JP2002534800A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
ウェーハの輸送コンテナ等に用いる既存の搬送装置は、１つの駆動ローラーのみを有し、搬送容器の進行が一定でないという欠点を有していた。この問題を解決するために、本発明は、２つの駆動ローラー（７、９）を組み合わせ、互いが向き合うように構成される搬送装置を提供する。両駆動ローラーは、容器が直線的かつ振動せずに搬送されるように、容器（４）の脚に均一な駆動力を与える。従って、本発明は、少なくとも２つの平行な脚を持つ容器（４）用の搬送に関するものであり、脚によって走行可能で、平行な転動ローラー（５、６）を少なくとも２行備える。本発明の搬送装置は、脚に駆動力を伝達する、少なくとも１組の駆動ローラーグループを有することを特徴とする。この駆動ローラーグループは、１つの一次駆動ローラー（７）と、少なくとも１つの２次駆動ローラー（９）とを有する。駆動ローラー（７、９）は、転動ローラー（５、６）の１行と一体化される。一次駆動ローラー（７）は、モーター（８）により駆動可能、あるいは駆動される。少なくとも１組の駆動ローラー（７、９）のグループにおける駆動ローラー（７、９）は、一次駆動ローラー（７）が、少なくとも１つの２次駆動ローラー（９）を駆動する、あるいは駆動可能な状態に組み合わされる。
Description
素材または半製品を加工したり、あるいは発送するとき、例えば、加工ステー
ションから次の加工ステーションあるいは倉庫までといった短い区間での搬送の
必要性がしばしば起こる。多くの場合、そのような搬送は、搬送容器を運んだり
、直接的に素材を搬送する搬送コンベアまたは搬送ローラーの設備により行われ
ている。多くの素材、例えば、半導体製造のためのウェーハなどでは、これらの
搬送容器は、いわゆるキャリヤと呼ばれるが、生産条件に応じた形状を備えなけ
ればならない。搬送装置は、この形状に適切に適合するような構造となっている
。
ションから次の加工ステーションあるいは倉庫までといった短い区間での搬送の
必要性がしばしば起こる。多くの場合、そのような搬送は、搬送容器を運んだり
、直接的に素材を搬送する搬送コンベアまたは搬送ローラーの設備により行われ
ている。多くの素材、例えば、半導体製造のためのウェーハなどでは、これらの
搬送容器は、いわゆるキャリヤと呼ばれるが、生産条件に応じた形状を備えなけ
ればならない。搬送装置は、この形状に適切に適合するような構造となっている
。
【０００１】 以下に、そのような、ウェーハキャリヤの搬送に係わる搬送装置の現在の技術
を説明する。ただし、この種の搬送装置は、しかるべき要求が生じれば、他の容
器にも使用できることは当然である。
を説明する。ただし、この種の搬送装置は、しかるべき要求が生じれば、他の容
器にも使用できることは当然である。
【０００２】 半導体ウェーハのための搬送容器は、側面下方に２つの平行に推移する脚を備
えていて、この脚が搬送装置において行われる搬送を担っている。この搬送容器
は、脚の間を通りさらに下へ突き出ている。本発明の搬送装置は、互いに離間し
ている平行な側壁に設けられる短い転動ローラーの上を脚が案内されることによ
り、この形態を考慮に入れている。側壁の間には、自由空間があり、その中に搬
送容器が突き出ている。この理由から、転動ローラーは、一方から他方の側壁に
貫通していないで、平らな円盤状をなし、側壁間の空間にわずかだけ突き出てい
る（図１参照）。
えていて、この脚が搬送装置において行われる搬送を担っている。この搬送容器
は、脚の間を通りさらに下へ突き出ている。本発明の搬送装置は、互いに離間し
ている平行な側壁に設けられる短い転動ローラーの上を脚が案内されることによ
り、この形態を考慮に入れている。側壁の間には、自由空間があり、その中に搬
送容器が突き出ている。この理由から、転動ローラーは、一方から他方の側壁に
貫通していないで、平らな円盤状をなし、側壁間の空間にわずかだけ突き出てい
る（図１参照）。
【０００３】 側壁の片方には、それぞれ一定数の転動ローラーに駆動ローラーが連接してい
る。代表的な例では、それぞれ４個の転動ローラーの後に、１個の駆動ローラー
が配属される構造がある。駆動ローラーは、モータにより回転が与えられる。
る。代表的な例では、それぞれ４個の転動ローラーの後に、１個の駆動ローラー
が配属される構造がある。駆動ローラーは、モータにより回転が与えられる。
【０００４】 駆動ローラーが搬送を続けるための駆動力を搬送容器に及ぼしうるためには、
駆動ローラーは、転動ローラーがその周辺において搬送容器の脚側に、すなわち
、上方に向かって形成している理論線（gedachte Linie）を超えて、突き出なけ
ればならない。
駆動ローラーは、転動ローラーがその周辺において搬送容器の脚側に、すなわち
、上方に向かって形成している理論線（gedachte Linie）を超えて、突き出なけ
ればならない。
【０００５】 これにより、搬送容器が片側に設けられた駆動ローラーへ当たるたびに、側方
から上に向かう、衝撃的な運動が生まれるが、この運動が連続すれば搬送容器お
よびその中に入っているウェーハの振動をもたらす。かかる振動は、粒子発生を
もたらし、その結果、ウェーハの品質劣化をまねく。
から上に向かう、衝撃的な運動が生まれるが、この運動が連続すれば搬送容器お
よびその中に入っているウェーハの振動をもたらす。かかる振動は、粒子発生を
もたらし、その結果、ウェーハの品質劣化をまねく。
【０００６】 従って、好ましくない側方応力が搬送容器に作用しないように、搬送容器がや
さしく転動ローラー上を案内されるような搬送装置を創造することが期待される
わけである。
さしく転動ローラー上を案内されるような搬送装置を創造することが期待される
わけである。
【０００７】 この課題は、独立の請求項である請求項１に記載の搬送装置、ならびに、独立
の請求項である請求項１５に記載のウェーハ用搬送容器の搬送方法により解決さ
れる。本発明のその他の好ましい構造および展開は、従属の請求項、発明の説明
ならびに添付図面により明らかとなる。
の請求項である請求項１５に記載のウェーハ用搬送容器の搬送方法により解決さ
れる。本発明のその他の好ましい構造および展開は、従属の請求項、発明の説明
ならびに添付図面により明らかとなる。
【０００８】 本発明は、１つの展開においては、第２の駆動ローラーも共に駆動されるよう
な搬送装置を対象としている。
な搬送装置を対象としている。
【０００９】 また、本発明は、別の展開において、２つの相互に連結される駆動ロールが互
いに向かい合い、この両者は搬送容器の脚に均一な駆動力を及ぼし、その結果、
搬送容器はリニアに、衝撃無く搬送され続けるという搬送装置を対象とする。
いに向かい合い、この両者は搬送容器の脚に均一な駆動力を及ぼし、その結果、
搬送容器はリニアに、衝撃無く搬送され続けるという搬送装置を対象とする。
【００１０】 さらに別の展開においては、本発明は、動力連結が、互いに向かい合っている
２つの駆動ロールにより行われ、それらのロールの間に、搬送容器が間に突き出
ることのできる自由空間が保持されるような搬送装置を対象としている。
２つの駆動ロールにより行われ、それらのロールの間に、搬送容器が間に突き出
ることのできる自由空間が保持されるような搬送装置を対象としている。
【００１１】 従って、本発明は、少なくとも２つの平行に推移している脚をもつ容器のため
の搬送装置であるが、少なくとも２列に平行に並んだ転動ローラーを含み、その
転動ローラーの上を容器脚が走行する様態の搬送装置を対象としている。この搬
送装置は、一次駆動ローラーと少なくとも１つの二次駆動ローラーとを含む、駆
動力を脚へ伝達するための駆動ローラーの少なくとも１つのグループを特徴とす
るが、駆動ローラーのそれぞれは転動ローラーの列に属していること、一次駆動
ローラーはモータにより駆動力を発するか、あるいは駆動されること、そして、
駆動ローラーの、少なくとも１つのグループの駆動ローラーは、互いに連結され
、その結果、一次駆動ローラーが少なくとも１つの二次駆動ローラーを駆動する
か、あるいは駆動しうることを特徴とする。
の搬送装置であるが、少なくとも２列に平行に並んだ転動ローラーを含み、その
転動ローラーの上を容器脚が走行する様態の搬送装置を対象としている。この搬
送装置は、一次駆動ローラーと少なくとも１つの二次駆動ローラーとを含む、駆
動力を脚へ伝達するための駆動ローラーの少なくとも１つのグループを特徴とす
るが、駆動ローラーのそれぞれは転動ローラーの列に属していること、一次駆動
ローラーはモータにより駆動力を発するか、あるいは駆動されること、そして、
駆動ローラーの、少なくとも１つのグループの駆動ローラーは、互いに連結され
、その結果、一次駆動ローラーが少なくとも１つの二次駆動ローラーを駆動する
か、あるいは駆動しうることを特徴とする。
【００１２】 特に、駆動ローラーの、少なくとも１つのグループの駆動ローラーは、動力伝
達シャフトを介して相互に連結されているという優れた構造となっている。
達シャフトを介して相互に連結されているという優れた構造となっている。
【００１３】 例えば、互いに間隔を置いて配置されている側壁が設けられ、これらの側壁に
、転動ローラー列と駆動ローラーとが設けられている。少なくとも１つの駆動ロ
ーラーグループの駆動ローラーを互いに向かい合って側壁に設けることができる
。
、転動ローラー列と駆動ローラーとが設けられている。少なくとも１つの駆動ロ
ーラーグループの駆動ローラーを互いに向かい合って側壁に設けることができる
。
【００１４】 転動ローラーは、転動ローラー上を搬送されうる容器の脚を基準として、容器
の方を向いている転動ローラー周辺に理論線を形成するが、駆動力を脚に伝達で
きるように、駆動ローラーがこの理論線を超える。駆動ローラーには、駆動力を
脚に伝達するために追加の駆動ホイールを設けることができる。駆動ホイールに
は、または駆動ローラーにも直接的に、それらと脚との間の摩擦を高めるために
、ゴム層あるいは類似のものを被覆させたり、あるいは装着させることができる
。
の方を向いている転動ローラー周辺に理論線を形成するが、駆動力を脚に伝達で
きるように、駆動ローラーがこの理論線を超える。駆動ローラーには、駆動力を
脚に伝達するために追加の駆動ホイールを設けることができる。駆動ホイールに
は、または駆動ローラーにも直接的に、それらと脚との間の摩擦を高めるために
、ゴム層あるいは類似のものを被覆させたり、あるいは装着させることができる
。
【００１５】 駆動ローラー間の駆動力伝達は、動力伝達シャフトに少なくとも２つの伝達ホ
イールが設けられ、伝達ホイールの１つが一次駆動ローラーと接触を保ち、一次
駆動ローラーの回転を動力伝達シャフトに伝達し、そして少なくとも２番目の伝
達ホイールが動力伝達シャフトの回転を少なくとも１つの二次駆動ローラーに伝
達することによって行える。駆動力伝達は、この場合でも、駆動ローラー／駆動
ホイールおよび伝達ホイールに設けられるゴム被覆により支援されうる。
イールが設けられ、伝達ホイールの１つが一次駆動ローラーと接触を保ち、一次
駆動ローラーの回転を動力伝達シャフトに伝達し、そして少なくとも２番目の伝
達ホイールが動力伝達シャフトの回転を少なくとも１つの二次駆動ローラーに伝
達することによって行える。駆動力伝達は、この場合でも、駆動ローラー／駆動
ホイールおよび伝達ホイールに設けられるゴム被覆により支援されうる。
【００１６】 以下に、発明の内容を説明している図面を参照しながら本発明を詳述する。
【００１７】 図１は、本発明の搬送装置の側面図を、側壁の断面図と共に示す。
【００１８】 図２は、本発明の、側壁が示される実施例の図解を示す。
【００１９】 この搬送装置は、一般的な構造をもっているが、さまざまな転動ローラーが設
けられる２つの側面ガイドを備えている点で特徴的である。図１には、この側面
ガイドの役割を果たす、２つの側壁１・２が示されている。同時に、これらの側
壁は、搬送容器４が、この場合はウェーハキャリヤであるが、その突き出ている
部分でもって床３または搬送装置の他の部分に衝突して停止することのないよう
に、問題なく転動ローラーの上を走ることができるように、搬送装置を床３から
離間させている。
けられる２つの側面ガイドを備えている点で特徴的である。図１には、この側面
ガイドの役割を果たす、２つの側壁１・２が示されている。同時に、これらの側
壁は、搬送容器４が、この場合はウェーハキャリヤであるが、その突き出ている
部分でもって床３または搬送装置の他の部分に衝突して停止することのないよう
に、問題なく転動ローラーの上を走ることができるように、搬送装置を床３から
離間させている。
【００２０】 側壁は、床に連結されてもよいし、または、ディスタンスボルトによって床と
の相互の距離を一定にして間隔を保つようにすることもできる。
の相互の距離を一定にして間隔を保つようにすることもできる。
【００２１】 側壁１・２の互いに向き合っている面には、転動ローラー５・６が設けられて
いる。これらの転動ローラーは、例えば、ボールベアリングを介して側壁１・２
に支えられている。搬送容器４の脚が転動ローラーの上を走るとき、転動ローラ
ーは、それらの軸受の中で自在に回転する。転動ローラー５・６は、図１ではゴ
ム被覆部を有している。このゴム被覆部は、転動ローラー５・６とその上を走る
、搬送容器４の脚との粘着性を高める。さらに、これらの転動ローラーは、脚の
案内を可能にするために、側壁１・２の方に向かって外側に出ている面取り面１
１・１２を備えている。
いる。これらの転動ローラーは、例えば、ボールベアリングを介して側壁１・２
に支えられている。搬送容器４の脚が転動ローラーの上を走るとき、転動ローラ
ーは、それらの軸受の中で自在に回転する。転動ローラー５・６は、図１ではゴ
ム被覆部を有している。このゴム被覆部は、転動ローラー５・６とその上を走る
、搬送容器４の脚との粘着性を高める。さらに、これらの転動ローラーは、脚の
案内を可能にするために、側壁１・２の方に向かって外側に出ている面取り面１
１・１２を備えている。
【００２２】 さらに、側壁２には、モータ８によって駆動される一次駆動ローラー７が設け
られている。
られている。
【００２３】 他方の側壁１には、二次駆動ローラー９が設けられている。この二次駆動ロー
ラー９は、本発明により、一次駆動ローラー７に連結され、両駆動ローラーによ
る動力伝達を実現している。この連結は、図１に示されるように、動力伝達シャ
フト１７により行われる。動力伝達シャフト１７は、一次駆動ローラー７の動力
を動力伝達シャフト１７に設けられる伝達ホイール１６を用いて受収し、別の伝
達ホイール１５を介して二次駆動ローラー９に伝達する。
ラー９は、本発明により、一次駆動ローラー７に連結され、両駆動ローラーによ
る動力伝達を実現している。この連結は、図１に示されるように、動力伝達シャ
フト１７により行われる。動力伝達シャフト１７は、一次駆動ローラー７の動力
を動力伝達シャフト１７に設けられる伝達ホイール１６を用いて受収し、別の伝
達ホイール１５を介して二次駆動ローラー９に伝達する。
【００２４】 この伝達機構として、伝達ホイール１５・１６は、これら伝達ホイール１５・
１６とシャフト１７との接続を仲介しているシャフトホルダー１８・１９に取り
付けられている。しかし、シャフト１７にホイール１５・１６を連結するには、
当今の技術で可能である他の連結方法もある。動力伝達シャフト１７は、その端
部である、２つの軸受ジャーナル２２および２３を介して、側壁１・２に設けら
れる、２つの軸受２１・２２に支えられている。
１６とシャフト１７との接続を仲介しているシャフトホルダー１８・１９に取り
付けられている。しかし、シャフト１７にホイール１５・１６を連結するには、
当今の技術で可能である他の連結方法もある。動力伝達シャフト１７は、その端
部である、２つの軸受ジャーナル２２および２３を介して、側壁１・２に設けら
れる、２つの軸受２１・２２に支えられている。
【００２５】 図１に示されている連結方法は、物理的な方法である。この連結方法は、駆動
ローラー７・９および伝達ホイール１５・１６のサイズが同じと仮定すれば、少
なくとも２つの駆動ローラー７・９が同じ周速で運動し、その結果、現在の技術
によるよりも滑らかな、搬送容器４の搬送が可能であることを保証する。しかし
、この連結を別の方法で、例えば、電気的に行うことも可能である。この場合だ
と、一次駆動ローラー７にセンサを設けることもできる。センサは、一次駆動ロ
ーラー７の速度を検出し、その情報を制御装置に送る。そして、制御装置が、２
番目のモータで、二次駆動ローラー９の速度を、一次駆動ローラー７の速度と常
に同じ値に設定するのである。
ローラー７・９および伝達ホイール１５・１６のサイズが同じと仮定すれば、少
なくとも２つの駆動ローラー７・９が同じ周速で運動し、その結果、現在の技術
によるよりも滑らかな、搬送容器４の搬送が可能であることを保証する。しかし
、この連結を別の方法で、例えば、電気的に行うことも可能である。この場合だ
と、一次駆動ローラー７にセンサを設けることもできる。センサは、一次駆動ロ
ーラー７の速度を検出し、その情報を制御装置に送る。そして、制御装置が、２
番目のモータで、二次駆動ローラー９の速度を、一次駆動ローラー７の速度と常
に同じ値に設定するのである。
【００２６】 図１に示される実施型では、両駆動ローラー７・９は、駆動ホイール１３・１
４を備えるが、これらの駆動ホイールは、駆動ローラー７・９の中央のロール（
walze ）の周囲を拡大し、そして伝達ホイール１５・１６への直接の接触面とな
る。
４を備えるが、これらの駆動ホイールは、駆動ローラー７・９の中央のロール（
walze ）の周囲を拡大し、そして伝達ホイール１５・１６への直接の接触面とな
る。
【００２７】 駆動ローラー、駆動ホイール、そして伝達ホイールの全ての接触面は、互いの
摩擦ないしは搬送容器の脚に対する摩擦を高めるために、ゴム表面を備えること
ができる。
摩擦ないしは搬送容器の脚に対する摩擦を高めるために、ゴム表面を備えること
ができる。
【００２８】 しかし、駆動ローラー／伝達ホイールからの、ないしは駆動ローラー／伝達ホ
イールへの動力伝達を歯車で行うことも考えられうるが、その場合、その目的の
ために、駆動ローラーに、搬送容器４の脚が上を走る駆動ホイール１３・１４に
加えて、歯車として形成される伝達ホイール１５・１６と噛み合う歯車が中央ロ
ールに設けられる。
イールへの動力伝達を歯車で行うことも考えられうるが、その場合、その目的の
ために、駆動ローラーに、搬送容器４の脚が上を走る駆動ホイール１３・１４に
加えて、歯車として形成される伝達ホイール１５・１６と噛み合う歯車が中央ロ
ールに設けられる。
【００２９】 本発明により、１つはモータにより駆動される一次駆動ローラー７、もう１つ
は一次駆動ローラーと連結される二次駆動ローラー９の、少なくとも２つの駆動
ローラーから成る、少なくとも１つの駆動ローラーグループが形成される。しか
し、全部が一次駆動ローラー７に連結される駆動ローラーの１つのグループに、
１つ以上の二次駆動ローラー９を設けることも問題なく可能である。そのような
構造は、例えば、かなり幅の広い搬送容器４の搬送を実現するのであるが、静力
学的理由から容器をその中央で追加的に支えることが望ましいと考えられる。
は一次駆動ローラーと連結される二次駆動ローラー９の、少なくとも２つの駆動
ローラーから成る、少なくとも１つの駆動ローラーグループが形成される。しか
し、全部が一次駆動ローラー７に連結される駆動ローラーの１つのグループに、
１つ以上の二次駆動ローラー９を設けることも問題なく可能である。そのような
構造は、例えば、かなり幅の広い搬送容器４の搬送を実現するのであるが、静力
学的理由から容器をその中央で追加的に支えることが望ましいと考えられる。
【００３０】 また、相異なる、駆動ローラー７・９のグループに属する複数の一次駆動ロー
ラー７を、共通のモータ８により駆動することもできる。この実施型は、特に比
較的軽い搬送容器に適し、設備コストを抑えることができる。この場合の駆動機
構は、例えば、モータ８の替りの歯車群と全ての歯車群および共通の駆動モータ
をとり囲む歯付きチェーンにより構成されうる。
ラー７を、共通のモータ８により駆動することもできる。この実施型は、特に比
較的軽い搬送容器に適し、設備コストを抑えることができる。この場合の駆動機
構は、例えば、モータ８の替りの歯車群と全ての歯車群および共通の駆動モータ
をとり囲む歯付きチェーンにより構成されうる。
【００３１】 図２は、転動ローラーおよび駆動ローラーを備える側壁の斜視図である。この
図には、二次駆動ローラー９の設けられている側壁１が図解で示される。図１の
要素と同じものについては同一の番号が付けられている。図に示されるように、
３つの転動ローラー５があって、それぞれ１つの駆動ローラー９が続いている。
しかし、個々の駆動ローラー７・９の間に転動ローラーを３個以下、または３個
以上設けることも可能である。
図には、二次駆動ローラー９の設けられている側壁１が図解で示される。図１の
要素と同じものについては同一の番号が付けられている。図に示されるように、
３つの転動ローラー５があって、それぞれ１つの駆動ローラー９が続いている。
しかし、個々の駆動ローラー７・９の間に転動ローラーを３個以下、または３個
以上設けることも可能である。
【００３２】 いずれにしても、駆動ローラー７・９の１つのグループが、次の駆動ローラー
７・９のグループに確実に容器を接触させるまで搬送容器を推進できるように、
駆動ローラー７・９の相互間の距離を設定する必要がある。
７・９のグループに確実に容器を接触させるまで搬送容器を推進できるように、
駆動ローラー７・９の相互間の距離を設定する必要がある。
【００３３】 好ましい構造としては、この距離が、どの時点でも、駆動ローラー７・９の少
なくとも１つのグループが容器４の脚を駆動しうるように選ばれていることであ
る。
なくとも１つのグループが容器４の脚を駆動しうるように選ばれていることであ
る。
【００３４】 転動ローラー５・６は、図２に示されるように、互いに、そして駆動ローラー
７・９からの狭い間隔で配置されている。ただし、容器４の確実な搬送が保証さ
れている限り、この距離を拡大することも可能である。
７・９からの狭い間隔で配置されている。ただし、容器４の確実な搬送が保証さ
れている限り、この距離を拡大することも可能である。
【００３５】 また、側壁と転動ローラーとを、カーブ走行ができるように配置することも可
能である。ただし、その場合、容器４が例えば側壁に引っ掛らないように、必要
な機素を配置しなければならない。さらにまた、カーブの連続走行では、容器の
外側が内側よりも速い速度で動かねばならないので、駆動ローラーを違った速度
で走らせることも必要である。このことは、例えば、両伝達ホイールの大きさを
変え、１つの伝達比を実現することにより達成することができる。
能である。ただし、その場合、容器４が例えば側壁に引っ掛らないように、必要
な機素を配置しなければならない。さらにまた、カーブの連続走行では、容器の
外側が内側よりも速い速度で動かねばならないので、駆動ローラーを違った速度
で走らせることも必要である。このことは、例えば、両伝達ホイールの大きさを
変え、１つの伝達比を実現することにより達成することができる。
【００３６】 本発明は、従来の搬送装置において発生していた不規則な搬送運動という問題
点を解決するものである。本発明により、搬送容器における、正確で直線的なリ
ニヤ運動が実現される。
点を解決するものである。本発明により、搬送容器における、正確で直線的なリ
ニヤ運動が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の搬送装置の側面図を、側壁の断面図と共に示す説明図である。
【図２】 本発明の、側壁が示される実施例の図解を示す説明図である。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年１２月２８日（２０００．１２．２８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブリュックナー，ゲルト ドイツ連邦共和国 01468 ボックスドル フ ヴァルトタイヒシュトラーセ 26ツェ ー Ｆターム(参考） 3F033 BA01 BB14 BC03 BC07 BC08 5F031 CA02 DA01 EA20 FA03 GA53 JA01 JA45 LA11 LA13 LA14 PA23 【要約の続き】 （７、９）は、一次駆動ローラー（７）が、少なくとも １つの２次駆動ローラー（９）を駆動する、あるいは駆 動可能な状態に組み合わされる。
Claims (15)
- 【請求項１】 少なくとも２つの平行に推移する脚をもつ容器（４）の搬送装置であるが、少
なくとも２列に平行に並んだ転動ローラー（５、６）を含み、その転動ローラー
の上を容器脚が走行する様態の搬送装置において、 駆動ローラー（７、９）のそれぞれは、転動ローラー（５、６）の列に属して
いること、一次駆動ローラー（７）は、モータ（８）により駆動力を発するか、
あるいは駆動されること、そして、駆動ローラー（７、９）の少なくとも１つの
グループの駆動ローラー（７、９）は、互いに連結され、その結果、一次駆動ロ
ーラー（７）が少なくとも１つの二次駆動ローラー（９）を駆動するか、あるい
は駆動しうる、 一次駆動ローラー（７）と少なくとも１つの二次駆動ローラー（９）とを含む
、駆動力を脚へ伝達するための駆動ローラー（７、９）の少なくとも１つのグル
ープを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の搬送装置において、 駆動ローラー（７、９）の少なくとも１つのグループの駆動ローラー（７、９
）は、動力伝達シャフト（１７）を介して相互に連結されていることを特徴とす
る搬送装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の搬送装置において、 さらに、搬送装置が、転動ローラー（５、６）の列と駆動ローラー（７、９）
とが設けられ、互いに間隔を置いて平行に配置されている側壁（１、２）を含む
ことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の搬送装置において、 転動ローラー（５、６）は、側壁（１、２）において自在に回転可能であり、
または自在に回転することを特徴とする搬送装置。 - 【請求項５】 請求項３または４に記載の搬送装置において、 駆動ローラー（７、９）の少なくとも１つのグループの駆動ローラー（７、９
）は、側壁（１、２）において互いに向かい合って設けられていることを特徴と
する搬送装置。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置において、 転動ローラー（５、６）は、転動ローラー上を搬送されうる容器（４）の脚（
１、２）を基準として、容器（４）の方を向いている転動ローラー周辺に理論線
を形成すること、そして、駆動力を脚に伝達できるように、駆動ローラー（７、
９）がこの理論線を超えることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置において、 駆動ローラー（７、９）には、駆動力を脚に伝達するための追加の駆動ホイー
ル（１３、１４）が設けられることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項８】 請求項７に記載の搬送装置において、 駆動ホイール（１３、１４）の周囲には、駆動力を脚に伝達するためのゴム層
が設けられることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項９】 請求項２〜８のいずれかに記載の搬送装置において、 動力伝達シャフト（１７）に少なくとも２つの伝達ホイール（１５、１６）が
設けられ、伝達ホイール（１６）の１つが一次駆動ローラーと接触を保ち、一次
駆動ローラー（７）の回転を動力伝達シャフト（１７）に伝達し、そして少なく
とも２番目の伝達ホイール（１５）が動力伝達シャフト（１７）の回転を少なく
とも１つの二次駆動ローラー（９）に伝達することを特徴とする搬送装置。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の搬送装置において、 駆動ローラーと伝達ホイールとの間の駆動力伝達は、駆動ローラーおよび伝達
ホイールの周囲に設けられるゴム被覆の摩擦により行われることを特徴とする搬
送装置。 - 【請求項１１】 請求項９に記載の搬送装置において、 駆動ホイール（１３、１４）は、駆動ローラー（７、９）の周囲に設けられる
こと、 そして、駆動ローラー（７、９）と伝達ホイール（１５、１６）との間の駆動
力伝達は、駆動ホイール（１３、１４）および伝達ホイール（１５、１６）の周
囲に設けられるゴム被覆の摩擦により生まれることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項１２】 請求項１〜１１のいずれかに記載の搬送装置において、 駆動ローラー（７、９）の少なくとも１つのグループは、複数の二次駆動ロー
ラー（９）を含むこと、 そして、搬送装置が、駆動ローラー（７、９）の少なくとも１つのグループの
駆動ローラー（７、９）の数に相当する、平行なしかるべき数の転動ローラー（
５、６）を有することを特徴とする搬送装置。 - 【請求項１３】 請求項１〜１２のいずれかに記載の搬送装置において、 モータ（８）が、駆動ローラー（７、９）の複数のグループを駆動することを
特徴とする搬送装置。 - 【請求項１４】 請求項１〜１３のいずれかに記載の搬送装置において、 駆動ローラー（７、９）の複数のグループが転動ローラー（５、６）の列に配
属されていて、どの時点でも、駆動ローラー（７、９）の少なくとも１つのグル
ープが容器（４）の脚を駆動しうるように、駆動ローラー（７、９）のグループ
は互いに離間されていることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項１５】 半導体ウェーハの搬送キャリヤを、請求項１〜１４のいずれかに記載の搬送装
置を使用して搬送する搬送方法。
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| DE19900461.7 | 1999-01-08 | ||
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|---|---|
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-
1999
- 1999-01-08 DE DE19900461A patent/DE19900461C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-01-05 JP JP2000592864A patent/JP2002534800A/ja active Pending
- 2000-01-05 WO PCT/DE2000/000044 patent/WO2000041220A1/de active IP Right Grant
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-
2001
- 2001-07-09 US US09/901,542 patent/US20020032496A1/en not_active Abandoned
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040309 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040810 |