JP2706663B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JP2706663B2 JP2706663B2 JP7243595A JP24359595A JP2706663B2 JP 2706663 B2 JP2706663 B2 JP 2706663B2 JP 7243595 A JP7243595 A JP 7243595A JP 24359595 A JP24359595 A JP 24359595A JP 2706663 B2 JP2706663 B2 JP 2706663B2
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- JP
- Japan
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- transport
- path
- roller
- rollers
- unit
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- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に関す
る。 〔発明の詳細な説明〕 【０００２】 【発明の属する技術分野】本発明は、被搬送物をローラ
の上に乗せて搬送する搬送装置に関する。 【０００３】 【従来の技術】一般に荷物を搬送路に沿って搬送させる
装置として、ローラの上に乗せて搬送路上を搬送させる
装置が知られており、この種の装置として、従来例えば
特公昭５４−３３４３３号公報に記載されている技術が
ある。この技術は、搬送路の両側に沿ってコンベヤ枠体
を配置し、このコンベヤ枠体の間にローラを軸支し、こ
れらローラ群を搬送方向に配列してなるものである。そ
して非直線の搬送路（カーブ領域）においてはローラを
左右に分割し、つまりコンベヤ枠体間に内側ローラと外
側ローラとを設け、遊星歯車機構を利用して、曲率半径
に応じて外側ローラの速度が早くなるように設定し、ス
ムーズに荷物が搬送されるように構成している。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】ところで工場や倉庫内
などにおいて装置等の配置のレイアウトを変える場合が
あるが、上述の搬送装置は、左右の搬送枠体の間にロー
ラ群を取り付けて、一体の搬送路として構成しているた
め、搬送路の曲率半径を変更することができない。従っ
て曲率半径が異なる搬送路を設定する場合には、必要と
する曲率半径をもった別の搬送装置を使用しなければな
らないので、例えば新たに搬送装置を組立てなければな
らない。 【０００５】また今までの搬送装置を用いようとするな
らば、搬送路が決められてしまっているので、他のレイ
アウト、例えば装置や積み場所などの配置のレイアウト
が、搬送装置によってかなり制限されてしまうという課
題がある。 【０００６】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的は搬送路のレイアウトの自由度が
大きく、レイウトの設定あるいはその後の変更が容易な
搬送装置を提供することにある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】本発明は、本体の両側に
夫々配置され、搬送路の幅方向に伸びる軸のまわりに回
転すると共に被搬送物を乗せて搬送する同一寸法の搬送
ローラよりなる１組の搬送ローラと、これら搬送ローラ
を駆動するために各搬送ローラに同一寸法の伝達機構を
介して交換自在に設けられた駆動プーリとを備え、非直
線の搬送路に配置された第１の搬送ユニットと、 本体の
両側に夫々配置され、搬送路の幅方向に伸びる軸のまわ
りに回転すると共に被搬送物を乗せて搬送する同一寸法
の搬送ローラよりなる複数組の搬送ローラを備え、直線
の搬送路に配置された第２の搬送ユニットと、 上記駆動
プーリの各々を同じ周速度で駆動する駆動源と、を有
し、 上記非直線の搬送路の軌跡が描く円弧の中心から、
第１の搬送ユニットの搬送ローラの位置までの距離に、
上記搬送ローラの搬送速度が比例するように上記駆動プ
ーリの径を設定したことを特徴とする。 【０００８】 【発明の実施の形態】以下、本発明をウエハ搬送装置に
適用した実施の形態を図面を参照して説明する。図１に
示すように搬送ユニット（１）の本体（２）の左側壁部
には、回転軸（３）が貫通して設けられている。この回
転軸（３）の本体（２）外の一端には搬送ローラ（４）
が取着され、本体（２）内の一端にはハスバ歯車（５）
が取着されている。 【０００９】また、本体（２）の底部には駆動回転軸
（６）が貫通して設けられている。この駆動回転軸
（６）の本体（２）内の一端にはハスバ歯車（７）が上
記ハスバ歯車（５）と噛合うように取着され、本体
（２）外の一端には駆動プーリー（８）が取着されてい
る。そして、この駆動プーリー（８）を回転させること
により搬送ローラー（４）が回転可能に構成されてい
る。一方、本体（２）の右側にも上記同様に搬送ローラ
ー（９）、回転軸（１０）、ハスバ歯車（１１）、ハス
バ歯車（１２）、駆動回転軸（１３）、駆動プーラー
（１４）が設けられている。この例では搬送ローラ
（４）、（９）は第１の搬送ユニットの１組の搬送ロー
ラをなすものである。 【００１０】そして、図２に示すように直線搬送部（２
４）、（２５）の間に搬送方向（２２）に対応して第１
の搬送ユニット（１）を例えば３個並設する。詳しく
は、搬送ユニット（１）の回転軸（３）、（１０）の軸
心を通る直線（２１）が、搬送方向（２２）の描く円弧
の中心（２３）を通るように配置する。そして、上記円
弧に対して内側に位置する搬送ローラー（４）の搬送速
度よりも外側に位置する搬送ローラー（９）の搬送速度
が速くなるように構成する。 【００１１】ここで、搬送ローラ（４）、（９）が所定
の周速度を得るための手段について説明する。図１にお
いて、例えば駆動プーリー（８）と（１４）以外は左右
同一寸法構造とすれば、搬送ローラー（４）と（９）の
搬送速度の比は駆動回転軸（６）と（１３）の回転速度
の比によって決まる。そこで、図２において、例えば搬
送ローラー（４）の巾厚中心点が描く円弧の半径をＡ、
搬送ローラ（９）の上記半径をＢとすれば、半導体ウエ
ハ（図示せず）を複数の搬送ユニット（１）上をスムー
ズに搬送するには、搬送ローラ（４）の搬送速度／搬送
ローラ（９）の搬送速度＝Ａ／Ｂであれば良く、つま
り、駆動回転軸（６）の回転速度／駆動回転軸（１３）
の回転速度＝Ａ／Ｂにすればよい。 【００１２】また、上記複数の搬送ユニット（１）の駆
動プーリ（８）と（１４）とを同時に同じ周速度（プー
リの周部の単位時間当りの移動距離）で駆動する手段と
しては、例えば第３図に示すように、駆動プーリー
（８）の直径／駆動プーリー（１４）の直径＝Ｂ／Ａと
し、駆動プーリー（８）、（１４）に例えばベルト（３
１）等を張設し駆動する。 【００１３】一方直線搬送部（２４）、（２５）には、
複数組の搬送ローラを備えた第２の搬送ユニット（９
１）が設けられている。この第２の搬送ユニット（９
１）は、本体（９２）の左右に夫々搬送ローラ（９
３）、（９４）が設けられ、左右を１組とする搬送ロー
ラ（９３）、（９４）が複数組長さ方向に配列されてい
る。このような実施の形態では、半導体ウエハは、例え
ば直線搬送部（２４）の第２の搬送ユニット（９１）の
搬送ローラ（９３）、（９４）の上に乗せられて搬送さ
れ、非直線の搬送路では３つの第１の搬送ユニット
（１）の搬送ローラ（４）（９）の上に乗せられて搬送
され、次いで第２の搬送ユニット（９１）上に到達し、
その搬送ローラ（９３）、（９４）に乗せられて直線搬
送部（２５）上を搬送される。本実施の形態によれば、
非直線の搬送路には第１の搬送ユニット（１）を配置し
ているので、搬送ユニット（１）の数を選択することに
より曲率半径や長さを自由に設定でき、また直線の搬送
路には第２の搬送ユニット（９１）を配置しているの
で、１個、１個並べることなく、１個の搬送ユニット
（９１）によりある程度の長さの搬送路が形成されるの
で設置が簡単であり、従って搬送路のレイアウトの自由
度が高くかつ設定が容易である。そして非直線の搬送路
では内側の搬送ローラと外側の搬送ローラとが曲率半径
の中心点からの距離に応じた速度で回転するように構成
されているので、スムーズな搬送を行うことができる。 【００１４】 【００１５】 【００１６】 【００１７】 【発明の効果】本発明搬送装置によれば、１組の搬送ロ
ーラを備えた第１の搬送ユニットと複数組の搬送ローラ
を備えた第２の搬送ユニットとを用意し、非直線の搬送
路には少なくとも第１の搬送ユニットを配置している。
従って非直線の搬送路の長さや曲率半径に応じた数だけ
第１の搬送ユニットを配置すればよく、しかも非直線搬
送路の描く円弧を変える場合には駆動プーリのみを交換
すればよいので、搬送路の非直線部分の設定変更が容易
であり、また直線の搬送路には第２の搬送ユニットを用
いているので、１個、１個並べて接続する必要がない
し、長さの調整も第１の搬送ユニットを組み合わせるこ
とで容易に対応できる。この結果本発明によれば搬送路
のレイアウトの設定、変更が容易であるという効果があ
る。
る。 〔発明の詳細な説明〕 【０００２】 【発明の属する技術分野】本発明は、被搬送物をローラ
の上に乗せて搬送する搬送装置に関する。 【０００３】 【従来の技術】一般に荷物を搬送路に沿って搬送させる
装置として、ローラの上に乗せて搬送路上を搬送させる
装置が知られており、この種の装置として、従来例えば
特公昭５４−３３４３３号公報に記載されている技術が
ある。この技術は、搬送路の両側に沿ってコンベヤ枠体
を配置し、このコンベヤ枠体の間にローラを軸支し、こ
れらローラ群を搬送方向に配列してなるものである。そ
して非直線の搬送路（カーブ領域）においてはローラを
左右に分割し、つまりコンベヤ枠体間に内側ローラと外
側ローラとを設け、遊星歯車機構を利用して、曲率半径
に応じて外側ローラの速度が早くなるように設定し、ス
ムーズに荷物が搬送されるように構成している。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】ところで工場や倉庫内
などにおいて装置等の配置のレイアウトを変える場合が
あるが、上述の搬送装置は、左右の搬送枠体の間にロー
ラ群を取り付けて、一体の搬送路として構成しているた
め、搬送路の曲率半径を変更することができない。従っ
て曲率半径が異なる搬送路を設定する場合には、必要と
する曲率半径をもった別の搬送装置を使用しなければな
らないので、例えば新たに搬送装置を組立てなければな
らない。 【０００５】また今までの搬送装置を用いようとするな
らば、搬送路が決められてしまっているので、他のレイ
アウト、例えば装置や積み場所などの配置のレイアウト
が、搬送装置によってかなり制限されてしまうという課
題がある。 【０００６】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的は搬送路のレイアウトの自由度が
大きく、レイウトの設定あるいはその後の変更が容易な
搬送装置を提供することにある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】本発明は、本体の両側に
夫々配置され、搬送路の幅方向に伸びる軸のまわりに回
転すると共に被搬送物を乗せて搬送する同一寸法の搬送
ローラよりなる１組の搬送ローラと、これら搬送ローラ
を駆動するために各搬送ローラに同一寸法の伝達機構を
介して交換自在に設けられた駆動プーリとを備え、非直
線の搬送路に配置された第１の搬送ユニットと、 本体の
両側に夫々配置され、搬送路の幅方向に伸びる軸のまわ
りに回転すると共に被搬送物を乗せて搬送する同一寸法
の搬送ローラよりなる複数組の搬送ローラを備え、直線
の搬送路に配置された第２の搬送ユニットと、 上記駆動
プーリの各々を同じ周速度で駆動する駆動源と、を有
し、 上記非直線の搬送路の軌跡が描く円弧の中心から、
第１の搬送ユニットの搬送ローラの位置までの距離に、
上記搬送ローラの搬送速度が比例するように上記駆動プ
ーリの径を設定したことを特徴とする。 【０００８】 【発明の実施の形態】以下、本発明をウエハ搬送装置に
適用した実施の形態を図面を参照して説明する。図１に
示すように搬送ユニット（１）の本体（２）の左側壁部
には、回転軸（３）が貫通して設けられている。この回
転軸（３）の本体（２）外の一端には搬送ローラ（４）
が取着され、本体（２）内の一端にはハスバ歯車（５）
が取着されている。 【０００９】また、本体（２）の底部には駆動回転軸
（６）が貫通して設けられている。この駆動回転軸
（６）の本体（２）内の一端にはハスバ歯車（７）が上
記ハスバ歯車（５）と噛合うように取着され、本体
（２）外の一端には駆動プーリー（８）が取着されてい
る。そして、この駆動プーリー（８）を回転させること
により搬送ローラー（４）が回転可能に構成されてい
る。一方、本体（２）の右側にも上記同様に搬送ローラ
ー（９）、回転軸（１０）、ハスバ歯車（１１）、ハス
バ歯車（１２）、駆動回転軸（１３）、駆動プーラー
（１４）が設けられている。この例では搬送ローラ
（４）、（９）は第１の搬送ユニットの１組の搬送ロー
ラをなすものである。 【００１０】そして、図２に示すように直線搬送部（２
４）、（２５）の間に搬送方向（２２）に対応して第１
の搬送ユニット（１）を例えば３個並設する。詳しく
は、搬送ユニット（１）の回転軸（３）、（１０）の軸
心を通る直線（２１）が、搬送方向（２２）の描く円弧
の中心（２３）を通るように配置する。そして、上記円
弧に対して内側に位置する搬送ローラー（４）の搬送速
度よりも外側に位置する搬送ローラー（９）の搬送速度
が速くなるように構成する。 【００１１】ここで、搬送ローラ（４）、（９）が所定
の周速度を得るための手段について説明する。図１にお
いて、例えば駆動プーリー（８）と（１４）以外は左右
同一寸法構造とすれば、搬送ローラー（４）と（９）の
搬送速度の比は駆動回転軸（６）と（１３）の回転速度
の比によって決まる。そこで、図２において、例えば搬
送ローラー（４）の巾厚中心点が描く円弧の半径をＡ、
搬送ローラ（９）の上記半径をＢとすれば、半導体ウエ
ハ（図示せず）を複数の搬送ユニット（１）上をスムー
ズに搬送するには、搬送ローラ（４）の搬送速度／搬送
ローラ（９）の搬送速度＝Ａ／Ｂであれば良く、つま
り、駆動回転軸（６）の回転速度／駆動回転軸（１３）
の回転速度＝Ａ／Ｂにすればよい。 【００１２】また、上記複数の搬送ユニット（１）の駆
動プーリ（８）と（１４）とを同時に同じ周速度（プー
リの周部の単位時間当りの移動距離）で駆動する手段と
しては、例えば第３図に示すように、駆動プーリー
（８）の直径／駆動プーリー（１４）の直径＝Ｂ／Ａと
し、駆動プーリー（８）、（１４）に例えばベルト（３
１）等を張設し駆動する。 【００１３】一方直線搬送部（２４）、（２５）には、
複数組の搬送ローラを備えた第２の搬送ユニット（９
１）が設けられている。この第２の搬送ユニット（９
１）は、本体（９２）の左右に夫々搬送ローラ（９
３）、（９４）が設けられ、左右を１組とする搬送ロー
ラ（９３）、（９４）が複数組長さ方向に配列されてい
る。このような実施の形態では、半導体ウエハは、例え
ば直線搬送部（２４）の第２の搬送ユニット（９１）の
搬送ローラ（９３）、（９４）の上に乗せられて搬送さ
れ、非直線の搬送路では３つの第１の搬送ユニット
（１）の搬送ローラ（４）（９）の上に乗せられて搬送
され、次いで第２の搬送ユニット（９１）上に到達し、
その搬送ローラ（９３）、（９４）に乗せられて直線搬
送部（２５）上を搬送される。本実施の形態によれば、
非直線の搬送路には第１の搬送ユニット（１）を配置し
ているので、搬送ユニット（１）の数を選択することに
より曲率半径や長さを自由に設定でき、また直線の搬送
路には第２の搬送ユニット（９１）を配置しているの
で、１個、１個並べることなく、１個の搬送ユニット
（９１）によりある程度の長さの搬送路が形成されるの
で設置が簡単であり、従って搬送路のレイアウトの自由
度が高くかつ設定が容易である。そして非直線の搬送路
では内側の搬送ローラと外側の搬送ローラとが曲率半径
の中心点からの距離に応じた速度で回転するように構成
されているので、スムーズな搬送を行うことができる。 【００１４】 【００１５】 【００１６】 【００１７】 【発明の効果】本発明搬送装置によれば、１組の搬送ロ
ーラを備えた第１の搬送ユニットと複数組の搬送ローラ
を備えた第２の搬送ユニットとを用意し、非直線の搬送
路には少なくとも第１の搬送ユニットを配置している。
従って非直線の搬送路の長さや曲率半径に応じた数だけ
第１の搬送ユニットを配置すればよく、しかも非直線搬
送路の描く円弧を変える場合には駆動プーリのみを交換
すればよいので、搬送路の非直線部分の設定変更が容易
であり、また直線の搬送路には第２の搬送ユニットを用
いているので、１個、１個並べて接続する必要がない
し、長さの調整も第１の搬送ユニットを組み合わせるこ
とで容易に対応できる。この結果本発明によれば搬送路
のレイアウトの設定、変更が容易であるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明搬送装置の一実施例を示す構成図であ
る。 【図２】第１図の使用例説明図である。 【図３】第２図の使用例補足説明図である。 【符号の説明】 １ 搬送ユニット ３、１０ 回転軸 ４、９ 搬送ローラー ５、７、１１、１２ ハスバ歯車 ６、１３ 駆動回転軸 ８、１４ 駆動プーリー ２２ 搬送方向
る。 【図２】第１図の使用例説明図である。 【図３】第２図の使用例補足説明図である。 【符号の説明】 １ 搬送ユニット ３、１０ 回転軸 ４、９ 搬送ローラー ５、７、１１、１２ ハスバ歯車 ６、１３ 駆動回転軸 ８、１４ 駆動プーリー ２２ 搬送方向
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 （１） 本体の両側に夫々配置され、搬送路の幅方向に
伸びる軸のまわりに回転すると共に被搬送物を乗せて搬
送する同一寸法の搬送ローラよりなる１組の搬送ローラ
と、これら搬送ローラを駆動するために各搬送ローラに
同一寸法の伝達機構を介して交換自在に設けられた駆動
プーリとを備え、非直線の搬送路に配置された第１の搬
送ユニットと、 本体の両側に夫々配置され、搬送路の幅方向に伸びる軸
のまわりに回転すると共に被搬送物を乗せて搬送する同
一寸法の搬送ローラよりなる複数組の搬送ローラを備
え、直線の搬送路に配置された第２の搬送ユニットと、 上記駆動プーリの各々を同じ周速度で駆動する駆動源
と、を有し、 上記非直線の搬送路の軌跡が描く円弧の中心から、第１
の搬送ユニットの搬送ローラの位置までの距離に、上記
搬送ローラの搬送速度が比例するように上記駆動プーリ
の径を設定した ことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7243595A JP2706663B2 (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7243595A JP2706663B2 (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 搬送装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13731887A Division JPH0818677B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08208013A JPH08208013A (ja) | 1996-08-13 |
| JP2706663B2 true JP2706663B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=17106159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7243595A Expired - Lifetime JP2706663B2 (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2706663B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113387110B (zh) * | 2021-07-27 | 2022-01-28 | 沭阳县金森源木业有限公司 | 一种可调节间距的建筑模板传送装置及其调节方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541991Y2 (ja) * | 1975-07-17 | 1980-10-01 |
-
1995
- 1995-08-28 JP JP7243595A patent/JP2706663B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08208013A (ja) | 1996-08-13 |
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