CN105668234B - 基板夹持对位装置和基板加工系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板夹持对位装置，用于对玻璃基板进行夹持对位，包括至少一个第一定位部和/或至少一个第二定位部，所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮，所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮，所述第一滚轮和/或所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的所述侧边。根据本发明的基板夹持对位装置能够降低对玻璃基板的冲击，并且可以减少对玻璃基板的约束，避免过定位的发生。本发明还提供一种基板加工系统。

Description

基板夹持对位装置和基板加工系统
技术领域
本发明涉及夹持对位装置，尤其涉及一种基板夹持对位装置和基板加工系统。
背景技术
如图1所示，常用的机械夹持对位装置1通常采用在玻璃基板101的四角设置夹持滚轮102来矫正玻璃基板101的位置，从而使得玻璃基板完成定位动作。
当前，玻璃基板行业的发展趋势为小厚度及大尺寸的基板。对于此类玻璃基板，其质量较大，即需吸收的冲击能量较大，而较小的厚度会使其抗冲击强度较低，由夹持导致边裂的可能性变大，从而提高了由边裂导致产品报废的风险。
如图1所示，在玻璃基板101所在的平面内，共有横向平移、竖向平移和绕垂直玻璃基板101平面方向的转动的3个自由度，而玻璃基板101长边上两侧各有2个滚轮102，组成4对约束；短边上同理，4对约束。因此玻璃基板101在定位过程中，若玻璃基板101存在转动偏移或移动偏移，多个滚轮102形成的定位为过定位，容易使得夹持位置不正确，从而造成玻璃基板101卡住，产生边裂。
发明内容
本发明提供一种基板夹持对位装置，能够降低对玻璃基板的冲击，并且可以减少对玻璃基板的约束，避免过定位的发生。
本发明提供一种基板夹持对位装置，用于对玻璃基板进行夹持对位，包括至少一个第一定位部和/或至少一个第二定位部，所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮，所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮，所述第一滚轮和/或所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的所述侧边。
其中，所述第一定位部的所述杆体为刚性杆体。
其中，所述第一定位部的数量亦为四个，四个所述第一定位部两两相对设置。
其中，所述第二定位部的数量为八个，一个所述第一定位部和两个所述第二定位部构成一个定位组件，四个所述定位组件两两相对设置。
其中，在每一个所述定位组件中，两个所述第二定位部位于所述第一定位部的两侧。
其中，在每一个所述定位组件中，两个所述第二定位部位于所述第一定位部的同一侧。
本发明还提供一种基板加工系统，包括如前述任一项所述的基板夹持对位装置。
相较于现有技术，本发明通过增加滚轮，可以增大夹持对位装置与玻璃基板的接触面积，从而降低对玻璃基板的冲击力，并且增设带弹簧的滚轮，可以减少滚轮对玻璃基板的约束，还可以对玻璃基板回复中心位置起正反馈作用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是现有的基板夹持对位装置的示意图；
图2是根据本发明的基板夹持对位装置的示意图；
图3是根据本发明的基板夹持对位装置在去除第二定位部后的示意图；
图4是根据本发明的基板夹持对位装置在基板发生竖向偏移时的示意图；
图5是根据本发明的基板夹持对位装置在基板发生旋转偏移时的示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图2，示出根据本发明的基板夹持对位装置2，用于对玻璃基板201进行夹持对位，基板夹持对位装置2包括第一定位部202和第二定位部203，其中，第一定位部202包括杆体2021以及与杆体2021相连的第一滚轮2022，第二定位部203包括弹簧2031以及与弹簧2031相连的第二滚轮2032。其中，第一定位部202的杆体2021为刚性杆体。如图2所示，根据本发明的基板夹持对位装置2包括四个第一定位部202和八个第二定位部203，其中一个第一定位部202和两个第二定位部203构成一个定位组件，如图2所示，四个定位组件两两相对设置，并且在每一个定位组件中，两个第二定位部203位于第一定位部202的两侧，而第一定位部202的第一滚轮2022抵靠在玻璃基板201的每个侧边的中间位置，第二定位部203的第二滚轮2032也均抵靠玻璃基板201。在夹持玻璃基板201时，第二定位部203的弹簧2031均会处于受压状态，以对玻璃基板201进行夹持对位。本发明与玻璃基板201的侧边接触的滚轮的数量共有12个，相比于现有技术，本发明可以增大滚轮与玻璃基板201的接触面积，在冲击强度相等的情况下，玻璃基板201受到的冲击力会减小，因此发生边裂的风险也会降低，特别对于小厚度和大尺寸的玻璃基板而言，尤为重要。
进一步地，前述定位组件可以仅包括一个第一定位部202。
更进一步地，前述定位组件可以包括一个第一定位部202和一个第二定位部203。
更进一步地，前述定位组件可以包括一个第一定位部202和两个第二定位部203，而两个第二定位部203位于第一定位部202的同一侧。
参照图3，由于本发明中带弹簧2031的第二定位部203对玻璃基板201只施加受力，无自由度约束限制，因此对于玻璃基板201的自由度约束可简化成如图3所示的示意图。其中，由于第一定位部202的杆体2031是刚性杆体，因此玻璃基板201的长边和短边上抵靠的各1个第一滚轮2022能够分别约束玻璃基板201的横向和竖向位移，另两个第一滚轮2022组成另一约束约束玻璃基板201的旋转运动。因此，一共存在3个约束将玻璃基板201限制在指定位置，消除了玻璃基板201的过定位风险，减小了玻璃基板201边裂的可能性。
此外，带弹簧2031的第二滚轮2032不仅可以分散玻璃基板201的冲击力，并且可以对玻璃基板201回复指定位置的运动，产生正反馈作用。
如图4所示，当玻璃基板201在横向或竖向上发生偏移时，偏移侧的弹簧压缩量比另一侧大，玻璃基板201在偏移侧所受的力F1大于另一侧所受的力F1’，在夹紧过程中，带弹簧2031的第二滚轮2032对玻璃基板201进行辅助对位，辅助玻璃基板201回复中心位置。玻璃基板201偏移量越大，F1与F1’的差值越大，越有助于辅助玻璃基板201回复原位，形成以原位为中心的正反馈自对位功能。
如图5所示，当玻璃基板201在所在平面内旋转偏移时，例如绕其中心旋转偏移一定角度，玻璃基板201的受带弹簧2031的第二滚轮2032的挤压侧的受力为F2，另一未被挤压侧的受力为F2’，其中F2大于F2’，玻璃基板201对边斜对侧的一对受力F2形成一组力矩M，另一对受力F2’形成另一组力矩M’，由于F2大于F2’，而力臂大致相等，因此力矩M大于力矩M’，会使得玻璃基板201朝着力矩M的方向旋转，因而玻璃基板201可以回复到原位，并且玻璃基板201旋转角度越大，受力F2越大、F2’越小，形成的力矩M越大、M’越小，M与M’的差值越大，对玻璃基板201回复原位帮助越大。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (6)

1.一种基板夹持对位装置，用于对玻璃基板进行夹持对位，其特征在于，包括第一定位部和位于所述第一定位部相对两侧的两个第二定位部，所述第一定位部包括杆体以及与所述杆体相连的第一滚轮，所述第二定位部包括弹簧以及与所述弹簧相连的第二滚轮，所述第一滚轮和所述第二滚轮用于抵靠所述玻璃基板的侧边，两个所述第二定位部能够在沿所述杆体延伸的方向上相对所述第一定位部一起伸出。
2.如权利要求1所述的基板夹持对位装置，其特征在于，所述第一定位部的所述杆体为刚性杆体。
3.如权利要求2所述的基板夹持对位装置，其特征在于，所述第一定位部的数量亦为四个，四个所述第一定位部两两相对设置。
4.如权利要求3所述的基板夹持对位装置，其特征在于，所述第二定位部的数量为八个，一个所述第一定位部和两个所述第二定位部构成一个定位组件，四个所述定位组件两两相对设置。
5.如权利要求4所述的基板夹持对位装置，其特征在于，在每一个所述定位组件中，两个所述第二定位部位于所述第一定位部的两侧。
6.一种基板加工系统，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的基板夹持对位装置。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106249449B (zh) * 2016-08-29 2019-07-23 武汉华星光电技术有限公司 防夹碎基板对位装置
CN107879110B (zh) * 2016-09-30 2024-03-26 上海宝弥金属制品有限公司 玻璃支撑条、玻璃周转架及玻璃处理方法
CN107055048B (zh) * 2017-04-27 2018-11-06 合肥工业大学 玻璃板生产过程中的对中装置
CN107367857B (zh) * 2017-07-13 2020-07-28 武汉华星光电技术有限公司 对位装置
CN107259929A (zh) * 2017-08-06 2017-10-20 余伟文 一种防摔泡茶工具
CN108772511B (zh) * 2018-04-23 2024-04-09 嘉兴晨飞科技有限公司 一种汽车减震器骨架同步成型装置
CN113287836B (zh) * 2021-06-21 2022-04-01 温州职业技术学院 一种鞋楦固定装置及其固定方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000191334A (ja) * 1998-12-25 2000-07-11 Asahi Glass Co Ltd 板ガラスの搬送装置
JP4652351B2 (ja) * 2007-02-02 2011-03-16 大日本印刷株式会社 基板支持装置、基板支持方法
JP2011242534A (ja) * 2010-05-17 2011-12-01 Hitachi Plant Technologies Ltd 基板搬送装置と基板の傾き補正
CN202138781U (zh) * 2011-07-20 2012-02-08 京东方科技集团股份有限公司 一种自动校正玻璃位置的装置
JP5923281B2 (ja) * 2011-11-18 2016-05-24 東京応化工業株式会社 基板搬送装置及び基板処理装置
CN203218231U (zh) * 2013-01-17 2013-09-25 京东方科技集团股份有限公司 基板对位件和基板对位装置
CN203275819U (zh) * 2013-05-23 2013-11-06 合肥京东方光电科技有限公司 一种基板承载装置
CN103434841A (zh) * 2013-07-16 2013-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板定位装置
CN204959036U (zh) * 2015-09-11 2016-01-13 昆山龙腾光电有限公司 一种玻璃校正装置

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