸드(B)의 처짐을 방지한다. 상기 중개 아이들 블럭(210)은 버퍼 부재(38) 상에서 각진 중공 관(200)의 일측 개구부를 통해 삽입되어 각진 중공 관(200)의 일측 개구부를 차폐시킨다.
상기 중개 아이들 블럭(210)은 알루미늄(Al)으로 이루어진다. 상기 버퍼접속 고정 나사구(230)는 각진 중공 관(200)의 양 측벽 가까이에서 각진 중공 관(200)을 관통하도록 개별 측벽을 따라 한 그룹의 버퍼접속 고정 나사구(230)에 두개 씩으로 구비되어 두 그룹의 버퍼접속 고정 나사구(230)로 일렬 배치된다.
상기 버퍼접속 고정 나사구(230)는, 각진 중공관(200)과 중개 아이들 블럭(210)을 T 자형으로 지나고 버퍼 부재(38)에 소정 깊이로 연장되어 각진 중공관(200)과 중개 아이들 블럭(210)과 버퍼 부재(38)로 둘러싸인 내측벽에 암 나사선을 가지는 버퍼 연장홀(223), 및 버퍼 연장홀(223)의 상부 측에 위치되는 와셔(226)를 지나 버퍼 연장홀(223)의 하부 측의 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시켜 버퍼 부재(38)에 각진 중공 관(200)과 중개 아이들 블럭(210)을 고정시키는 버퍼 삽입 나사(229)를 포함한다.
상기 버퍼대항 수평 나사구(250)는 개별 그룹의 버퍼접속 고정 나사구(230)에서 두 개의 버퍼접속 고정 나사구(230) 사이에 위치된다. 상기 버퍼대항 수평 나사구(250)는, 각진 중공 관(200)과 중개 아이들 블럭(210)을 관통하여 각진 중공 관(200)과 중개 아이들 블럭(210)으로 둘러싸인 내측벽에 암 나사선을 가지는 일 자형의 버퍼 노출홀(244), 및 버퍼 노출홀(244)의 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시키면서 버퍼 부재(38)의 상면과 접촉하고 암 나사선에 수 나사선의 회전을 조절하여 버퍼 부재(38)에 대해 각진 중공 관(200)을 상대적으로 상하 움직이는 버퍼 안착 나사(248)를 포함한다.
도 9는 도 4의 로봇 핸드에서 제3 체크 포인트(C3)를 상세하게 보여주는 확대도이고, 도 10은 도 9의 제3 체크 포인트(C3)에서 절단선 Ⅲ - Ⅲ' 를 따라 취해 전방 로봇 핸드와 후방 로봇 핸드의 결합 관계를 보여주는 단면도이며, 도 11은 도 4의 로봇 핸드에서 제4 체크 포인트(C4)를 상세하게 보여주는 확대도이다.
도 9 내지 도 11을 참조하면, 상기 전방 로봇 핸드(A)에서, 상기 선반 연결 부재(280)는, 제1 핸드 가이드(314)와 후방 로봇 핸드(B) 사이에, 또는 제2 핸드 가이드(318)와 후방 로봇 핸드(B) 사이에 L자 형상을 이루면서, L자 형상으로부터 돌출되어 각진 중공 관(200)의 타측 개구부로 삽입되는 플렌지(flange) 아이들 블럭(270)을 갖는다.
좀 더 상세하게는, 상기 전방 로봇 핸드(A)는, 각진 중공 관(200)의 양 측벽에서 개별 측벽 가까이에 각진 중공 관(200)의 길이 방향에 직각되게 위치되어 각진 중공 관(200)과 플렌지 아이들 블럭(270)을 관통하는 복수의 플렌지접속 고정 나사구(螺絲具)(300)를 포함한다.
개별 플렌지접속 고정 나사구(300)는, 각진 중공 관(200)의 하부 측벽 및 상부 측벽으로부터 플렌지 아이들 블럭(270)을 향해 역고깔 형상으로 지나면서 플렌지 아이들 블럭(270)을 관통하고 플렌지 아이들 블럭(270)의 내측벽에 암 나사선을 가지는 플렌지 관통 홀(293), 및 하부 측벽과 플렌지 아이들 블럭(270)의 플렌지 관통홀(293)에, 그리고 상부 측벽과 플렌지 아이들 블럭(270)의 플렌지 관통홀(293)에 각각 삽입되어 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시키는 제1 플렌지 삽입 나사(296)와 제2 플렌지 삽입 나사(299)를 포함한다.
한편, 상기 후방 로봇 핸드(B)는, 전방 로봇 핸드(A)의 선반 연결 부재(280)와 나사 고정하도록, 후방 로봇 핸드(B)의 상부 측에서 제1 핸드 가이드(314)와 제2 핸드 가이드(318)에 걸쳐 패드 단편(328)을 가지고, 후방 로봇 핸드(B)의 하부 측에서 선반 연결 부재(280)로부터 패드 단편(328)보다 더 수평으로 연장하는 기판 안착 부재(324)를 갖는다.
여기서, 상기 후방 로봇 핸드(B)는, 패드 단편(328)에서 제1 핸드 가이드(314) 또는 제2 핸드 가이드(318) 앞에 위치되어 네개 씩으로 한 그룹을 이루어 한 그룹에서 두개 씩으로 마주하는 선반접속 고정 나사구(螺絲具)(340), 및 네 개의 선반 삽입 고정 나사구(340) 사이에서 네 개의 선반 삽입 고정 나사구(340) 중 제1 핸드 가이드(314) 또는 제2 핸드 가이드(318)로부터 멀리 위치되는 두 개의 선반 삽입 고정 나사구(340) 사이에 위치되는 두 개의 선반대항 수평 나사구(364, 368)를 포함한다.
상기 선반접속 고정 나사구(340)는, 기판 안착 부재(324)의 연장 방향에 직각되게 위치되어 패드 단편(328)과 기판 안착 부재(324)를 지나 선반 연결 부재(280)에 소정 깊이로 연장하고 패드 단편(328)과 기판 안착 부재(324)와 선반 연결 부재(280)에 의해 둘러싸인 내측벽에 암나사선을 가지는 일자형의 선반 연장홀(333), 및 패드 단편(328) 상에 위치되는 와셔(336)를 지나 선반 연장홀(333)의 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시켜 선반 연결 부재(280)에 패드 단편(328)과 기판 안착 부재(324)를 고정시키는 선반 삽입 나사(339)를 포함한다.
개별 선반접촉 고정 나사구(364)는, 패드 단편(328)과 기판 안착 부재(324)를 관통하여 패드 단편(328)과 기판 안착 부재(324)에 의해 둘러싸인 내측벽에 암 나사선을 가지는 일자형의 선반 노출홀(354); 및 선반 노출홀(354)의 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시키면서 선반 연결 부재(280)의 상면과 접촉하고 암 나사선에 수 나사선의 회전을 조절하여 선반 연결 부재(280)에 대해 기판 안착 부재(324)를 상대적으로 상하 움직이는 선반 안착 나사(358)를 포함한다.
상기 기판 안착 부재(324)는, 패드 단편(328) 주변에서 기판(S)을 공급받아 기판(S)을 지지하기 위해, 기판 안착 부재(324)의 길이 방향을 따라 기판(S)의 양 테두리 아래에 대칭으로 위치되어 기판(S)과 접촉되는 복수의 기판 마찰 부재(374, 378)를 가지고, 기판 안착 부재(324)의 길이 방향을 따라 기판(S)의 중앙 영역 아래에 타원형으로 위치되는 기판 노출 홀(322)을 포함한다.
여기서, 상기 기판 안착 부재(324) 또는 패드 단편(328)은, 탄소 섬유 강화 플라스틱(CFRP), 세라믹(ceramic) 또는 알루미늄 함금으로 이루어진다.
다음으로, 본 발명에 따른 로봇 핸드의 사용 방법은 도 1 내지 도 11을 참조하여 기판 이송 로봇의 구동과 함께 설명한다.
도 1 내지 도 11을 참조하면, 기판 이송 로봇(390)이 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비(120)의 이송 챔버(90)에 준비될 수 있다. 상기 기판 이송 로봇(120)은 로봇 몸체(5)에 대해 상대적으로 움직이는 다관절의 로봇 아암들(24, 28)을 가지고 로봇 아암들(24, 28) 상에 버퍼 부재들(34, 38)과 로봇 핸드(390)들을 갖는다.
상기 기판 이송 로봇(120)은, 기판(S)에 증착 공정의 수행시, 로봇 아암들(24, 28)을 사용하여 로봇 핸드(390)들을 로드 챔버(100)에 집어 넣어 로드 챔버(100)의 카세트(도면에 미도시)로부터 기판(S)을 꺼내 공정 챔버(102, 104, 106 또는 108)에 기판(S)을 공급한다.
또한, 상기 기판 이송 로봇(120)은, 기판(S)에 증착 공정의 완료시, 로봇 아암들(24, 28)을 사용하여 로봇 핸드(390)들을 공정 챔버(102, 104, 106 또는 108)에 집어 넣어 공정 챔버(102, 104, 106 또는 108)로부터 기판(S)을 꺼내 언로드 챔버(110)에 기판(S)을 공급한다.
여기서, 상기 로봇 핸드(390)가 제1 및 제2 핸드 가이드(314, 318)의 중공 형상을 이용하여 탄성 변형 저항력 증가와 자체 무게 감소를 유도하므로, 상기 로봇 핸드(390)는, 길이 축소에 대한 설계 자유도를 크게 가져 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비(120)의 크기를 작게할 수 있고, 버퍼 부재(38)로부터 처짐을 없애 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비(120)의 관리를 원활하게 할 수 있다.
38; 버퍼 부재, 314; 제1 핸드 가이드
318; 제2 핸드 가이드, 324; 기판 안착 부재
390; 로봇 핸드, A; 전방 로봇 핸드
B; 후방 로봇 핸드, C1-C4; 체크 포인트
S; 기판

Claims (13)

  1. 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비의 이송 챔버에서 기판 이송 로봇의 로봇 몸체와 함께 상기 로봇 몸체 상에 다관절로 이루어져 상기 로봇 몸체에 대해 상대적으로 움직이는 로봇 아암(robot arm)을 구비하여 상기 로봇 아암을 통해 상기 이송 챔버로부터 상기 이송 챔버 주변에 위치되는 복수의 챔버들에 기판을 공급하는 로봇 핸드에 있어서,
    상기 로봇 몸체로부터 이격하여 상기 로봇 아암의 자유 단에 결합되는 버퍼 부재(buffer member)와 결합하면서 상기 버퍼 부재로부터 시작하여 상기 버퍼 부재의 반대 편을 향해 곧게 연장하는 전방(front) 로봇 핸드와 후방(rear) 로봇 핸드를 포함하고,
    상기 전방 로봇 핸드는, 상기 버퍼 부재 상에 일 방향을 따라 순차적으로 배열되며 타 방향을 따라 길게 위치되어 서로에 대해 평행을 이루면서 속이 빈 제1 핸드 가이드와 제2 핸드 가이드를 가지고,
    상기 후방 로봇 핸드는, 상기 버퍼 부재로부터 이격하며 상기 제1 핸드 가이드와 상기 제2 핸드 가이드에 연결되고,
    상기 전방 로봇 핸드는,
    상기 버퍼 부재와 나사 고정하도록,
    상기 제1 핸드 가이드 또는 상기 제2 핸드 가이드에 각진 중공 관을 가지고,
    상기 후방 로봇 핸드에 나사 고정되도록,
    제1 핸드 가이드와 상기 후방 로봇 핸드 사이에 또는 제2 핸드 가이드와 상기 후방 로봇 핸드 사이에 선반 연결 부재를 포함하고,
    상기 각진 중공 관은 빈 공간을 사각 측벽으로 둘러싸고,
    상기 선반 연결 부재는,
    상기 제1 핸드 가이드와 상기 후방 로봇 핸드 사이에, 또는 상기 제2 핸드 가이드와 상기 후방 로봇 핸드 사이에 L자 형상을 이루면서, 상기 L자 형상으로부터 돌출되어 상기 각진 중공 관의 타측 개구부로 삽입되는 플렌지(flange) 아이들 블럭을 가지고,
    상기 전방 로봇 핸드는,
    상기 각진 중공 관의 양 측벽에서 개별 측벽 가까이에 상기 각진 중공 관의 길이 방향에 직각되게 위치되어 상기 각진 중공 관과 상기 플렌지 아이들 블럭을 관통하는 복수의 플렌지접속 고정 나사구(螺絲具)를 더 포함하는, 로봇 핸드.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 전방 로봇 핸드는,
    상기 버퍼 부재와 상기 제1 핸드 가이드 또는 상기 제2 핸드 가이드의 중첩 영역에서 상기 각진 중공 관에 중개 아이들(idle) 블럭과 버퍼접속 고정 나사구(螺絲具)와 버퍼대항 수평 나사구를 포함하는, 로봇 핸드.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 중개 아이들 블럭은 상기 버퍼 부재 상에서 상기 각진 중공 관의 일측 개구부를 통해 삽입되어 상기 각진 중공 관의 상기 일측 개구부를 차폐시키고,
    상기 버퍼접속 고정 나사구는 상기 각진 중공 관의 양 측벽 가까이에서 상기 각진 중공 관을 관통하도록 개별 측벽을 따라 한 그룹의 버퍼접속 고정 나사구에 두개 씩으로 구비되어 두 그룹의 버퍼접속 고정 나사구로 일렬 배치되고,
    상기 버퍼대항 수평 나사구는 개별 그룹의 버퍼접속 고정 나사구에서 두 개의 버퍼접속 고정 나사구 사이에 위치되는, 로봇 핸드.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 버퍼접속 고정 나사구는,
    상기 각진 중공 관과 상기 중개 아이들 블럭을 T 자형으로 지나고 상기 버퍼 부재에 소정 깊이로 연장되어 상기 각진 중공 관과 상기 중개 아이들 블럭과 상기 버퍼 부재로 둘러싸인 내측벽에 암 나사선을 가지는 버퍼 연장홀; 및
    상기 버퍼 연장홀의 상부 측에 위치되는 와셔를 지나 상기 버퍼 연장홀의 하부 측의 상기 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시켜 상기 버퍼 부재에 상기 각진 중공 관과 상기 중개 아이들 블럭을 고정시키는 버퍼 삽입 나사를 포함하는, 로봇 핸드.
  6. 제3 항에 있어서,
    상기 버퍼대항 수평 나사구는,
    상기 각진 중공 관과 상기 중개 아이들 블럭을 관통하여 상기 각진 중공 관과 상기 중개 아이들 블럭으로 둘러싸인 내측벽에 암 나사선을 가지는 일 자형의 버퍼 노출홀; 및
    상기 버퍼 노출홀의 상기 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시키면서 상기 버퍼 부재의 상면과 접촉하고 상기 암 나사선에 상기 수 나사선의 회전을 조절하여 상기 버퍼 부재에 대해 상기 각진 중공 관을 상대적으로 상하 움직이는 버퍼 안착 나사를 포함하는, 로봇 핸드.
  7. 삭제
  8. 제1 항에 있어서,
    개별 플렌지접속 고정 나사구는,
    상기 각진 중공 관의 하부 측벽 및 상부 측벽으로부터 상기 플렌지 아이들 블럭을 향해 역고깔 형상으로 지나면서 상기 플렌지 아이들 블럭을 관통하고 상기 플렌지 아이들 블럭의 내측벽에 암 나사선을 가지는 플렌지 관통 홀; 및
    상기 하부 측벽과 상기 플렌지 아이들 블럭의 플렌지 관통홀에, 그리고 상기 상부 측벽과 상기 플렌지 아이들 블럭의 플렌지 관통홀에 각각 삽입되어 상기 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시키는 제1 플렌지 삽입 나사와 제2 플렌지 삽입 나사를 포함하는, 로봇 핸드.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 후방 로봇 핸드는,
    상기 전방 로봇 핸드의 상기 선반 연결 부재와 나사 고정하도록,
    상기 후방 로봇 핸드의 상부 측에서 상기 제1 핸드 가이드와 상기 제2 핸드 가이드에 걸쳐 패드 단편을 가지고,
    상기 후방 로봇 핸드의 하부 측에서 상기 선반 연결 부재로부터 상기 패드 단편보다 더 수평으로 연장하는 기판 안착 부재를 가지는, 로봇 핸드.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 후방 로봇 핸드는,
    상기 패드 단편에서 상기 제1 핸드 가이드 또는 상기 제2 핸드 가이드 앞에 위치되어 네개 씩으로 한 그룹을 이루어 상기 한 그룹에서 두개 씩으로 마주하는 선반접속 고정 나사구(螺絲具); 및
    네 개의 선반 삽입 고정 나사구 사이에서 상기 네 개의 선반 삽입 고정 나사구 중 상기 제1 핸드 가이드 또는 상기 제2 핸드 가이드로부터 멀리 위치되는 두 개의 선반 삽입 고정 나사구 사이에 위치되는 두 개의 선반대항 수평 나사구를 포함하는, 로봇 핸드.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 선반접속 고정 나사구는,
    상기 기판 안착 부재의 연장 방향에 직각되게 위치되어 상기 패드 단편과 상기 기판 안착 부재를 지나 상기 선반 연결 부재에 소정 깊이로 연장하고 상기 패드 단편과 상기 기판 안착 부재와 상기 선반 연결 부재에 의해 둘러싸인 내측벽에 암나사선을 가지는 일자형의 선반 연장홀; 및
    상기 패드 단편 상에 위치되는 와셔를 지나 상기 선반 연장홀의 상기 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시켜 상기 선반 연결 부재에 상기 패드 단편과 상기 기판 안착 부재를 고정시키는 선반 삽입 나사를 포함하는, 로봇 핸드.
  12. 제10 항에 있어서,
    개별 선반접촉 고정 나사구는,
    상기 패드 단편과 상기 기판 안착 부재를 관통하여 상기 패드 단편과 상기 기판 안착 부재에 의해 둘러싸인 내측벽에 암 나사선을 가지는 일자형의 선반 노출홀; 및
    상기 선반 노출홀의 상기 암 나사선에 수 나사선을 나선 결합시키면서 상기 선반 연결 부재의 상면과 접촉하고 상기 암 나사선에 상기 수 나사선의 회전을 조절하여 상기 선반 연결 부재에 대해 상기 기판 안착 부재를 상대적으로 상하 움직이는 선반 안착 나사를 포함하는, 로봇 핸드.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 기판 안착 부재는,
    상기 패드 단편 주변에서 상기 기판을 공급받아 상기 기판을 지지하기 위해,
    상기 기판 안착 부재의 길이 방향을 따라 상기 기판의 양 테두리 아래에 대칭으로 위치되어 상기 기판과 접촉되는 복수의 기판 마찰 부재를 가지고,
    상기 기판 안착 부재의 길이 방향을 따라 상기 기판의 중앙 영역 아래에 타원형으로 위치되는 기판 노출 홀을 포함하는, 로봇 핸드.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100562171B1 (ko) * 2004-02-24 2006-03-20 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 지지부재
KR101032340B1 (ko) 2004-11-22 2011-05-06 엘지디스플레이 주식회사 평판표시장치용 기판이송로봇
KR20070003396A (ko) * 2005-07-01 2007-01-05 삼성전자주식회사 웨이퍼 이송 장치
JP5059573B2 (ja) * 2007-12-06 2012-10-24 東京エレクトロン株式会社 基板保持具、基板搬送装置および基板処理システム
KR102327388B1 (ko) * 2016-12-29 2021-11-16 현대중공업지주 주식회사 진공로봇

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101578876B1 (ko) 2015-11-09 2015-12-28 에스비로보텍 주식회사 기판이송용 로봇핸드

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