JP2015192021A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
矩形基板を搬送する搬送装置であって、
前記基板の搬送方向と直交する方向における両端を挟持して前記基板を搬送方向に搬送する一対のローラを有し、
前記ローラは前記基板の搬送方向に沿って複数対設けられることを特徴とする。
また、各シャフト42a、42bは、それぞれ軸受部49a、49bに回転自在に保持され、各軸受部49a、49bは、基板搬送方向(矢印14)に沿って延びる共通軸体50a、50bに回動自在に支持される。共通軸体50a、50bに対する各軸受部49a、49bの揺動方向を含む面は、基板搬送方向(矢印14)とは直交し、各軸受部49a、49bの揺動により、対向するローラ部41aとローラ部41bとは互いに接離動可能である。そして、自然状態において、シャフト42a及びそれと一体のローラ部51a、従動ギア47aなどの自重、あるいはシャフト42b及びそれと一体のローラ部51b、従動ギア47bなどの自重により、ローラ部41aとローラ部41bには、互いの接近方向に回転モーメントが生じるが、従動ギア47aと従動ギア48a、従動ギア47bと従動ギア48bとのかみ合いにより、回転は制限される。
12 基板搬送機構
13 洗浄機構
15 基板
16 基板搬入装置
17 基板搬出装置
17a 第1の基板搬出装置
17b 第2の基板搬出装置
18 搬送ベルト
21 搬送ベルト
25 ワイピングクロス
26a 送り出しローラ
26b 巻き取りローラ
28 押し当てヘッド
30 基板検出センサ
31 洗浄液供給部
矩形基板を搬送する搬送装置であって、
前記基板を間にして対向配置され、かつ、前記基板の搬送方向に沿って複数対設けられ、前記基板の搬送方向に略垂直な方向に伸長する一対のシャフトと、
前記シャフトの一端側にそれぞれ挿着され、前記基板の両端を挟持して搬送する一対のローラ部と、
前記シャフトの他端側にそれぞれ挿着される第1の従動ギアと、
駆動源に接続され、駆動ギアを挿着した共通シャフトと、を有し、
前記駆動ギアは、第2の従動ギアを挿着した共通連通軸の前記第2の従動ギアと噛合可能に設けられ、
前記第1の従動ギアは、前記第2の従動ギアにそれぞれ噛合可能に設けられていることを特徴とする。
また、各シャフト42a、42bは、それぞれ軸受部49a、49bに回転自在に保持され、各軸受部49a、49bは、基板搬送方向(矢印14)に沿って延びる共通軸体50a、50bに回動自在に支持される。共通軸体50a、50bに対する各軸受部49a、49bの揺動方向を含む面は、基板搬送方向(矢印14)とは直交し、各軸受部49a、49bの揺動により、対向するローラ部41aとローラ部41bとは互いに接離動可能である。そして、自然状態において、シャフト42a及びそれと一体のローラ部41a、従動ギア47aなどの自重、あるいはシャフト42b及びそれと一体のローラ部41b、従動ギア47bなどの自重により、ローラ部41aとローラ部41bには、互いの接近方向に回転モーメントが生じるが、従動ギア47aと従動ギア48a、従動ギア47bと従動ギア48bとのかみ合いにより、回転は制限される。
Claims (5)
- 矩形基板を搬送する搬送装置であって、
前記基板の搬送方向と直交する方向における両端を挟持して前記基板を搬送方向に搬送する一対のローラを有し、
前記ローラは前記基板の搬送方向に沿って複数対設けられることを特徴とする基板搬送装置。 - 矩形基板を搬送する搬送装置であって、
前記基板を間にして対向配置され、かつ、前記基板の搬送方向に沿って複数対設けられ、前記基板の搬送方向に略垂直な方向に伸長する(一対の)シャフトと、
前記シャフトの一端側にそれぞれ挿着され、前記基板の両端を挟持して搬送する(一対の)ローラ部と、
前記シャフトの他端側にそれぞれ挿着される第1の従動ギアと、
駆動源に接続され、駆動ギアを挿着した共通シャフトと、を有し、
前記駆動ギアは、第2の従動ギアを挿着した共通連通軸の前記第2の従動ギアと噛合可能に設けられ、
前記第1の従動ギアは、前記第2の従動ギアにそれぞれ噛合可能に設けられていることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記基板の搬送方向に沿って複数対設けられるシャフトは、それぞれ軸受部によって保持され、
前記軸受部は、前記基板の搬送方向と平行方向に設けられる一つの軸体によって一体保持されることを特徴とする請求項1又は2記載の基板搬送装置。 - 前記ローラ部は、円柱部と鍔状部とからなることを特徴とする請求項1から3記載の基板搬送装置。
- 前記鍔状部が傾斜面を有していることを特徴とする請求項4記載の基板搬送装置。
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