DE3936842A1 - Foerdervorrichtung fuer traeger von waferscheiben - Google Patents

Foerdervorrichtung fuer traeger von waferscheiben

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Rolf Groh
Heinz Lamparter
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HLS PRODUKTIONS- UND AUTOMATISIERUNGSTECHNIK GMBH,
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Fördervorrichtung für Träger von Waferscheiben gemäß Oberbegriff von Anspruch 1.
Bei der Bearbeitung von Waferscheiben in einem Reinraum ist es bekannt, die Träger über eine Fördervorrichtung einem Handhabungsgerät zuzuführen, von dem sie z. B. er­ griffen und in ein Prozeßbecken eingetaucht werden.
Das Handhabungsgerät ist dabei auf eine bestimmte Träger­ größe eingestellt und der Bedienungsmann muß diese beim Aufsetzen auf die Fördervorrichtung vorsortieren. Dies nimmt erheblich Zeit in Anspruch und das Zentrieren der Träger auf der Förderbahn ist nicht zuverlässig. Bei der Verarbeitung von anderen Trägergrößen muß die Fördervor­ richtung entsprechend umgestellt werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Schaffung einer Fördervorrichtung der eingangs genannten Art, die eine selbsttätige und sichere Bereitstellung von Trägern zur Ab­ nahme durch ein Handhabungsgerät ermöglicht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeich­ nenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Durch die erfindungsgemäße Fördervorrichtung werden Träger verschiedener Größe selbsttätig sortiert und so dem Hand­ habungsgerät zugeführt, daß dieses auch zwei oder mehrere Träger gleichzeitig aufnehmen kann. Damit ergibt sich ein erheblicher Zeitgewinn und ein zuverlässiges Weiterbeför­ dern der Träger.
Die in den Unteransprüchen gekennzeichneten Tastelemente sind vorzugsweise als Lichtschranken ausgebildet, es ist jedoch auch möglich, an ihre Stelle eine Abtastung durch Luftstrahlen einzusetzen.
Die Führungselemente zum Zentrieren der Träger sind so wechselweise auf der Fördervorrichtung befestigbar, daß die Träger von den Führungselementen entweder an der Außen­ seite oder der Innenseite ihrer Sockel geführt werden.
Die die Förderbahn bildenten Förderelemente können entweder als Rollen oder als Förderbänder ausgebildet sein, wobei das Förderband in bekannter Weise mit Silicon beschichtet ist.
Im folgenden ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 Fördervorrichtung von der Seite
Fig. 2 Fördervorrichtung von oben
Fig. 3 Schnitt nach Linie III-III in Fig. 1
Fig. 4 Förderbahn mit Führungsleisten, von oben
Die Fördervorrichtung gemäß Fig. 1 weist ein Gestell 1 auf, an deren Oberseite Förderelemente 2 in Form von Förderrollen eine Förderbahn 3 bilden, auf der Träger 4 von Waferscheiben 5 einem Handhabungsgerät 6 zugeführt werden.
Über der Förderbahn 3 ist am Gestell 1 eine Vereinzelungs­ vorrichtung 7 angeordnet, die zu beiden Seiten der Förder­ bahn 3 abgestuft angeordnete Tastelemente 8 in Form von Lichtschranken aufweist.
Am in Förderrichtung gesehenen vorderen und hinteren Ende der Vereinzelungsvorrichtung 7 sind Anschlagelemente 9 vor­ gesehen, die unter der Förderbahn verschiebbar gelagert sind und je nach Stellung die Förderbahn 3 überragen.
Sie sind mit einer Wippe 10 verbunden, die die beiden An­ schlagelemente 9 so in Höhenrichtung verschiebt, daß entweder das vordere oder das hintere Anschlagelement 9 Förderbahn 3 überragt und damit in den Verschiebeweg eines Trägers 4 eingreift. Die Betätigung von Wippe 10 kann durch einen Elektromagnet 11 erfolgen.
Wie auch die Fig. 2 und 3 zeigen, sind am Ende der Förderbahn 3 unter dem Handhabungsgerät 6 zwei paralelle Führungselemente 12 angeordnet, die senkrecht zur Bewegungsrichtung der Träger 4 verschiebbar am Gestell 1 gelagert sind. Die Verschiebung der Führungselemente 12 erfolgt über zwei Gewindetriebe 13, die durch induktive Nährungsschalter 14 beeinflußbar sind.
Damit ist es möglich, den Abstand der Führungselemente 12 jeweils auf die Größe des einlaufenden Trägers 4 automatisch einzustellen.
Bei den in Fig. 2 gezeigten Führungselementen 12 befindet sich an ihrem einlaufseitigen Ende je eine Schräge 15 und an ihrem Auslaufende ein Anschlag 16. Damit wird der Träger 4 an der Innenseite seines Sockels genau auf die Mitte der Förderbahn 3 zentriert.
Fig. 4 zeigt eine vertauschte Anordnung der Führungselemente 12 mit nach innen weisenden Schrägen 15 und Anschlägen 16. Bei dieser Anordnung können die Träger an der Außenseite ihrer Sockel zentriert werden.
Zum Vorzentrieren der Träger 4 dient eine am Einlauf der Förderbahn 3 befestigte Zentriervorrichtung 17 in Form eines Anlagetisches, der an seiner der Förderbahn 3 zugewandten Seite abgestufte Aussparungen 18 in der Größe der Sockel der Träger 4 aufweist. Damit ist es möglich, die Träger 4 genau zentrisch auf die Förderbahn 3 aufzusetzen.
Wie Fig. 2 zeigt, ist der Anlagetisch 17 mit Durchbrüchen 19 versehen, die es der laminaren Luftströmung erlaubt, den Anlagetisch 17 zu durchströmen.
Anlagetisch 17 ist gegenüber der Förderbahn 3 um einen be­ stimmten Winkel geneigt, damit wird gewährleistet, daß alle Waferscheiben 5 auf der gleichen Seite des Trägers 4 anlie­ gen.
Zum Befördern der Träger 4 werden diese zunächst in der oben beschriebenen Weise auf die Förderelemente 2 aufgesetzt und von diesen in Richtung Vereinzelungsvorrichtung 7 transpor­ tiert.
Das auslaufseitige Anschlagelement 9 überragt die Förderbahn 3 und stoppt den Träger 4.
Je nach Höhenerstreckung dieses Trägers 4 spricht eine der Lichtschranken 8 an und betätigt den Antrieb für die Füh­ rungselemente 12, die durch die Nährungsschalter 14 auf die jeweilige Größe des Trägers 4 eingestellt werden.
Elektromagnet 11 betätigt jetzt die Wippe 10, so daß das auslaufseitige Anschlagelement 9 öffnet und das einlauf­ seitige Anschlagelement 9 schließt. Der Träger 4 wird zu den Führungselementen 12 befördert, dort genau zentriert und vom Handhabungsgerät 6 entnommen.
Folgt diesem Träger 4 ein weiterer Träger derselben Größe, so wird dieser zur Entnahme durch das Handhabungsgerät 6 ebenfalls zu den Führungselementen 12 befördert und gemein­ sam mit dem ersten Träger 4 entnommen.
Weist der nachfolgende Träger 4 eine vom vorausgehenden Träger 4 verschiedene Größe auf, dann sperrt die Vereinze­ lungsvorrichtung 7 diesen nachfolgenden Träger 4 so lange, bis der vorausgehende Träger 4 vom Handhabungsgerät 6 ent­ nommen ist.
Da ein 8′′-Träger länger ist als die Vereinzelungsvorrich­ tung, ist das einlaufseitige Anschlagelement so ausge­ spart, daß der 8′′-Träger nicht mit angehoben wird. Die Anschlagelemente sind so mit einem geeigneten Kunststoff beschichtet, daß sie nur wenig Partikel abgeben. Dieselbe Beschichtung ist an den Führungselementen 12 und dem Anla­ getisch 17 vorgesehen.

Claims (11)

1. Fördervorrichtung für Träger von Waferscheiben mit einem Gestell, an dessen Oberseite antreibbare Förderelemente zur Bildung einer waagrechten Förderbahn angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß über der Förderbahn (3) eine mit Tastelementen (8) versehene Ver­ einzelungsvorrichtung (7) angeordnet ist und daß anschlie­ ßend Führungselemente (12) zum Ausrichten der Träger (4) vorgesehen sind, deren Abstand von der Vereinzelungsvor­ richtung (7) steuerbar ist.
2. Fördervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Vereinzelungsvorrichtung (7) in verschiedenen Höhen angeordnete Tastelemente (8) aufweist.
3. Fördervorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß im Bereich der Vereinzelungsvorrichtung (7) zwei mit Abstand angeordnete Anschlagelemente (9) vor­ gesehen sind, die in den Verschiebeweg der Träger (4) wech­ selseitig eingreifen.
4. Fördervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Anschlagelemente (9) auf einer Wippe (10) angeordnet sind.
5. Fördervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungselemente (12) als parallel zur Förderrichtung angeordnete Führungsleisten ausgebildet sind, die an ihrer Einlaufseite eine Schräge (15) und an ihrer Auslaufseite einen Anschlag (16) auf­ weisen.
6. Fördervorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Einstellung der Führungselemente (12) induktive Nährungsschalter (14) vorgesehen sind.
7. Fördervorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungselemente (12) so gegeneinander vertauschbar sind, daß die Schrägen (15) entweder an ihrer Außenseite oder an ihrer Innenseite ange­ ordnet sind.
8. Fördervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß am Ein­ lauf der Förderbahn (3) eine Zentriervorrichtung (17) angeordnet ist.
9. Fördervorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Zentriervorrichtung als Anlage­ tisch (17) ausgebildet ist, der an seiner der Förderbahn (3) zugewandten Seite abgestufte Aussparungen (18) aufweist.
10. Fördervorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Anlagetisch (17) Durchbrüche (19) für die Luftströmung aufweist.
11. Fördervorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Anlagetisch (17) eine geneigte Auflagefläche für die Träger (4) aufweist.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19900461A1 (de) * 1999-01-08 2000-07-13 Siemens Ag Transportvorrichtung
DE19900461C2 (de) * 1999-01-08 2002-10-31 Infineon Technologies Ag Transportvorrichtung

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