JPH0818677B2 - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、搬送ローラを利用し搬送方向を変更するウ
エハ搬送装置に関する。

（従来の技術） 一般に、半導体製造装置において半導体ウエハを搬送
する手段として、エアー搬送、ベルト搬送等が実用され
ている。

特に、直線搬送から他の方向へ搬送方向を変更する搬
送手段として、例えばエアー搬送方式では特開昭51−74
381、特開昭54−58363、特公昭59−42978号公報等によ
り開示された技術がある。

またベルト搬送方式では、例えば実開昭58−99834、
実公昭61−30284、特開昭56−62329、特開昭57−9030
5、特開昭58−48934、特開昭58−60552、特開昭59−574
47、特開昭59−128125、特開昭61−124424号公報等によ
り開示された技術がある。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来技術には次のような問題点が
ある。エアー搬送方式は、半導体ウエハの下側からエア
ーを吹き上げて上記半導体ウエハを浮上させて搬送する
方式であるため、搬送方向を変更制御するのが難しい。

したがって、搬送方向を変更するに際し上記半導体ウ
エハが遠心力により搬送軌道を逸脱しないようにガイド
等を設ける必要がある。そして、このガイドに上記半導
体ウエハが衝突するのは避け難く、上記半導体ウエハが
欠けたりしてダスト発生の原因となりやすい。

次にベルト搬送方式は、一般にゴムベルトが使用され
ており、このゴムベルトと半導体ウエハや回転機構部分
との摩擦力、また上記ゴムベルトの劣化等により上記ゴ
ムベルトが摩耗してダスト発生が起りやすい。

上記ダストが半導体ウエハに付着すると不良率増加の
原因となり得るので、上記ダストの発生は極力抑えなけ
ればならない。

本発明は、上述の従来事情に対処してなされたもの
で、ダスト発生が極めて少なく、また安定確実に半導体
ウエハを、搬送方向を変更しつつ搬送する搬送装置を提
供しようとするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本発明は、搬送路の両側に設けられ、搬送路の幅方向
に伸びる軸の回りに回転し、ウエハを乗せて非直線方向
に搬送するための搬送ローラと、 これら搬送ローラを駆動するために各搬送ローラに伝
達機構を介して組み合わせられ、上記搬送路の下方側に
設けられた駆動プーリと、 これら駆動プーリの間に掛けられたベルトと、 このベルトを駆動する駆動源と、を備え 上記非直線方向の軌跡が描く円弧の中心から上記搬送
ローラの位置までの距離に、上記搬送ローラの搬送速度
が比例するように上記駆動プーリの径を設定したことを
特徴とする。

（作 用） 本発明の搬送装置では、搬送ローラに半導体ウエハを
乗せて非直線方向、例えばカーブしながら搬送するに際
し、カーブの内側の搬送速度より外側の搬送速度を速く
できるので上記半導体ウエハに内向力が作用し、上記半
導体ウエハの遠心力を打ち消すことができる。

したがって、スムーズに非直線搬送ができる。

（実施例） 以下、本発明ウエハ搬送装置の一実施例を図面を参照
して説明する。

搬送ユニット（１）の本体（２）の左側壁部には、回
転軸（３）が貫通して設けられている。この回転軸
（３）の本体（２）外の一端には回転体例えば搬送ロー
ラ（４）が取着され、本体（２）内の一端にはハスバ歯
車（５）が取着されている。

また、本体（２）の底部には駆動回転軸（６）が貫通
して設けられている。この駆動回転軸（６）の本体
（２）内の一端にはハスバ歯車（７）が上記ハスバ歯車
（５）と噛合うように取着され、本体（２）外の一端に
は駆動プーリー（８）が取着されている。そして、この
駆動プーリー（８）を回転させることにより搬送ローラ
ー（４）が回転可能に構成されている。

一方、本体（２）の右側にも上記同様に搬送ローラー
（９）、回転軸（10）、ハスバ歯車（11）、ハスバ歯車
（12）、駆動回転軸（13）、駆動プーリー（14）が設け
られている。この例ではハスバ歯車（５）、（７）、
（11）、（12）は駆動プーリ（14）の回転を搬送ローラ
（４）、（９）に伝達するための伝達機構をなすもので
ある。

そして、第２図に示すように直線搬送部（24）（25）
の間に非直線方向である搬送方向（22）に対応して例え
ば搬送ユニット（１）を３個並設する。

詳しくは、搬送ユニット（１）の回転軸（３）、（1
0）の軸心を通る直線（21）が、搬送方向（22）の軌跡
が描く円弧の中心（23）を通るように配置する。そし
て、上記円弧に対して内側に位置する搬送ローラー
（４）の搬送速度よりも外側に位置する搬送ローラー
（９）の搬送速度が速くなるように構成する。

ここで、所定の周速度を得るための手段について説明
する。

第１図において、例えば駆動プーリー（８）と（14）
以外は左右同一寸法構造とすれば、搬送ローラー（４）
と（９）の搬送速度の比は駆動回転軸（６）と（13）の
回転速度の比によって決まる。

そこで、第２図において、例えば搬送ローラー（４）
の巾厚中心点が描く円弧の半径をＡ、搬送ローラ（９）
の上記半径をＢとすれば、半導体ウエハ（図示せず）を
複数の搬送ユニット（１）上をスムーズに搬送するに
は、 搬送ローラ（４）の搬送速度／搬送ローラ（９）の搬
送速度＝A/Bのように正比例する如く設定してあれば良
く、つまり、 駆動回転軸（６）の回転速度／駆動回転軸（13）の回
転速度＝A/Bにすればよい。

また、上記複数の搬送ユニット（１）を同時に駆動す
る手段としては、例えば第３図に示すように、 駆動プーリー（８）の直径／駆動プーリー（14）の直
径＝B/Aとし、駆動プーリー（８）、（14）に例えばベ
ルト（31）を張設し駆動する。

なお、上記実施例では同一構成の搬送ユニット（１）
を複数個使用して搬送する手段の場合について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、異
なる搬送ユニットを組合せて使用しても良いのは言うま
でもない。

〔発明の効果〕

本発明搬送装置によれば、被搬送体をクリーンでスム
ーズに非直線方向に搬送できる。また搬送路の描く円弧
の半径が変わる場合には駆動プーリのみを変換するだけ
でよいので搬送路の変更に容易に対応できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明搬送装置の一実施例を示す構成図、第２
図は第１図の使用例説明図、第３図は第２図の使用例補
足説明図である。１ ……搬送ユニット、３、10……回転軸、 ４、９……搬送ローラー、 ５、７、11、12……ハスバ歯車、 ６、13……駆動回転軸、８、14……駆動プーリー、 22……搬送方向、31……ベルト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】搬送路の両側に設けられ、搬送路の幅方向
   に伸びる軸の回りに回転し、ウエハを乗せて非直線方向
   に搬送するための搬送ローラと、 これら搬送ローラを駆動するために各搬送ローラに伝達
   機構を介して組み合わせられ、上記搬送路の下方側に設
   けられた駆動プーリと、 これら駆動プーリの間に掛けられたベルトと、 このベルトを駆動する駆動源と、を備え 上記非直線方向の軌跡が描く円弧の中心から上記搬送ロ
   ーラの位置までの距離に、上記搬送ローラの搬送速度が
   比例するように上記駆動プーリの径を設定したことを特
   徴とするウエハ搬送装置。