JPS63300043A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、回転体を利用し搬送方向を変更するウェハ搬
送装置に関する。

（従来の技術） 一般に、半導体製造装置において半導体ウェハを搬送す
る手段として、エアー搬送、ベルト搬送等が実用されて
いる。

特に、直線搬送から他の方向へ搬送方向を変更する搬送
手段として、例えばエアー搬送方式では特開昭５１−７
４３８１、特開昭５４−５８３６３、特公昭５９−４２
９７８号公報等により開示された技術がある。

またベルト搬送方式では、例えば実開昭５８−９９８３
４　、実公昭６１−３０２８４、特開昭５６−６２３２
９、特開昭５７−９０３０５．特開昭５８−４８９３４
、特開昭５８−６０５５２、特開昭５９−５７４４７、
特開昭５９−１２８１２５　、特開昭６１−１２４４２
４号公報等により開示された技術がある。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来技術には次のような問題点があ
る。エアー搬送方式は、半導体ウェハの下側からエアー
を吹き上げて上記半導体ウェハを浮上させて搬送する方
式であるため、搬送方向を変更制御するのが難しい。

したがって、搬送方向を変更するに際し上記半導体ウェ
ハが遠心力により搬送軌道を逸脱しないようにガイド等
を設ける必要がある。そして、このガイドに上記半導体
ウェハが衝突するのは避は難く、上記半導体ウェハが欠
けたりしてダスト発生の原因となりやすい。

次にベルト搬送方式は、一般にゴムベルトが使用されて
おり、このゴムベルトと半導体ウニ／）や回転機構部分
との摩擦力、また上記ゴムベルトの劣化等により上記ゴ
ムベルトが摩耗してダスト発生が起りやすい。

上記ダストが半導体ウェハに付着すると不良率増加の原
因となり得るので、上記ダストの発生は極力抑えなけれ
ばならない。

本発明は、上述の従来事情に対処してなされたもので、
ダスト発生が極めて少なく、また安定確実に半導体ウェ
ハを、搬送方向を変更しつつ搬送する搬送装置を提供し
ようとするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、回転体にウェハを乗せて非直線方向
に搬送する搬送装置において、上記回転体の搬送速度を
、上記非直線方向の軌跡が描く円弧の中心から上記回転
体の位置までの距離に反比例する如く設定してなること
を特徴とする。

（作　用） 本発明の搬送装置では、回転体に半導体ウェハを乗せて
非直線方向、例えばカーブしながら搬送するに際し、カ
ーブの内側の搬送速度より外側の搬送速度を速くできる
ので上記半導体ウェハに内向力が作用し、上記半導体ウ
ェハの遠心力を打ち消すことができる。

したがって、スムーズに非直線搬送ができる。

（実施例） 以下、本発明ウェハ搬送装置の一実施例を図面を参照し
て説明する。

搬送ユニット（よ）の本体（２）の左側壁部には、回転
軸（３）が貫通して設けられている。この回転軸■の本
体■外の一端には搬送ローラ（へ）が取着され、本体■
内の一端にはハスバ歯卓■が取着されている。

また、本体■の底部には駆動回転軸０が貫通して設けら
れている。この駆動回転軸０の本体■内の一端にはハス
パ歯車■が上記ハスバ歯車■と噛合うように取着され、
本体■外の一端には駆動プーリー■が取着されている。

そして、この駆動プーリー■を回転させることにより搬
送ローラー（イ）が回転可能に構成されている。

一方、本体■の右側にも上記同様に搬送ローラー■）１
回転軸（１０）、ハスバ歯車（１１）、ハスバ歯車（１
２）、駆動回転軸（１３）、駆動プーリー（１４）が設
けられている。

そして、第２図に示すように直線搬送部（２４）（２５
）の間に搬送方向（２２）に対応して例えば搬送ユニッ
ト（圭）を３個並設する。

詳しくは、搬送ユニット（↓）の回転軸（３）、（１０
）の細心を通る直線（２１）が、搬送方向（２２）の描
く円弧の中心（２３）を通るように配置する。そして、
上記円弧に対して内側に位置する搬送ローラーに）の搬
送速度よりも外側に位置する搬送ローラー（９）の搬送
速度が速くなるように構成する。

ここで、所定の周速度を得るための手段について説明す
る。

第１図において、例えば駆動プーリー（８）と（１４）
以外は左右同一寸法構造とすれば、搬送ローラー（イ）
といの搬送速度の比は駆動回転軸（０と（１３）の回転
速度の比によって決まる。

そこで、第２図において、例えば搬送ローラー（イ）の
重厚中心点が描く円弧の半径をＡ、ｌ１ｌｌ送ローラ■
の上記半径をＢとすれば、半導体ウェハ（図示せず）を
複数の搬送ユニット（↓）上をスムーズに搬送するには
、 搬送ローラ０）の搬送速度／ＷＪ送ローラ（９）の搬送
速度＝Ａ／Ｂであれば良く、つまり、 駆動回転軸（６つの回転速度／ｗＡ動回転回転軸３）の
回転速度＝Ａ／Ｂにすればよい。

また、上記複数の搬送ユニット（↓）を同時に駆動する
手段としては、例えば第３図に示すように、駆動プーリ
ー（ハ）の直径／駆動プーリー（１４）の直径＝Ｂ／Ａ
とし、駆動プーリー（８）、（１４）に例えばベルト（
３１）等を張設しｙｊＡ！ｉ！Ｉ３する。

なお、上記実施例では同一構成の搬送ユニット（↓）を
複数個使用して搬送する手段の場合について説明したが
、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、異な
る搬送ユニットを組合せて使用しても良いのは言うまで
もない。

要するに、搬送方向が描く円弧の中心から搬送ローラー
が位置する半径距離に対応して、上記説明した搬送ロー
ラーの搬送速度が適正に設定されておれば良いのである
。

また、搬送ローラーとして、本実施例では同一寸法の搬
送ローラー＠）、■）を使用したものについて説明した
が、適正な搬送速度を得られれば良いことから、搬送方
向に見合った寸法に構成された例えば円錐柱状の単体の
搬送ローラー（図示せず）の使用も可能である。

しかしながら、上記単体の搬送ローラーの場合には、次
に述べるような問題点がある。

例えば、搬送面を水平に設定しようとすると搬送ローラ
ーの回転軸心を傾斜させる必要があるので取着構造が複
雑になりやすい。

搬送ローラーの寸法は固定不変であるのである特定の搬
送方向用に製作された上記搬送ローラーは、搬送方向の
描く円弧が変ると半径距離と搬送速度との関係が実状に
合わなくなるので使用できず、別の専用の搬送ローラー
が必要となりコスト高になる。

これに比べて本発明装置では、駆動プーリーのみを交換
するだけでよい。したがって、搬送ローラーの構成とし
ては取着が容易で各種搬送方向に対応しやすい本発明装
置のように構成するのが望ましい。

〔発明の効果〕

本発明搬送装置によれば、被搬送体をクリーンでスムー
ズに非直線方向に搬送できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明搬送装置の一実施例を示す構成図、第２
図は第１図の使用例説明図、第３図は第２図の使用例補
足説明図である。 よ・・・搬送ユニット、　　３．１０・・・回転軸、４
．９・・・搬送ローラー、 ５．７．１１．１２・・・ハスバ歯車。 ６．１３・・・駆動回転軸、　８．１４・・・駆動プー
リー。 ２２・・・搬送方向、　　　　３１・・・ベルト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回転体にウェハを乗せて非直線方向に搬送する搬送装置
   において、上記回転体の搬送速度を、上記非直線方向の
   軌跡が描く円弧の中心から上記回転体の位置までの距離
   に反比例する如く設定してなることを特徴とするウェハ
   搬送装置。