JP3167122U

JP3167122U - 横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置

Info

Publication number: JP3167122U
Application number: JP2011000341U
Authority: JP
Inventors: 寧 ▲呉▼; 世達 ▲黄▼
Original assignee: 揚博科技股▲ふん▼有限公司
Priority date: 2011-01-25
Filing date: 2011-01-25
Publication date: 2011-04-07
Anticipated expiration: 2021-01-25

Abstract

【課題】特に基板の幅に応じて横方向の間隔を調整することができる基板輸送装置を提供する。【解決手段】機械台座１０と、該機械台座に設置される、複数の下回転軸２１の両端にそれぞれ方向制限プレート２３が環装されるローラー部材２０と、該ローラー部材の方向制限プレートに連動する連動板３０と、該連動板を連動する少なくとも１つの調整部材５０とを有し、その内、該調整部材は、複数の連接部材によって互いに平行する移動棒及び側移動棒を結合させ、該移動棒を軸方向の移動によって、側移動棒と連動板を移動させて対応した方向制限プレートを横方向に移動する事が可能であるから、基板の幅に応じて横方向の間隔を調整する機能を実現する。【選択図】図１

Description

本考案は、特に基板の幅に応じて横方向の間隔を調整することができる基板搬送装置に関するものである。

回路基板の製造プロセスには搬送装置が必要であり、その搬送装置は、機械台座を有し、該機械台座に上層と下層に分かれるように設置されると共に、間隔をおいて横方向に排列される複数の搬送ローラーを備え、該各搬送ローラーに間隔をおいて複数の搬送ローラーが設置される。この構成によれば、基板は、上層搬送ローラーと下層搬送ローラーとの間に配置され、搬送ローラーの回転によって移送され、清淨、或いはエッチングなどのプロセスが行われる。

既存の基板搬送装置は、基板の搬送方向がずれないように、既定の搬送ルートを維持すると共に、下層搬送ローラーの両端近傍にそれぞれ方向制限プレートが設置され、該方向制限プレートは、内端面の外径が外端面の外径よりも小さいことから、周面に傾斜状のガイド面が形成される。この構成によれば、基板が搬送装置もより搬送される時、基板の対向する両側がそれぞれ方向制限プレートのガイド面に対応して正しい方向を維持することができるので、基板の搬送方向のずれを防ぐことができる。

しかしながら、既存の各種電子製品のデザイン性に応じるためには、基板の長さ、幅、厚さなどのサイズにより、方向制限プレートの搬送ローラーに設置された位置を調整する必要があるが、既存の方法は、方向制限プレートを１つずつ調整するものであり、先ず方向制限プレートと搬送ローラーとの係合結構を解放し、方向制限プレートが搬送ローラーに横方向の間隔を調整することができる。その方法によれば、時間も人工も浪費してしまうという欠点があり、また、人工の調整誤差があるから、搬送ローラーの同側の方向制限プレートを一直線に調整することが難しく、基板をずれないように搬送することができないという問題があった。

両側にそれぞれ設けられる２つの支持板と、該支持板の内側近傍に設けられるブラケットとを有する機械台座と、前記機械台座の２つの支持板の間に設置される複数の下回転軸と、複数の方向制限プレートとを有し、その内、該複数の下回転軸はそれぞれ、回転可能に間隔をおいて該２つの支持板に設置されると共に、下軸体と、該下軸体に環装される少なくとも１つの搬送ローラーと、それぞれ回転不能に該下軸体の両端近傍に環装されると共に、該下軸体の軸方向へ移動可能に設置される２つの調整ローラーとを備え、該各調整ローラーは、該支持板に面する側面に、軸方向に向かって延出するように該下軸体に環装されるチューブと、該チューブの外周面に凹設される環溝部とを備えるものであり、該複数の方向制限プレートはそれぞれ、該下回転軸における調整ローラーのチューブに環装され、該下回転軸の端部と調整ローラーとの間に位置し、該各方向制限プレートにおける、該調整ローラーに面する一端面の外径が調整ローラーの外径と対応すると共に、相対する他端面の外径よりも小さく、また、その２つの端面を連結する環状の側面に傾斜状のガイド面が形成されるローラー部材と、前記下回転軸のチューブの環溝部に対応するように、間隔をおいて形成される複数の設置孔を有すると共に、それぞれ前記機械台座及びローラー部材の上方に位置する少なくとも１つの連動板と、連動座と、移動棒と、側移動棒と、複数の連結部材と、モータとを有すると共に、それぞれ該機械台座のブラケットに位置し、その内、該連動座は、前記連動板に結合され、該移動棒は、その軸方向に沿って移動可能に該ブラケットに貫設され、該側移動棒は、横方向またはその軸方向へ移動可能に該ブラケットに貫設されると共に、連動座を貫設し、該複数の連結部材は、間隔をおいて設置され、その両端はそれぞれ移動棒及び側移動棒に枢設され、該モータは、動作軸を備え、該動作軸は、該移動棒を移動させるために進退移動することができるように該モータに駆動される複数の調整部材とを有する。

前記ローラー部材はそれぞれ、回転可能に間隔をおいて前記２つの支持板に設置されると共に、前記連動板の設置孔に貫設するように、前記下回転軸の上側に位置する複数の上回転軸を備え、該各上回転軸は、上軸体と、少なくとも１つの搬送ローラーと、２つの調整ローラーとを備え、その内、該搬送ローラーは、該上軸体に環装され、該２つの調整ローラーはそれぞれ、回転不能に該上軸体の両端近傍に環装されると共に、該上軸体の軸方向へ移動可能に設置され、また、該各調整ローラーは、該支持板に面する側面に、該上軸体の軸方向に向かって延設されるように、該上軸体に環装されるチューブと、該チューブの外周面に凹設される環溝部とを備え、前記連動板の設置孔はそれぞれ、前記上回転軸のチューブの環溝部と対応することが好ましい。

前記各下回転軸の下軸体の一端に駆動ギアが環装され、前記基板搬送装置はさらに駆動軸を有し、該駆動軸は、該下回転軸の軸方向と垂直するように、機械台座の一側に設置されると共に、該各下回転軸の駆動ギアと対応するように、それぞれ間隔をおいて設置させる、該各下回転軸の駆動ギアに複数のウォームギアが噛合されてもよい。

前記各下回転軸の下軸体の両端にそれぞれ駆動ギアと、伝動ギアが環装され、前記各上回転軸の上軸体の一端に、前記下回転軸の伝動ギアに噛合される伝動ギアが環装され、駆動軸を有し、該駆動軸は、前記下回転軸の軸方向と垂直するように、機械台座の一側に設置されると共に、前記各下回転軸の駆動ギアと対応するようにそれぞれ間隔をおいて設置させる、該各下回転軸の駆動ギアに複数のウォームギアが噛合されてもよい。

前記各ブラケットは、前記支持板に沿うように間隔をおいて排列される複数のフレームを有し、該各フレームにそれぞれ、横方向に間隔をおいて軸孔及び摺動孔が穿設され、そのうち軸孔はそれぞれ、別のフレームの軸孔と対応すると共に、該摺動孔は、横方向の長形孔であり、それぞれ別のフレームの摺動孔と対応し、前記移動棒は、その軸方向に沿って移動可能に前記フレームの軸孔に貫設され、前記側移動棒は、横方向またはその軸方向へ移動可能に前記フレームの摺動孔に貫設されてもよい。

前記下回転軸は、非円形の断面を具備する軸体を有し、前記調整ローラーは、その非円形の断面と対応する貫通孔が形成される。

尚、前記下回転軸及び回転軸はそれぞれ、非円形の断面を具備する軸体を有し、前記調整ローラー及び調整ローラーにそれぞれ、その非円形の断面と対応する貫通孔が形成されてもよい。

前記機械台座における２つの支持板の内側近傍にそれぞれ前記ブラケットが設けられ、該各ブラケットにそれぞれ、前記下回転軸の両端に設置された調整ローラー及び方向制限プレートに連結される前記連動板が設けられると共に、該連動板と連動する前記調整部材が設置されてもよい。

前記機械台座における２つの支持板の内側近傍にそれぞれ前記ブラケットが設けられ、該各ブラケットにそれぞれ、前記下回転軸及び上回転軸の両端に設置される調整ローラー及び方向制限プレートに連結される前記連動板が設けられると共に、該連動板を連動させる前記調整部材が設置されてもよい。

前記各調整部材はさらに伝動棒を有し、該伝動棒の中間段が機械台座に枢設されると共に、両端がそれぞれ移動棒及び動作軸に枢設されてもよい。

前記各連結部材は、２つのボードからなり、その２つのボードはそれぞれ、側移動棒及び側移動棒の両側に枢設されてもよい。

本考案に係る、横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置は上記の課題を解決するものであり、モータを駆動させて、伝動棒を介して移動棒を軸方向に沿って移動させ、連結部材により側移動棒と、連動座と、連動板と、調整ローラーと、方向制限プレートを横方向へ移動させる構成であるので、基板のサイズに応じて、隣の２つの方向制限プレートとの横方向の距離を調整することができる。

本考案に係る横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置の前面視平面図である。本考案に係る横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置の側面視平面図である。本考案に係る横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置における移動棒と側移動棒と連結部材とを示す上面視平面図である。本考案に係る横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置における移動棒と側移動棒と連結部材との動作状態を示す上面視平面図である。本考案に係る横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置における図１の部分拡大断面図である。本考案に係る横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置において調整を行った状態を示す部分拡大断面図である。

以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、下記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、本考案の技術的範囲は、下記実施例そのものに何ら限定されるものではない。

図１に示すように、本考案に係る、横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置は、機械台座１０と、ローラー部材２０と、少なくとも１つの連動板３０と、駆動軸４０と、少なくとも１つの調整部材５０とを有する。

前記機械台座１０は、２つの支持板１１と、少なくとも１つのブラケット１２を有し、そのうち２つの支持板１１は、機械台座１０の全体に亘ってそれぞれ機械台座１０の両側に直立状態で設けられ、また、図２及び図５に示すように、該ブラケット１２は、機械台座１０における支持板１１の内側近傍に設けられる。

前記各ブラケット１２は、前記支持板１１に沿うように間隔をおいて排列される複数のフレーム１２１を有し、該各フレーム１２１にそれぞれ、横方向に間隔をおいて軸孔及び摺動孔１２２が穿設され、該複数のフレーム１２１における軸孔はそれぞれ、別のフレームの軸孔に対応すると共に、該複数のフレーム１２１における摺動孔１２２は、横方向の長形孔であり、それぞれ別のフレームの摺動孔に対応している。

前記ローラー部材２０は、前記機械台座１０の２つの支持板１１の間に設置される複数の下回転軸２１と、複数の上回転軸２２と、複数の方向制限プレート２３とを有し、その内、該複数の下回転軸２１はそれぞれ、回転可能に間隔をおいて該２つの支持板１１に設置されると共に、下軸体と、少なくとも１つの搬送ローラー２１１と、２つの調整ローラー２１２と、駆動ギア２１３と、伝動ギア２１４とを有する。

前記搬送ローラー２１１は、回転不能に下軸体に環装され、前記２つの調整ローラー２１２はそれぞれ、回転不能に下軸体の両端近傍に環装されると共に、下軸体の軸方向へ移動可能に設置され、前記各調整ローラー２１２は、前記支持板１１に面する側面に、軸方向に向かって延出するように下軸体に環装されるチューブ２１５と、該チューブ２１５の外周面に凹設される環溝部２１６とを備え、また、前記駆動ギア２１３は、下軸体の一端に環装されると共に、前記伝動ギア２１４は、下軸体の他端に環装される。

前記上回転軸２２はそれぞれ、回転可能に間隔をおいて前記２つの支持板１１に設置されると共に、前記下回転軸２１の上側に位置し、該各上回転軸２２は、上軸体と、少なくとも１つの搬送ローラー２２１と、２つの調整ローラー２２２と、伝動ギア２２４とを備え、その内、該搬送ローラー２２１は、回転不能に上軸体に環装され、該２つの調整ローラー２２２はそれぞれ、回転不能に上軸体の両端近傍に環装されると共に、上軸体の軸方向へ移動可能に設置され、また、前記各調整ローラー２２２は、該支持板１１に面する側面に、該上軸体の軸方向に向かって延設されるように、上軸体に環装されるチューブ２２５と、該チューブ２２５の外周面に凹設される環溝部２２６とを備えるものである。更に、前記伝動ギア２２４は、上軸体の一端に環装されると共に、下回転軸２１の伝動ギア２１４に噛合され、これにより、下回転軸２１と上回転軸２２とが連動することができる。また、基板を搬送する時は、該基板が下回転軸２１の搬送ローラー２１１と上回転軸２２の搬送ローラー２２１との間に挟持されると共に、該下回転軸２１の調整ローラー２１２と上回転軸２２の調整ローラー２２２との間に位置する。

本考案において、下回転軸２１及び上回転軸２２はそれぞれ、非円形の断面を有する軸体であり、前記調整ローラー２１２及び調整ローラー２２２にはそれぞれ、その非円形の断面と対応する貫通孔が形成される。図２に示すように、本考案に係る実施例においては、下回転軸２１及び上回転軸２２がそれぞれ、Ｄ字形の断面を有する軸体であり、調整ローラー２１２及び調整ローラー２２２はそれぞれ、Ｄ字形の断面を有する貫通孔が形成されるものであり、この構成によれば、該調整ローラー２１２及び調整ローラー２２２はそれぞれ、該下回転軸２１及び上回転軸２２の軸体に設置されるので、軸体の軸方向に沿って移動可能に調整することができるが、軸体に対して回転不能となる。

前記複数の方向制限プレート２３はそれぞれ、下回転軸２１における調整ローラー２１２のチューブ２１５に環装され、該下回転軸２１の端部と調整ローラー２１２との間に位置することから、該調整ローラー２１２と一緒に回転するものであり、更に、該各方向制限プレート２３は、該調整ローラー２１２に面する一端面の外径が調整ローラー２１２の外径と対応すると共に、相対する他端面の外径よりも小さく、また、その２つの端面と接する環状の側面に傾斜状の導引面２３１が形成される。故に、基板が下回転軸２１の搬送ローラー２１１と上回転軸２２の搬送ローラー２２１との間に搬送される時、方向制限プレート２３によって基板の搬送方向のずれを防ぐことができる。

前記複数の連動板３０はそれぞれ、前記機械台座１０及びローラー部材２０の上方に位置し、下回転軸２１のチューブ２１５の環溝部２１６及び上回転軸２２のチューブ２１５の環溝部２２６に対応するように、間隔をおいて形成される複数の設置孔を有するものであり、該下回転軸２１の調整ローラー２１２及び上回転軸２２の調整ローラー２２２はそれぞれ、対応する連動板３０の設置孔に回転可能に貫設され、且つ該連動板３０は、下回転軸２１の調整ローラー２１２及び上回転軸２２の調整ローラー２２２と一緒に下回転軸２１及び上回転軸２２の軸方向に沿って移動することができる。

前記駆動軸４０は、下回転軸２１の軸方向と垂直するように、機械台座１０の一側に設置され、間隔をおいて設置されるように、それぞれ該下回転軸２１の駆動ギア２１３に複数のウォームギア４１が噛合されることにより、該駆動軸４０の駆動によりウォームギア４１が回転する時、該ウォームギア４１に噛合された駆動ギア２１３を介して下回転軸２１が回転することから、該下回転軸２１の搬送ローラー２１１と上回転軸２２の搬送ローラー２２１との間に挟持された基板を搬送でき、また、該下回転軸２１の伝動ギア２１４が上回転軸２２の伝動ギア２２４に噛合されて上回転軸２２を回転させるので、基板を前方へ搬送を補助することができる。

前記複数の調整部材５０はそれぞれ、前記機械台座１０のブラケット１２に位置し、連動座５１と、移動棒５２と、側移動棒５３と、複数の連結部材５４と、伝動棒５５と、モータ５６とを有するものである。

その内、前記連動座５１は、２つのブラケット１２の間に位置するように、前記フレーム１２１の摺動孔１２２と対応するように設置されると共に、連動板３０に結合される。

図３に示すように、移動棒５２は、その軸方向に沿って移動可能にブラケット１２のフレーム１２１の軸孔に貫設され、側移動棒５３は、横方向またはその軸方向へ移動可能に該ブラケット１２のフレーム１２１の摺動孔１２２に貫設されると共に、連動座５１を貫設して連動するものである。前記複数の連結部材５４はそれぞれ、間隔をおいて設置され、その両端はそれぞれ移動棒５２及び側移動棒５３に枢設され、また、該各連結部材５４は、２つのボードからなり、且つその２つのボードはそれぞれ、側移動棒５３及び側移動棒５３の両側に枢設される。

前記伝動棒５５は、中間段が機械台座１０に枢設されると共に、その内の一端が移動棒５２に枢設され、前記モータ５６は、動作軸５６１を備え、該動作軸５６１は、伝動棒５５の他端に枢設され、モータ５６で駆動されることにより、進退可能に移動する。

図４及び図６に示すように、本考案は上記の構成を有することから、モータ５６を駆動させると、進退可能な動作軸５６１を介して伝動棒５５が枢転すると共に、移動棒５２が軸方向に沿って移動する。この時、連結部材５４が側移動棒５３と、連動座５１と、連動板３０と、下回転軸２１の調整ローラー２１２と、上回転軸２２の調整ローラー２２２と、方向制限プレート２３と共に横方向へ移動することにより、該下回転軸２１における一側における調整ローラー２１２及び方向制限プレート２３と、他側における調整ローラー２１２及び方向制限プレート２３との間の距離を調整することができる。この構成によれば、前記方向制限プレート２３が基板の幅に応じて、基板の両側に当接されるので、基板を安定的にローラー部材２０の間において搬送することができる。

さらに、本考案に係る実施例においては、機械台座１０における２つの支持板１１の内側面近傍にそれぞれブラケット１２が設けられ、該各ブラケット１２にそれぞれ、下回転軸２１及び上回転軸２２の両端に設置される調整ローラー２１１、２２１、及び方向制限プレート２３に連結される連動板３０が設けられると共に、該連動板３０を連動させる調整部材５０が設置されることから、下回転軸２１及び上回転軸２２の両端に設置される調整ローラー２１１、２２１及び方向制限プレート２３の距離を調整するスピードを向上させることができると共に、その対応できる幅も広げることができる。

本考案は上記の構成を有し、モータの動作軸を駆動させることにより、伝動棒を介して移動棒を軸方向に沿って移動させると共に、連結部材を側移動棒と、連動座と、連動板と、調整ローラーと、方向制限プレートと共に横方向へ移動させるので、基板のサイズに応じて、下回転軸における一端における調整ローラー及び方向制限プレートと、他端における調整ローラー及び方向制限プレートとの間の距離を調整することができる。

１０機械台座
１１支持板
１２ブラケット
２０ローラー部材
２１下回転軸
２２上回転軸
２３方向制限プレート
３０連動板
４０駆動軸
４１ウォームギア
５０調整部材
５１連動座
５２移動棒
５３側移動棒
５４連結部材
５５伝動棒
５６モータ
１２１フレーム
１２２摺動孔
２１１搬送ローラー
２１２調整ローラー
２１３駆動ギア
２１４伝動ギア
２１５チューブ
２１６環溝部
２２１搬送ローラー
２２２調整ローラー
２２４伝動ギア
２２５チューブ
２２６環溝部
２３１ガイド面
５６１動作軸

Claims

両側にそれぞれ設けられる２つの支持板と、該支持板の内側近傍に設けられる少なくとも１つのブラケットとを有する機械台座と、
前記機械台座の２つの支持板の間に設置される複数の下回転軸と、複数の方向制限プレートとを有し、その内、該複数の下回転軸はそれぞれ、回転可能に間隔をおいて該２つの支持板の間に設置されると共に、下軸体と、該下軸体に環装される少なくとも１つの搬送ローラーと、それぞれ回転不能かつ該下軸体の軸方向へ移動可能に該下軸体の両端近傍に環装される２つの調整ローラーとを備え、また、該各調整ローラーは、該支持板に面する側面に、軸方向に向かって延出するように該下軸体に環装されるチューブと、該チューブの外周面に凹設される環溝部とを備えるものであり、該複数の方向制限プレートはそれぞれ、該下回転軸における調整ローラーのチューブに環装され、該下回転軸の端部と調整ローラーとの間に位置し、該各方向制限プレートにおける、該調整ローラーに面する一端面の外径が調整ローラーの外径と対応すると共に、相対する他端面の外径よりも小さく、また、その２つの端面を連結する環状の側面に傾斜状のガイド面が形成されるローラー部材と、
前記下回転軸のチューブの環溝部に対応するように、間隔をおいて形成される複数の設置孔を有すると共に、それぞれ前記機械台座及びローラー部材の上方に位置する少なくとも１つの連動板と、
それぞれ前記機械台座のブラケットに位置し、前記連動座と、移動棒と、側移動棒と、複数の連結部材と、モータとを有し、その内、該連動座は、前記連動板に結合され、該移動棒は、その軸方向に沿って移動可能に該ブラケットに貫設され、該側移動棒は、横方向またはその軸方向へ移動可能に該ブラケットに貫設されると共に、該連動座を貫穿し、該複数の連結部材は、間隔をおいて設置され、その両端はそれぞれ移動棒及び側移動棒に枢設され、該モータは、動作軸を備え、該動作軸は、該移動棒を移動させるために進退移動することができるように該モーターに駆動される少なくとも１つの調整部材とを有することを特徴とする横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記ローラー部材はそれぞれ、回転可能に間隔をおいて前記２つの支持板の間に設置されると共に、前記連動板の設置孔に貫設するように、前記下回転軸の上側に位置する複数の上回転軸を備え、該各上回転軸は、上軸体と、少なくとも１つの搬送ローラーと、２つの調整ローラーとを備え、その内、該搬送ローラーは、該上軸体に環装され、該２つの調整ローラーはそれぞれ、回転不能かつ該上軸体の軸方向へ移動可能に環装され、また、該各調整ローラーは、該支持板に面する側面に、該上軸体の軸方向に向かって延設されるように、該上軸体に環装されるチューブと、該チューブの外周面に凹設される環溝部とを備え、
前記連動板の設置孔はそれぞれ、前記上回転軸のチューブの環溝部と対応することを特徴とする請求項１に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記各下回転軸の下軸体の一端に駆動ギアが環装され、
前記基板搬送装置はさらに駆動軸を有し、該駆動軸は、該下回転軸の軸方向と垂直するように、機械台座の一側に設置されると共に、該各下回転軸の駆動ギアと対応するようにそれぞれ間隔をおいて設置させる、該各下回転軸の駆動ギアに複数のウォームギアが噛合されることを特徴とする請求項１に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記各下回転軸の下軸体の両端にそれぞれ駆動ギアと、伝動ギアが環装され、
前記各上回転軸の上軸体の一端に、前記下回転軸の伝動ギアに噛合される伝動ギアが環装され、
駆動軸を有し、該駆動軸は、前記下回転軸の軸方向と垂直するように、機械台座の一側に設置されると共に、前記各下回転軸の駆動ギアと対応するようにそれぞれ間隔をおいて設置させる、該各下回転軸の駆動ギアに複数のウォームギアが噛合されることを特徴とする請求項２に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記各ブラケットは、前記支持板に沿うように間隔をおいて排列される複数のフレームを有し、該各フレームにそれぞれ、横方向に間隔をおいて軸孔及び摺動孔が穿設され、そのうち軸孔はそれぞれ、別のフレームの軸孔と対応すると共に、該摺動孔は、横方向の長形孔であり、それぞれ別のフレームの摺動孔と対応し、
前記移動棒は、その軸方向に沿って移動可能に前記フレームの軸孔に貫設され、
前記側移動棒は、横方向またはその軸方向へ移動可能に前記フレームの摺動孔に貫設されることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記下回転軸は、非円形の断面を具備する軸体を有し、前記調整ローラーに、その非円形の断面と対応する貫通孔が形成されることを特徴とする請求項１または請求項３に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記下回転軸及び回転軸はそれぞれ、非円形の断面を具備する軸体を有し、前記調整ローラー及び調整ローラーにそれぞれ、その非円形の断面と対応する貫通孔が形成されることを特徴とする請求項２または請求項４に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記機械台座における２つの支持板の内側近傍にそれぞれ前記ブラケットが設けられ、該各ブラケットにそれぞれ、前記下回転軸の両端に設置される調整ローラー、及び方向制限プレートに連結される前記連動板が設けられると共に、該連動板と連動する前記調整部材が設置されることを特徴とする請求項６に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記機械台座における２つの支持板の内側近傍にそれぞれ前記ブラケットが設けられ、該各ブラケットにそれぞれ、前記下回転軸及び上回転軸の両端に設置される調整ローラー及び方向制限プレートに連結される前記連動板が設けられると共に、該連動板を連動させる前記調整部材が設置されることを特徴とする請求項７に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記各調整部材はさらに伝動棒を有し、該伝動棒の中間段が機械台座に枢設されると共に、両端がそれぞれ移動棒及び動作軸に枢設されることを特徴とする請求項５に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。
前記各調整部材の連結部材は２つのボードからなり、その２つのボードはそれぞれ、側移動棒及び側移動棒の両側に枢設されることを特徴とする請求項１０に記載の横方向の間隔を調整可能な基板搬送装置。