WO2006008818A1 - 搬送装置 - Google Patents

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rollers
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Yoichi Hirasawa
Tetsuya Kimura
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Hirata Corporation
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    • H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path

Definitions

  • the present invention relates to a transfer device using a roller, and more particularly to a transfer device suitable for transferring a container or the like that accommodates a semiconductor wafer in a clean room.
  • a transfer device for transferring a container or the like for storing a semiconductor wafer in a clean room a conveyer type using a plurality of rollers is known.
  • Japanese translation of PCT publication No. 20 02-534800 proposes a transport device in which a plurality of rollers each composed of a drive roller and a rolling roller are provided in two rows in the transport direction.
  • Japanese translation of PCT publication No. 2003-524544 proposes a transport device including a drive rail in which a plurality of rollers are arranged in the transport direction, and a support rail provided substantially parallel to the drive rail. RU
  • the rolling roller of Japanese Patent Publication No. 2002-534800 has a large diameter taper at its end so that the object to be conveyed is guided to the center of the roller.
  • the pitch between adjacent rollers tends to increase.
  • An object of the present invention is to provide a transport device that guides the transport target in the transport direction so that the transport target does not fall off the roller and can narrow the pitch between adjacent rollers.
  • the plurality of rollers are the first roller and And a second roller adjacent to the first roller, wherein the first roller is a first mounting unit on which the transport object is mounted, and is more than the first mounting unit.
  • a large-diameter portion that guides the conveyance object in the conveyance direction, and the second roller has a second placement portion on which the conveyance object is placed;
  • a transport apparatus having a small diameter portion that is smaller than the second placement portion and that prevents the large diameter portion and the second roller from interfering with each other.
  • the first roller since the first roller has the large diameter portion, it is possible to guide the transport target in the transport direction so that the transport target does not fall off from the mouth roller. Since the second roller has the small-diameter portion, the first roller and the second roller can be arranged close to each other without contact, and the pitch between the rollers in contact with the P can be reduced. it can. By narrowing the pitch between adjacent rollers, the vertical vibration of the object to be conveyed can be suppressed, and a seal is formed between the rollers in contact with P, and dust generated from the drive mechanism that drives the rollers can flow between the rollers. It is possible to prevent diffusion through the surroundings.
  • FIG. 1 is a plan view of a transfer apparatus A according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of a conveying device A.
  • FIG. 3 is a right side view (partially broken) of transfer device A.
  • FIG. 4A is an external view of a roller 101a.
  • FIG. 4B is an external view of the roller 101b.
  • FIG. 4C is a schematic diagram of a drive mechanism 102 that urges each roller 101 to rotate.
  • FIG. 5 is a plan view of a transfer apparatus B according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a front view of conveying device B.
  • FIG. 7 is a view showing a state in which the table 400 is rotated 90 degrees from the state shown in FIG.
  • FIG. 8 is a plan view of a transfer device C according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a front view of a transfer device C.
  • FIG. 10 is a view showing a state in which the table 400C is raised from the state shown in FIG.
  • FIG. 11 is a diagram showing a layout example of a transfer system using transfer apparatuses A to C.
  • FIG. 1 is a plan view of a transfer device A according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a front view of the transfer device A
  • FIG. 3 is a right side view (partially broken) of the transfer device A.
  • the transfer device A is a transfer device that transfers the transfer object P indicated by a broken line in the direction of the arrow dl in FIG. 1, and the transfer object P is, for example, a pod that accommodates a semiconductor wafer.
  • the transport apparatus A includes two sets of support units 100, a sensor unit 200 that detects the passage of the transport target P, and a base unit 300 that supports the support unit 100 and the sensor unit 200.
  • Each support unit 100 is arranged in the transport direction dl and supports a plurality of rollers 101a and 101b (hereinafter collectively referred to as rollers 101) on which the transport target P is placed. As shown in FIG. 3, the outer edge portion 100a of the support unit 100 extends upward from the roller 101 so as to prevent the conveyance object P from falling off the support unit 100.
  • the rollers 101a and the rollers 101b are alternately arranged adjacent to each other, and the plurality of rollers 101 are arranged in the same straight line along the transport direction dl. Further, the support units 100 are arranged in parallel to each other with a predetermined interval (interval corresponding to the width of the conveyance object P) in a direction orthogonal to the conveyance direction dl.
  • FIGS. 1 and 4A and 4B are an external view of the roller 101a
  • FIG. 4B is an external view of the roller 101b.
  • the roller 101a includes a mounting portion 10 having a circular cross-section on which the conveyance object P is mounted, a large-diameter portion 11 having a larger diameter than the mounting portion 10, and a shaft portion 12. As the roller 101a rotates around the axis 12, the conveyance object P placed on the placement unit 10 is conveyed.
  • the large-diameter portion 11 has a tapered portion 11a that gradually decreases in diameter toward the mounting portion 10, and this tapered portion 11a guides the conveyance target P in the conveyance direction dl. That is, if the conveyance object P tries to move out of the conveyance direction dl, the conveyance object P is regulated by the tapered portion 11a and is always located at the center between the support units 100. It is prevented from falling off.
  • the roller 101b includes a mounting section 20 on which the conveyance target P is mounted, a small-diameter section 21 having a smaller diameter than the mounting section 20, and a shaft section 22. As the roller 101b rotates around the shaft 22, the conveyance object P placed on the placement unit 20 is conveyed.
  • the small diameter part 21 The taper portion 21a gradually increases in diameter toward the mounting portion 20, and prevents interference between the large diameter portion 11 of the roller 101a and the roller 101b.
  • the roller 101b is formed so that the small diameter portion 21 of the roller 101b protrudes from the mounting portion 10 so that the large diameter portion 11 protrudes from the mounting portion 10, so that the roller 101a and the roller 101b are shown in FIG.
  • the roller 101a and the roller 101b close to each other, a seal that prevents the dust from diffusing from between the roller 101a and the roller 101b is formed, and the inside of the clean room in which the conveying device A is disposed is formed. Contamination is suppressed.
  • the gap between the rollers 101a and 101b should be set to several mm or less, preferably 1 mm or less.
  • the gap between the roller 101a and the roller 10lb can be made substantially uniform in the axial direction.
  • the placement unit 11 and the placement unit 12 have the same diameter, and the roller 101a and the roller 101b are rotated at the same rotational speed. Thereby, generation
  • the rollers 101a and 101b have the same width. Thereby, the gap X (see FIG. 1) between the end face of each roller 101 and the support unit 100 can be made uniform and minimized, and dust can be prevented from diffusing from the gap X. Further, it is desirable to provide an elastic body layer such as rubber or resin on the peripheral surface of each roller 101. As a result, slippage between the conveyance object P and each roller 101 can be reduced and vertical vibrations of the conveyance object P can be further reduced.
  • FIG. 4C is a schematic diagram of a drive mechanism 102 that urges each roller 101 to rotate.
  • the drive mechanism 102 is operated by the drive force of the motor 103 and is accommodated in the support unit 100.
  • the rotational force is applied to all the rollers 101, but the rotational force may be applied to only one of them.
  • the conveyance force for the conveyance object P can be made constant at all times by energizing the rotational force to all the rollers 101.
  • the drive mechanism 102 constitutes a belt transmission mechanism, and each roller 101 An endless belt 104 that is in contact with the placing portions 10 and 20, and a plurality of auxiliary rollers 105 that prevent the endless belt 104 from sagging and press the endless belt 104 against the placing portions 10 and 20. And an auxiliary roller 106.
  • the endless belt 104 is disposed so as to run along a vertical plane within the width of each roller 101.
  • a flat belt is adopted as the endless belt 104.
  • the endless belt 104 travels while being energized by a driving roller 103a attached to the output shaft of the motor 103.
  • the motor 103 is fixed to the inner side surface of the support unit 100 and is controlled by a control device (not shown).
  • at least one auxiliary roller 105 is assigned to the pair of rollers 101a and 101b. As a result, the rotational force can be transmitted to all the rollers 101 substantially constant.
  • the drive mechanism 102 includes a tension adjustment mechanism 107 that is provided below the roller 101 and adjusts the tension of the endless belt 104.
  • the tension adjusting mechanism 107 includes a tension roller 107a around which the endless belt 104 is wound, a movable plate 107b that supports the tension roller 107a, a spring 107d that is stretched between the movable plate 107b and the fixed portion 107c, Is provided.
  • the fixed portion 107c is fixed to the support unit 100, and the movable plate 107b is provided so as to be movable with respect to the support unit 100 via a rail 107e. Accordingly, the tension roller 107a is pulled by the spring 107d, so that the tension of the endless belt 104 is always maintained at a predetermined tension.
  • the tension adjusting mechanism 107 keeps the rotational force transmitted to each roller 101 constant.
  • the auxiliary rollers 105 and 106, the drive roller 103a, and the tension adjusting mechanism 107 are all provided below the roller 101, and have the same force as the roller 101 and a width narrower than this.
  • the motor 103 has a force protruding to the side of the support unit 100 and protrudes between the two support units 100. Therefore, it does not affect the installation space. Further, since each roller 101 is driven to rotate by the belt transmission mechanism, the width and size of the roller can be made as small as possible, and the installation space can be saved.
  • a cleaning unit 108 that cleans the air in the support unit 100 and discharges it outside is attached to the support unit 100 on the inner side surface.
  • the cleaning unit 108 includes a fan motor 108a that sucks air in the support unit 100, and a filter 108b that cleans the air discharged from the fan motor 108a to the outside.
  • the support unit 100 forms a substantially hollow enclosure whose upper surface is opened along the transport direction dl so that only the upper part of each roller 100 is exposed.
  • the air in the support unit 100 is discharged by the operation.
  • Such a cleaning unit 108 is not an indispensable component, but by providing it, the dust generated in the support unit 100 is prevented from scattering into the clean room, and the clean unit in the clean nore is clean. The degree can be maintained.
  • the sensor unit 200 has a slit portion 201 whose central portion on the upper surface is opened along the transport direction dl.
  • a plurality of sensors 202 are provided along the transport direction dl.
  • the sensor 202 is, for example, an optical sensor, and detects that the conveyance target P passes above the sensor 202. According to the detection result, the position of each conveyance object P can be detected.
  • FIG. 5 is a plan view of a transfer apparatus B according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 6 is a front view of the transfer apparatus B.
  • the transfer device B includes two sets of support units 100B, a sensor unit 200B that detects the passage of the transfer object P, a tape unit 400 that supports the support unit 100B and the sensor unit 200B, a base unit 300B, and a force , Is composed.
  • the support unit 100B has the same configuration as the support unit 100 described above, and the number of rollers 101 is different.
  • the cleaning unit 108 is not provided in the support unit 100B, it may be provided.
  • the sensor unit 200B has the same configuration as the sensor unit 200 described above.
  • a rotation mechanism 30 that rotates the table 400 about the vertical axis is provided in the base unit 300.
  • the rotation mechanism 30 includes a power source 31 such as a motor, a rotary shaft 33, A transmission mechanism 32 such as a gear box that transmits the driving force from the force source 31 to the rotary shaft 33, and the upper end of the rotary shaft 33 is connected to the lower surface of the table 400. Then, by rotating the rotary shaft 33 and rotating the table 400, the support unit 100B and the sensor unit 200B mounted on the table 400 can be rotated as indicated by an arrow d2.
  • FIG. 7 is a diagram showing a state in which the table 400 is rotated 90 degrees from the state of FIG.
  • Such a transfer device B can be used as a transfer device that relays between transfer devices A having different transfer directions.
  • FIG. 8 is a plan view of a transfer device C according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 9 is a front view of the transfer device C.
  • Conveying device B is composed of two sets of support units 100C, a sensor unit 200C that detects the passage of the object to be conveyed P, a table 400C that supports the supporting unit 100C and the sensor unit 200C, and a base unit 300C.
  • the support unit 100C has the same configuration as the support unit 100 described above, and the cleaning unit 108 is not provided, but may be provided.
  • the sensor unit 200C has the same configuration as the sensor unit 200 described above, but is different in overall length.
  • the base unit 300C is provided with a lifting mechanism 40 that lifts and lowers the table 400C up and down (arrow d3).
  • the elevating mechanism 40 is provided with an actuator 41 that elevates and lowers the table 400c, and a plurality of auxiliary guides 42.
  • the actuator 41 has a rod part 41a at the tip thereof connected to the lower surface of the table 400C, and the rod part 41a moves up and down as the main body contracts.
  • the auxiliary guide 42 includes a cylinder 42a and a rod 42b that moves up and down along the cylinder 42a.
  • the upper end of the rod 42b is connected to the table 400C, and assists the elevation of the table 400C.
  • FIG. 10 is a view showing a state in which the table 400C is raised from the state of FIG.
  • Such a conveying device C can be used as a conveying device that relays between the conveying devices A arranged at different conveying heights.
  • FIG. 11 is a diagram showing a layout example of a transport system using the transport apparatuses A to C.
  • three transfer devices A are arranged in series at the central portion, and the transfer device B is arranged at both ends thereof.
  • transfer device B transfer device A or C is attached to the three transfer devices in the center.
  • the device A is arranged so that the conveying direction is orthogonal to the device A.
  • the transfer object P is transferred from the preceding system (not shown) to the transfer device C (arrow d4).
  • the transportation device C is used in the case where the transportation height differs between the preceding system and the transportation system in the figure.
  • the conveyance object P passes through the conveyance device B and the conveyance device A as indicated by arrows d5 and d6, for example, and reaches the processing device 500.
  • the transfer object P is a pod that accommodates a semiconductor wafer, the process for the accommodated semiconductor wafer is performed.
  • the transport direction is changed by the transport device B as indicated by arrows d7 and d8, and the three transport devices A in the central portion are passed. Thereafter, as indicated by an arrow d9, the transfer direction is changed by the transfer device B, and the transfer device B is distributed in one of the directions indicated by the arrows 10 and 11, and is transferred to the next system. In this way, various transport systems can be constructed by combining the transport devices A to C.

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Abstract

　本発明は、搬送対象物がローラから脱落したりしないように搬送方向に案内すると共に、隣接するローラ間のピッチを狭められる搬送装置を提供することを目的とする。本発明は、搬送対象物の搬送方向に並べられ、前記搬送対象物が載置される複数のローラを備えた搬送装置において、前記複数のローラが、第１のローラと、前記第１のローラに隣接する第２のローラとを含み、前記第１のローラが、前記搬送対象物が載置される第１の載置部と、該第１の載置部よりも大径であって、前記搬送対象物を前記搬送方向に案内する大径部と、を有し、前記第２のローラが、前記搬送対象物が載置される第２の載置部と、前記第２の載置部よりも小径であって、前記大径部と前記第２のローラとの干渉を防止する小径部と、を有することを特徴とする。

Description

明 細 書
搬送装置
技術分野
[0001] 本発明はローラを用いた搬送装置に関し、特に、クリーンルーム内において、半導 体ウェハを収容する容器等の搬送に好適な搬送装置に関する。 背景技術
[0002] クリーンルーム内において半導体ウェハを収容する容器等を搬送する搬送装置と しては、複数のローラを用いたコンベア形式のものが知られている。例えば、特表 20 02-534800号公報には、駆動ローラと転動ローラとからなる複数のローラを搬送方 向に 2列設けた搬送装置が提案されている。また、特表 2003— 524544号公報には 、複数のローラが搬送方向に並べられた駆動レールと、その駆動レールと略平行に 設けられた支持レールと、を備えた搬送装置が提案されてレ、る。
[0003] ここで、隣接するローラ間のピッチが大きいといくつかの問題がある。まず、搬送対 象物が上下に振動し易くなるという問題がある。また、ローラを駆動する駆動機構から 発生した粉塵がローラ間を通ってクリーンルーム内に拡散し易くなる。このため、特表 2003-524544号公報に記載のように、 P 接するローラ間の隙間を塞ぐ板を設ける 必要がある。従って、 P 接するローラ間のピッチは狭い方が望ましい。
[0004] 一方、搬送対象物がローラから脱落したりしないように、ローラには搬送対象物を案 内する部分を設けることが望ましい。例えば、特表 2002—534800号公報の転動口 ーラは、その端部に大径のテーパが形成されており、搬送対象物をローラの中央へ 案内するようにしている。しかし、このようなテーパを設けるためには、隣接するローラ 間のピッチは広がる傾向にある。
発明の開示
[0005] 本発明の目的は、搬送対象物がローラから脱落したりしないように搬送方向に案内 すると共に、隣接するローラ間のピッチを狭められる搬送装置を提供することにある。
[0006] 本発明によれば、搬送対象物の搬送方向に並べられ、前記搬送対象物が載置さ れる複数のローラを備えた搬送装置において、前記複数のローラが、第 1のローラと 、前記第 1のローラに隣接する第 2のローラとを含み、前記第 1のローラが、前記搬送 対象物が載置される第 1の載置部と、該第 1の載置部よりも大径であって、前記搬送 対象物を前記搬送方向に案内する大径部と、を有し、前記第 2のローラが、前記搬 送対象物が載置される第 2の載置部と、前記第 2の載置部よりも小径であって、前記 大径部と前記第 2のローラとの干渉を防止する小径部と、を有することを特徴とする搬 送装置が提供される。
[0007] この搬送装置では、前記第 1のローラが前記大径部を有するので、搬送対象物が口 ーラから脱落したりしないように搬送方向に案内することができる。そして、前記第 2の ローラが前記小径部を有することで前記第 1のローラと前記第 2のローラとを非接触 で近接して配置することができ、 P 接するローラ間のピッチを狭めることができる。隣 接するローラ間のピッチを狭めることで、搬送対象物の上下の振動を抑制できると共 に、 P 接するローラ間にシールが形成され、ローラを駆動する駆動機構等から発生 する粉塵がローラ間を通って周囲に拡散することを防止できる。
図面の簡単な説明
[0008] [図 1]本発明の一実施形態に係る搬送装置 Aの平面図である。
[図 2]搬送装置 Aの正面図である。
[図 3]搬送装置 Aの右側面図（一部破断)である。
[図 4A]ローラ 101aの外観図である。
[図 4B]ローラ 101bの外観図である。
[図 4C]各ローラ 101に回転力を付勢する駆動機構 102の概略図である。
[図 5]本発明の他の実施形態に係る搬送装置 Bの平面図である。
[図 6]搬送装置 Bの正面図である。
[図 7]搬送装置 Bについて図 5の状態からテーブル 400を 90度回動させた態様を示 す図である。
[図 8]本発明の他の実施形態に係る搬送装置 Cの平面図である。
[図 9]搬送装置 Cの正面図である。
[図 10]搬送装置 Cについて図 9の状態からテーブル 400Cを上昇させたさせた態様 を示す図である。 [図 11]搬送装置 A乃至 Cを用いた搬送システムのレイアウト例を示す図である。
発明を実施するための最良の形態
[0009] 図 1は本発明の一実施形態に係る搬送装置 Aの平面図、図 2は搬送装置 Aの正面 図、図 3は搬送装置 Aの右側面図（一部破断)である。搬送装置 Aは、破線で示す搬 送対象物 Pを図 1の矢印 dlの方向に搬送する搬送装置であり、搬送対象物 Pは例え ば半導体ウェハを収容するポッドである。搬送装置 Aは、 2組の支持ユニット 100と、 搬送対象物 Pの通過を検出するセンサユニット 200と、支持ユニット 100及びセンサ ユニット 200を支持するベースユニット 300と、から構成されてレ、る。
[0010] 各々の支持ユニット 100は、搬送方向 dlに並べられ、搬送対象物 Pが載置される 複数のローラ 101a及び 101b (以下、総称する時はローラ 101という。）を支持する。 支持ユニット 100の外縁部 100aは図 3に示すようにローラ 101よりも上方に伸びてお り、搬送対象物 Pが支持ユニット 100から脱落することを防止するようにしている。
[0011] ローラ 101aとローラ 101bとは交互に隣接して配置されており、複数のローラ 101は 搬送方向 dlに沿う同一直線状に並べられている。また、各々の支持ユニット 100は、 搬送方向 dlに直交する方向に所定の間隔 (搬送対象物 Pの幅に応じた間隔)だけ離 間して相互に平行に配置されてレ、る。
[0012] ここで、図 1と図 4A及び Bを参照してローラ 101a及び 101bの構成について説明す る。図 4Aはローラ 101aの外観図、図 4Bはローラ 101bの外観図である。ローラ 101a は搬送対象物 Pが載置される、断面円形の載置部 10と、載置部 10よりも大径の大径 部 11と、軸部 12と、を有する。ローラ 101aが軸 12回りに回転することにより、載置部 10に載置された搬送対象物 Pが搬送されることになる。大径部 11は、載置部 10へ向 かって徐々に縮径するテーパ部 11aを有しており、このテーパ部 11aは搬送対象物 P が搬送方向 dlに案内する。つまり、搬送対象物 Pが搬送方向 dlからずれて移動しよ うとすると、このテーパ部 11aに規制され、常時各支持ユニット 100間の中央に位置 することになり、ローラ 101から搬送対象物 Pが脱落することが防止される。
[0013] ローラ 101bは、搬送対象物 Pが載置される、断面円形の載置部 20と、載置部 20よ りも小径の小径部 21と、軸部 22と、を有する。ローラ 101bが軸 22回りに回転すること により、載置部 20に載置された搬送対象物 Pが搬送されることになる。小径部 21は、 載置部 20へ向かって徐々に拡径するテーパ部 21aを有しており、ローラ 101aの大 径部 11とローラ 101bとの干渉を防止する。つまり、ローラ 101aにおいて大径部 11 が載置部 10から突出する分だけ、ローラ 101bの小径部 21は凹むように形成されて おり、これにより、ローラ 101aとローラ 101bとを図 1に示すように、非接触で近接して 配置することが可能となる。ローラ 101aとローラ 101bとを非接触とすることにより、両 者の摩擦による粉塵の発生を防止できる。
[0014] また、ローラ 101aとローラ 101bとを近接することにより、ローラ 101 aとローラ 101bと の間から粉塵が拡散することを防止するシールが形成され、搬送装置 Aが配置され るクリーンルーム内を汚染することが抑制される。ローラ 101aとローラ 101bとの間の 隙間は数 mm以下、好ましくは lmm以下に設定することが望ましい。また、テーパ部 11aとテーパ部 21aとの傾斜の程度は略同じとすることにより、ローラ 101aとローラ 10 lbとの間の隙間を、その軸方向に渡って略均一とすることができる。
[0015] 本実施形態では載置部 11と載置部 12とを同径とし、ローラ 101aとローラ 101bとを 同じ回転速度で回転させる。これにより、搬送対象物 Pとローラ 101aとローラ 101bと の間の滑りによる粉塵の発生を防止することができる。また、本実施形態では、ローラ 101aとローラ 101bとの幅を同じ幅としている。これにより、各ローラ 101の端面と支 持ユニット 100との隙間 X (図 1参照）を均等にし、かつ、最小にすることができ、隙間 Xから粉塵が拡散することを防止することもできる。また、各ローラ 101の周面には、ゴ ム、樹脂等の弾性体層を設けることが望ましい。これにより搬送対象物 Pと各ローラ 10 1との滑りを低減すると共に搬送対象物 Pの上下の振動を一層低減できる。
[0016] 次に、図 4C及び図 3を参照して、各ローラ 101に回転力を付勢する駆動機構につ いて説明する。図 4Cは各ローラ 101に回転力を付勢する駆動機構 102の概略図で ある。駆動機構 102はモータ 103の駆動力によって作動し、支持ユニット 100内に収 容されている。本実施形態では全てのローラ 101に対して回転力を付勢するが、い ずれかのみに回転力を付勢するようにしてもよレ、。尤も、全てのローラ 101に対して 回転力を付勢することにより搬送対象物 Pに対する搬送力を常時一定とすることがで きる。
[0017] 本実施形態の場合、駆動機構 102はベルト伝動機構を構成しており、各ローラ 101 の下方に配設され、載置部 10及び 20と接触する無端ベルト 104と、無端ベルト 104 のたるみを防止して載置部 10及び 20に無端ベルト 104を押し付ける複数の補助口 ーラ 105と、補助ローラ 106と、を備える。無端ベルト 104は、各ローラ 101の幅内に おいて、鉛直面に沿って走行するように配設されている。本実施形態の場合、無端 ベルト 104として平ベルトを採用している。平ベルトを用いることで、歯付きベルトを採 用した場合よりも粉塵の発生を低減でき、また、平ベルトであれば、各ローラ 101と補 助ローラ 105とが異物を嚙み込んだ場合であっても、各ローラ 101及び補助ローラ 1 05と、平ベルトとに滑りを生じるので、装置の破損等を最小限に抑えることができる。
[0018] 無端ベルト 104はモータ 103の出力軸に取り付けられた駆動ローラ 103aにより回 転力を付勢されて走行する。モータ 103は支持ユニット 100の内側の側面に固定さ れており、図示しない制御装置により制御される。本実施形態では、補助ローラ 105 を、一組のローラ 101aと 101bとに対して少なくとも一つ割当てている。これにより、全 てのローラ 101に対して回転力を略一定に伝達できる。
[0019] また、駆動機構 102は、ローラ 101の下方に設けられ、無端ベルト 104の張力を調 整する張力調整機構 107を備える。張力調整機構 107は、無端ベルト 104が巻き回 されるテンションローラ 107aと、テンションローラ 107aを支持する可動板 107bと、可 動板 107bと固定部 107cとの間に張設されたスプリング 107dと、を備える。固定部 1 07cは支持ユニット 100に固定されており、可動板 107bはレール 107eを介して支持 ユニット 100に対して移動可能に設けられている。しかして、スプリング 107dにテンシ ヨンローラ 107aが引っ張られることで、無端ベルト 104の張力が常時所定の張力に 維持される。この張力調整機構 107により各ローラ 101に伝達される回転力が一定に 維持される。
[0020] 本実施形態では、補助ローラ 105及び 106、駆動ローラ 103a並びに張力調整機 構 107が、いずれも、ローラ 101の下方に設けられ、ローラ 101と同じ力、、これよりも狭 い幅を有する。つまり、これらのローラを上下方向に配置することで、支持ユニット 10 0の幅を小さくすることができ、設置スペースを節約できる。更に、ダウンフローの気流 の乱れを防ぐことができ、クリーンルーム内の清浄度を維持できる。また、モータ 103 は支持ユニット 100の側方に突出している力 2つの支持ユニット 100の間に突出し ているので、設置スペースには影響しない。また、ベルト伝動機構により各ローラ 101 を回転駆動するので、ローラの幅や大きさを極力小さくでき、設置スペースの節約を 向上できる。
[0021] 次に、図 1に戻り、支持ユニット 100には、支持ユニット 100内の空気を清浄化して 外部へ排出する清浄化ユニット 108がその内側の側面に取り付けられている。本実 施形態では、この清浄化ユニット 108は支持ユニット 100内の空気を吸引するファン モータ 108aと、ファンモータ 108aから外部へ排出される空気を清浄化するフィルタ 1 08bと、を備える。支持ユニット 100は、各ローラ 100の上方部分だけが露出するよう に、その上面の中央部分のみが搬送方向 dlに沿って開放した略中空の囲包体を構 成しており、ファンモータ 108aの作動により、支持ユニット 100内の空気が排出され ることになる。このような清浄化ユニット 108は必須の構成ではなレ、が、これを設けるこ とにより、支持ユニット 100内で発生した粉塵がクリーンルーム内に飛散することを防 止し、クリーンノレーム内の清浄度を維持することができる。
[0022] 次に、図 1及び図 3を参照して、センサユニット 200は、その上面の中央部分が搬送 方向 dlに沿って開口したスリット部 201を有しており、このスリット部 201の下には、複 数のセンサ 202が搬送方向 dlに沿って設けられている。このセンサ 202は例えば光 センサであり、センサ 202の上方を搬送対象物 Pが通過することを検出する。その検 出結果に応じて、各搬送対象物 Pの位置を検出することができる。
[0023] 次に、搬送装置 Aの変形例について説明する。図 5は本発明の他の実施形態に係 る搬送装置 Bの平面図、図 6は搬送装置 Bの正面図である。搬送装置 Bは、 2組の支 持ユニット 100Bと、搬送対象物 Pの通過を検出するセンサユニット 200Bと、支持ュ ニット 100B及びセンサユニット 200Bを支持するテープノレ 400と、ベースユニット 300 Bと、力、ら構成されている。支持ユニット 100Bは上述した支持ユニット 100と同様の構 成であり、ローラ 101の数が異なる。また、支持ユニット 100Bでは清浄化ユニット 108 を設けていないが設けてもよレ、。センサユニット 200Bは上述したセンサユニット 200 と同様の構成である。
[0024] 搬送装置 Bはテーブル 400を鉛直軸回りに回動させる回動機構 30がベースュニッ ト 300に設けられている。回動機構 30は、モータ等の動力源 31と、回転軸 33と、動 力源 31からの駆動力を回転軸 33に伝達するギヤボックス等の伝達機構部 32と、を 備え、回転軸 33の上端はテーブル 400の下面に接続されている。そして、回転軸 33 を回転してテーブル 400を回転することにより、テーブル 400に搭載された支持ュニ ット 100B及びセンサユニット 200Bを矢印 d2に示すように回動することができる。図 7 は、図 5の状態からテーブル 400を 90度回動させた態様を示す図である。このような 搬送装置 Bは、搬送方向が異なる搬送装置 A間を中継する搬送装置として用いるこ とができる。
[0025] 次に、搬送装置 Aの別の変形例について説明する。図 8は本発明の他の実施形態 に係る搬送装置 Cの平面図、図 9は搬送装置 Cの正面図である。搬送装置 Bは、 2組 の支持ユニット 100Cと、搬送対象物 Pの通過を検出するセンサユニット 200Cと、支 持ユニット 100C及びセンサユニット 200Cを支持するテーブル 400Cと、ベースュニ ット 300Cと、から構成されている。支持ユニット 100Cは上述した支持ユニット 100と 同様の構成であり、清浄化ユニット 108を設けていないが設けてもよい。センサュニッ ト 200Cは上述したセンサユニット 200と同様の構成であるが全長が異なる。
[0026] 搬送装置 Cはテーブル 400Cを上下（矢印 d3)に昇降させる昇降機構 40がベース ユニット 300Cに設けられている。昇降機構 40は、テーブル 400cを昇降するァクチュ エータ 41と、複数の補助ガイド 42と、が設けられている。ァクチユエータ 41は、その 先端のロッド部 41aがテーブル 400Cの下面に接続されており、ロッド部 41aが本体 力 収縮することによりテーブル 400Cを昇降する。補助ガイド 42はシリンダ 42aとシ リンダ 42aに沿って上下するロッド 42bとを備え、ロッド 42bの上端がテーブル 400C に接続されており、テーブル 400Cの昇降を補助する。図 10は、図 9の状態からテー ブル 400Cを上昇させたさせた態様を示す図である。このような搬送装置 Cは、搬送 高さが異なって配設された搬送装置 A間を中継する搬送装置として用いることができ る。
[0027] 次に、搬送装置 A乃至 Cを用いた搬送システムの例を説明する。図 11は搬送装置 A乃至 Cを用いた搬送システムのレイアウト例を示す図である。同図の例では、その 中央部分において 3つの搬送装置 Aを直列に配置し、その両端に搬送装置 Bを配置 している。また、搬送装置 Bの隣には搬送装置 A又は Cを中央部分の 3つの搬送装 置 Aと搬送方向が直交するように配置している。
[0028] この搬送システムでは、例えば、図示しない前段のシステムから搬送装置 Cに搬送 対象物 Pが搬送される（矢印 d4)。搬送装置 Cを用いているのは、前段のシステムと同 図の搬送システムとにおいて、搬送高さが異なる場合を想定している。搬送対象物 P は例えば矢印 d5及び d6で示すように搬送装置 B及び搬送装置 Aを通過し、処理装 置 500へ到達する。ここでは、例えば、搬送対象物 Pが半導体ウェハを収容するポッ ドの場合には、収容される半導体ウェハに対する処理が成される。
[0029] 処理装置 500による処理が終了すると、矢印 d7、 d8で示すように搬送装置 Bにて 搬送方向が変更されて中央部分の 3つの搬送装置 Aを通過する。その後、矢印 d9に 示すように、搬送装置 Bにて搬送方向が変更されて、矢印 10及び矢印 11で示すい ずれかの方向に振り分けられ、次段のシステムへ搬送されることになる。このように搬 送装置 A乃至 Cを組み合わせることにより多様な搬送システムを構築できる。

Claims

請求の範囲
[1] 搬送対象物の搬送方向に並べられ、前記搬送対象物が載置される複数のローラを 備えた搬送装置において、
前記複数のローラが、第 1のローラと、前記第 1のローラに隣接する第 2のローラとを 含み、
前記第 1のローラが、
前記搬送対象物が載置される第 1の載置部と、
該第 1の載置部よりも大径であって、前記搬送対象物を前記搬送方向に案内する 大径部と、を有し、
前記第 2のローラが、
前記搬送対象物が載置される第 2の載置部と、前記第 2の載置部よりも小径であつ て、前記大径部と前記第 2のローラとの干渉を防止する小径部と、を有することを特 徴とする搬送装置。
[2] 前記第 1のローラと前記第 2のローラとが非接触で近接して配置されたことを特徴と する請求項 1に記載の搬送装置。
[3] 前記第 1の載置部と前記第 2の載置部とが同径であることを特徴とする請求項 1に 記載の搬送装置。
[4] 前記複数のローラが、
前記第 1のローラと前記第 2のローラとを交互に配置してなることを特徴とする請求 項 1に記載の搬送装置。
[5] 前記複数のローラを、前記搬送方向に沿って所定の間隔をおいて 2列設けたことを 特徴とする請求項 1に記載の搬送装置。
[6] 前記第 1及び第 2のローラに回転力を付勢する駆動手段を設けたことを特徴とする 請求項 1に記載の搬送装置。
[7] 前記駆動手段は、
前記第 1及び第 2のローラの下方に配設され、前記第 1及び第 2の載置部と接触す る無端ベルトと、
前記第 1及び第 2の載置部に前記無端ベルトを押圧する補助ローラと、 を備えたことを特徴とする請求項 6に記載の搬送装置。
[8] 前記無端ベルトが、鉛直面に沿って走行するように配設され、
前記駆動手段が、更に、
前記第 1及び第 2のローラの下方に設けられ、前記無端ベルトを走行させる駆動口 ーラを備えたことを特徴とする請求項 7に記載の搬送装置。
[9] 前記駆動手段が、更に、
前記第 1及び第 2のローラの下方に設けられ、前記無端ベルトの張力を調整する張 力調整機構を備えたことを特徴とする請求項 8に記載の搬送装置。
[10] 更に、
前記複数のローラを回転可能に支持すると共に、前記駆動手段を収納して支持す る支持部を備えたことを特徴とする請求項 6に記載の搬送装置。
[11] 更に、
前記支持部内の空気を清浄化して外部へ排出する清浄化手段を備えたことを特徴 とする請求項 10に記載の搬送装置。
[12] 更に、
前記支持部を、鉛直軸回りに回動させる回動手段を設けたことを特徴とする請求項 10に記載の搬送装置。
[13] 更に、
前記支持部を、上下に昇降させる昇降手段を設けたことを特徴とする請求項 10に 記載の搬送装置。
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